JP5936336B2 - 形状評価方法、形状評価装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る形状評価装置が組み込まれている形状測定装置の概略構成を示す説明図である。形状測定装置100は、接触式のプローブ101と、被測定物としての光学素子102が載置される定盤103とを備えている。また、形状測定装置100は、ミラー等を有し、プローブ101の後端に取り付けられた干渉計104と、プローブ101を垂直方向に移動可能に支持したリニアガイド105とを備えている。定盤103は、床からの振動による影響を抑えるために、除振機能を備えていると良い。干渉計104は、プローブ101の3次元位置を測定する。
{q(i)}=[T(α)]{p(i)}・・・(1)
f(i)(r)=Σk(akrk)+h(i)・・・(2)
E(i)=Σ〔({q(i)}−{f(i)})・{n(i)}〕2・・・(3)
E=ΣiE(i)・・・(4)
次に、本発明の第2実施形態に係る形状評価装置を用いた形状評価方法について詳細に説明する。図7は、本発明の第2実施形態に係る形状評価装置のCPUによるフィッティング動作を説明するための図である。なお、本第2実施形態では、装置構成は、上記第1実施形態と同様であり、同一構成については、上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明し、その詳細な説明は省略する。また、本第2実施形態では、図3におけるステップS105のフィッティング工程及びステップS106の評価工程が異なり、ステップS105,S106以外の処理は上記第1実施形態と同一である。したがって、本第3実施形態では、ステップS105,S106のフィッティング工程及び評価工程について詳細に説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る形状評価装置を用いた形状評価方法について説明する。図8は、本発明の第3実施形態に係る形状評価装置のCPUによるフィッティング動作を説明するための図である。なお、本第3実施形態では、装置構成は、上記第1実施形態と同様であり、同一構成については、上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明し、その詳細な説明は省略する。また、本第3実施形態では、図3におけるステップS105のフィッティング工程及びステップS106の評価工程が異なり、ステップS105,S106以外の処理は上記第1実施形態と同一である。したがって、本第3実施形態では、ステップS105,S106のフィッティング工程及び評価工程について詳細に説明する。
h(i)’=b×h(i)・・・(5)
h(i)’=h(i)+b・・・(6)
Claims (6)
- 帯面と前記帯面に交差する壁面とが交互に連続して形成された被測定面の形状測定結果を示す複数の点データから、前記被測定面の形状を評価する演算部を備えた形状評価装置を用いた形状評価方法において、
前記演算部が、前記帯面に対応する連続関数で表される参照式を、前記帯面ごとにそれぞれ設定し、前記各参照式の間で多項式で表した参照式の係数である形状係数を共通の値に設定するとともに、前記各参照式として、高さ方向の距離を表す距離係数を互いに異ならせた面関数を設定する参照式設定工程と、
前記演算部が、前記複数の点データから前記帯面に対応する点データを前記帯面ごとに抽出して、それぞれの抽出データを得る抽出工程と、
前記演算部が、前記各抽出データの座標変換に共通の座標変換パラメータを用いて、前記各抽出データについて、前記抽出データの点データを該抽出データに対応する前記参照式に座標変換によりフィッティングさせるフィッティング工程と、
前記演算部が、座標変換した前記抽出データの点データと前記参照式との差分データを評価指標として出力する評価工程と、を備えたことを特徴とする形状評価方法。 - 前記フィッティング工程では、前記演算部が、前記抽出データの点データと前記参照式とがフィッティングするように、前記各参照式の間で前記形状係数を共通の値で調整し、
前記評価工程では、前記演算部が、更にフィッティング後の前記形状係数に基づく評価指標を出力する、ことを特徴とする請求項1に記載の形状評価方法。 - 前記フィッティング工程では、前記演算部が、前記抽出データの点データと前記参照式とがフィッティングするように、前記各参照式の間で前記距離係数を共通の値で調整し、
前記評価工程では、前記演算部が、更にフィッティング後の前記距離係数に基づく評価指標を出力する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の形状評価方法。 - 帯面と前記帯面に交差する壁面とが交互に連続して形成された被測定面の形状測定結果を示す複数の点データから、前記被測定面の形状を評価する演算部を備えた形状評価装置において、
前記演算部は、
前記帯面に対応する連続関数で表される参照式を、前記帯面ごとにそれぞれ設定し、前記各参照式の間で多項式で表した参照式の係数である形状係数を共通の値に設定するとともに、前記各参照式として、高さ方向の距離を表す距離係数を互いに異ならせた面関数を設定し、
前記複数の点データから前記帯面に対応する点データを前記帯面ごとに抽出して、それぞれの抽出データを得て、
前記各抽出データの座標変換に共通の座標変換パラメータを用いて、前記各抽出データについて、前記抽出データの点データを該抽出データに対応する前記参照式に座標変換によりフィッティングさせ、
座標変換した前記抽出データの点データと前記参照式との差分データを評価指標として出力する、ことを特徴とする形状評価装置。 - コンピュータに請求項1乃至3のいずれか1項に記載の形状評価方法の各工程を実行させるためのプログラム。
- 請求項5に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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JP2011264390A JP5936336B2 (ja) | 2011-12-02 | 2011-12-02 | 形状評価方法、形状評価装置、プログラム及び記録媒体 |
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JPS63167301A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-11 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 透過型スクリ−ン |
JP4541675B2 (ja) * | 2003-10-06 | 2010-09-08 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子の製造方法 |
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