JP4558016B2 - 基板とマスクの位置合わせ装置 - Google Patents
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Description
近年基板に搭載されるはんだボールは径寸法が80μm程度になっているため、はんだボールや基板とはんだボールを基板に搭載するマスクの厳密な位置合わせ状態を肉眼で確認することができない。そこで、カメラ等の撮影手段を用いて基板とマスクの画像を撮影し、画像データを処理することにより、基板とマスクの位置合わせ状態や基板へのはんだボール搭載状態を確認するはんだボール搭載装置(例えば特許文献1参照)が提供されている。
図1は、第1実施形態における基板とマスクの装置の概略構成を示す図である。図2は、基板とマスクの平面図である。図3は、基板のパッド形成面上にマスクを当接させた状態を示す平面図である。図4は、図3内におけるA部分とC部分の拡大図である。
図1に示すように、本実施形態における基板とマスクの位置合わせ装置10は、基板20を吸着保持するステージ30と、ステージ30に吸着保持された基板20の上方に配設された第1撮影手段である第1カメラ40と、マスク50およびマスク50の上方からマスク50を撮影する第2撮影手段である第2カメラ42をそれぞれ保持するフレーム60と、を有している。第1カメラ40および第2カメラ42は制御部70に接続されている。制御部70は、第1カメラ40および第2カメラ42が撮影した画像データに基づいて、マスク50の位置に基板20の位置を合わせるようにステージ30を移動させるためのデータを算出する。
修正移動データを演算する際の画像処理アルゴリズムは、公知の手法を採用することができる。
制御部70は基板20とマスク50を重ねた状態における平面画像の画像データのうち、最新の画像データを用いて修正移動データの演算をCPU71に行わせる。記憶手段72に予め、修正移動データの収束条件や、修正移動データの演算回数の上限値データを記憶させておけば、制御部70が、記憶手段72に記憶されている修正移動データの収束条件や、修正移動データの演算回数とその上限値データを参照し、次の修正移動データの演算を行うか否かを客観的に判断することができる。このように事前に設定された条件をクリアするまで、制御部70は第2カメラによる平面画像撮影、撮影した画像データに基づく修正移動データの演算をCPU71に繰り返し実行させる。図5は、すべてのパッド中心位置とすべての貫通孔中心位置とが完全に一致した状態(理想状態)を示す平面図である。
第1実施形態においては、第1移動データに基づいて基板20とマスク50を大まかに位置合わせした後に、基板20とマスク50を重複させた状態で第2カメラ42による平面画像の撮影を行い、撮影した画像データのうち、基板20およびマスク50について、四角形状に配設されたパッドグループ24および貫通孔グループ54における対角上に位置する最外周部分の2箇所のパッドグループ24A,24Cおよび貫通孔グループ54A,54Cのそれぞれについて制御部70が画像データ処理を行うことで、基本要素YA1,YA2,・・・およびYC1,YC2,・・・をそれぞれ演算し、演算した基本要素の平均値を修正移動データ要素(YA,YC)とし、修正移動データ要素をさらに平均化することにより修正移動データとして採用している。
これに対して本実施形態においては、基板20のおよびマスク50の平面内において最外周部分に配設されたパッドグループ24,24,・・・および貫通孔グループ54,54,・・・のうち、コーナー部分に存在するパッドグループ24A,24B,24C,24Dおよび貫通孔グループ54A,54B,54C,54Dについての画像データに基づいて制御部70が第1実施形態と同手法により画像データ処理を行い、各パッドグループ24A,24B,24C,24Dおよび貫通孔グループ54A,54B,54C,54Dにおける修正移動データ要素(YA,YB,YC,YD)をそれぞれ演算し、演算した修正移動データ要素の平均値を修正移動データとして採用しているので、第1実施形態に比べると、修正移動データの演算回数を削減させることができるため好都合である。
第1実施形態においては、基板20を載置したステージ30がX,Y方向に移動すると共にX−Y平面内で回転可能な構成を採用しているが、本実施形態においては、基板20を載置したステージ30は固定式とし、マスク50を載置し、水平面内のX,Y方向に移動すると共に、同一平面内で回転可能にしたマスク移動機構(図示せず)を採用した点で、第1実施形態とは異なる。本実施形態においては、基板20を載置したステージ30を固定式にしているので、マスク移動機構には、ステージ30に載置した基板20にマスク50を接離動させる接離動機構も組み込まれている。この他の構成については第1実施形態における構成と同様である。本実施形態においては制御部70が第1移動データや修正移動データからなる移動データに基づいて、マスク移動機構を移動させることにより基板20のパッド22位置とマスク50の貫通孔52位置を合わせる処理を行うのはもちろんである。
20 基板
22 パッド
24 パッドグループ
30 ステージ
40 第1カメラ
42 第2カメラ
50 マスク
52 貫通孔
54 貫通孔グループ
60 フレーム
62 マスク保持部
70 制御部
71 CPU
72 記憶手段
80 接離動機構
Claims (6)
- 一面側に複数個のパッドが形成されたパッド形成面が上面となるように基板が載置されて、水平面内で移動可能に設けられていると共に、同一平面内で回転可能に設けられているステージと、
前記基板のパッドに対応する部分に貫通孔が形成されマスク保持部に保持されているマスクと、
前記基板を、前記マスクの下方位置から前記マスク下面位置との間で接離動させる接離動機構と、
前記ステージに載置されている基板のパッド形成面の画像を撮影する撮影手段と、
前記マスクの平面視画像を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶させた画像データに基づいて、前記ステージに載置されている基板のパッド形成面に当接したマスクの貫通孔と基板のパッドとの現在の重複状態と予定重複状態との相違を解消するために、前記ステージの移動方向および移動量と回転角度からなるステージの移動データを演算する制御部と、を具備し、
該制御部は、
前記撮影手段に、前記ステージに載置した状態のパッド形成面と、前記マスク単体の平面視状態を撮影させる工程と、
前記マスク単体の平面視画像データを前記記憶手段に記憶させる工程と、
前記基板のパッド形成面の平面視画像データと、前記マスク単体の平面視画像データとに基づいて、前記基板のパッドと、前記マスクの貫通孔位置との最初の位置合わせに必要な第1移動データを演算する工程と、
前記第1移動データに基づいて、前記ステージを移動および回転させ、該ステージに載置された基板のパッド形成面を前記マスク下面に重ね合わせる工程と、
前記撮影手段に、前記基板を前記マスク下面に重ね合わせることにより前記マスクにテンションが付与された状態における前記基板のパッドと前記マスクの貫通孔との重複状態の画像を撮影させる工程と、
前記基板のパッドと前記マスクの貫通孔との重複状態における画像データに基づいて、前記ステージに載置されている基板のパッド形成面に当接したマスクの貫通孔と基板のパッドとの現在の重複状態と予定重複状態との相違を解消するために、前記ステージの移動方向および移動量と回転角度からなるステージの修正移動データを演算する工程と、
前記修正移動データに基づいて、前記ステージを移動および回転させる工程を繰り返し実行することを特徴とする基板とマスクの位置合わせ装置。 - 一面側に複数個のパッドが形成されたパッド形成面が上面となるように基板が載置されたステージと、
前記基板のパッドに対応する部分に貫通孔が形成されマスク保持部に保持されているマスクと、
該マスクを水平面内で移動可能にすると共に、同一平面内で回転可能に設けられているマスク移動機構と、
前記基板を、前記マスクの下方位置から前記マスク下面位置との間で接離動させる接離動機構と、
前記ステージに載置されている基板のパッド形成面の画像を撮影する撮影手段と、
前記マスクの平面視画像を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶させた画像データに基づいて、前記ステージに載置されている基板のパッド形成面に当接したマスクの貫通孔と基板のパッドとの現在の重複状態と予定重複状態との相違を解消するために、前記マスク移動機構の移動方向および移動量と回転角度からなるマスク移動機構の移動データを演算する制御部と、を具備し、
該制御部は、
前記撮影手段に、前記ステージに載置した状態のパッド形成面と、前記マスク単体の平面視状態を撮影させる工程と、
前記マスク単体の平面視画像データを前記記憶手段に記憶させる工程と、
前記基板のパッド形成面の平面視画像データと、前記マスク単体の平面視画像データとに基づいて、前記基板のパッドと、前記マスクの貫通孔位置との最初の位置合わせに必要な第1移動データを演算する工程と、
前記第1移動データに基づいて、前記マスク移動機構を移動および回転させ、該ステージに載置された基板のパッド形成面に前記マスク下面を重ね合わせる工程と、
前記撮影手段に、前記基板に前記マスク下面を重ね合わせることにより前記マスクにテンションが付与された状態における前記基板のパッドと前記マスクの貫通孔との重複状態の画像を撮影させる工程と、
前記基板のパッドと前記マスクの貫通孔との重複状態における画像データに基づいて、前記ステージに載置されている基板のパッド形成面に当接したマスクの貫通孔と基板のパッドとの現在の重複状態と予定重複状態との相違を解消するために、前記マスク移動機構の移動方向および移動量と回転角度からなるマスク移動機構の修正移動データを演算する工程と、
前記修正移動データに基づいて、前記マスク移動機構により前記マスクを移動および回転させる工程を繰り返し実行することを特徴とする基板とマスクの位置合わせ装置。 - 前記撮影手段は少なくとも二台で構成されていて、
第1撮影手段は、前記基板を前記ステージに載置した状態のパッド形成面の映像を撮影し、
第2撮影手段は、前記マスクの平面視映像を撮影すると共に、前記第1移動データに基づいて前記基板のパッド形成面を前記マスクに当接させた状態の平面視映像を撮影することを特徴とする請求項1または2記載の基板とマスクの位置合わせ装置。 - 前記基板は、複数個のパッドがマトリクス状に配設されて成る複数のパッドグループがマトリクス状に四角形状に配設されていて、
前記制御部は、前記ステージの移動データまたは前記マスクの移動データを演算する際に、基板のパッド形成面にマスクを当接させた状態で撮影した画像データについて、前記パッドグループの最外周のコーナー部分に位置するパッドグループのうち、最も離間距離が大きくなる二つのパッドグループの画像を抽出し、抽出した画像データに基づいて移動データを演算していることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の基板とパッドの位置合わせ装置。 - 前記基板は、複数個のパッドがマトリクス状に配設されて成る複数のパッドグループがマトリクス状に四角形状に配設されていて、
前記制御部は、前記ステージの移動データまたは前記マスクの移動データを演算する際に、基板のパッド形成面にマスクを当接させた状態で撮影した画像データにおいて、前記パッドグループの最外周におけるすべてのコーナー部分のパッドグループの画像を抽出し、抽出した画像データに基づいて移動データを演算していることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の基板とパッドの位置合わせ装置。 - 前記制御部は、前記ステージの移動データまたは前記マスクの移動データを演算する際に、基板のパッド形成面にマスクを当接させた状態で撮影した画像データについて、抽出したパッドグループの個々についての演算を行うことによりステージの移動データ要素またはマスクの移動データ要素を算出した後、
該ステージの移動データ要素またはマスクの移動データ要素の平均値をステージの移動データまたはマスクの移動データとすることを特徴とする請求項4または5記載の基板とマスクの位置合わせ装置。
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