JP4544541B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
なお、図1における符号4,5は接地電極、符号81〜86は、電気的に接続された金リボンである。図1では、光導波路と変調用電極との位置関係を判り易くするため、光導波路と電極とを重ねて表示している。
なお、図2における符号11は、バッファ層を示す。
基板1は、電気光学効果を有する材料で形成された基板であり、例えば、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタレート、タンタル酸リチウム、PLZT(ジルコン酸チタン酸鉛ランタン)、及び石英系の材料及びこれらの組み合わせが利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウム(LN)やニオブ酸タンタレートが好適に利用される。
また、使用する基板の厚みは、特に限定されないが、基板の厚みが薄い、例えば、50μm以下となると、電極の形状(配置を含む)や導電体の電気的な接続などにより発生する内部応力の影響を、より顕著に受け易い。
また、変調用電極は、Ti・Auの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより形成することが可能である。なお、図2のように光導波路の真上に電極を配する場合には、SiO2などによるバッファ層を基板上に形成し、その上に電極を形成することで、光導波路を伝搬する光波が電極により吸収・散乱されることを抑制することができる。
このため、信号電極の端部31における信号電極や接地電極に接続された導電体と同じ形状(同じ本数、同じ配置)の導電体(181〜183で表示される金リボン)を接地電極の一部に電気的に接続している。
なお、本発明における導電体による電気的な接続は、金リボンなどのリボン状の導体に限らず、ワイヤー状の導体であっても良い。
このため、信号電極の端部32における信号電極や接地電極に接続された導電体と同じ形状(同じ本数、同じ配置)の導電体(184〜186で表示される金リボン)を接地電極の一部に電気的に接続している。
図4に示す実施例では、図3に示した参考例の構成に加え、ダミー用電極部として、信号電極の端部における信号電極や接地電極の形状と類似した形状の電極を接地電極の一部に形成したものである。
また、ここで説明した光変調器は、ZカットLN変調器の例であるが、XカットLN変調器において、バッファ層がある場合でも無い場合でも、本発明の構成が適用できることは言うまでもない。
2 光導波路
3 信号電極
4,5 接地電極
31 信号電極の入力側端部
32 信号電極の出力側端部
81〜86,181〜186 電気的に接続された導体(金リボン)
131,132 ダミー信号電極
140 薄電極
Claims (3)
- 電気光学効果を有する基板と、
該基板に形成された光導波路と、
該光導波路中を導波する光波を制御するための信号電極と接地電極とからなる変調用電極を該基板上に有し、
該信号電極の端部の少なくとも一方に、高周波変調信号導入線路又は終端器の少なくともいずれかが電気的に接続された光変調器において、
信号電極の端部における該変調用電極の形状について、該光導波路における光伝搬方向の中心軸に対して線対称となる形状の電極を、該接地電極の一部に形成したダミー用電極部を該基板上に配置したことを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、該光導波路における光伝搬方向の中心軸に対して線対称となるように、該変調用電極に導電体を接続することを特徴とする光変調器。
- 請求項1又は2に記載の光変調器において、該ダミー用電極部は、前記信号電極の端部及びその周囲の接地電極に各々対応する形状を有したダミー信号電極とダミー接地電極とを有し、該ダミー信号電極と該ダミー接地電極との間には、該ダミー信号電極や該ダミー接地電極の厚みよりも薄い薄電極が形成されていることを特徴とする光変調器。
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