JP2006267191A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板16において本来の位置にある第1、第2アライメント穴P1、P2間の距離と、第1、第2CCDカメラ32、34の撮影範囲の中心点間の距離とが一致するように、第1、第2CCDカメラ32、34を矢印Aの示すY軸方向に移動させる。そして、第1、第2CCDカメラ32、34が撮像する画像をスルー画像としてモニタに表示させながら、第1、第2アライメント穴P1、P2の位置が、第1、第2CCDカメラ32、34の各撮影範囲の中心点と略一致するように、基板16を描画テーブル14上に載置する。
【選択図】 図3
Description
14 描画テーブル
16 基板(被描画体)
32 第1CCDカメラ(カメラ)
34 第2CCDカメラ(カメラ)
36 第1レール(撮影範囲調整手段・カメラ移動手段・照射位置調整手段・照射部材移動手段)
38 第2レール(撮影範囲調整手段・カメラ移動手段・照射位置調整手段・照射部材移動手段)
40 モニタ
50 制御装置(データ算出手段・描画データ補正手段)
57 第1低倍率カメラ(位置決め用カメラ)
58 第1高倍率カメラ(アライメント用カメラ)
61 第2低倍率カメラ(位置決め用カメラ)
62 第2高倍率カメラ(アライメント用カメラ)
65 第1レーザ光照射ユニット(位置決め光照射部材)
66 第1アライメント用カメラ(アライメント用カメラ)
69 第2レーザ光照射ユニット(位置決め光照射部材)
70 第2アライメント用カメラ(アライメント用カメラ)
P1〜P4 第1〜第4アライメント穴(マーク)
Claims (18)
- 複数のマークが表面に設けられた被描画体に描画する露光装置であって、
前記露光装置に置かれた前記被描画体を撮像するカメラと、
前記カメラの撮影範囲を調整する撮影範囲調整手段とを備え、
前記撮影範囲調整手段が、前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記露光装置の所定の位置に置かれたときに前記複数のマークを撮像できるように前記カメラの撮影範囲を調整することを特徴とする露光装置。 - 前記カメラが撮像した前記被描画体のスルー画像を表示する表示手段をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記撮影範囲調整手段が、前記カメラを移動させるカメラ移動手段であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記マーク位置データから、前記本来の位置にある前記複数のマーク間の距離を示すデータであるマーク間距離データを算出するデータ算出手段をさらに有し、
前記カメラ移動手段が、前記マーク間距離データに基づいて前記カメラを移動させることを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 前記カメラ移動手段が、複数の前記カメラの撮像範囲の中心点間の距離が、前記本来の位置にある前記複数のマーク間の距離と一致するように、前記カメラを移動させることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記被描画体を置くための描画テーブルと、
前記描画テーブルを移動させるテーブル移動手段とをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記撮影範囲調整手段が、前記カメラを移動させるカメラ移動手段であり、
前記カメラ移動手段が、前記露光装置が有する走査光学系の主走査方向に沿って前記カメラを移動させ、前記テーブル移動手段が、前記露光装置の副走査方向に沿って描画テーブルを移動させることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。 - 前記被描画体を、前記露光装置の所定の位置に固定するための固定部材をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記カメラが撮像した前記被描画体のスルー画像を表示する表示手段と、
前記マーク位置データが示す前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置と、前記スルー画像における前記複数のマークの実際の位置との差に基づいて、前記被描画体に描画すべきパターンを示す描画データを補正する描画データ補正手段とをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記カメラが、第1の倍率で前記複数のマークを拡大して撮像する位置決め用カメラと、前記第1の倍率よりも高い倍率である第2の倍率で前記被描画体を拡大して撮像するアライメント用カメラとを含むことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記カメラが、第1の倍率と、前記第1の倍率よりも高い第2の倍率とで、前記被描画体を拡大して撮像可能であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 複数のマークが表面に設けられた被描画体に描画する露光装置であって、
前記被描画体を置くための描画テーブルと、
前記描画テーブルに向けて位置決め光を照射する位置決め光照射部材と、
前記位置決め光の前記描画テーブル上の照射位置を調整する照射位置調整手段とを備え、
前記照射位置調整手段が、前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記描画テーブルの所定の位置に置かれたときに前記複数のマークがある位置を前記照射位置とすることを特徴とする露光装置。 - 前記照射位置調整手段が、前記位置決め光照射部材を移動させる照射部材移動手段であることを特徴とする請求項12に記載の露光装置。
- 前記複数のマークを撮像するためのアライメント用カメラをさらに有することを特徴とする請求項12に記載の露光装置。
- 前記位置決め光照射部材が、前記アライメント用カメラの近傍に設けられていることを特徴とする請求項14に記載の露光装置。
- 前記位置決め光照射部材が、前記被描画体を感光させない前記位置決め光を照射することを特徴とする請求項12に記載の露光装置。
- 複数のマークが表面に設けられた被描画体を、露光装置の所定の位置に置く載置方法であって、
前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記所定の位置に置かれたときに前記複数のマークを撮像できるように、前記被描画体を撮像するカメラの撮影範囲を調整し、
前記複数のマークを前記カメラに撮像させ、
前記複数のマークのスルー画像を表示部材に表示させながら、前記複数のマークが前記スルー画像に含まれるように前記被描画体を前記所定の位置に置くことを特徴とする被描画体の載置方法。 - 複数のマークが表面に設けられた被描画体を、露光装置が有する描画テーブルの所定の位置に置く載置方法であって、
前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記所定の位置に置かれたときに前記複数のマークがある位置を照射位置とするように前記描画テーブルに向けて位置決め光を照射し、
前記複数のマークの位置と前記照射位置とが一致するように、前記被描画体を前記所定に位置に置くことを特徴とする被描画体の載置方法。
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