JP4549573B2 - Iii族窒化物薄膜の形成方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、GaN系III族窒化物薄膜の形成方法、特に分子線エピタキシー法(MBE)によるGaN系III族窒化物薄膜(極性:(0001))の形成方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
サファイアは、六方晶系の結晶であり、6個の側面と2個の底面を有している。図4(a)は、サファイア結晶の底面に垂直な中心軸線(c軸)を含む方向の面方位を表した図面であり、同図(b)は、中心軸線を含まない面方位を表した図面である。同図(b)には、サファイアA面、C面、R面、M面が表されている。
【0003】
ここで、サファイアC面はサファイア結晶の底面のことであり、このサファイアC面上にGaNを成長させる場合には、通常、六方晶のウルツ鉱型GaNがサファイア基板とc軸をそろえて成長する。
【0004】
しかしウルツ鉱型GaNはc軸方向に極性を持つため、通常は図1(a)および同図(b)に示すように2種類の極性、すなわち2種類の原子の配列状態を持つ結晶の混在した膜となってしまう。
【0005】
このサファイアC面基板1上に成長するGaN膜において、図1(a)に示すようにGa原子の直上にN原子が配列された場合をGaN(0001)(Ga−face)図1(b)に示すようにN原子の直上にGa原子が配列された場合をGaN(000−1)(N−face)と呼んでいる。
【0006】
これら2種類の極性と成長した膜の特性とは密接に関係しており、GaN(0001)膜の方がGaN(000−1)膜、あるいはGaN(0001)とGaN(000−1)との混在した膜よりも、光学的、電気的特性、さらに表面平坦性に優れているということが報告されている(Keller et.al.,Appl.Phys.lett.68(1996)1525, Fuke et al.,J.Appl.Phys.83(1998)764)。
【0007】
従って、いかに成長する膜の極性をGa−faceに制御するかということが高品質III族窒化物半導体素子を作成する上での重要なキーポイントとなっている。
【0008】
有機金属気相成長(MOCVD)法においては、有機金属ガスの供給時、核密度増大のためにサファイア基板上に成長させる低温バッファ層のアニール条件などを制御することにより、成長する膜の特性をGa−faceに制御することがすでに可能となっている。これに対し、分子線エピタキシー(MBE)法においては、これまでGaN(000-1)が支配的な膜しか得られておらず、GaN(0001)膜を得ることは不可能であった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、分子線エピタキシー(MBE)法によるGaN系III族窒化物薄膜形成の際の問題点を解決するものであり、その目的は、成長する膜の極性を(0001)に制御して、従来よりも光学的、電気的に優れたGaN系III族窒化物薄膜を形成する方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、窒素イオンを生成して放出するイオンガンと、Gaを主成分とする分子線を放出する金属ソースと、含窒素原子ガスをプラズマ化して窒素ラジカルを放出するプラズマガンとを設けておき、サファイア基板のサファイアC面上に、GaN系III族窒化物薄膜をエピタキシャル成長させる薄膜形成方法であって、前記サファイア基板の露出された前記サファイアC面に、前記イオンガンで生成された前記窒素イオンを電位差で加速して照射してAlN層を形成した後、形成された前記AlN層表面に、前記金属ソースが放出した前記分子線と、前記プラズマガンが放出した前記窒素ラジカルとを照射し、前記AlN層表面に前記GaN系III族窒化物薄膜を形成する薄膜形成方法である。
請求項2記載の発明は、前記AlN層を形成する際に、前記サファイヤ基板を800℃以上1100℃以下に昇温させる請求項1記載の薄膜形成方法である。
請求項3記載の発明は、前記AlN層を形成する際に、前記窒素イオンを50eV以上1000eVに加速する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の薄膜形成方法である。
【0011】
本発明は上記のように構成されており、サファイア基板のサファイアC面を表面に露出させ、そのC面を清浄化処理した後に、該サファイア基板を800℃以上1100℃以下に加熱した状態で、サファイアC面に窒素イオンを照射し、AIN(0001)層を形成している。
【0012】
窒素イオンは、窒素ガスをイオン源とし、この窒素イオンを50eV以上1000eV以下に加速し、サファイアC面に照射している。
【0013】
そして、形成したAIN(0001)層の表面に、所望の方法により、GaN薄膜等を形成すると、III族窒化物系の(0001)薄膜が形成される。
【0014】
ここでIII族窒化物薄膜は、GaN系の他、III族金属元素としてIn、Al、を含んでもよいし、またドーパントとして、Be、Mg、Si等を含んでもよい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施例を図面を参照して説明する。
【0016】
図3の符号10は、本発明に用いることができる分子線エピタキシー装置を示している。
【0017】
この分子線エピタキシー装置10は、真空槽11を有しており、その底壁側には、イオンガン12とプラズマガン13と金属ソース14とアンモニアガス導入用ノズル15とが配置されている。真空槽10の天井側には、ヒータ17が配置されている。
【0018】
イオンガン12は、引き出し電極31と、グリッド32、電子放出フィラメント33とを有しており、ガス導入管34から容器35内に窒素ガスを導入し、電子放出フィラメント33からグリッド32に対して電子線を射出させ、窒素ガスに照射すると、窒素ガスは電子衝撃によってイオン化し、窒素イオンが生成される。
【0019】
このときサファイア基板21に対するグリッドの電位VAを+50〜+1000Vに保つと、生成された窒素イオンは電場によって50〜1000eVに加速され、容器35の開口から真空槽11内に放出されるようになっている。このとき引き出し電極の電位VEXを負電位に保つと、イオンガン12内で生成した窒素イオンがサファイア基板方向に効果的に引き出せる。
【0020】
プラズマガン13は、PBN管36を有しており、該PBN管36の周囲には、高周波コイル37が巻回されている。ガス導入管38からPBN管内に、窒素ガスやアンモニアガス等の含窒素原子ガスを導入し、コイル37に高周波電圧を印加すると、PBN管36内の含窒素原子ガスがプラズマ化し、プラズマ中に含まれる窒素ラジカルが真空槽11内に放出されるようになっている。
【0021】
また、金属ソース14内にはGaを主成分とする金属材料39が配置されており、金属ソース14を加熱すると、金属材料39から真空槽11内にGaを主成分とする分子線が放出されるようになっている。
【0022】
【実施例】
図3の符号21は、成膜対象であるサファイア基板を示している。このサファイア基板21は、その表面に、サファイアC面28が露出されている。
【0023】
先ず、成膜対象のサファイア基板21を、そのサファイアC面28を真空槽11の底壁側に向けてヒータ17近傍に配置し、ヒータ17に通電して発熱させ、サファイア基板21を950℃に加熱して清浄化処理した後、900℃まで降温させ、サファイア基板21をその温度に保持する。
【0024】
次いで、イオンガン12から窒素イオンを放出させると、窒素イオンの飛行先には、サファイア基板21のサファイアC面28が位置しており、そのサファイアC面28に窒素イオンが照射されると、AIN層が形成される。ここでは、窒素イオンの加速電圧は350eVであった。得られたAIN層の極性は(0001)であった。
【0025】
窒素イオンを30分照射し、所定膜厚にAlN層を形成した後、サファイア基板21の温度を600℃まで降温させる。
【0026】
次いで、プラズマガン13から窒素プラズマを放出させると共に、金属ソース14からGaを主成分とする金属を放出させ、AlN表面に照射すると、GaNを主成分とするGaN系III族窒化物薄膜が成長する。得られた薄膜の極性は(0001)であった。
【0027】
図2(a)の符号22は、形成されたAlN層を示しており、符号23は、GaN系III族窒化物薄膜を示している。窒素イオンの照射時間は10分〜2時間の範囲で同じような結果が得られた。
【0028】
【実施例】
次に、別のサファイア基板を分子線エピタキシー装置10に装着し、950℃に加熱して清浄化処理した後、900℃に降温させ、その温度を保持し、イオンガン12から350eVに加速した窒素イオンをサファイアC面に照射し、AIN層を形成した。照射時間は30分であり、得られたAIN層の極性は(0001)であった。
【0029】
次いで、サファイア基板の温度を800℃に降温させ、その温度を保持し、アンモニアガス導入用ノズル15内にアンモニアを導入するとともに、金属ソース14から、Gaを主成分とする金属を放出させ、AlN層の表面にGaN系III族窒化物薄膜を成長させた。
【0030】
図2(b)の符号24は、この実施例に用いたサファイア基板を示しており、符号25はAlN層を示しており、符号26は、アンモニアを用いて形成したGaN系III族窒化物薄膜を示している。
【0031】
得られたGaN系III族窒化物薄膜の極性は(0001)であった。窒素イオンの照射時間は10分〜2時間であればどの程度でも同じような結果が得られた。
【0032】
以上は同じ真空槽11内で、AlN層22、25とGaN系III族窒化物薄膜23、26を形成したが、真空槽11内で形成されたAIN(0001)層22、25の表面が搬送中も清浄に保たれるならば、III族窒化物薄膜23、26を別の装置内に搬入し、AlN層22、25を形成した真空槽11とは異なる真空槽内で形成してもよい。
【0033】
またイオンガン12によるサファイアC面への窒素イオンの照射時間は、AIN(0001)がサファイア基板上に形成される程度の時間であればよい。
【0034】
また、AIN(0001)層上に成長させるGaN系(0001)薄膜は、MBE、スパッタ、CVD、レーザーデポジッションなどの成長法を用いることもできる。
【0035】
以上のようにして、この発明で形成されたGaN系薄膜は、所望のタイプの電子デバイスあるいは光電子デバイスなどに組み込まれて利用出来る。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、従来のMBE法においては不可能であったGaN系のIII族窒化物薄膜の極性を光学的、電気的特性、表面平坦性に優れた(0001)に制御することが可能となるため、高品質なIII族窒化物半導体素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a):GaN(0001)(Ga−face)薄膜の原子配列を説明するための図
(b):GaN(000−1)(N−face)薄膜の原子配列を説明するための図
【図2】(a)、(b):本発明方法によって形成されたGaN系III族窒化物薄膜(0001)を説明するための図
【図3】本発明に用いることができる分子線エピタキシャル装置の一例
【図4】(a)、(b):サファイア結晶の面方位を説明するための図
【符号の説明】
21、24……サファイア基板
22、25……AlN層
23、26……III族窒化物薄膜
28……サファイアC面
Claims (3)
- 窒素イオンを生成して放出するイオンガンと、Gaを主成分とする分子線を放出する金属ソースと、含窒素原子ガスをプラズマ化して窒素ラジカルを放出するプラズマガンとを設けておき、
サファイア基板のサファイアC面上に、GaN系III族窒化物薄膜をエピタキシャル成長させる薄膜形成方法であって、
前記サファイア基板の露出された前記サファイアC面に、前記イオンガンで生成された前記窒素イオンを電位差で加速して照射してAlN層を形成した後、
形成された前記AlN層表面に、前記金属ソースが放出した前記分子線と、前記プラズマガンが放出した前記窒素ラジカルとを照射し、前記AlN層表面に前記GaN系III族窒化物薄膜を形成する薄膜形成方法。 - 前記AlN層を形成する際に、前記サファイヤ基板を800℃以上1100℃以下に昇温させる請求項1記載の薄膜形成方法。
- 前記AlN層を形成する際に、前記窒素イオンを50eV以上1000eVに加速する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の薄膜形成方法。
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