JP4548039B2 - スリットコート式塗布方法及び電子デバイス用基板 - Google Patents
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Description
かかる第1の態様では、基板に塗布された塗布溶液のひけ、特に凹部の周縁部における塗布溶液のひけ、乾燥むら等を防止して、基板の全面に均一に塗布膜を形成することができる。
かかる第2の態様では、導電層を良好にパターニングでき、凹部の周縁部、すなわち、凹部に極めて近い部分であっても配線パターンを形成することができる。
かかる第3の態様では、凹部を所定の形状とすることで、スリットコート式塗布方法によって、導電層上にレジストを均一に形成することができる。したがって、導電層を良好にパターニングして配線パターンを形成することができ、凹部の周縁部、すなわち、凹部に極めて近い部分であっても配線パターンを形成することができる。
かかる第4の態様では、レジストをより均一に形成することができると共に、基板の剛性が向上する。
かかる第5の態様では、レジストをさらに均一に塗布でき、配線パターンを高精度に形成することができる。
(実施形態1)
本発明のスリットコート式塗布方法は、所定形状の凹部を有する基板の表面に塗布溶液を塗布する際に、凹部の周縁部での塗布溶液のひけを効果的に防止するものである。特に、凹部を有する基板上にIC等を実装するための配線パターンを有する電子デバイス用基板に用いるのに有効な方法であり、具体的には、配線パターンとなる導電層をパターニングするためのレジストの塗布に有効な方法である。このような電子デバイス用基板としては、例えば、インクジェット式記録ヘッドの保護基板(保護基板形成材)等がある。
次に、図5(d)に示すように、このように導電層201が形成された保護基板形成材130上に、レジストを塗布し、露光・現像することによりレジストマスク202を形成する。このとき、本発明では、スリットコート式塗布装置を用いて以下に説明する所定の塗布方法で導電層201上にレジストを塗布する。
いてもよいが(図4参照)、本実施形態のように、少なくともその長手方向一端部側、す
なわち、レジストの塗布終了側の角部の角度が鈍角となっていればよい(図3参照)。こ
れは図10に示すように、凹部の周縁部でのレジストのひけが、凹部のレジストの塗布開
始側の周縁部(図中上側凹部の周縁部)よりも塗布終了側の周縁部(図中下側凹部の周縁
部)において顕著に現れるからである。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、スリットコート式塗布装置として、保持テーブル402を基板の面方向に移動させることで、保持テーブル402と塗布ヘッド403とを相対的に移動させる装置を説明したが、これに限定されず、例えば、保持テーブル402を固定して、塗布ヘッド403を基板401の面方向に移動させるものであってもよい。
Claims (7)
- 五角形以上の多角形形状の開口形状を有する長穴であり且つその長手方向の少なくとも一端部側の少なくとも一つの角部の角度が鈍角となっており、且つ前記一端部側の他の角部が鋭角ではない凹部を有する基板を固定した保持テーブルと、該保持テーブルに保持された前記基板の表面に相対向するように配置されると共に当該基板の表面に向かって所定の塗布溶液を流出するスリット状のノズル開口を有する塗布ヘッドとを、水平方向で相対的に移動させて前記基板の前記塗布溶液を塗布する際、前記塗布ヘッドが前記基板に形成された前記凹部の他端部側から一端部側に向かって相対移動中に当該基板の表面に前記塗布溶液を塗布するようにしたことを特徴とするスリットコート式塗布方法。
- 請求項1において、前記基板が、シリコン基板の表面に酸化シリコンからなる絶縁膜を介して配線パターンを形成するための導電層を有する電子デバイス用基板であり、前記塗布溶液が前記導電層のパターニングに用いられるレジストであることを特徴とするスリットコート式塗布方法。
- 厚さ方向の少なくとも一部が除去された長穴である凹部を有するシリコン基板の表面に、酸化シリコンからなり前記凹部の内壁面まで連続的に設けられる絶縁膜と、該絶縁膜上に設けられ配線パターンを形成するための導電層とを有し、且つ前記凹部の開口形状が五角形以上の多角形形状であると共に当該凹部の長手方向の少なくとも一端部側の少なくとも一つの角部の角度が鈍角となっており、且つ前記一端部側の他の角部が鋭角ではないことを特徴とする電子デバイス用基板。
- 請求項3において、前記凹部の前記角部がR形状となっていることを特徴とする電子デバイス用基板。
- 請求項3又は4において、前記凹部の全ての前記角部の角度が鈍角となっていることを特徴とする電子デバイス用基板。
- 請求項1又は2において、前記基板の凹部は、その長手方向の少なくとも一端部側に含まれる全ての角部の角度が鈍角となっていることを特徴とするスリットコート式塗布方法。
- 請求項3又は4において、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部側に含まれる全ての角部の角度が鈍角となっていることを特徴とする電子デバイス用基板。
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