JP4541675B2 - 回折光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図1乃至図3は、本発明に係る回折光学素子の製造方法の説明図である。図2のように、本例において製造する回折光学素子E1は、平面、球面、あるいは非球面いずれかの連続面をベース面102とし、そのベース面102上に、位相関数により定義される回折格子101が形成される回折光学素子であり、その回折光学素子の製造工程において形状を修正する。110は、連続面として形状創成された光学有効面である。
図4は、図1中のステップS8、つまり格子なし素子E0の成形用金型の形状修正の具体的な実施方法の一例を説明するためのフローチャートである。
図5は、図1中のステップS8、つまり格子なし素子E0の成形用金型の形状修正の具体的な実施方法の他の例を説明するためのフローチャートである。
図6は、図1中の回折光学素子E1の形状測定(ステップS11)、およびベース面102の形状誤差の抽出(ステップS12)の具体例の説明図である。
まず、図7の演算処理の例について説明する。図7において、回折格子101の残差形状105は、図6(b)における残差形状105の一部を抜き出したものであり、厳密には、プローブを備える三次元形状測定装置により連続的に測定された点群データとして表される。この点群データの各測定点座標は、図示する座標系において、座標軸103により規定される点座標データp1と、座標軸104により規定される図示しない座標値(座標データ)とにより表される。ここで、座標軸103、104で規定される座標系において、回折格子101の設計形状は、座標軸103により規定される座標データp1に対して一意的に定まる。すなわち、位相関数で定義される回折格子101について、その位相関数から、図示する座標系中の座標データp1と同じ位置における設計形状の座標軸104方向の高さ108が一意に求まる。これより、この演算を連続的に全測定点群データ(座標軸103で規定される座標値)に対して行うことにより、ベース面102の形状誤差106をゼロとしたときの回折格子101の設計形状107が得られる。
次に、図8の演算処理の例について説明する。図8において、回折格子101の残差形状105は、図7と同様に、図6(b)における残差形状105の一部を抜き出したものであり、三次元形状測定装置により測定された点群データとして表される。本例では、次のような手順によって、回折格子101の残差形状105から回折格子101の設計形状を除去演算処理することにより、ベース面102の形状誤差106を抽出する。
図9は、図7および図8の例により抽出したベース面102の形状誤差106を使用して、図1における回折光学素子E1の成形用金型の形状修正(ステップS14)を実施する場合の具体例を説明するための図である。
102 ベース面
103、104 座標軸
105 残差形状
106 ベース面の形状誤差
107 回折格子の設計形状
108 高さ
110 光学有効面
111 光学有効面(ベース面)
E0 格子なし光学素子
E1 回折光学素子
Claims (1)
- 平面、球面、あるいは非球面いずれかの連続面をベース面とし、位相関数により定義される回折格子が前記ベース面上に形成される回折光学素子を製造する回折光学素子の製造方法において、
前記ベース面に前記回折格子が形成されていない格子なし素子を成形するための格子なし素子成形用金型を加工する工程と、
前記格子なし素子成形用金型を用いて成形した前記格子なし素子の前記ベース面の形状を測定する工程と、
測定された前記ベース面の形状と予め定められたベース面の設計形状との差分を形状誤差とし、前記形状誤差が目標値を満たす前記格子なし素子を成形可能な前記格子なし素子成形用金型が得られるまで、前記格子なし素子成形用金型を修正加工する工程と、
前記形状誤差が前記目標値を満たす前記格子なし素子を成形可能な前記格子なし素子成形用金型に対して、前記格子なし素子の前記ベース面上に前記回折格子を形成するための形状を加工することにより、前記回折光学素子を成形するための回折光学素子成形用金型を得る工程と、
前記回折光学素子成形用金型を用いて、前記回折光学素子を成形する工程と、
前記回折光学素子の前記ベース面の形状と、前記ベース面の設計形状と、の差分を回折光学素子の形状誤差とし、前記回折光学素子の形状誤差が設計値として規定された公差規格を満たしていなければ、前記回折光学素子の形状誤差に基づいて作成された形状修正データに従って、前記回折光学素子成形用金型の形状を修正する工程と、
を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
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