JP4541095B2 - Position-related data converter and component mounting board work system - Google Patents

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本発明は、位置関連データ変換装置に関するものであり、特に、座標変換によるデータ変換に関するものである。   The present invention relates to a position-related data conversion apparatus, and more particularly to data conversion by coordinate conversion.

位置関連データには、例えば、電子回路部品装着機において部品装着基板に電子回路部品を装着するための装着位置座標データがある。部品装着時には、装着ヘッドと部品供給装置および基板保持装置とが相対移動させられ、装着ヘッドにより部品供給装置から電子回路部品が取り出されるとともに、装着位置座標データに従って部品装着基板の部品装着位置に装着される。この際、部品保持具による電子回路部品の保持位置誤差、および基板保持装置による部品装着基板の保持位置誤差等に起因する部品装着位置の位置誤差を検出し、修正して電子回路部品を部品装着基板に装着することが行われているが、それでもなお電子回路部品の装着位置にずれが生ずることがある。そのため、下記の特許文献1に記載の電子回路部品実装システムにおいては、電子回路部品装着機とは独立して装着検査機が設けられ、装着精度が検査され、必要に応じて装着位置座標データが修正されるようにされている。電子回路部品の装着後、部品装着基板はそのままの姿勢で装着検査機へ送られ、撮像装置により電子回路部品が撮像され、その撮像データに基づいて位置ずれが検出され、部品装着位置データが自動で修正される。   The position related data includes, for example, mounting position coordinate data for mounting an electronic circuit component on a component mounting board in an electronic circuit component mounting machine. At the time of component mounting, the mounting head, the component supply device, and the substrate holding device are moved relative to each other, and the electronic circuit component is taken out from the component supply device by the mounting head and mounted at the component mounting position of the component mounting board according to the mounting position coordinate data. Is done. At this time, the position error of the component mounting position caused by the holding position error of the electronic circuit component by the component holder and the holding position error of the component mounting board by the board holding device is detected, corrected, and the electronic circuit component is mounted. Although mounting on a board is performed, there still may be a shift in the mounting position of electronic circuit components. Therefore, in the electronic circuit component mounting system described in Patent Document 1 below, a mounting inspection machine is provided independently of the electronic circuit component mounting machine, the mounting accuracy is inspected, and the mounting position coordinate data is stored as necessary. It has been fixed. After mounting the electronic circuit component, the component mounting board is sent to the mounting inspection machine in the same posture, the electronic circuit component is imaged by the imaging device, the positional deviation is detected based on the imaging data, and the component mounting position data is automatically Will be fixed.

それに対し、装着検査は、部品装着基板を表裏反転させ、電子回路部品が装着された側の面である部品既装着面を下向きにした状態で行われることがある。例えば、電子回路部品の本体の部品装着基板に装着される側の面であって、部品保持具により保持される側とは反対側の面に基準マークを複数設け、電子回路部品の部品供給装置からの取出し後、基準マークを撮像装置により撮像して部品保持具による電子回路部品の保持位置誤差を求め、修正して装着することがある。また、部品装着基板の複数の部品装着位置の各々について基準マークを複数設け、それらを撮像することにより部品装着位置の位置誤差を取得し、修正して装着することがある。この場合、部品装着基板が透明であれば、表裏反転させることにより、部品装着位置についても電子回路部品についても、部品装着基板の裏側から基準マークが透けて見えるため、それら基準マークを撮像し、撮像データに基づいて、装着された電子回路部品の装着位置ずれを取得することができる。
特開2003−110288号公報
On the other hand, the mounting inspection may be performed in a state in which the component mounting board is turned upside down and the component mounting surface, which is the surface on which the electronic circuit component is mounted, faces downward. For example, a plurality of reference marks are provided on the surface of the electronic circuit component main body mounted on the component mounting board on the side opposite to the side held by the component holder, and the electronic circuit component supply device In some cases, the reference mark is picked up by the image pickup device after taking out the image from the image pickup device, and the holding position error of the electronic circuit component by the component holder is obtained, corrected, and mounted. Further, a plurality of reference marks may be provided for each of a plurality of component mounting positions on the component mounting board, and a position error of the component mounting position may be acquired by taking an image thereof, and may be corrected and mounted. In this case, if the component mounting board is transparent, by reversing the front and back, both the component mounting position and the electronic circuit component can be seen through the reference marks from the back side of the component mounting board. Based on the imaging data, the mounting position shift of the mounted electronic circuit component can be acquired.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-110288

しかしながら、このように部品装着基板を表裏反転させた状態で装着位置ずれを取得した場合、そのずれに基づいて作業者が装着位置座標データを修正しようとすれば、面倒であり、作業ミスが生じ易い。部品装着基板は、装着検査機の検査座標面に対して表裏反転させられた状態でセットされ、X軸,Y軸方向における各装着位置ずれが検出される。この検査座標面のX軸,Y軸の方向および正負の向きは、装着位置座標データが作成される設計座標面および電子回路部品装着機について設定される基準座標面と同じであり、部品装着基板がY軸まわりの回転により表裏反転させられたとすれば、X軸方向における装着位置ずれの正負が装着時とは逆になり、作業者は、そのことを考えながら装着位置を修正することが必要であり、作業が面倒であり、ミスが生じ易いのである。
本発明は、上記の事情を背景とし、データ変更が容易な位置関連データ変換装置を提供することを課題として為されたものである。
However, when the mounting position deviation is acquired with the component mounting board reversed in this way, if the operator tries to correct the mounting position coordinate data based on the deviation, it is troublesome and an operation error occurs. easy. The component mounting board is set in a state where the front and back are reversed with respect to the inspection coordinate plane of the mounting inspection machine, and each mounting position shift in the X-axis and Y-axis directions is detected. The X and Y axis directions and the positive and negative directions of the inspection coordinate plane are the same as the design coordinate plane on which the mounting position coordinate data is created and the reference coordinate plane set for the electronic circuit component mounting machine. If the front and back are reversed by rotation around the Y axis, the sign of the mounting position shift in the X axis direction is opposite to that at the time of mounting, and the operator needs to correct the mounting position while considering that fact. Therefore, the work is troublesome and mistakes are likely to occur.
The present invention has been made in view of the above circumstances and has as its object to provide a position-related data conversion device that allows easy data change.

上記の課題を解決するために、本発明に係る位置関連データ変換装置は、(a)互いに直交するX軸とY軸とを座標軸とする第一座標面上における、電子回路部品が装着されることにより電子回路を構成する基板の少なくとも1点の位置に関連するデータである位置関連データを記憶する記憶手段と、(b)その記憶手段に記憶された前記位置関連データに、互いに直交するX軸とY軸とを座標軸とするとともにX軸とY軸とのそれぞれについて正負の方向が前記第一座標面と同じである第二座標面への座標変換を施すべきことを指示する座標変換指示部と、(c)その座標変換指示部による座標変換指示に従って前記記憶手段に記憶された前記位置関連データの前記第二座標面への座標変換を施す座標変換部と、(d)その第二座標面上において前記位置関連データに変更を加えるデータ変更部と、(e)そのデータ変更部により変更された前記位置関連データを前記第一座標面上における位置関連データに逆座標変換すべきことを指示する逆座標変換指示部と、(f)その逆座標変換指示部の指示に従って逆座標変換を施す逆座標変換部とを含み、かつ、前記座標変換指示部が前記座標変換部において施すべき座標変換の種類を指示する変換座標指示部を含み、その変換座標指示部により指示される座標変換の種類が、前記X軸まわりの回転による表裏反転, 前記Y軸まわりの回転による表裏反転, 正方向の回転および逆方向の回転のうちの少なくとも2つを含むように構成される。
記憶手段等、本位置関連データ変換装置の構成要素は、1つの装置に設けられてもよく、複数の装置に分けて設けられてもよい。後者の場合、複数の装置間においてデータのやり取りが、例えば、それら装置を通信線や接続線により接続することにより行われ、あるいは無線通信により行われ、あるいはデータをフレキシブルディスク等の磁気記録媒体,光ディスク,光磁気ディスク等,種々の記録媒体に記録させた状態で行われるようにされて共同して位置関連データ変換装置を構成するようにされる。これら通信線等は、データ伝達手段を構成し、データ伝達制御部ないしデータ取得部により制御されてデータのやりとりや取得が行われる。
データ変更部による位置関連データの変更は、例えば、データの変更,修正,追加,受取り等、種々の態様で行うことができる。
In order to solve the above-described problems, a position-related data conversion device according to the present invention has (a) an electronic circuit component mounted on a first coordinate plane having an X axis and a Y axis orthogonal to each other as coordinate axes. Storage means for storing position-related data, which is data related to the position of at least one point on the substrate constituting the electronic circuit, and (b) X orthogonal to the position-related data stored in the storage means. A coordinate conversion instruction for instructing that coordinate conversion to the second coordinate plane , in which the positive and negative directions are the same as those of the first coordinate plane, is to be performed for each of the X axis and the Y axis. parts and, (c) and the coordinate conversion specification unit coordinate conversion unit for performing a coordinate transformation to the second coordinate plane of the position-related data stored in the storage means in accordance with the coordinate conversion instruction by, (d) the second On the coordinate plane. A data changing unit for changing the data, and (e) an inverse coordinate conversion instruction for instructing that the position related data changed by the data changing unit should be converted into position related data on the first coordinate plane. instructions and parts, the type of inverse coordinate viewed contains an inverse coordinate transformation unit that performs conversion and coordinate transformation the coordinate conversion specification unit is to be performed in the coordinate conversion unit in accordance with an instruction (f) the reverse coordinate conversion specification unit The type of coordinate conversion indicated by the conversion coordinate instruction unit is the reverse of the front / back by rotation around the X axis, the reverse of the front / back by rotation around the Y axis, the forward rotation and the reverse direction Is configured to include at least two of the rotations .
The components of the position-related data conversion device such as storage means may be provided in one device, or may be provided separately in a plurality of devices. In the latter case, data is exchanged between a plurality of devices, for example, by connecting the devices by communication lines or connection lines, or by wireless communication, or data is stored in a magnetic recording medium such as a flexible disk, The position-related data conversion apparatus is configured to be performed in a state where it is recorded on various recording media such as an optical disk and a magneto-optical disk. These communication lines and the like constitute data transmission means, and are controlled by a data transmission control unit or a data acquisition unit to exchange and acquire data.
The change of the position related data by the data changing unit can be performed in various modes such as change, correction, addition, and reception of data.

本発明に係る位置関連データ変換装置によれば、例えば、作業者が位置関連データを変更する場合、容易にかつミス少なく変更することができる。データ変更は第二座標面上において行われるが、変更された位置関連データは逆変換により、自動的に第一座標面上における位置関連データとされるため、作業者は、基板が第二座標面上にあるものとしてデータ変更を行えばよく、自身で第一座標面上におけるデータ変更に換算して変更作業を行わなくてよいからである。
According to the position-related data conversion device according to the present invention, for example, when an operator changes position-related data, it can be changed easily and with few mistakes. Since although the data changes are made on the second coordinate plane, the position related data are changed to the reverse conversion, are automatically position-related data in the first coordinate plane, the worker, the substrate is the second coordinate This is because it is only necessary to change the data as if it is on the surface, and it is not necessary to change the data on the first coordinate surface by itself.

発明の態様Aspects of the Invention

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明(以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。)の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載,実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
The following invention which is considered claimable (hereinafter referred to as "claimable invention". Claimable invention, subordinate concepts invention and the present gun invention, the preamble or another concept of the present invention In some embodiments, the invention may be included and described below. As with the claims, each aspect is divided into sections, each section is numbered, and is described in a form that cites the numbers of other sections as necessary. This is for the purpose of facilitating the understanding of the claimable invention, and is not intended to limit the combinations of the constituent elements constituting the claimable invention to those described in the following sections. In other words, the claimable invention should be construed in consideration of the description accompanying each section, the description of the embodiments, etc., and as long as the interpretation is followed, another aspect is added to the form of each section. In addition, an aspect in which constituent elements are deleted from the aspect of each item can be an aspect of the claimable invention.

(1)第一座標面上における座標変換対象物の少なくとも1点の位置に関連するデータである位置関連データを記憶する記憶手段と、
その記憶手段に記憶された前記位置関連データに第二座標面への座標変換を施すべきことを指示する座標変換指示部と、
その座標変換指示部による座標変換指示に従って前記記憶手段に記憶された前記位置関連データの第二座標面への座標変換を施す座標変換部と、
その第二座標面上において前記位置関連データに変更を加えるデータ変更部と、
そのデータ変更部により変更された前記位置関連データを前記第一座標面上における位置関連データに逆座標変換すべきことを指示する逆座標変換指示部と、
その逆座標変換指示部の指示に従って逆座標変換を施す逆座標変換部と
を含む位置関連データ変換装置。
(2)前記座標変換指示部が、前記記憶手段に記憶された前記位置関連データに施すべき座標変換の種類を指示する変換座標指示部を含む(1)項に記載の位置関連データ変換装置。
座標変換の種類には、(8)項の位置関連データ変換装置について記載されているものをはじめ、種々の種類がある。座標変換指示部は、常に同じ座標変換(例えば、座標変換対象物の表裏反転)を指示するのみのものでもよいが、本項の位置関連データ変換装置によれば、複数種類の座標変換のうちの少なくとも1つの実行が指示され、複数種類の座標変換の少なくとも1つが選択的に実行され、位置関連データの座標変換が多彩に行われる。(3)前記座標変換部により座標変換された前記位置関連データと、座標変換された前記座標変換対象物の像との少なくとも一方を表示する表示部を含む(1)項または(2)項に記載の位置関連データ変換装置。
表示部が記憶手段に記憶された位置関連データを表示するようにしてもよい。
表示部は、種々の態様で構成される。特に、位置関連データを表示する表示部は、表示画面の他、7本の線(セグメント)を8の字形に組み合わせるとともに、適宜の線を光らせることにより0から9までの数字を表示する数値表示部,複数のランプを含み、それらの選択的な点灯によりデータを表す表示部等、種々の態様で構成することができる。
位置関連データと座標変換対象物の像との少なくとも一方が表示されれば、例えば、作業者がその表示を参考にしつつ容易にデータ変更を行うことができる。特に、座標変換対象物の像が表示されるのであれば、座標変換により座標変換対象物がどのような状態にあるかを確認しながらデータ変更を行うことができ、便利である。
(4)前記表示部が表示画面を含む(3)に記載の位置関連データ変換装置。
表示画面によれば、例えば、複数のデータを一度に表示することができる。また、画面を連続的に切り換えることにより、あるいは画面単位で切り換えることにより、多量のデータを容易に表示することができる。
(5)前記座標変換部が、前記座標変換対象物の前記第一座標面の原点に対する実体的な相対位置と前記第二座標面の原点に対する実体的な相対位置とが前記座標変換の前後において変わらないように座標変換を行うものである(1)項ないし(4)項のいずれかに記載の位置関連データ変換装置。
(6)項の位置関連データ変換装置は、本項の位置関連データ変換装置の一例であるが、その他に、例えば、座標変換対象物上に設定された基準点と、第一座標面の原点および第二座標面の原点との距離が常に一定である態様も本項の一態様である。
本項の位置関連データ変換装置によれば、例えば、作業者がデータ変更を行う場合、容易に行うことができる。座標変換による、座標変換対象物の第一,第二座標面の原点に対する相対位置の変化を考慮しなくてよいからである。また、実体的な相対位置が変わらない分、座標変換の演算が簡単になり、迅速に行われる場合がある。
(6)前記座標変換部が、前記座標変換対象物上に設定された基準点と前記第一座標面の原点および第二座標面の原点とが一致するように座標変換を行うものである(5)項に記載の位置関連データ変換装置。
例えば、記憶手段に記憶された位置関連データが、座標変換対象物上に設定された基準点を基準として作成されている場合、座標変換後の位置関連データも、座標変換対象物の基準点を基準とするデータとなり、座標変換が単純で済む。
(7)前記第一座標面と第二座標面とが共にX軸同士とY軸同士とが互いに平行であり、かつ、X軸とY軸とのそれぞれについて正負の向きが同じである(1)項ないし(6)項のいずれかに記載の位置関連データ変換装置。
第一,第二座標面がXY座標面である場合、一方のX軸と他方のY軸、一方のY軸と他方のX軸とが互いに平行であったり、X軸同士とY軸同士とが互いに平行であっても、X軸とY軸との少なくとも一方について正負の向きが逆である等、種々の態様の座標面とすることができるが、本項の位置関連データ変換装置によれば、座標変換が特に単純で済む。また、作業者による位置関連データの変更が容易である。変更されたデータは、座標変換対象物が第一座標面にある状態でのデータとは異なるが、逆変換により第一座標面にある状態でのデータが得られるため、作業者は第二座標面においても座標変換対象物が第一座標面内にある場合と同様に考えてデータ変更を行うことができる上、第二座標面は第一座標面に対して、X軸およびY軸の方向の変化も、正負の向きの変化もなく、第二座標面においても座標変換対象物が第一座標面にある場合と同様にデータ変更を行うことができるからである。
また、本項が(5)項および(6)項に従属する態様では、後に発明の実施例の項において説明するように、X座標とY座標との単純な置換あるいは符号の変更によって座標変換を行うことができ、座標変換が非常に単純で済む。
(8)前記座標変換指示部が、前記記憶手段に記憶された前記位置関連データに施すべき座標変換の種類を指示する変換座標指示部を含み、その変換座標指示部により指示することができる座標変換の種類が、X軸まわりの回転による表裏反転, Y軸まわりの回転による表裏反転, 正方向の回転および逆方向の回転のうちの少なくとも2つを含む(7)項に記載の位置関連データ変換装置。
(9)前記回転の角度の絶対値が90度である(8)項に記載の位置関連データ変換装置。
角度の絶対値が90度である回転による座標変換は、比較的単純であり、変換が容易である。
(10)前記座標変換指示部および前記逆座標変換指示部がそれぞれ、前記座標変換および前記逆座標変換を複数種類、重ねて指示することが可能な(8)項または(9)項に記載の位置関連データ変換装置。
本項の位置関連データ変換装置によれば、座標変換の種類より多くの態様で座標変換を行うことができる。
(11)前記表示部により前記座標変換の種類が表示されるとともに、前記座標変換指示部が、表示された座標変換の種類の中から実行する座標変換を選択する座標変換種類選択部を含む(3)項ないし(10)項のいずれかに記載の位置関連データ変換装置。
座標変換の種類が表示されるため、種類の指示が容易である。全部の座標変換の種類が同時に表示されるのであれば、特に選択が容易である。
(12)前記座標変換対象物が、電子回路部品が装着されることにより電子回路を構成する部品装着基板である(1)項ないし(11)項のいずれかに記載の位置関連データ変換装置。
部品装着基板には、液晶パネルやプラズマ表示パネル等を構成するガラス基板のような透明基板や、紙あるいはガラス布等の基材にエポキシ樹脂等の合成樹脂が含浸させられた基板のような不透明基板がある。部品装着基板を表裏反転させた状態で裏側から部品装着基板を認識する際、部品装着基板の表面に装着された電子回路部品等を、その位置を特定し得るほど明確に認識することができるのであれば、透明であると言うことができ、電子回路部品等を全く認識できない場合および全く認識できないのではないが、位置を特定することができない場合は不透明であるとする。
部品装着基板には、プリント等により回路パターンが設けられ、電子回路部品が装着される。部品装着基板は、電子回路部品が搭載されているのみで未だ電気的に接合されていないものでもよく、電気的に接合されて電子回路部品の実装が完了したものでもよく、それらの間の過程にある半製品でもよい。
また、電子回路部品は、部品装着基板に実装されて電子回路を形成する部品であればよく、単体の部品でもよく、部品装着基板に電子回路部品が装着されて電子回路が形成されたものでもよい。
(13)前記位置関連データが、前記部品装着基板に設けられた回路パターンに装着されて電子回路を構成する電子回路部品の装着位置に関連する装着位置関連データを含み、その装着位置関連データが、電子回路部品の装着位置を規定する装着位置座標データと電子回路部品の装着位置のずれに関する装着位置ずれ関連データとの少なくとも一方を含む(12)項に記載の位置関連データ変換装置。
装着位置ずれ関連データは、例えば、装着位置ずれデータと装着位置ずれを打ち消すための装着位置ずれ解消データとの少なくとも一方を含む。
本項の位置関連データ変換装置によれば、装着位置関連データについて座標変換が施され、変更される。
(14)前記データ変更部が、前記装着位置座標データと前記装着位置ずれ関連データとの少なくとも一方を修正し、装着位置修正データを取得する部品装着位置修正部を含む(13)項に記載の位置関連データ変換装置。
装着位置修正データは、設計上の装着位置座標データおよび修正された装着位置ずれ関連データである修正装着位置ずれ関連データを含むデータでもよく、修正された装着位置座標データである修正装着位置座標データを含むデータでもよく、修正装着位置ずれ関連データを含むデータでもよい。
装着位置修正データが設計上の装着位置座標データおよび修正装着位置ずれ関連データを含む場合、装着位置ずれ関連データが修正され、設計上の装着位置座標データと修正装着位置ずれ関連データとにより、電子回路部品をずれを打ち消して装着し得る装着位置座標データが得られ、装着位置座標データが間接的に修正される。この場合、装着位置座標データの修正時には、修正装着位置ずれ関連データが修正され、修正が複数回行われる場合、最新の修正装着位置ずれ関連データが修正され、新たな修正装着位置ずれ関連データが得られる。装着位置ずれ関連データが装着位置ずれデータであっても、装着位置ずれ解消データであっても、修正により、最新のデータに更新される。装着位置修正データが修正装着位置座標データを含む場合、装着位置座標データが直接修正され、電子回路部品をずれを打ち消して装着し得る装着位置座標データそのものが得られる。
(15)前記逆座標変換指示部が、前記装着位置修正データの逆変換を指示し、逆座標変換部が、逆座標変換指示部による指示に従って装着位置修正データを逆変換する(14)項に記載の位置関連データ変換装置。
設計上の装着位置座標データが部品装着基板が第一座標面にある状態で作成されるとすれば、装着位置修正データが逆変換されることにより、電子回路部品の部品装着基板への装着に使用されるデータであって、修正されて装着が精度良く行われる装着位置座標データが得られる。
(16)前記データ変更部がデータを入力するデータ入力部を含む(1)項ないし(15)項のいずれかに記載の位置関連データ変換装置。
データ入力部は、マウス,トラック・ボール,タッチパネル等のポインティングデバイス,キーボード等、種々の入力装置の少なくとも1つを含むものとすることができる。
(17)(12)項に記載の位置関連データ変換装置と、
部品装着基板を保持する基板保持装置と、
前記部品装着基板に作業を施す作業ヘッドと、
前記基板保持装置と前記作業ヘッドとを相対移動させる相対移動装置と、
前記位置関連データ変換装置,前記基板保持装置,前記作業ヘッドおよび前記相対移動装置を制御する制御装置と
を含む対部品装着基板作業システム。
作業ヘッドには、例えば、電子回路部品を部品装着基板に装着する装着ヘッド、クリーム状はんだや接着剤等の高粘性流体を部品装着基板に塗布する塗布ヘッド、電子回路部品の部品装着基板への装着状態を検査する装着検査ヘッド、高粘性流体の部品装着基板への塗布状態を検査する塗布検査ヘッド、ACF(Anisotropic Conductive Film ,異方性導
電膜)貼付ヘッド等がある。装着ヘッドには、例えば、部品装着基板の高粘性流体が塗布された部品装着位置への電子回路部品の載置を行うものや、部品装着基板上に電子回路部品を載置し、加圧するものや、更に加熱を行うものがある。ACF貼付ヘッドには、例えば、ガラス基板の電極端子にACFを貼り付けるものがある。
作業ヘッド等、位置関連データ変換装置以外の構成要素は、対部品装着基板作業機を構成する。位置関連データ変換装置は、全部が1つの対部品装着基板作業機に設けられてもよく、少なくとも一部が対部品装着基板作業機とは独立して設けられてもよい。位置関連データ変換装置の少なくとも一部が対部品装着基板作業機に対して独立して設けられる場合、その独立した少なくとも一部は、例えば、対部品装着基板作業機を含む生産ラインを統括して制御する統括制御コンピュータに設けてもよく、統括制御コンピュータとは別に設けてもよい。
本項の対部品装着基板作業システムにおいては、位置関連データが、作業ヘッドの作業位置に関連するデータである作業位置関連データを含み、作業位置関連データは、例えば、作業位置座標データと作業位置ずれ関連データとの少なくとも一方を含む。(13)項ないし(16)項に記載の位置関連データ変換装置の各特徴は、装着ヘッドを作業ヘッドと置き換え、作業ヘッドが装着ヘッド以外の作業ヘッドである場合にも採用可能であり、本項の対部品装着基板作業システムによれば、(1)項ないし(16)項に記載の各作用および効果を得ることができるとともに、例えば、データ変更が容易であって、作業が精度良く行われる作業システムが得られる。例えば、作業ヘッドが接着剤塗布ヘッドであれば、接着剤塗布位置関連データの変更が容易に行われるとともに、塗布が精度良く行われる接着剤塗布システムが得られる。
(18)(12)ないし(16)項のいずれかに記載の位置関連データ変換装置と、
電子回路部品を供給する部品供給装置と、
部品装着基板を保持する基板保持装置と、
前記部品供給装置から前記電子回路部品を受け取って前記部品装着基板に装着する装着ヘッドと、
前記部品供給装置と前記基板保持装置と前記装着ヘッドとを相対移動させる相対移動装置と、
少なくとも前記位置関連データ変換装置,前記基板保持装置,前記装着ヘッドおよび前記相対移動装置を制御する制御装置と
を含む電子回路部品装着システム。
本項によれば、例えば、装着位置関連データの変更が容易であって、電子回路部品の部品装着基板への装着が精度良く為される電子回路部品装着システムが得られる。
(1) storage means for storing position related data, which is data related to the position of at least one point of the coordinate conversion object on the first coordinate plane;
A coordinate conversion instruction unit for instructing that the position-related data stored in the storage means should be subjected to coordinate conversion to the second coordinate plane;
A coordinate conversion unit that performs coordinate conversion to the second coordinate plane of the position-related data stored in the storage unit according to a coordinate conversion instruction by the coordinate conversion instruction unit;
A data changing unit for changing the position related data on the second coordinate plane;
An inverse coordinate conversion instruction unit for instructing that the position related data changed by the data change unit should be inversely converted into position related data on the first coordinate plane;
A position-related data conversion device including an inverse coordinate conversion unit that performs inverse coordinate conversion in accordance with an instruction from the inverse coordinate conversion instruction unit.
(2) The position-related data conversion device according to (1), wherein the coordinate conversion instruction unit includes a conversion coordinate instruction unit that indicates a type of coordinate conversion to be performed on the position-related data stored in the storage unit.
There are various types of coordinate conversion including those described for the position-related data conversion apparatus in item (8). The coordinate conversion instructing unit may always only instruct the same coordinate conversion (for example, the front and back inversion of the coordinate conversion object), but according to the position-related data conversion apparatus of this section, Is executed, and at least one of a plurality of types of coordinate transformation is selectively executed, and the coordinate transformation of the position-related data is performed in various ways. (3) Item (1) or (2) includes a display unit that displays at least one of the position-related data coordinate-transformed by the coordinate transformation unit and the coordinate-transformed image of the coordinate transformation object. The position related data converter described.
The display unit may display the position related data stored in the storage unit.
The display unit is configured in various ways. In particular, the display unit for displaying position-related data is a numerical display that displays a number from 0 to 9 by combining seven lines (segments) into an 8-character shape and illuminating appropriate lines in addition to the display screen. It can be configured in various manners, such as a display unit that includes a unit and a plurality of lamps, and displays data by selectively lighting them.
If at least one of the position-related data and the image of the coordinate conversion object is displayed, for example, the operator can easily change the data while referring to the display. In particular, if an image of a coordinate conversion object is displayed, it is convenient because data can be changed while checking the state of the coordinate conversion object by coordinate conversion.
(4) The position related data conversion device according to (3), wherein the display unit includes a display screen.
According to the display screen, for example, a plurality of data can be displayed at a time. A large amount of data can be easily displayed by switching the screen continuously or by switching the screen unit.
(5) The coordinate conversion unit is configured so that a substantial relative position of the coordinate conversion object with respect to the origin of the first coordinate plane and a substantial relative position with respect to the origin of the second coordinate plane are before and after the coordinate conversion. The position-related data conversion device according to any one of items (1) to (4), which performs coordinate conversion so as not to change.
The position-related data conversion device in (6) is an example of the position-related data conversion device in this section.In addition, for example, the reference point set on the coordinate conversion object and the origin of the first coordinate plane An aspect in which the distance from the origin of the second coordinate plane is always constant is also an aspect of this section.
According to the position-related data conversion device of this section, for example, when an operator changes data, it can be easily performed. This is because it is not necessary to consider the change in the relative position of the coordinate conversion object with respect to the origin of the first and second coordinate planes due to the coordinate conversion. In addition, since the substantial relative position does not change, the calculation of coordinate conversion is simplified and may be performed quickly.
(6) The coordinate conversion unit performs coordinate conversion so that the reference point set on the coordinate conversion object matches the origin of the first coordinate plane and the origin of the second coordinate plane. The position-related data converter according to item 5).
For example, when the position related data stored in the storage means is created based on the reference point set on the coordinate conversion object, the position related data after the coordinate conversion also uses the reference point of the coordinate conversion object. It becomes the reference data, and the coordinate conversion is simple.
(7) The first coordinate plane and the second coordinate plane are both parallel to each other in X-axis and Y-axis, and the positive and negative directions are the same for each of the X-axis and Y-axis (1 The position-related data converter according to any one of items) to (6).
When the first and second coordinate planes are XY coordinate planes, one X-axis and the other Y-axis, one Y-axis and the other X-axis are parallel to each other, or between the X-axis and the Y-axis Are parallel to each other, it is possible to use coordinate planes of various modes such that the positive and negative directions are reversed with respect to at least one of the X-axis and Y-axis. For example, coordinate conversion is particularly simple. In addition, it is easy for the operator to change the position related data. The changed data is different from the data in the state where the coordinate conversion object is in the first coordinate plane, but the data in the state in the first coordinate plane is obtained by reverse conversion, so the operator can change the second coordinate In the plane, the data can be changed in the same way as when the coordinate conversion object is in the first coordinate plane, and the second coordinate plane is in the X-axis and Y-axis directions with respect to the first coordinate plane. This is because there is no change in the positive and negative directions, and the data can be changed on the second coordinate plane in the same manner as when the coordinate conversion object is on the first coordinate plane.
Further, in the embodiment in which this item is subordinate to the items (5) and (6), as will be described later in the section of the embodiment of the invention, the coordinate conversion is performed by simple replacement of the X coordinate and the Y coordinate or change of the sign. The coordinate transformation is very simple.
(8) The coordinate that the coordinate conversion instruction unit includes a conversion coordinate instruction unit that specifies a type of coordinate conversion to be performed on the position-related data stored in the storage unit, and can be instructed by the conversion coordinate instruction unit The position-related data described in (7), wherein the types of conversion include at least two of front / back inversion by rotation around the X axis, front / back inversion by rotation around the Y axis, forward rotation, and reverse rotation Conversion device.
(9) The position related data conversion device according to item (8), wherein the absolute value of the rotation angle is 90 degrees.
Coordinate conversion by rotation with an absolute angle value of 90 degrees is relatively simple and easy to convert.
(10) The coordinate conversion instructing unit and the inverse coordinate conversion instructing unit can respectively instruct the coordinate conversion and the inverse coordinate conversion in a plurality of types and in an overlapping manner. Position related data converter.
According to the position-related data conversion device of this section, coordinate conversion can be performed in more ways than types of coordinate conversion.
(11) The coordinate conversion type is displayed on the display unit, and the coordinate conversion instruction unit includes a coordinate conversion type selection unit that selects coordinate conversion to be executed from the displayed types of coordinate conversion. The position-related data converter according to any one of items 3) to (10).
Since the type of coordinate conversion is displayed, it is easy to specify the type. If all coordinate transformation types are displayed simultaneously, the selection is particularly easy.
(12) The position-related data conversion device according to any one of (1) to (11), wherein the coordinate conversion object is a component mounting board that forms an electronic circuit by mounting an electronic circuit component .
The component mounting board, such as a substrate which synthetic resin has been impregnated such as epoxy resin transparent substrates and such as a glass substrate constituting the liquid crystal panel and a plasma display panel or the like, the paper or substrate such as glass cloth There is an opaque substrate. When recognizing a component mounting board from the back side with the component mounting board turned upside down, the electronic circuit components mounted on the surface of the component mounting board can be clearly recognized so that the position can be specified. If it exists, it can be said that it is transparent, and it is assumed that it is opaque when the electronic circuit component or the like cannot be recognized at all or when it cannot be identified at all.
A circuit pattern is provided on the component mounting board by printing or the like, and an electronic circuit component is mounted. The component mounting board may be one in which electronic circuit components are mounted but not yet electrically joined, or one that is electrically joined to complete the mounting of electronic circuit components, and the process between them. A semi-finished product may be used.
The electronic circuit component may be a component that is mounted on a component mounting board to form an electronic circuit, may be a single component, or may be an electronic circuit formed by mounting an electronic circuit component on a component mounting board. Good.
(13) The position related data includes mounting position related data related to a mounting position of an electronic circuit component which is mounted on a circuit pattern provided on the component mounting board and constitutes an electronic circuit, and the mounting position related data is The position-related data conversion device according to item (12), including at least one of mounting position coordinate data defining a mounting position of the electronic circuit component and mounting position deviation related data relating to a shift in the mounting position of the electronic circuit component.
The attachment position deviation related data includes, for example, at least one of attachment position deviation data and attachment position deviation elimination data for canceling the attachment position deviation.
According to the position-related data conversion device of this section, the coordinate conversion is performed on the mounting position-related data and changed.
(14) The data change unit includes a component mounting position correction unit that corrects at least one of the mounting position coordinate data and the mounting position deviation related data, and acquires mounting position correction data. Position related data converter.
The mounting position correction data may be data including design mounting position coordinate data and corrected mounting position shift related data that is corrected mounting position shift related data, and corrected mounting position coordinate data that is corrected mounting position coordinate data. Or data including correction mounting position deviation related data.
When the mounting position correction data includes the design mounting position coordinate data and the corrected mounting position deviation related data, the mounting position shift related data is corrected, and the design mounting position coordinate data and the corrected mounting position shift related data Mounting position coordinate data that can be mounted by canceling the deviation of the circuit component is obtained, and the mounting position coordinate data is indirectly corrected. In this case, when the mounting position coordinate data is corrected, the corrected mounting position deviation related data is corrected, and when correction is performed a plurality of times, the latest corrected mounting position deviation related data is corrected, and new corrected mounting position deviation related data is obtained. can get. Regardless of whether the mounting position deviation related data is the mounting position deviation data or the mounting position deviation elimination data, the latest data is updated by the correction. When the mounting position correction data includes the corrected mounting position coordinate data, the mounting position coordinate data is directly corrected, and mounting position coordinate data itself that can be mounted by canceling the deviation is obtained.
(15) In the item (14), the inverse coordinate conversion instruction unit instructs reverse conversion of the mounting position correction data, and the inverse coordinate conversion unit reversely converts the mounting position correction data according to an instruction from the inverse coordinate conversion instruction unit. The position related data converter described.
If the design mounting position coordinate data is created in a state where the component mounting board is on the first coordinate plane, the mounting position correction data is inversely converted to mount the electronic circuit component on the component mounting board. It is the data to be used, and the mounting position coordinate data which is corrected and mounted with high accuracy is obtained.
(16) The position related data conversion device according to any one of (1) to (15), wherein the data changing unit includes a data input unit for inputting data.
The data input unit may include at least one of various input devices such as a mouse, a track / ball, a pointing device such as a touch panel, and a keyboard.
(17) The position related data conversion device according to item (12),
A board holding device for holding a component mounting board;
A working head for working on the component mounting board;
A relative movement device for relatively moving the substrate holding device and the working head;
A component mounting substrate work system including the position related data conversion device, the substrate holding device, the work head, and a control device for controlling the relative movement device.
The working head includes, for example, a mounting head for mounting an electronic circuit component on a component mounting board, an application head for applying a high-viscosity fluid such as cream solder or adhesive to the component mounting board, and an electronic circuit component to the component mounting board. There are a mounting inspection head for inspecting the mounting state, a coating inspection head for inspecting the application state of the high-viscosity fluid onto the component mounting substrate, an ACF (Anisotropic Conductive Film) application head, and the like. The mounting head, for example, places electronic circuit components on a component mounting position where a highly viscous fluid is applied to the component mounting board, or places electronic circuit components on the component mounting board and pressurizes them In addition, there are those that further heat. Some ACF sticking heads stick an ACF to an electrode terminal of a glass substrate, for example.
Components other than the position-related data converter, such as the work head, constitute a component-mounting board working machine. All of the position-related data conversion devices may be provided on one component-mounting board working machine, or at least a part thereof may be provided independently of the component-mounting board working machine. When at least a part of the position-related data conversion device is provided independently for the component mounting board work machine, the independent at least part controls, for example, a production line including the component mounting board work machine. It may be provided in the overall control computer to be controlled, or may be provided separately from the overall control computer.
In the component mounting substrate work system of this section, the position related data includes work position related data which is data related to the work position of the work head, and the work position related data includes, for example, work position coordinate data and work position. Including at least one of deviation-related data. Each feature of the position-related data conversion device described in the items (13) to (16) can be used even when the mounting head is replaced with a working head and the working head is a working head other than the mounting head. According to the component mounting substrate work system described in the item, each operation and effect described in the items (1) to (16) can be obtained, and for example, data can be easily changed, and the work can be performed with high accuracy. Work system is obtained. For example, if the working head is an adhesive application head, an adhesive application system can be obtained in which the application-related data is easily changed and the application is performed with high accuracy.
(18) The position-related data conversion device according to any one of (12) to (16),
A component supply device for supplying electronic circuit components;
A board holding device for holding a component mounting board;
A mounting head for receiving the electronic circuit component from the component supply device and mounting the electronic circuit component on the component mounting board;
A relative movement device for relatively moving the component supply device, the substrate holding device, and the mounting head;
An electronic circuit component mounting system including at least the position-related data conversion device, the substrate holding device, the mounting head, and a control device for controlling the relative movement device.
According to this section, for example, it is possible to obtain an electronic circuit component mounting system in which mounting position related data can be easily changed and electronic circuit components can be mounted on a component mounting board with high accuracy.

以下、請求可能発明のいくつかの実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。   Several embodiments of the claimable invention will now be described in detail with reference to the drawings. In addition to the following examples, the claimable invention can be practiced in various modifications based on the knowledge of those skilled in the art, including the aspects described in the above [Aspect of the Invention] section. .

本実施例の電子回路部品装着システムの電子回路部品装着機は、図5に示すように、液晶パネル28(図1参照)を構成する透明なガラス基板30に液晶駆動回路部品としてのチップ部品92をACFテープ8を用いて仮接合する装着機であり、請求可能発明の一実施例である装着位置関連データ変換装置と共に、対部品装着基板作業システムの一種である電子回路部品装着システムを構成する。   As shown in FIG. 5, the electronic circuit component mounting machine of the electronic circuit component mounting system of the present embodiment has a chip component 92 as a liquid crystal driving circuit component on a transparent glass substrate 30 constituting the liquid crystal panel 28 (see FIG. 1). Is an electronic machine component mounting system which is a kind of a component mounting board working system, together with a mounting position related data conversion device which is an embodiment of the claimable invention. .

チップ部品92は電子回路部品の一種であり、例えば、図4に示すフリップチップ等、種々の部品がある。チップ部品92は、本体94の裏面(ガラス基板30に装着される側の面(被装着面)であって、後述する装着ヘッドにより保持される側とは反対側の面)に複数、本実施例においては2個の基準マーク96が設けられている。これら基準マーク96は、本実施例においては不透明なマークとされており、本体94の対角線上において互いに隔たった位置に、チップ部品92の中心に対して対称に設けられ、その中心に対するX軸,Y軸の各方向における距離が等しい。以後、基準マーク96を部品マーク96と称する。チップ部品92がフリップチップの場合、図4に示すように、本体94の裏面側に多数のバンプ98が設けられ、部品マーク96は、それらバンプ98が設けられた領域から外れた部分に設けられている。バンプ98は、例えば、金により作られている。   The chip component 92 is a kind of electronic circuit component, and there are various components such as a flip chip shown in FIG. A plurality of chip components 92 are provided on the back surface of the main body 94 (the surface on the side mounted on the glass substrate 30 (the surface to be mounted) and the surface opposite to the side held by the mounting head described later). In the example, two reference marks 96 are provided. These reference marks 96 are opaque marks in this embodiment, and are provided symmetrically with respect to the center of the chip component 92 at positions separated from each other on the diagonal line of the main body 94, and the X axis, The distance in each direction of the Y axis is equal. Hereinafter, the reference mark 96 is referred to as a component mark 96. When the chip component 92 is a flip chip, as shown in FIG. 4, a large number of bumps 98 are provided on the back side of the main body 94, and the component mark 96 is provided in a portion outside the region where the bumps 98 are provided. ing. The bump 98 is made of, for example, gold.

ガラス基板30は、別のガラス基板130(図1参照)が組み付けられ、それらの間に液晶が封入されるとともに、電極端子上にACFテープ8(図5参照)が貼付された状態で電子回路部品装着機に搬入される。ガラス基板30はガラス基板130より大きく、ガラス基板30のガラス基板130から突出した縁部にチップ部品92が少なくとも1つ、装着される。ガラス基板30,130にはそれぞれ電極(図示省略)が設けられ、ガラス基板30の縁部には多数の電極の各々に接続された多数の電極端子たるパッド(図示省略)および入力端子(図示省略)等が設けられ、チップ部品92が接合される。   The glass substrate 30 is assembled with another glass substrate 130 (see FIG. 1), liquid crystal is enclosed between them, and an ACF tape 8 (see FIG. 5) is stuck on the electrode terminal in the electronic circuit. It is carried into the component mounting machine. The glass substrate 30 is larger than the glass substrate 130, and at least one chip component 92 is mounted on the edge of the glass substrate 30 protruding from the glass substrate 130. Each of the glass substrates 30 and 130 is provided with electrodes (not shown), and the edge of the glass substrate 30 has a number of pads (not shown) as input terminals (not shown) and input terminals (not shown) connected to each of a number of electrodes. Etc.) and the chip component 92 is joined.

ガラス基板30のチップ部品92が装着される部品装着面には、図3に示すように、基準マーク82が設けられている。この基準マーク82はローカルマークと称されるものであり、図2に示すように、ガラス基板30の1つの部品装着位置について複数個ずつ、本実施例においては2個ずつ設けられている。これら2個の基準マーク82は、チップ部品92がガラス基板30に装着された状態においてチップ部品92から外れた状態となり、部品装着位置を通る直線であって、装着されたチップ部品92の対角線上に位置する位置に設けられ、部品装着位置に対して対称であって、部品装着位置に対するX軸,Y軸の各方向における距離が等しい。基準マーク82は、本実施例では、不透明なものとされている。以後、基準マーク82を基板マーク82と称する。   A reference mark 82 is provided on the component mounting surface of the glass substrate 30 on which the chip component 92 is mounted, as shown in FIG. The reference marks 82 are referred to as local marks. As shown in FIG. 2, a plurality of reference marks 82 are provided for each component mounting position of the glass substrate 30, and two are provided in this embodiment. These two reference marks 82 are in a state of being detached from the chip component 92 when the chip component 92 is mounted on the glass substrate 30, and are straight lines passing through the component mounting position, on the diagonal line of the mounted chip component 92. Is located symmetrically with respect to the component mounting position, and the distances in the X-axis and Y-axis directions with respect to the component mounting position are equal. In this embodiment, the reference mark 82 is opaque. Hereinafter, the reference mark 82 is referred to as a substrate mark 82.

ACFテープ8は接続材の一種である異方性導電膜製のテープであり、本実施例では、熱可塑性樹脂フィルムの中に導電粒子、例えば、金粒の表面がニッケルによりめっきされた粒子が混入されたものとされている。ガラス基板30には少なくとも1つの部品装着位置が設定され、それら部品装着位置の各々に複数のパッドが設けられており、ACFテープ8は隣接する複数の部品装着位置の各パッドにわたって連続して貼り付けられる。ACFテープ8は、多数のパッドの他、図5に示すように、基板マーク82も覆い、ガラス基板30の、チップ部品92が装着された状態において部品マーク96に対応する状態となる部分も覆う状態で貼付される。   The ACF tape 8 is a tape made of an anisotropic conductive film, which is a kind of connecting material. In this embodiment, conductive particles, for example, particles having gold surfaces plated with nickel in a thermoplastic resin film are used. It is supposed to be mixed. At least one component mounting position is set on the glass substrate 30, and a plurality of pads are provided at each of the component mounting positions. The ACF tape 8 is continuously pasted over each pad at a plurality of adjacent component mounting positions. Attached. As shown in FIG. 5, the ACF tape 8 covers a substrate mark 82 as well as a large number of pads, and also covers a portion of the glass substrate 30 that corresponds to the component mark 96 when the chip component 92 is mounted. Affixed in state.

電子回路部品装着機は、図1および図2に概略的に示すように、基台10,基台10上に設けられた基板位置決め装置12,圧着台14,部品装着装置16,部品供給装置18および撮像システム22,これら装置12等を制御する制御装置24(図6参照)等を備えている。基板位置決め装置12は、基板保持部材としてのテーブル34およびテーブル移動装置36を備えている。テーブル移動装置36は、本実施例では、テーブル34を、水平面内において互いに直交する2方向であるX軸方向およびY軸方向と、それらX軸,Y軸方向と直交する鉛直方向であるZ軸方向とにそれぞれ移動させるとともに、Z軸方向に平行な軸線まわりに回転させる装置とされている。なお、これらX軸,Y軸方向は、本電子回路部品装着機について基準座標面として設定されたXY座標面上における方向である。   As schematically shown in FIGS. 1 and 2, the electronic circuit component mounting machine includes a base 10, a substrate positioning device 12 provided on the base 10, a crimping base 14, a component mounting device 16, and a component supply device 18. And an imaging system 22, a control device 24 (see FIG. 6) for controlling these devices 12, and the like. The substrate positioning device 12 includes a table 34 and a table moving device 36 as substrate holding members. In the present embodiment, the table moving device 36 is configured such that the table 34 is divided into two directions that are orthogonal to each other in the horizontal plane, that is, the X axis direction and the Y axis direction, and the Z axis that is the vertical direction orthogonal to the X axis and Y axis directions. And a device that rotates around an axis parallel to the Z-axis direction. These X-axis and Y-axis directions are directions on the XY coordinate plane set as the reference coordinate plane for the electronic circuit component mounting machine.

テーブル移動装置36は、図2に示すように、テーブルX軸方向移動装置40,テーブルY軸方向移動装置42,テーブルZ軸方向移動装置44およびテーブル回転装置46を含む。テーブルY軸方向移動装置42は、基台10上にY軸方向に移動可能に設けられたY軸スライダ48およびY軸スライダ48をY軸方向に移動させるY軸スライダ移動装置を含む。テーブルX軸方向移動装置40は、Y軸スライダ48上にX軸方向に移動可能に設けられたX軸スライダ50と、X軸スライダ50をX軸方向に移動させるX軸スライダ移動装置とを含む。テーブルZ軸方向移動装置44は、X軸スライダ50上に上下方向に移動可能に設けられたZ軸スライダ52と、Z軸スライダ52を昇降させるZ軸方向移動装置とを含む。これらX軸方向,Y軸方向およびZ軸方向の各移動装置はそれぞれ、サーボモータ54,56,58(図6参照)を駆動源として構成されており、X軸,Y軸,Z軸の各移動部材としてのスライダ50,48,52をそれぞれ、各軸方向において任意の位置へ移動させる。駆動源を構成するサーボモータ54,56,58はアクチュエータの一種であり、電動モータの一種である電動回転モータであって、回転角度の精度の良い制御が可能なモータである。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。リニアモータを駆動源としてもよい。   As shown in FIG. 2, the table moving device 36 includes a table X-axis direction moving device 40, a table Y-axis direction moving device 42, a table Z-axis direction moving device 44, and a table rotating device 46. The table Y-axis direction moving device 42 includes a Y-axis slider 48 provided on the base 10 so as to be movable in the Y-axis direction, and a Y-axis slider moving device that moves the Y-axis slider 48 in the Y-axis direction. The table X-axis direction moving device 40 includes an X-axis slider 50 provided on the Y-axis slider 48 so as to be movable in the X-axis direction, and an X-axis slider moving device that moves the X-axis slider 50 in the X-axis direction. . The table Z-axis direction moving device 44 includes a Z-axis slider 52 provided on the X-axis slider 50 so as to be movable in the vertical direction, and a Z-axis direction moving device that moves the Z-axis slider 52 up and down. These moving devices in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction are configured using servo motors 54, 56, and 58 (see FIG. 6) as drive sources, and each of the X-axis, Y-axis, and Z-axis movement devices. The sliders 50, 48 and 52 as moving members are moved to arbitrary positions in the respective axial directions. Servo motors 54, 56, and 58 that constitute a drive source are a kind of actuator, and are an electric rotary motor that is a kind of electric motor, and can control the rotation angle with high accuracy. A step motor may be used instead of the servo motor. A linear motor may be used as a drive source.

Z軸スライダ52上にテーブル34が鉛直軸線まわりに回転可能に設けられており、テーブル回転装置46により回転させられる。本実施例では、テーブル回転装置46は、テーブル34を鉛直軸線まわりに設定角度ずつ、例えば、90度ずつ割り出し回転させる装置とされている。テーブル34は、上向きの基板支持面62および基板吸着装置(図示省略)を備えている。基板吸着装置は、基板支持面62に開口させられた複数の吸着穴を備えており、それら吸着穴は切換弁を介して負圧源と大気とに選択的に連通させられ、負圧の供給により液晶パネル28を基板支持面62に吸着して保持し、大気に連通させられることにより液晶パネル28を開放する。   A table 34 is provided on the Z-axis slider 52 so as to be rotatable around a vertical axis, and is rotated by a table rotating device 46. In this embodiment, the table rotating device 46 is a device that indexes and rotates the table 34 by a set angle around the vertical axis, for example, by 90 degrees. The table 34 includes an upward substrate support surface 62 and a substrate suction device (not shown). The substrate suction device includes a plurality of suction holes opened in the substrate support surface 62, and these suction holes are selectively communicated with a negative pressure source and the atmosphere via a switching valve to supply negative pressure. Thus, the liquid crystal panel 28 is adsorbed and held on the substrate support surface 62, and the liquid crystal panel 28 is opened by being connected to the atmosphere.

部品装着装置16は、図1および図2に示すように、装着ヘッド350,装着ヘッド移動装置352,加熱装置354および加圧装置356を含む。装着ヘッド移動装置352は、本実施例では、それぞれサーボモータを駆動源とするヘッドY軸方向移動装置,ヘッドZ軸方向移動装置およびヘッド回転装置を備え、装着ヘッド350を、Y軸およびZ軸の各方向において任意の位置へ移動させるとともに、Z軸方向に平行な軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させる装置とされている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the component mounting device 16 includes a mounting head 350, a mounting head moving device 352, a heating device 354, and a pressure device 356. In this embodiment, the mounting head moving device 352 includes a head Y-axis direction moving device, a head Z-axis direction moving device, and a head rotating device, each of which uses a servo motor as a drive source. In this direction, the device is moved to an arbitrary position and rotated at an arbitrary angle in both forward and reverse directions around an axis parallel to the Z-axis direction.

装着ヘッド350は、ヘッドZ軸方向移動装置のZ軸方向に移動させられるZ軸スライダにZ軸方向に平行な回転軸線まわりに回転可能に設けられ、Z軸スライダから下方へ突出させられたヘッド本体360と、ヘッド本体360によりZ軸方向に相対移動可能に保持された部品保持具362とを含む。ヘッド本体360内にはエアシリンダ364が下向きにかつ相対回転不能に設けられ、そのピストンロッドの下端部に部品保持具362が保持されて、ヘッド本体360に対してZ軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能である。エア源からエアシリンダ364へ供給されるエアの圧力は減圧弁(図示省略)により制御され、後述するように、チップ部品92が予め設定された圧力で加圧されるようにされる。   The mounting head 350 is provided on a Z-axis slider that is moved in the Z-axis direction of the head Z-axis direction moving device so as to be rotatable around a rotation axis parallel to the Z-axis direction, and is protruded downward from the Z-axis slider. A main body 360 and a component holder 362 held by the head main body 360 so as to be relatively movable in the Z-axis direction are included. An air cylinder 364 is provided in the head main body 360 in a downward and non-rotatable manner, and a component holder 362 is held at the lower end portion of the piston rod so as to be relatively movable in the Z-axis direction with respect to the head main body 360. Relative rotation is impossible. The pressure of air supplied from the air source to the air cylinder 364 is controlled by a pressure reducing valve (not shown), and the chip component 92 is pressurized with a preset pressure, as will be described later.

部品保持具362は、ヘッド本体360から突出させられた下端部に部品保持部366を備えている。部品保持部366は、負圧によりチップ部品92を吸着して保持するものとされており、切換弁の切換えにより、負圧源と大気とに選択的に連通させられる。部品保持部366は、負圧源に連通させられ、負圧が供給されることによりチップ部品92を吸着し、大気に開放されることによりチップ部品92を開放する。部品保持部366に加熱装置354が設けられている。加熱装置354は、本実施例においてはヒータを含む。   The component holder 362 includes a component holder 366 at the lower end protruding from the head body 360. The component holding unit 366 sucks and holds the chip component 92 with negative pressure, and is selectively communicated with the negative pressure source and the atmosphere by switching the switching valve. The component holding unit 366 is connected to a negative pressure source, adsorbs the chip component 92 when negative pressure is supplied, and opens the chip component 92 when released to the atmosphere. A heating device 354 is provided in the component holding portion 366. The heating device 354 includes a heater in this embodiment.

前記部品供給装置18は、図1に示すように、基板位置決め装置12に対してY軸方向に離れた位置に設けられている。部品供給装置18は、本実施例では、トレイによって前記チップ部品92を供給するものとされている。チップ部品92は、本実施例では、図示を省略する部品取出装置によってトレイから取り出されるとともに仮置台(図示省略)上に置かれ、そのチップ部品92を装着ヘッド350が受け取る。また、前記圧着台14は基台10に、Y軸方向において基板位置決め装置12に隣接して設けられている。圧着台14は、基板支持部材であり、本実施例では透明材料の一種である石英ガラスにより作られ、光の透過を許容し、X軸方向に長く、Y軸方向から見た形状がコの字形を成し、水平な基板支持面370を備えている。   As shown in FIG. 1, the component supply device 18 is provided at a position away from the substrate positioning device 12 in the Y-axis direction. In this embodiment, the component supply device 18 supplies the chip component 92 by a tray. In this embodiment, the chip component 92 is taken out of the tray by a component take-out device (not shown) and placed on a temporary table (not shown), and the mounting head 350 receives the chip component 92. The crimping table 14 is provided on the base 10 adjacent to the substrate positioning device 12 in the Y-axis direction. The crimping base 14 is a substrate support member, and in this embodiment is made of quartz glass which is a kind of transparent material, allows light transmission, is long in the X-axis direction, and has a shape viewed from the Y-axis direction. It is shaped like a letter and has a horizontal substrate support surface 370.

前記撮像システム22は、本実施例では、図2に示すように、部品撮像ユニット380,基板撮像ユニット382および撮像ユニット移動装置384(図6参照)を備えている。部品撮像ユニット380は、部品撮像装置386および照明装置388(図6参照)を備え、Z軸方向において装着ヘッド350と圧着台14との間に位置させられ、装着ヘッド350により保持されたチップ部品92を下方から照明し、撮像する。基板撮像ユニット382は、基板撮像装置392および照明装置394(図6参照)を備え、前記圧着台14の下方に位置させられ、透明な圧着台14を通してガラス基板30を下方から撮像する。撮像装置386,392は、本実施例では、CCDカメラにより撮像を行う装置とされており、照明装置388,394はいずれも可視光を照射する装置とされている。撮像ユニット380,382は一体的に設けられ、共通の移動装置である撮像ユニット移動装置384によりX軸,Y軸およびZ軸の各方向に移動させられる。そのため、撮像ユニット移動装置384は、それぞれサーボモータを駆動源とするX軸,Y軸およびZ軸方向の各移動装置を備え、部品撮像ユニット380および基板撮像ユニット382を各軸方向において任意の位置へ移動させる。   In the present embodiment, the imaging system 22 includes a component imaging unit 380, a board imaging unit 382, and an imaging unit moving device 384 (see FIG. 6), as shown in FIG. The component imaging unit 380 includes a component imaging device 386 and an illumination device 388 (see FIG. 6), is located between the mounting head 350 and the crimping base 14 in the Z-axis direction, and is a chip component held by the mounting head 350. Illuminate 92 from below and take an image. The substrate imaging unit 382 includes a substrate imaging device 392 and an illumination device 394 (see FIG. 6), is positioned below the crimping table 14, and images the glass substrate 30 from below through the transparent crimping table 14. In this embodiment, the imaging devices 386 and 392 are devices that perform imaging with a CCD camera, and the illumination devices 388 and 394 are both devices that emit visible light. The imaging units 380 and 382 are integrally provided, and are moved in the X axis, Y axis, and Z axis directions by an imaging unit moving device 384 that is a common moving device. For this reason, the imaging unit moving device 384 includes moving devices in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions, each of which has a servo motor as a drive source, and the component imaging unit 380 and the board imaging unit 382 are placed at arbitrary positions in the respective axial directions. Move to.

前記制御装置24は、図6に示すように、CPU100,ROM102,RAM104およびそれらを接続するバスを有する装着制御コンピュータ106を主体とするものである。バスには入出力インタフェース108が接続されており、撮像装置386,392により得られた画像データを処理する画像処理コンピュータ110,撮像ユニット380,382,入力装置114,データ読取・書込装置116等が接続されている。入力装置114は、例えば、マウス等のポインティングデバイスおよびキーボードを含む。   As shown in FIG. 6, the control device 24 is mainly composed of a CPU 100, a ROM 102, a RAM 104, and a mounting control computer 106 having a bus for connecting them. An input / output interface 108 is connected to the bus, and an image processing computer 110 that processes image data obtained by the imaging devices 386 and 392, imaging units 380 and 382, an input device 114, a data reading / writing device 116, and the like. Is connected. The input device 114 includes, for example, a pointing device such as a mouse and a keyboard.

入出力インタフェース108にはまた、駆動回路120を介してサーボモータ54等、電子回路部品装着機を構成する各種装置の駆動源を構成する各種アクチュエータおよびプリンタ126等が接続され、制御回路122を介して表示画面124を制御するようにされている。表示画面124および制御装置24の表示画面124を制御する部分が表示装置を構成している。   The input / output interface 108 is also connected to various actuators constituting a drive source of various devices constituting the electronic circuit component mounting machine such as the servo motor 54 and the printer 126 via the drive circuit 120, and via the control circuit 122. The display screen 124 is controlled. The portion that controls the display screen 124 and the display screen 124 of the control device 24 constitutes the display device.

ROM102およびRAM104には、本電子回路部品装着機の基本動作プログラム,作業対象となるガラス基板30に応じた部品装着作業のプログラム(以後、部品装着プログラムと称する),部品装着位置関連データ修正作業のプログラム等、種々のプログラムおよびデータ等が記憶させられている。部品装着プログラムには、チップ部品92を供給する部品供給装置18およびその部品供給部に関するデータ,チップ部品92をガラス基板30に装着すべき位置である部品装着位置の座標データ,基板マーク82の位置の座標データ,電子回路部品の装着順序を規定するデータ,部品装着位置に装着される部品のデータ,および図示しないPDG(パーツデータジェネレータ)から供給された各部品の部品情報等が含まれている。装着順序は、複数の装着位置の各々について設定される。プログラムが基本動作プログラムによって実行されることにより、装着ヘッド350が装着ヘッド移動装置352により部品取出位置へ移動させられてチップ部品92を部品供給装置18から取り出し、ガラス基板30に設定された部品装着位置へ移動させられて装着する。   The ROM 102 and the RAM 104 store a basic operation program of the electronic circuit component mounting machine, a component mounting work program (hereinafter referred to as a component mounting program) corresponding to the glass substrate 30 to be operated, and a component mounting position related data correction operation. Various programs and data such as programs are stored. The component mounting program includes data regarding the component supply device 18 that supplies the chip component 92 and its component supply unit, coordinate data of the component mounting position that is the position where the chip component 92 should be mounted on the glass substrate 30, and the position of the substrate mark 82. Coordinate data, data defining the mounting order of electronic circuit components, data of components mounted at a component mounting position, component information of each component supplied from a PDG (part data generator) (not shown), and the like. . The mounting order is set for each of a plurality of mounting positions. When the program is executed by the basic operation program, the mounting head 350 is moved to the component extraction position by the mounting head moving device 352, the chip component 92 is extracted from the component supply device 18, and the component mounting set on the glass substrate 30 is performed. Move to position and wear.

部品装着プログラムに含まれる部品装着位置データは設計データであり、本実施例では、ガラス基板30上に予め設定された1点を基準点として作成されている。例えば、図1に示すガラス基板30は、互いに直交する2つの縁部がそれぞれガラス基板130から外方へ突出させられ、その長辺に平行な突出部である長辺側装着部250および短辺に平行な突出部である短辺側装着部252にそれぞれ、チップ部品92が装着されるものであるが、4つの頂点のうちの1つ、例えば、2つの装着部250,252の一方である長辺側装着部250の、他方である短辺側装着部252側とは反対側の頂点を基準点とし、その基準点がXY座標面である設計座標面の原点に位置し、長辺がX軸方向に平行になり、短辺がY軸方向に平行になるとともに、全部の部品装着位置の各座標値がX軸,Y軸共に負の値となる姿勢で設計データが作成される。ガラス基板30に装着される全部のチップ部品92の装着位置について、この姿勢で設計データが作成される。本電子回路部品装着機について設定された基準座標面は、ガラス基板30がテーブル34に支持されて長辺側装着部250にチップ92が装着される姿勢に位置決めされた状態において、X軸,Y軸がそれぞれ、設計座標面のX軸,Y軸に平行となり、X軸,Y軸の正負の向きが設計座標面のX軸,Y軸の正負の向きと同じになるように設定されている。設計座標面と電子回路部品装着機の基準座標面とは、ガラス基板30が、長辺側装着部250にチップ部品92が装着される姿勢に位置決めされた状態においてX軸とY軸とが互いに平行となるとともに、それらの正負の向きが一致する。基準座標面内における基準点の位置および装着位置座標データに基づいて、部品装着位置の電子回路部品装着機の基準座標面における位置が得られる。ガラス基板30の電子回路部品装着機において長辺側装着部250にチップ部品92が装着される状態での姿勢を基準姿勢とする。なお、本電子回路部品装着機においてチップ部品92が装着されるガラス基板が、その互いに直交する2辺の他、例えば、1辺,3辺あるいは4辺にチップ部品92が装着されるものである場合にも同様に基準点が設定され、全部の部品装着位置の各座標値がX軸,Y軸共に負の値となり、長辺がX軸方向に平行となる姿勢で設計データが作成される。これらガラス基板は、端点に基準点を有する長辺側装着部にチップ部品92が装着される状態での姿勢が基準姿勢となる。   The component mounting position data included in the component mounting program is design data. In this embodiment, the component mounting position data is created with one preset point on the glass substrate 30 as a reference point. For example, the glass substrate 30 shown in FIG. 1 has two edge portions orthogonal to each other protruding outward from the glass substrate 130, and a long side mounting portion 250 and a short side that are parallel to the long side. The chip component 92 is mounted on each of the short side mounting portions 252 that are parallel to the protrusions, but one of the four apexes, for example, one of the two mounting portions 250 and 252. The apex of the long side mounting portion 250 opposite to the other short side mounting portion 252 side is a reference point, the reference point is located at the origin of the design coordinate plane which is the XY coordinate plane, and the long side is The design data is created in such an attitude that the short side is parallel to the X-axis direction, the short side is parallel to the Y-axis direction, and the coordinate values of all the component mounting positions are negative values for both the X-axis and the Y-axis. Design data is created in this posture for the mounting positions of all the chip components 92 mounted on the glass substrate 30. The reference coordinate plane set for the electronic circuit component mounting machine is such that the glass substrate 30 is supported by the table 34 and positioned in a posture in which the chip 92 is mounted on the long side mounting unit 250. The axes are set to be parallel to the X and Y axes of the design coordinate plane, and the positive and negative directions of the X and Y axes are set to be the same as the positive and negative directions of the design coordinate plane. . The design coordinate plane and the reference coordinate plane of the electronic circuit component mounting machine are such that the X-axis and the Y-axis are in a state where the glass substrate 30 is positioned in a posture in which the chip component 92 is mounted on the long-side mounting portion 250. They are parallel and their positive and negative directions match. Based on the position of the reference point in the reference coordinate plane and the mounting position coordinate data, the position of the component mounting position on the reference coordinate plane of the electronic circuit component mounting machine is obtained. The posture in which the chip component 92 is mounted on the long side mounting portion 250 in the electronic circuit component mounting machine for the glass substrate 30 is defined as a reference posture. In addition, the glass substrate on which the chip component 92 is mounted in the electronic circuit component mounting machine is one in which the chip component 92 is mounted on, for example, one side, three sides, or four sides in addition to the two sides orthogonal to each other. In this case, the reference point is set in the same manner, and the design data is created with the posture in which the coordinate values of all the component mounting positions are negative on both the X axis and the Y axis, and the long side is parallel to the X axis direction. . In these glass substrates, the posture in the state where the chip component 92 is mounted on the long side mounting portion having the reference point at the end point is the reference posture.

本電子回路部品装着機は、ガラス基板30にチップ部品92を接続材としてのACFテープ8を用いて接続し、電子回路を形成する電子回路組立ラインを構成するものであり、図示は省略するが、基板搬送方向において電子回路部品装着機の上流側には、ガラス基板30にACFテープ8を貼付するACF貼付機が設けられ、下流側には、ガラス基板30に装着されて仮接続されたチップ部品92を加熱,加圧し、ガラス基板30とチップ部品92とにそれぞれ設けられた電極を電気的に接合する接合機ないし本圧着機が設けられている。ガラス基板30のACFテープ貼付機からの搬出および電子回路部品装着機への搬送,搬入と、ガラス基板30の電子回路部品装着機からの搬出および本圧着機への搬送,搬入とはそれぞれ、図示を省略するガラス基板搬送装置により行われる。   This electronic circuit component mounting machine constitutes an electronic circuit assembly line for forming an electronic circuit by connecting the chip component 92 to the glass substrate 30 using the ACF tape 8 as a connecting material, although illustration is omitted. An ACF sticking machine for sticking the ACF tape 8 to the glass substrate 30 is provided on the upstream side of the electronic circuit component placement machine in the substrate transport direction, and a chip attached to the glass substrate 30 and temporarily connected to the downstream side. There is provided a bonding machine or a main pressure bonding machine that heats and pressurizes the component 92 and electrically bonds the electrodes respectively provided on the glass substrate 30 and the chip component 92. The unloading of the glass substrate 30 from the ACF tape applicator and the transport and loading into the electronic circuit component mounting machine, and the unloading of the glass substrate 30 from the electronic circuit component mounting machine and the transport and loading into the main crimping machine are respectively shown in the figure. Is carried out by a glass substrate transfer device which omits the above.

前記本圧着機は、例えば、基板保持装置,加熱装置および加圧装置を備えている。加圧装置は、ACFテープ8を挟んで仮接合されたガラス基板30とチップ部品92とを上下から挟み、チップ部品92を、電子回路部品装着機において装着ヘッド350により行われる加圧より高い圧力で加圧し、加熱装置は装着ヘッド350により行われる加熱より高い温度で加熱する。これら加圧および加熱により、ACFテープ8は、チップ部品92の電極とガラス基板30の電極パッドとの間で貼り付けられ、チップ部品92がガラス基板30に固定されるとともに、ACFテープ8中の導電粒子によって両電極が電気的に接続される。   The main crimping machine includes, for example, a substrate holding device, a heating device, and a pressure device. The pressure device sandwiches the glass substrate 30 and the chip component 92, which are temporarily bonded with the ACF tape 8 interposed therebetween, from above and below, and the chip component 92 has a pressure higher than the pressure applied by the mounting head 350 in the electronic circuit component mounting machine. The heating device heats at a higher temperature than the heating performed by the mounting head 350. By these pressurization and heating, the ACF tape 8 is affixed between the electrode of the chip component 92 and the electrode pad of the glass substrate 30, and the chip component 92 is fixed to the glass substrate 30. Both electrodes are electrically connected by conductive particles.

ガラス基板30に装着されるチップ部品92がフリップチップ(以後、チップと略称する)である場合を例に取り、そのチップ92のガラス基板30への装着,装着状態の検査および装着位置関連データの修正を説明する。電子回路部品装着機には、液晶パネル28は、ガラス基板30の電極パッド上にACFテープ8が貼付された状態でACFテープ貼付機から搬入され、テーブル34の基板支持面62上に載置され、吸着されて保持される。この際、液晶パネル28は、図1および図2に示すように、長辺側装着部250および短辺側装着部252がテーブル34から外方へ突出した状態となるように保持される。また、テーブル34は、その基板支持面62が圧着台14の基板支持面370より高い位置に位置させられており、圧着台14に対して水平方向に移動することができる。   Taking the case where the chip component 92 mounted on the glass substrate 30 is a flip chip (hereinafter abbreviated as “chip”), the mounting of the chip 92 on the glass substrate 30, the inspection of the mounting state, and the mounting position related data Explain the correction. In the electronic circuit component mounting machine, the liquid crystal panel 28 is carried from the ACF tape applying machine in a state where the ACF tape 8 is applied to the electrode pad of the glass substrate 30 and placed on the substrate support surface 62 of the table 34. Adsorbed and held. At this time, the liquid crystal panel 28 is held so that the long side mounting portion 250 and the short side mounting portion 252 protrude outward from the table 34 as shown in FIGS. 1 and 2. Further, the table 34 is positioned at a position where the substrate support surface 62 is higher than the substrate support surface 370 of the crimping table 14, and can move in the horizontal direction with respect to the crimping table 14.

そして、まず、テーブル34がガラス基板30を、長辺側装着部250がX軸方向に平行となり、かつ、圧着台14上に位置する姿勢で保持してテーブル移動装置36により移動させられ、長辺側装着部250の複数の部品装着位置のうちの1つが水平面内において予め設定された圧着位置(本実施例ではX軸方向に長い圧着台14の長手方向の中央位置)の上方に位置させられる。   First, the table 34 is moved by the table moving device 36 while holding the glass substrate 30 in a posture in which the long side mounting portion 250 is parallel to the X-axis direction and positioned on the crimping table 14. One of the plurality of component mounting positions of the side mounting portion 250 is positioned above a preset crimping position (in this embodiment, the longitudinal center position of the crimping base 14 long in the X-axis direction) in the horizontal plane. It is done.

装着ヘッド350は装着ヘッド移動装置352によりY軸方向に移動させられ、部品供給装置18へ移動させられるとともに、ヘッドZ軸移動装置により下降させられ、部品保持部366が仮置台上に置かれたチップ92に当接させられるとともに、負圧の供給によりチップ92を吸着する。そして、装着ヘッド移動装置352により、装着ヘッド350が上昇させられるとともに、Y軸方向に移動させられて圧着位置へ移動させられ、ガラス基板30の圧着位置に位置決めされた部品装着位置の上方に位置させられる。   The mounting head 350 is moved in the Y-axis direction by the mounting head moving device 352, moved to the component supply device 18, and lowered by the head Z-axis moving device, and the component holding unit 366 is placed on the temporary table. While being brought into contact with the chip 92, the chip 92 is adsorbed by supplying negative pressure. Then, the mounting head 350 is moved up by the mounting head moving device 352, moved in the Y-axis direction, moved to the crimping position, and positioned above the component mounting position positioned at the crimping position of the glass substrate 30. Be made.

ガラス基板30およびチップ92の移動後、部品マーク96および基板マーク82が撮像される。撮像時には、部品撮像ユニット380および基板撮像ユニット382が撮像ユニット移動装置384により、退避位置から撮像位置へ移動させられる。撮像位置は、部品撮像ユニット380については、部品保持具362に保持されたチップ92の下方に位置し、部品マーク96を撮像する位置であり、基板撮像ユニット382についてはガラス基板30の部品装着位置の下方に位置し、基板マーク82を撮像する位置である。部品撮像ユニット380は撮像ユニット移動装置384によりX軸,Y軸方向に移動させられて、チップ92に設けられた2個の部品マーク96を1個ずつ撮像するようにされるとともに、上下方向に移動させられて部品マーク96に焦点が合わされる。基板撮像ユニット382も同様に、撮像ユニット移動装置384により移動させられ、焦点を合わされて部品装着位置に設けられた2個の基板マーク82を1個ずつ撮像する。ガラス基板30のZ軸方向の位置(高さ)も必要に応じてテーブル34の昇降により調節される。基板撮像ユニット382は圧着台14の下方に配置されているが、圧着台14は透明であり、透明な圧着台14および透明なガラス基板30を通して基板マーク82を撮像することができる。撮像後、撮像ユニット380,382は退避位置へ退避させられる。退避位置は、例えば、X軸,Y軸方向において圧着位置から離れて装着ヘッド350によるチップ装着を妨げない位置である。   After the glass substrate 30 and the chip 92 are moved, the component mark 96 and the substrate mark 82 are imaged. At the time of imaging, the component imaging unit 380 and the board imaging unit 382 are moved from the retracted position to the imaging position by the imaging unit moving device 384. The imaging position is a position where the component imaging unit 380 is positioned below the chip 92 held by the component holder 362 and images the component mark 96, and the substrate imaging unit 382 is the component mounting position of the glass substrate 30. This is a position where the board mark 82 is imaged. The component imaging unit 380 is moved in the X-axis and Y-axis directions by the imaging unit moving device 384 so as to capture the two component marks 96 provided on the chip 92 one by one and in the vertical direction. The part mark 96 is moved and focused. Similarly, the board image pickup unit 382 is moved by the image pickup unit moving device 384 and picks up images of the two board marks 82 that are focused and provided at the component mounting position one by one. The position (height) of the glass substrate 30 in the Z-axis direction is also adjusted by raising and lowering the table 34 as necessary. The substrate imaging unit 382 is disposed below the crimping table 14, but the crimping table 14 is transparent, and the substrate mark 82 can be imaged through the transparent crimping table 14 and the transparent glass substrate 30. After imaging, the imaging units 380 and 382 are retracted to the retracted position. The retracted position is, for example, a position that is away from the crimping position in the X-axis and Y-axis directions and does not hinder chip mounting by the mounting head 350.

マーク82,96の撮像データに基づいて、チップ92とガラス基板30とのX軸,Y軸方向の位置誤差である水平位置誤差およびZ軸まわりの位置誤差である回転位置誤差が求められる。2個の基板マーク82の各位置を求めるとともに、それらの平均位置を求め、2個の部品マーク96の各位置を求めるとともに、それらの平均位置を求め、それら平均位置のずれを求めることにより水平位置誤差が得られる。また、2個の基板マーク82の各中心を通る直線と、2個の部品マーク96の各中心を通る直線とを求め、それらの直線の回転方向のずれを求めることにより回転位置誤差が得られる。   Based on the imaging data of the marks 82 and 96, a horizontal position error that is a position error between the chip 92 and the glass substrate 30 in the X-axis and Y-axis directions and a rotational position error that is a position error about the Z-axis are obtained. While obtaining each position of the two board marks 82, obtaining an average position thereof, obtaining each position of the two component marks 96, obtaining an average position thereof, and obtaining a deviation of the mean positions, thereby obtaining a horizontal position. A position error is obtained. Further, a straight line passing through the centers of the two board marks 82 and a straight line passing through the centers of the two component marks 96 are obtained, and a rotational position error is obtained by obtaining a deviation in the rotation direction of the straight lines. .

チップ92とガラス基板30との水平位置誤差は、テーブル移動装置36によりテーブル34を移動させ、ガラス基板30のX軸,Y軸の各位置を水平位置誤差が打ち消されるように修正することにより修正される。回転位置誤差の修正により生ずるチップ92とガラス基板30とのX軸,Y軸方向の位置ずれも合わせて修正される。また、チップ92とガラス基板30との回転位置誤差は、装着ヘッド350をヘッド回転装置によりZ軸まわりに回転させることにより修正されて打ち消され、チップ92とガラス基板30との位置が合わされる。その状態でテーブル34が下降させられて、基板支持面62が基板支面370と同一水平面内に位置させられ、ガラス基板30の長辺側装着部250が圧着台14上に載置される。そして、装着ヘッド350がヘッドZ軸移動装置により下降させられてチップ92がガラス基板30上に載置される。チップ92は、図5に示すように、2つの部品マーク96がそれぞれ基板マーク82に近接した状態となる姿勢でガラス基板30に装着される。この際、部品保持具362はエアシリンダ364によりヘッド本体360に対して下降端位置に下降させられており、チップ92がガラス基板30に接触させられた状態から更にZ軸スライダが下降させられてチップ92がガラス基板30に圧着される。このZ軸スライダの下降は、ヘッド本体360と部品保持具362との相対移動により許容され、それに伴ってエアシリンダ364の圧力室内の圧力が増大し、所定値以上になれば減圧弁により減圧され、部品保持具362がヘッド本体360に対して後退し、チップ92が予め設定された圧力でガラス基板30に圧着される。また、チップ92は部品保持部に設けられた加熱装置354によって加熱されており、ACFテープ8は加圧されるとともに加熱され、チップ92がガラス基板30に仮に接合される。本実施例においては、ヘッドZ軸移動装置およびエアシリンダ364が加圧装置356を構成している。   The horizontal position error between the chip 92 and the glass substrate 30 is corrected by moving the table 34 by the table moving device 36 and correcting each position of the X axis and Y axis of the glass substrate 30 so that the horizontal position error is canceled. Is done. The positional deviation in the X-axis and Y-axis directions between the chip 92 and the glass substrate 30 caused by the correction of the rotational position error is also corrected. Further, the rotational position error between the chip 92 and the glass substrate 30 is corrected and canceled by rotating the mounting head 350 around the Z axis by the head rotating device, and the positions of the chip 92 and the glass substrate 30 are matched. In this state, the table 34 is lowered, the substrate support surface 62 is positioned in the same horizontal plane as the substrate support surface 370, and the long side mounting portion 250 of the glass substrate 30 is placed on the crimping table 14. Then, the mounting head 350 is lowered by the head Z-axis moving device, and the chip 92 is placed on the glass substrate 30. As shown in FIG. 5, the chip 92 is mounted on the glass substrate 30 in such a posture that the two component marks 96 are close to the substrate mark 82. At this time, the component holder 362 is lowered to the lower end position with respect to the head main body 360 by the air cylinder 364, and the Z-axis slider is further lowered from the state where the chip 92 is brought into contact with the glass substrate 30. The chip 92 is pressure-bonded to the glass substrate 30. This lowering of the Z-axis slider is permitted by the relative movement of the head main body 360 and the component holder 362, and accordingly, the pressure in the pressure chamber of the air cylinder 364 increases. The component holder 362 moves backward with respect to the head main body 360, and the chip 92 is pressed against the glass substrate 30 with a preset pressure. Further, the chip 92 is heated by a heating device 354 provided in the component holding unit, and the ACF tape 8 is pressurized and heated, and the chip 92 is temporarily bonded to the glass substrate 30. In the present embodiment, the head Z-axis moving device and the air cylinder 364 constitute a pressurizing device 356.

チップ92の装着後、装着ヘッド350はチップ92を開放するとともに上昇させられ、チップ92から離間させられる。また、テーブル350が上昇させられてガラス基板30が圧着台14から離間させられる。ガラス基板30の長辺側装着部250にチップ92が複数装着される場合には、テーブル34の移動によりガラス基板30が移動させられ、次にチップ92が装着される部品装着位置が圧着位置の上方へ移動させられ、マーク82,96の撮像および位置誤差の修正が行われた後、テーブル34が下降させられて長辺側装着部250が圧着台14の基板支持面370上に載置され、チップ92の装着が行われる。   After the chip 92 is mounted, the mounting head 350 opens the chip 92 and is raised and separated from the chip 92. Further, the table 350 is raised and the glass substrate 30 is separated from the crimping table 14. When a plurality of chips 92 are mounted on the long side mounting portion 250 of the glass substrate 30, the glass substrate 30 is moved by moving the table 34, and the component mounting position where the chip 92 is mounted next is the crimping position. After being moved upward, the imaging of the marks 82 and 96 and the correction of the position error are performed, the table 34 is lowered, and the long side mounting portion 250 is placed on the substrate support surface 370 of the crimping table 14. The chip 92 is mounted.

長辺側装着部250に予定されたチップ92の全部が装着されたならば、テーブル350が上昇させられてガラス基板30が圧着台14から離間させられるとともに、90度右旋回(ガラス基板30を上方から見て時計方向)させられ、短辺側装着部252が、その長手方向が電子回路部品装着機の基準座標のX軸方向に平行な姿勢とされる。そして、長辺側装着部250へのチップ92の装着と同様にして、短辺側装着部252にチップ92が装着される。なお、設計データの設計装着位置座標データはガラス基板30が基準姿勢にある状態でのデータであり、短辺側装着部252へのチップ92の装着時には装着位置座標データが座標変換される。   When all of the planned chips 92 are mounted on the long side mounting portion 250, the table 350 is raised and the glass substrate 30 is separated from the crimping table 14, and the glass substrate 30 is turned 90 degrees clockwise (the glass substrate 30). (The clockwise direction when viewed from above), and the short side mounting portion 252 has a longitudinal direction parallel to the X-axis direction of the reference coordinate of the electronic circuit component mounting machine. Then, the chip 92 is mounted on the short side mounting portion 252 in the same manner as the mounting of the chip 92 on the long side mounting portion 250. The design mounting position coordinate data of the design data is data in a state where the glass substrate 30 is in the reference posture, and the mounting position coordinate data is coordinate-converted when the chip 92 is mounted on the short side mounting portion 252.

ガラス基板30の全部の部品装着位置にそれぞれチップ92が装着され、仮接合されたならば、テーブル34がテーブル移動装置36により上昇させられ、ガラス基板30を圧着台14から離間させるとともに水平方向に移動させられ、液晶パネル28を本圧着機へ搬出する搬出位置へ移動させられる。そして、液晶パネル28は本圧着機へ搬出され、本圧着機においてチップ92およびACFテープ8が加熱,加圧され、バンプ98がACFテープ8内の導電粒子を介してパッドに電気的に接合される。   If the chips 92 are mounted and provisionally bonded to all the component mounting positions of the glass substrate 30, the table 34 is raised by the table moving device 36 to separate the glass substrate 30 from the crimping table 14 and horizontally. The liquid crystal panel 28 is moved to a carry-out position for carrying it out to the main crimping machine. Then, the liquid crystal panel 28 is carried out to the main crimping machine, where the chip 92 and the ACF tape 8 are heated and pressurized in the main crimping machine, and the bumps 98 are electrically joined to the pads via the conductive particles in the ACF tape 8. The

このようにガラス基板30に接合されたチップ92について、部品装着検査機150(図7参照)により装着状態が検査される。検査は、本実施例では、本圧着機による本加熱および本加圧が終了し、チップ92がガラス基板30に電気的に接合され、固定された状態で行われ、本実施例では、基板マーク82および部品マーク96を同時に撮像することにより行われる。チップ92がACFテープ8を介してガラス基板30に仮接合され、仮固定された状態においてチップ92がずれる恐れがなければ、その仮止め状態において検査を行ってもよい。   The mounting state of the chip 92 thus bonded to the glass substrate 30 is inspected by the component mounting inspection machine 150 (see FIG. 7). In this embodiment, the inspection is performed in a state where the main heating and the main pressing by the main bonding machine are completed and the chip 92 is electrically bonded to the glass substrate 30 and fixed. 82 and the component mark 96 are imaged simultaneously. If the chip 92 is temporarily bonded to the glass substrate 30 via the ACF tape 8 and there is no fear that the chip 92 is displaced in the temporarily fixed state, the inspection may be performed in the temporarily fixed state.

上記のようにチップ92のガラス基板30への装着時には、装着ヘッド350に保持されたチップ92とガラス基板30との水平位置誤差および回転位置誤差が修正されるが、それでもなお、装着位置にずれが生ずることがある。この装着位置ずれは、装着ヘッド350によるチップ92の保持位置誤差やテーブル34によるガラス基板30の保持位置誤差のように、チップ92およびガラス基板30に個々に生ずるずれではなく、例えば、撮像ユニット移動装置384の構成部材の熱膨張等による撮像ユニット380,382の位置決め誤差やテーブル移動装置36や装着ヘッド移動装置352のボールねじ等の熱膨張等、異なるチップ92およびガラス基板30について共通の原因により生ずるずれであると考えられる。そのため、チップ92の装着後、部品装着状態を検査し、その検査結果に基づいて装着位置座標データが変更される。   As described above, when the chip 92 is mounted on the glass substrate 30, the horizontal position error and the rotational position error between the chip 92 and the glass substrate 30 held by the mounting head 350 are corrected. May occur. This mounting position shift is not a shift that occurs individually on the chip 92 and the glass substrate 30, such as a holding position error of the chip 92 by the mounting head 350 and a holding position error of the glass substrate 30 by the table 34. Due to common causes of different chips 92 and glass substrate 30, such as positioning errors of the imaging units 380 and 382 due to thermal expansion of components of the apparatus 384, thermal expansion of the ball screw of the table moving device 36 and the mounting head moving device 352, etc. It is considered that this is a deviation. Therefore, after the chip 92 is mounted, the component mounting state is inspected, and the mounting position coordinate data is changed based on the inspection result.

部品装着検査機150を図7ないし図9に基づいて説明する。部品装着検査機150は電子回路部品装着機とは独立して設けられているが、本実施例においては全体が移動可能に設けられ、装着検査が行われるガラス基板30についてチップ92の装着を行った電子回路部品装着機に近接する位置へ移動させることができるようにされている。部品装着検査機150は、本実施例においては、光学式のデジタイザとされており、図7に示すように、検査台152,装着検査ヘッド(以後、検査ヘッドと略称する)154,検査ヘッド移動装置156,入力装置158,表示装置160(図12参照)および制御装置162(図9参照)を含む。   The component mounting inspection machine 150 will be described with reference to FIGS. The component mounting inspection machine 150 is provided independently of the electronic circuit component mounting machine. However, in the present embodiment, the entire component mounting inspection machine 150 is provided so as to be movable, and the chip 92 is mounted on the glass substrate 30 on which mounting inspection is performed. The electronic circuit component mounting machine can be moved to a position close to the electronic circuit component mounting machine. In this embodiment, the component mounting inspection machine 150 is an optical digitizer, and as shown in FIG. 7, an inspection table 152, a mounting inspection head (hereinafter abbreviated as an inspection head) 154, and inspection head movement. A device 156, an input device 158, a display device 160 (see FIG. 12) and a control device 162 (see FIG. 9) are included.

検査台152は、大きさが異なる複数種類のガラス基板30を、縦長の姿勢でも横長の姿勢でもセットすることができる形状,寸法を有し、ガラス基板30は検査台152上に、水平に、かつ、基準点において直交する2辺がそれぞれ、検査座標面のX軸およびY軸に平行な姿勢で固定装置(図示省略)により固定される。検査ヘッド移動装置156は、検査台152に平行な一平面であって、水平な検査座標面内において互いに直交するX軸とY軸とにそれぞれ平行な方向に検査ヘッド154を移動させる。そのため、検査ヘッド移動装置156は、図7に概略的に示すように、X軸移動装置およびY軸移動装置を含む。X軸移動装置はX軸スライド170およびX軸スライド移動装置を含み、Y軸移動装置はY軸スライド172およびY軸スライド移動装置を含む。X軸スライド移動装置およびY軸スライド移動装置はそれぞれ、X軸スライド移動用モータ176およびY軸スライド移動用モータ178(図9参照)を駆動源とし、ボールねじおよびナットを含み、X軸スライド170およびY軸スライド172をそれぞれ、X軸方向およびY軸方向において任意の位置へ移動させる。   The inspection table 152 has a shape and dimensions that allow a plurality of types of glass substrates 30 of different sizes to be set in either a portrait orientation or a landscape orientation. The glass substrate 30 is placed horizontally on the examination table 152, In addition, two sides orthogonal to each other at the reference point are fixed by a fixing device (not shown) in a posture parallel to the X axis and the Y axis of the inspection coordinate plane. The inspection head moving device 156 moves the inspection head 154 in a direction parallel to the X axis and the Y axis which are parallel to the inspection table 152 and are orthogonal to each other in the horizontal inspection coordinate plane. Therefore, the inspection head moving device 156 includes an X-axis moving device and a Y-axis moving device, as schematically shown in FIG. The X axis moving device includes an X axis slide 170 and an X axis slide moving device, and the Y axis moving device includes a Y axis slide 172 and a Y axis slide moving device. Each of the X-axis slide moving device and the Y-axis slide moving device is driven by an X-axis slide moving motor 176 and a Y-axis slide moving motor 178 (see FIG. 9), and includes a ball screw and a nut. And the Y-axis slide 172 are moved to arbitrary positions in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively.

検査ヘッド154は検査ヘッド移動装置156によって検査座標面内の任意の位置へ移動させられ、検査台152にセットされたガラス基板30に装着されたチップ92を上方から撮像する。
検査ヘッド154は、図8に示すように、検査撮像装置400,照明装置402および導光装置404を含み、箱状のフレーム410に設けられている。検査撮像装置400は、本実施例ではCCDカメラにより撮像を行うものとされ、光軸が水平に設けられている。このCCDカメラは、可視光および波長の長い近赤外光を感応可能なものとされている。照明装置402は、可視光源412および近赤外光源414を備え、導光装置404は、プリズム416およびハーフミラー418を備えている。
The inspection head 154 is moved to an arbitrary position in the inspection coordinate plane by the inspection head moving device 156, and images the chip 92 mounted on the glass substrate 30 set on the inspection table 152 from above.
As shown in FIG. 8, the inspection head 154 includes an inspection imaging device 400, an illumination device 402, and a light guide device 404, and is provided on a box-shaped frame 410. In the present embodiment, the inspection imaging apparatus 400 performs imaging with a CCD camera, and the optical axis is provided horizontally. This CCD camera is supposed to be sensitive to visible light and near-infrared light having a long wavelength. The illumination device 402 includes a visible light source 412 and a near-infrared light source 414, and the light guide device 404 includes a prism 416 and a half mirror 418.

プリズム416は、基板マーク82および部品マーク96等、撮像対象物からの反射光である像形成光を90度水平に屈曲させて撮像装置400に入光させる。この光路の途中にハーフミラー418が設けられており、可視光源412が照射する可視光は、ハーフミラー418およびプリズム416の各々により90度ずつ屈曲させられ、撮像対象物に照射される。近赤外光源414は、フレーム410にプリズム416と並び、プリズム416の横から斜め下方に近赤外光を照射するように設けられている。   The prism 416 causes the image forming light, which is reflected light from the imaging target, such as the substrate mark 82 and the component mark 96 to be horizontally bent by 90 degrees and enter the imaging apparatus 400. A half mirror 418 is provided in the middle of the optical path, and the visible light irradiated by the visible light source 412 is bent 90 degrees by each of the half mirror 418 and the prism 416 and is irradiated to the imaging object. The near-infrared light source 414 is provided so as to irradiate near-infrared light on the frame 410 along with the prism 416 and obliquely downward from the side of the prism 416.

制御装置162は、図9に示すように、CPU200,ROM202,RAM204およびそれらを接続するバスを含むコンピュータ(以後、検査コンピュータと称する)210を主体として構成されている。バスには入出力インタフェース212が接続されており、検査撮像装置400の撮像により得られる画像データを処理する画像処理コンピュータ218,検査撮像装置400,照明装置402,入力装置158およびデータ読取・書込装置220が接続されている。入力装置158は、前記入力装置114と同様に構成されるとともに、X軸スライド移動用モータ176およびY軸スライド移動用モータ178をそれぞれインチング操作する機能を有する。モータ操作装置ないし検査ヘッド移動操作装置が設けられているのである。入出力インタフェース212にはまた、駆動回路226を介してX軸スライド移動用モータ176およびY軸スライド移動用モータ178が接続されるとともに、制御回路230を介して表示画面232を制御するようにされている。表示画面232および制御装置162の表示画面232を制御する部分が表示装置160を構成している。上記モータ176,178は、本実施例では、サーボモータにより構成されている。   As shown in FIG. 9, the control device 162 is mainly configured by a CPU 200, a ROM 202, a RAM 204, and a computer (hereinafter referred to as an inspection computer) 210 including a bus connecting them. An input / output interface 212 is connected to the bus, and an image processing computer 218 that processes image data obtained by imaging of the inspection imaging device 400, an inspection imaging device 400, an illumination device 402, an input device 158, and data reading / writing. A device 220 is connected. The input device 158 is configured in the same manner as the input device 114 and has a function of performing inching operations on the X-axis slide movement motor 176 and the Y-axis slide movement motor 178, respectively. A motor operating device or an inspection head moving operation device is provided. An X-axis slide movement motor 176 and a Y-axis slide movement motor 178 are also connected to the input / output interface 212 via a drive circuit 226, and the display screen 232 is controlled via a control circuit 230. ing. The part that controls the display screen 232 and the display screen 232 of the control device 162 constitutes the display device 160. In the present embodiment, the motors 176 and 178 are constituted by servo motors.

チップ92の装着検査時には、装着検査機150は電子回路部品装着機近く、ここでは、作業者が、電子回路部品装着機の表示画面124と装着検査機150の表示画面232との両方を容易に見比べることができる位置に位置させられる。そして、ガラス基板30が検査台152にセットされる。検査台152には、ガラス基板30等、検査対象基板を複数の検査姿勢、例えば、横長姿勢,右旋回姿勢および左旋回姿勢と、部品既装着面を上向きにした部品既装着面上向き姿勢および部品既装着面を下向きにした部品既装着面下向き姿勢との組合わせによる6つの姿勢のうちのいずれかでセットすることができる。   At the time of mounting inspection of the chip 92, the mounting inspection machine 150 is close to the electronic circuit component mounting machine. Here, the operator can easily display both the display screen 124 of the electronic circuit component mounting machine and the display screen 232 of the mounting inspection machine 150. It is located at a position where it can be compared. Then, the glass substrate 30 is set on the inspection table 152. The inspection table 152 has a plurality of inspection postures such as the glass substrate 30, for example, a horizontally long posture, a right turning posture, and a left turning posture, and a component mounting surface upward posture with the component mounting surface facing upward. It can be set in any of six postures by a combination with the component already mounted surface downward orientation with the component already mounted surface facing downward.

図10に二点鎖線で示すように、ガラス基板30の横長姿勢は、長さ方向が検査座標面のX軸に平行となる姿勢である。検査台152および固定装置は、ガラス基板30が横長姿勢であって、部品既装着面が上向きの姿勢でセットされる際、前記設計座標面のX軸およびY軸の方向および正負の向きが、検査座標面のX軸およびY軸の方向および正負の向きと同じになるようにガラス基板30がセットされるように構成されており、横長かつ上向きの姿勢で検査台152にセットされたガラス基板30の姿勢は前記基準姿勢と同じであって、長辺側装着部250にチップ92が装着される際の姿勢と同じであることとなる。設計座標面上にデータ設計時の姿勢で位置するガラス基板30を検査台152上においたとき、設計座標面のX軸,Y軸と検査座標面のX軸,Y軸とがそれぞれ互いに平行となり、正負の向きも同じになるように検査台152(検査座標面)および固定装置が設けられているのである。また、右旋回姿勢は、ガラス基板30が横長の姿勢で検査台152にセットされた状態から正方向(ガラス基板30を上方から見た場合、時計方向)に90度回転させられた姿勢であり、左旋回姿勢は逆方向(ガラス基板30を上方から見た場合、反時計方向)に90度回転させられた姿勢である。   As shown by a two-dot chain line in FIG. 10, the landscape orientation of the glass substrate 30 is an orientation in which the length direction is parallel to the X axis of the inspection coordinate plane. When the inspection board 152 and the fixing device are set with the glass substrate 30 in the horizontally long posture and the component already mounted surface in the upward posture, the directions of the X and Y axes and the positive and negative directions of the design coordinate plane are: The glass substrate 30 is configured such that the glass substrate 30 is set so as to be the same as the X-axis and Y-axis directions and the positive and negative directions of the inspection coordinate plane, and is set on the inspection table 152 in a horizontally long and upward posture. The posture 30 is the same as the reference posture, and is the same as the posture when the chip 92 is mounted on the long side mounting portion 250. When the glass substrate 30 positioned in the data design posture on the design coordinate plane is placed on the inspection table 152, the X and Y axes of the design coordinate plane and the X and Y axes of the inspection coordinate plane are parallel to each other. The inspection table 152 (inspection coordinate plane) and the fixing device are provided so that the positive and negative directions are the same. Further, the right-turning posture is a posture in which the glass substrate 30 is rotated 90 degrees in a forward direction (clockwise when the glass substrate 30 is viewed from above) from a state in which the glass substrate 30 is set in the horizontally long posture. Yes, the left turning posture is a posture rotated 90 degrees in the reverse direction (counterclockwise when the glass substrate 30 is viewed from above).

部品既装着面下向き姿勢は、図11に示すように、ガラス基板30を表裏反転させることにより得られる。ガラス基板30は透明であり、また、ACFテープ8は、金粒の表面にニッケルがメッキされた導電粒子を含むものとされており、照明光および像形成光の透過量を減少させるが、マーク96を認識可能な光透過性を有するテープに導電粒子が光の散乱,透過を許容する分散密度で含まれるものとされており、ACFテープ8を介して部品マーク96を撮像可能である。したがって、ガラス基板30を表裏反転させ、部品既装着面を下向きにした状態において、ガラス基板30の上側から(部品既装着面とは反対側の面側から)基板マーク82および部品マーク96の両方を透かして見ることができ、撮像して検査を行うことができる。本実施例では、表裏反転は、ガラス基板30の、検査座標面のY軸まわりの回転により行われることとする。   As shown in FIG. 11, the component already mounted surface downward posture is obtained by turning the glass substrate 30 upside down. The glass substrate 30 is transparent, and the ACF tape 8 includes conductive particles in which nickel is plated on the surface of the gold grains, and reduces the amount of transmission of illumination light and image forming light. The conductive particles are included in a light-transmitting tape capable of recognizing 96 at a dispersion density allowing light scattering and transmission, and the part mark 96 can be imaged via the ACF tape 8. Therefore, both the substrate mark 82 and the component mark 96 are viewed from the upper side of the glass substrate 30 (from the side opposite to the component-mounted surface) with the glass substrate 30 turned upside down and the component-mounted surface facing downward. Can be seen through, and can be imaged for inspection. In the present embodiment, the front / back inversion is performed by the rotation of the glass substrate 30 around the Y axis of the inspection coordinate plane.

装着検査は、作業者が検査ヘッド移動装置156を操作して検査ヘッド154を移動させ、基板マーク82および部品マーク96を撮像させ、それらの位置データを取得することにより行われる。ガラス基板30は透明であり、ガラス基板30のチップ92が装着される部分から外れた位置に設けられた基板マーク82はガラス基板30の表側からでも裏側からでも見ることができるが、チップ92の本体94は不透明であり、チップ92のガラス基板30に装着される側の面側からしか部品マーク96を見ることができず、チップ92がガラス基板30に装着された状態では、ガラス基板30の裏側(部品装着面とは反対側)からガラス基板30およびACFテープ8を通して部品マーク96を見ることとなる。そのため、検査時には、液晶パネル28は表裏反転させられて検査台152にセットされる。   The mounting inspection is performed by an operator operating the inspection head moving device 156 to move the inspection head 154 to image the board mark 82 and the component mark 96 and acquire their position data. The glass substrate 30 is transparent, and the substrate mark 82 provided at a position away from the portion where the chip 92 of the glass substrate 30 is mounted can be seen from the front side or the back side of the glass substrate 30. The main body 94 is opaque, and the component mark 96 can be seen only from the side of the chip 92 on the side where the chip 92 is mounted. When the chip 92 is mounted on the glass substrate 30, The component mark 96 is seen through the glass substrate 30 and the ACF tape 8 from the back side (the side opposite to the component mounting surface). Therefore, at the time of inspection, the liquid crystal panel 28 is reversed and set on the inspection table 152.

また、本実施例では、装着検査は、ガラス基板30を表裏反転させるとともに、縦横の向きがX軸,Y軸に対してチップ装着時と同じ向きで行われることとする。そのため、長辺側装着部250に装着されたチップ92の検査時には、ガラス基板30は基準姿勢に対応する横長姿勢から表裏反転させられた姿勢で検査台152にセットされ、短辺側装着部252に装着されたチップ92の検査時には、例えば、ガラス基板30は基準姿勢に対応する横長姿勢から右旋回させられるとともに、表裏反転させられた姿勢で検査台152にセットされる。   In the present embodiment, the mounting inspection is performed by inverting the glass substrate 30 upside down and in the same direction as the chip mounting with respect to the X and Y axes. Therefore, at the time of inspecting the chip 92 mounted on the long side mounting portion 250, the glass substrate 30 is set on the inspection table 152 in a posture reversed from the horizontally long posture corresponding to the reference posture to the short side mounting portion 252. When inspecting the chip 92 mounted on the glass substrate 30, for example, the glass substrate 30 is turned to the right from the horizontally long posture corresponding to the reference posture, and is set on the inspection table 152 in a reversed posture.

装着検査は予め設定された順序、例えば、部品装着順序と同じ順序で行われる。電子回路部品装着機においては前記部品装着プログラムにより部品装着順序が設定されている。そのため、作業者は、図13(a)に示すように、電子回路部品装着機の表示画面124に、部品装着のシーケンス番号,部品名,装着位置座標データおよび装着位置ずれデータを表示させ、装着位置座標データに従って検査ヘッド154を移動させる。   The mounting inspection is performed in a preset order, for example, the same order as the component mounting order. In the electronic circuit component mounting machine, the component mounting order is set by the component mounting program. Therefore, as shown in FIG. 13A, the operator displays the component mounting sequence number, the component name, the mounting position coordinate data, and the mounting position deviation data on the display screen 124 of the electronic circuit component mounting machine. The inspection head 154 is moved according to the position coordinate data.

本実施例では、位置関連データである装着位置関連データは、装着位置座標データおよび装着位置ずれデータを含み、部品装着状態の検査に基づいて、本実施例では、後述するように、装着位置ずれデータが修正される。表示画面124に表示される装着位置座標データは、前記設計座標面上において作成された装着位置データである設計装着位置座標データであり、装着位置ずれデータは修正された修正装着位置ずれデータであり、チップ92のガラス基板30への装着時には、設計装着位置座標データおよび修正装着位置ずれデータに基づいて、チップ92を装着位置ずれを打ち消して装着し得る装着位置座標データが得られる。本実施例では、装着位置修正データは設計装着位置座標データおよび修正装着位置ずれデータを含む。表示画面124に表示されるデータは、装着位置ずれデータを除いて部品装着プログラムに基づいて作成され、修正装着位置ずれデータも含めてコンピュータ106のRAM104に記憶されており、これらデータは、装着状態検査および装着位置修正のために表示される表示データであって、装着位置ずれが打ち消された装着位置座標データを得るためのずれ解消装着位置座標データ取得データでもあり、修正装着位置ずれデータは更新される。   In this embodiment, the mounting position related data, which is position related data, includes mounting position coordinate data and mounting position deviation data. Based on the inspection of the component mounting state, in this embodiment, the mounting position deviation is described later. The data is corrected. The mounting position coordinate data displayed on the display screen 124 is design mounting position coordinate data which is mounting position data created on the design coordinate plane, and the mounting position deviation data is corrected corrected mounting position deviation data. When the chip 92 is mounted on the glass substrate 30, mounting position coordinate data that can be mounted by canceling the mounting position shift is obtained based on the design mounting position coordinate data and the corrected mounting position shift data. In this embodiment, the mounting position correction data includes design mounting position coordinate data and corrected mounting position deviation data. The data displayed on the display screen 124 is created based on the component mounting program excluding the mounting position deviation data, and is stored in the RAM 104 of the computer 106 including the corrected mounting position deviation data. Display data that is displayed for inspection and mounting position correction, and is also used to acquire mounting position coordinate data for canceling mounting position deviation, and is used to obtain mounting position coordinate data that has been canceled. Is done.

表示画面124には、まず、初期表示として、図13(a)に示すように、表示データそのもの、すなわち前記設計座標面上において作成された装着位置座標データである設計装着位置座標データのX,Y座標値等が表示される。また、複数のガラス基板30へのチップ92の装着開始後、装着検査が初めて行われるとき、装着位置ずれは0であり、そのX,Y座標値として0が表示される。図13(a)においては、装着位置ずれが既に取得されて入力された状態が図示されている。   On the display screen 124, as an initial display, as shown in FIG. 13A, the display data itself, that is, the X, X of design mounting position coordinate data, which is mounting position coordinate data created on the design coordinate plane, is displayed. The Y coordinate value and the like are displayed. Further, when the mounting inspection is performed for the first time after the mounting of the chips 92 on the plurality of glass substrates 30, the mounting position deviation is 0, and 0 is displayed as the X and Y coordinate values. FIG. 13A shows a state where the mounting position deviation has already been acquired and input.

表示画面124にはまた、ガラス基板30,130およびチップ92の像も表示される。これらも初期表示として、基準姿勢でのガラス基板30,130の像およびガラス基板30に装着されたチップ92の像が表示される。ガラス基板30の基準姿勢は、前述のように、長辺側装着部250にチップ92が装着される際の姿勢であって、前記設計座標面上における姿勢と同じ姿勢であり、横長姿勢(長さ方向が電子回路部品装着機のX軸に平行となる姿勢)であって、表裏反転させられない姿勢(部品既装着面が上向きとされた姿勢)である。チップ92の像には、装着順序が付される。表示画面124には更に、例えばガラス基板30の角に設定された基準点と、X軸およびY軸とも表示される。表示画面124をスクロールさせることにより、複数の表示データがチップ装着順に順次、表示される。   The display screen 124 also displays images of the glass substrates 30 and 130 and the chip 92. These are also displayed as an initial display of an image of the glass substrates 30 and 130 in the reference posture and an image of the chip 92 mounted on the glass substrate 30. As described above, the reference posture of the glass substrate 30 is a posture when the chip 92 is mounted on the long-side mounting portion 250, and is the same posture as the posture on the design coordinate plane. The orientation is an orientation in which the vertical direction is parallel to the X axis of the electronic circuit component mounting machine) and the orientation in which the front and back are not reversed (the orientation in which the component already mounted surface is directed upward). A mounting order is attached to the image of the chip 92. The display screen 124 further displays a reference point set at a corner of the glass substrate 30, for example, an X axis, and a Y axis. By scrolling the display screen 124, a plurality of display data is sequentially displayed in the order of chip mounting.

まず、ガラス基板30の長辺側装着部250に装着されたチップ92の装着検査を説明する。この検査時には、液晶パネル28が上向きかつ横長姿勢からY軸まわりに表裏反転させられ、部品既装着面が下向きの姿勢で検査台152にセットされる。そのため、作業者は表示画面124に、ガラス基板30を基準姿勢から表裏反転させた状態での装着位置関連データおよびガラス基板30等の像を表示させる。この場合、作業者は、表示画面124をスクロールさせつつ、全部の装着位置関連データのうち、長辺側装着部250について設定された装着位置関連データ、すなわちシーケンス番号1から4のデータを指定し、装着位置関連データおよびガラス基板30等の像の表裏反転を指示する。表示画面124には、図13(a)に示すように、装着位置関連データ等と共に、全部の座標変換の種類が表示される。本実施例では、座標変換の種類は、裏返し(Y軸まわりの回転による表裏反転),右旋回および左旋回の3種類であり、旋回角度の絶対値は、本実施例では90度である。作業者は、表示された座標変換の種類のうち、検査台152にセットされたガラス基板30の姿勢と一致する装着位置関連データが得られる種類の座標変換を入力装置114により選択し、実行を指示する。ここでは裏返しの実行が指示され、図13(b)に示すように、装着位置関連データのY軸まわりの回転による表裏反転の座標変換が行われるとともに、ガラス基板30等の像が表裏反転させられて表示される。   First, the mounting inspection of the chip 92 mounted on the long side mounting portion 250 of the glass substrate 30 will be described. At the time of this inspection, the liquid crystal panel 28 is turned upside down from the horizontally long posture around the Y axis, and the part mounting surface is set on the inspection table 152 in a downward posture. Therefore, the operator causes the display screen 124 to display the mounting position related data and the image of the glass substrate 30 and the like in a state where the glass substrate 30 is reversed from the reference posture. In this case, the operator scrolls the display screen 124 and designates the mounting position related data set for the long side mounting unit 250 among all the mounting position related data, that is, data of sequence numbers 1 to 4. Instruct the mounting position related data and the reverse of the image of the glass substrate 30 or the like. As shown in FIG. 13 (a), the display screen 124 displays all coordinate conversion types together with the mounting position related data and the like. In the present embodiment, there are three types of coordinate conversion: reverse (inverted by turning around the Y axis), right turn and left turn, and the absolute value of the turn angle is 90 degrees in this embodiment. . The operator uses the input device 114 to select the type of coordinate transformation from which the placement position related data that matches the posture of the glass substrate 30 set on the examination table 152 is obtained from the displayed types of coordinate transformation. Instruct. Here, the execution of turning over is instructed, and as shown in FIG. 13 (b), coordinate conversion is performed for reversing the front and back by rotating the mounting position related data around the Y axis, and the image of the glass substrate 30 or the like is reversed. Displayed.

本実施例では、装着位置座標データが作成される前記設計座標面が第一座標面を構成し、第一座標面と、第一座標面上におけるデータについて座標変換が為された座標変換データが得られる第二座標面とは、本実施例では、共にX軸同士とY軸同士とが互いに平行であり、かつ、X軸とY軸とのそれぞれについて正負の向きが同じである。また、座標変換は、表裏反転させられたガラス基板30の基準点と第二座標面の原点とが一致するように行われる。そのため、装着位置座標データは、座標変換により、Y座標値はそのままであるが、X座標値は正負の符号が逆にされた値とされる。   In this embodiment, the design coordinate plane on which the mounting position coordinate data is created constitutes a first coordinate plane, and the first coordinate plane and coordinate conversion data obtained by performing coordinate conversion on the data on the first coordinate plane are In the present embodiment, the obtained second coordinate plane is such that the X-axis and the Y-axis are both parallel to each other, and the positive and negative directions are the same for each of the X-axis and the Y-axis. In addition, the coordinate conversion is performed so that the reference point of the glass substrate 30 that has been turned upside down coincides with the origin of the second coordinate plane. For this reason, the Y coordinate value of the mounting position coordinate data remains unchanged, but the X coordinate value is a value obtained by reversing the sign of the sign.

表示画面124には、表裏反転させられたガラス基板30に合わせて基準点およびX軸,Y軸が表示される。これらX軸,Y軸は第二座標面のX軸,Y軸であるが、第一座標面のX軸,Y軸と平行であり、正負の向きも同じであるため、第二座標面と検査座標面とは同じ座標面となり、表示画面124に表示されたガラス基板30等の像の姿勢と、検査台152にセットされたガラス基板30の姿勢とが一致し、作業者は、表示画面124の表示を見ながら装着順序に従って容易に検査ヘッド154を移動させ、検査撮像装置400にチップ92を撮像させることができる。本実施例では設計座標面が第一座標面を構成しており、前述のように、設計座標面と検査座標面とは、X軸,Y軸が互いに平行であり、正負の向きも同じであるため、第二座標面と検査座標面とが同じ座標面となるのであり、第二座標面においてガラス基板30は、検査座標面上での姿勢と同じ姿勢で位置させられる。   On the display screen 124, the reference point, the X axis, and the Y axis are displayed in accordance with the glass substrate 30 that is turned upside down. These X-axis and Y-axis are the X-axis and Y-axis of the second coordinate plane, but are parallel to the X-axis and Y-axis of the first coordinate plane and have the same positive and negative directions. The inspection coordinate plane is the same coordinate plane, and the attitude of the image of the glass substrate 30 or the like displayed on the display screen 124 and the attitude of the glass substrate 30 set on the inspection table 152 coincide with each other. The inspection head 154 can be easily moved in accordance with the mounting order while viewing the display 124, and the inspection imaging device 400 can image the chip 92. In this embodiment, the design coordinate plane constitutes the first coordinate plane. As described above, the design coordinate plane and the inspection coordinate plane are parallel to each other in the X and Y axes, and the positive and negative directions are the same. Therefore, the second coordinate plane and the inspection coordinate plane are the same coordinate plane, and the glass substrate 30 is positioned in the same orientation as the orientation on the inspection coordinate plane on the second coordinate plane.

本実施例では、作業者が入力装置158によりモータ176,178をインチング操作してX軸スライド170およびY軸スライド172を移動させ、検査ヘッド154を検査対象であるチップ92上へ移動させる。撮像は、互いに近接する1つずつの基板マーク82および部品マーク96を検査撮像装置400により同時に撮像することにより行われる。この際、可視光源412および近赤外光源414からそれぞれ可視光および近赤外光が照射される。可視光は、透明なガラス基板30を透過して、基板マーク82に照射され、基板マーク82からの反射光はガラス基板30を透過し、プリズム416により水平に屈曲させられ、ハーフミラー418を透過して検査撮像装置400に入射される。可視光源412による照明は検査撮像装置400の光軸と同軸に為され、基板マーク82には可視光が垂直に照射されるため、同軸落射照明による照明光によって基板マーク82の像が形成され、基板マーク82は検査撮像装置400により鮮明に撮像される。   In this embodiment, the operator performs inching operation of the motors 176 and 178 by the input device 158 to move the X-axis slide 170 and the Y-axis slide 172, and moves the inspection head 154 onto the chip 92 to be inspected. The imaging is performed by simultaneously imaging the board mark 82 and the component mark 96 that are close to each other by the inspection imaging device 400. At this time, visible light and near infrared light are emitted from the visible light source 412 and the near infrared light source 414, respectively. Visible light passes through the transparent glass substrate 30 and is irradiated onto the substrate mark 82. Reflected light from the substrate mark 82 passes through the glass substrate 30, is bent horizontally by the prism 416, and passes through the half mirror 418. Then, the light enters the inspection imaging device 400. The illumination by the visible light source 412 is coaxial with the optical axis of the inspection imaging device 400, and the substrate mark 82 is irradiated with visible light vertically, so that an image of the substrate mark 82 is formed by the illumination light by the coaxial incident illumination, The board mark 82 is clearly imaged by the inspection imaging device 400.

近赤外光源414から照射される近赤外光は、ガラス基板30およびACFテープ8を透過して部品マーク96に照射され、部品マーク96により反射された像形成光は、ACFテープ8,ガラス基板30を透過し、プリズム416により屈曲させられ、ハーフミラー418を透過して検査撮像装置400に入射させられる。部品マーク96には可視光も照射されて像が形成される。部品マーク96に照射される光はACFテープ8を透過して部品マーク96に至り、光量が減少させられるが、近赤外光源414から発せられた波長の長い近赤外光はACFテープ8を透過して部品マーク96を十分照射することができる。像形成光の光量もACFテープ8により減少させられるが、部品マーク96には可視光と合わせて近赤外光が照射され、両光によって像が形成されるため、可視光および近赤外線光の相乗効果により部品マーク96が鮮明に撮像される。   Near-infrared light emitted from the near-infrared light source 414 passes through the glass substrate 30 and the ACF tape 8 and is radiated to the component mark 96, and image forming light reflected by the component mark 96 is ACF tape 8 and glass The light passes through the substrate 30, is bent by the prism 416, passes through the half mirror 418, and enters the inspection imaging device 400. The component mark 96 is also irradiated with visible light to form an image. The light irradiated to the component mark 96 passes through the ACF tape 8 to reach the component mark 96 and the amount of light is reduced. However, near infrared light having a long wavelength emitted from the near infrared light source 414 passes through the ACF tape 8. The component mark 96 can be sufficiently irradiated through the light. The amount of image forming light is also reduced by the ACF tape 8, but the component mark 96 is irradiated with near infrared light together with visible light, and an image is formed by both light. The component mark 96 is clearly imaged by the synergistic effect.

撮像データは画像処理コンピュータ218により処理され、図12(a)に示すように、マーク82,96の像が表示画面232に表示される。なお、ガラス基板30に設けられたパッド等も撮像されるが、図示は省略する。図12(a)には、基板マーク82の像と部品マーク96の像との関係の理解を容易にするために、2つずつの基板マーク82および部品マーク96が撮像されて表示画面232に表示された状態が図示されているが、実際に検査撮像装置400によって同時に撮像され、表示されるのは、図12(b)に示すように、チップ92の一部であって、1個の基板マーク82およびその近傍の1個の部品マーク96のみである。   The captured image data is processed by the image processing computer 218, and the images of the marks 82 and 96 are displayed on the display screen 232 as shown in FIG. In addition, although the pad etc. which were provided in the glass substrate 30 are also imaged, illustration is abbreviate | omitted. In FIG. 12A, in order to facilitate understanding of the relationship between the image of the board mark 82 and the image of the component mark 96, two board marks 82 and two component marks 96 are captured and displayed on the display screen 232. Although the displayed state is illustrated, what is actually imaged and displayed simultaneously by the inspection imaging apparatus 400 is a part of the chip 92 as shown in FIG. Only the board mark 82 and one component mark 96 in the vicinity thereof.

表示画面232には、図12(b)に示すように、チップ92の像等と共に4本のカーソルCX1,CX2,CY1,CY2が表示される。カーソルCX1,CX2はそれぞれY軸に平行な直線であり、カーソルCY1,CY2はそれぞれX軸に平行な直線であって、表示画面232いっぱいに表示される。作業者は入力装置158を用いた操作により、カーソルCX1,CX2をそれぞれX軸方向において任意の位置へ、カーソルCY1,CY2をそれぞY軸方向において任意の位置へ移動させることができる。   On the display screen 232, as shown in FIG. 12B, four cursors CX1, CX2, CY1, and CY2 are displayed together with an image of the chip 92 and the like. The cursors CX1 and CX2 are straight lines parallel to the Y axis, and the cursors CY1 and CY2 are straight lines parallel to the X axis, and are displayed on the full display screen 232. The operator can move the cursors CX1 and CX2 to arbitrary positions in the X-axis direction and the cursors CY1 and CY2 to arbitrary positions in the Y-axis direction by operating the input device 158, respectively.

作業者は、カーソルCX1,CX2をそれぞれ、図12(b)に示すように、基板マーク82の中心と部品マーク96の中心とに合わせ、位置の取得を指示する。表示画面232には2本のカーソルと共に、それらを区別する表示、例えば、カーソル名としてCX1,CX2が表示されるとともに、カーソルCX1,CX2のいずれを基板マーク82に合わせ、部品マーク96に合わせるかが予め設定され、作業者に指示されている。ここでは、カーソルCX1を基板マーク82に合わせ、カーソルCX2を部品マーク96に合わせることとする。また、作業者は、カーソルCY1,CY2をそれぞれ、基板マーク82の中心と部品マーク96の中心とに合わせ、位置の取得を指示する。カーソルCY1は基板マーク82に合わせ、カーソルCY2は部品マーク96に合わせることとする。カーソルの位置がマークの位置であり、検査コンピュータ210は、カーソルCX1,CX2,CY1,CY2の位置を、基板マーク82および部品マーク96の各X軸,Y軸方向の位置(検査座標面上における座標値)として、チップ92を特定するデータ、例えば、装着のシーケンス番号と対応付けてRAM204に記憶する。シーケンス番号は、作業者の入力により得られる。本実施例では、撮像は装着順に行われるため、撮像順が装着順でもあり、撮像順と対応付けて位置データを記憶してもよい。また、2つずつのX軸,Y軸方向の各位置データは、基板マーク82と部品マーク96とのいずれの位置データであるかを表すマーク識別データを付して記憶される。   The operator aligns the cursors CX1 and CX2 with the center of the board mark 82 and the center of the component mark 96 as shown in FIG. The display screen 232 displays two cursors and a display for distinguishing them, for example, CX1 and CX2 as cursor names, and which of the cursors CX1 and CX2 is aligned with the board mark 82 and the component mark 96. Is preset and instructed to the operator. Here, the cursor CX1 is set to the board mark 82, and the cursor CX2 is set to the component mark 96. Further, the operator aligns the cursors CY1 and CY2 with the center of the board mark 82 and the center of the component mark 96, respectively, and instructs acquisition of the position. The cursor CY1 is aligned with the board mark 82, and the cursor CY2 is aligned with the component mark 96. The position of the cursor is the mark position, and the inspection computer 210 determines the positions of the cursors CX1, CX2, CY1, and CY2 in the X-axis and Y-axis positions of the board mark 82 and the component mark 96 (on the inspection coordinate plane). As coordinate values), it is stored in the RAM 204 in association with data for specifying the chip 92, for example, the sequence number of mounting. The sequence number is obtained by operator input. In the present embodiment, since the imaging is performed in the mounting order, the imaging order is also the mounting order, and the position data may be stored in association with the imaging order. Further, each position data in the X-axis and Y-axis directions is stored with mark identification data indicating which position data is the board mark 82 or the component mark 96.

一方の組の基板マーク82および部品マーク96について位置が取得されたならば、作業者はモータ176,178のインチング操作により検査ヘッド154を移動させ、図12(c)に示すように、他方の組の基板マーク82および部品マーク96を検査撮像装置400に撮像させ、表示画面232に表示させる。そして、カーソルCX1,CX2,CY1,CY2を基板マーク82および部品マーク96に合わせ、位置の取得を指示し、取得された基板マーク82および部品マーク96の各位置データは、一方の組の基板マーク82および部品マーク96の各位置データと共にRAM204に記憶される。   If the positions of one set of the board mark 82 and the component mark 96 are acquired, the operator moves the inspection head 154 by inching operation of the motors 176 and 178, and as shown in FIG. The set of board marks 82 and component marks 96 are imaged by the inspection imaging device 400 and displayed on the display screen 232. Then, the cursors CX1, CX2, CY1, and CY2 are aligned with the board mark 82 and the component mark 96 to instruct the acquisition of the position, and each position data of the acquired board mark 82 and the part mark 96 is one set of board marks. 82 and part mark 96 are stored in the RAM 204 together with position data.

作業者は、装着順序に従って順次、検査ヘッド154を移動させてチップ92を撮像させ、基板マーク82および部品マーク96の位置を取得させる。長辺側装着部250に装着された全部のチップ92についてマーク82,96の位置が取得されたならば、RAM204に記憶されている位置データがデータ読取・書込装置220により記録媒体としての光磁気ディスクに書き込まれ、装着制御コンピュータ106に入力されるようにされる。   The operator sequentially moves the inspection head 154 in accordance with the mounting order to pick up an image of the chip 92 and acquire the positions of the board mark 82 and the component mark 96. If the positions of the marks 82 and 96 are acquired for all the chips 92 mounted on the long side mounting section 250, the position data stored in the RAM 204 is converted into light as a recording medium by the data reading / writing device 220. The data is written on the magnetic disk and input to the mounting control computer 106.

ガラス基板30の短辺側装着部252に装着されたチップ92の装着検査を説明する。
この場合、例えば、作業者はガラス基板30を上向きかつ横長の姿勢から右旋回させた後、Y軸まわりに表裏反転させた状態で検査台152上にセットする。そして、作業者は、電子回路部品装着機の表示画面124に、ガラス基板30を、図14(a)に示す初期表示姿勢から右旋回させるとともに表裏反転させた状態での装着位置関連データおよびガラス基板30等の像を表示させ、その表示画面124を見ながらモータ176,178のインチング操作を行って検査ヘッド154を移動させ、検査撮像装置400に基板マーク82および部品マーク96をチップ92の装着順に撮像させる。
A mounting inspection of the chip 92 mounted on the short side mounting section 252 of the glass substrate 30 will be described.
In this case, for example, the operator turns the glass substrate 30 upward from the horizontally long posture, and then sets the glass substrate 30 on the inspection table 152 in a state where the glass substrate 30 is turned upside down around the Y axis. Then, the operator turns the glass substrate 30 on the display screen 124 of the electronic circuit component mounting machine to the right from the initial display posture shown in FIG. An image of the glass substrate 30 or the like is displayed, and the inspection head 154 is moved by inching operation of the motors 176 and 178 while viewing the display screen 124, and the substrate mark 82 and the component mark 96 are placed on the inspection image pickup device 400. Images are taken in order of wearing.

この場合、作業者は、表示画面124において「右旋回」を選択し、実行を指示した後、更に「裏返し」を選択し、実行を指示する。作業者は、表示画面124をスクロールさせ、図14(a)に示すように、短辺側装着部252に装着されるチップ92について設定された装着位置関連データであって、シーケンス番号5,6の装着位置関連データ等を表示させる。そして、それら装着位置関連データを指定するとともに、「右旋回」を選択し、実行を指示する。それにより、図14(b)に示すように、装着位置関連データについて右旋回の座標変換が行われて表示されるとともに、ガラス基板30等の像も右旋回させられて表示される。この場合にも、第一座標面と第二座標面とは、X軸同士とY軸同士とが互いに平行であり、かつ、X軸とY軸とのそれぞれについて正負の向きが同じであり、右旋回させられたガラス基板30の基準点と第二座標面の原点とが一致するように座標変換が行われる。そのため、右旋回前のY座標値が旋回後のX座標値となり、右旋回前のX座標値の正負の符号を反転させた値(旋回前のX座標値に−1を掛けることにより得られる値)が右旋回後のY座標値となる座標変換が行われる。   In this case, the operator selects “turn right” on the display screen 124 and instructs execution, and then selects “turn over” and instructs execution. The operator scrolls the display screen 124 and, as shown in FIG. 14A, is mounting position related data set for the chip 92 mounted on the short side mounting section 252 and includes sequence numbers 5 and 6. Display data related to the mounting position of the. Then, the mounting position related data is designated, and “right turn” is selected and execution is instructed. As a result, as shown in FIG. 14B, the right-turning coordinate conversion is performed on the mounting position related data and displayed, and the image of the glass substrate 30 and the like is also turned right and displayed. Also in this case, the first coordinate plane and the second coordinate plane are such that the X-axis and the Y-axis are parallel to each other, and the positive and negative directions are the same for each of the X-axis and the Y-axis, Coordinate conversion is performed so that the reference point of the glass substrate 30 turned rightward coincides with the origin of the second coordinate plane. Therefore, the Y coordinate value before the right turn becomes the X coordinate value after the turn, and a value obtained by inverting the sign of the X coordinate value before the right turn (by multiplying the X coordinate value before the turn by -1). Coordinate conversion is performed in which the value obtained is the Y coordinate value after turning right.

更に、シーケンス番号5,6の装着位置関連データを指定した状態で、「裏返し」の選択,実行指示が行われる。それにより、図15に示すように、右旋回に加えて表裏反転の座標変換が行われた装着位置関連データが表示画面124に表示されるとともに、ガラス基板30等の像が表示される。この場合にも、第一,第二座標面は、X軸同士とY軸同士とが互いに平行であり、かつ、X軸とY軸とのそれぞれについて正負の向きが同じであり、また、ガラス基板30の基準点が第二座標面の原点と一致するように座標変換が行われる。図14(b)に示す右旋回させられた装着位置関連データに対しては、Y座標値は変わらず、X座標値の正負が反転する座標変換が行われ、図14(a)に示す初期状態での装着位置関連データに対しては、そのY座標値の正負の符号を反転した値が右旋回および表裏反転後のX座標値となり、X座標値の正負の符号を反転させた値が右旋回および表裏反転後のY座標値となるように座標変換が行われる。なお、座標変換は、右旋回および裏返しを選択した後、まとめて実行を指示してもよく、また、途中の装着関連位置データおよび像、すなわち右旋回の座標変換による装着位置関連データおよび像は表示されず、最終の装着位置関連データ等、すなわち右旋回後、表裏反転させられた装着位置関連データおよび像のみが表示画面124に表示されてもよい。   Further, in the state where the mounting position related data of sequence numbers 5 and 6 are designated, “turn over” is selected and an execution instruction is performed. As a result, as shown in FIG. 15, the mounting position related data that has been subjected to the coordinate transformation for reversing the front and back in addition to the right turn is displayed on the display screen 124 and an image of the glass substrate 30 or the like is displayed. Also in this case, the first and second coordinate planes are such that the X-axis and the Y-axis are parallel to each other, and the positive and negative directions are the same for each of the X-axis and the Y-axis. Coordinate conversion is performed so that the reference point of the substrate 30 coincides with the origin of the second coordinate plane. The Y-coordinate value is not changed with respect to the right-turned mounting position related data shown in FIG. 14B, and coordinate conversion is performed in which the sign of the X-coordinate value is reversed, as shown in FIG. For the mounting position related data in the initial state, the value obtained by inverting the sign of the Y coordinate value becomes the X coordinate value after turning right and turning the front and back, and the sign of the X coordinate value is inverted. Coordinate conversion is performed so that the value becomes the Y coordinate value after turning right and turning upside down. The coordinate conversion may be instructed to be executed collectively after selecting the right turn and the reverse, and the attachment-related position data and image in the middle, that is, the attachment position-related data by the right-turn coordinate conversion and The image may not be displayed, and only the final mounting position related data or the like, that is, only the mounting position related data and the image that are turned upside down after turning right may be displayed on the display screen 124.

このように表示画面124に、右旋回および表裏反転の座標変換が行われた装着位置関連データおよびガラス基板30等の像を表示させた状態で、それら表示を見ながら作業者は検査ヘッド154を移動させ、短辺側装着部252に装着されたチップ92の部品マーク96および基板マーク82を検査撮像装置400に撮像させ、位置を取得させる。取得された位置は、シーケンス番号およびマーク識別データと対応付けてRAM204に記憶され、検査終了後、光磁気ディスクに書き込まれる。   In this manner, the display position 124 displays the mounting position related data and the image such as the glass substrate 30 that have been subjected to the right-turning and front-back reversal coordinate conversion. , The component mark 96 and the board mark 82 of the chip 92 mounted on the short side mounting section 252 are imaged by the inspection imaging device 400, and the position is acquired. The acquired position is stored in the RAM 204 in association with the sequence number and the mark identification data, and written to the magneto-optical disk after the inspection is completed.

ガラス基板30に装着された全部のチップ92について装着検査が行われたならば、作業者は、位置データが書き込まれた光磁気ディスクを装着制御コンピュータ106のデータ読取・書込装置116に読み取らせ、装着制御コンピュータ106にマーク82,96の位置データを入力するとともに、ガラス基板30に装着される複数のチップ92の各々についての装着位置ずれの演算を指示する。1つのチップ92について、2つずつの基板マーク82および部品マーク96の各X軸,Y軸座標値が記憶されており、装着制御コンピュータ106では、2つの基板マーク82の各X座標値の平均値および各Y座標値の平均値が演算され、部品装着位置のX,Y座標値が求められる。また、2つの部品マーク96の各X座標値の平均値および各Y座標値の平均値が演算され、チップ92の中心位置のX,Y座標値が求められる。そして、チップ92の中心位置の部品装着位置に対するずれが求められ、装着位置ずれが得られる。なお、回転位置誤差を求め、修正するようにしてもよい。   If the mounting inspection is performed for all the chips 92 mounted on the glass substrate 30, the operator causes the data reading / writing device 116 of the mounting control computer 106 to read the magneto-optical disk on which the position data is written. Then, the position data of the marks 82 and 96 are input to the mounting control computer 106 and the calculation of the mounting position deviation for each of the plurality of chips 92 mounted on the glass substrate 30 is instructed. For each chip 92, the X-axis and Y-axis coordinate values of two board marks 82 and component marks 96 are stored, and the mounting control computer 106 averages the X-coordinate values of the two board marks 82. The average value of the value and each Y coordinate value is calculated, and the X and Y coordinate values of the component mounting position are obtained. Further, the average value of the X coordinate values and the average value of the Y coordinate values of the two component marks 96 are calculated, and the X and Y coordinate values of the center position of the chip 92 are obtained. Then, the deviation of the center position of the chip 92 from the component mounting position is obtained, and the mounting position deviation is obtained. The rotational position error may be obtained and corrected.

全部のチップ92について装着位置ずれが演算されたならば、作業者は、装着位置ずれデータをプリンタ126により印刷する。上記基板マーク82等の位置は、装着シーケンス番号と対応付けて記憶されており、装着位置ずれデータと共に装着シーケンス番号が印刷され、作業者はそれを見ながら装着位置関連データの装着位置ずれデータを修正する。検査時に作業者が検査姿勢を入力し、マーク82,96の位置と共に記憶されて印刷され、作業者に表示されるようにしてもよい。   If the mounting position deviation is calculated for all the chips 92, the operator prints the mounting position deviation data by the printer 126. The position of the board mark 82 and the like is stored in association with the mounting sequence number, and the mounting sequence number is printed together with the mounting position shift data, and the operator views the mounting position shift data of the mounting position related data while looking at it. Correct it. An operator may input an inspection posture at the time of inspection, and may be stored and printed together with the positions of the marks 82 and 96 and displayed to the operator.

この修正は電子回路部品装着機において行われる。作業者は、表示画面124に装着シーケンス番号,部品名,装着位置座標データ,装着位置ずれデータおよびガラス基板30,130,チップ92の像を表示させ、装着位置ずれデータを修正する。装着検査は、長辺側装着部250については、ガラス基板30を上向きかつ横長の姿勢から表裏反転させることにより行われ、装着位置ずれデータは、その状態で得られたデータである。そのため、作業者は、長辺側装着部250について設定された装着位置関連データについて修正を行う場合には、シーケンス番号1から4の装着位置関連データを選択し、表示画面124に表示された座標変換の種類のうち、裏返しを選択して、その実行を指示する。それにより、図13(b)に示すように表示画面124が切り換わり、装着位置関連データである装着位置座標データおよび装着位置ずれデータが座標変換されて表示されるとともに、ガラス基板30の像等が表裏反転させられて表示される。   This correction is performed in the electronic circuit component mounting machine. The operator displays the mounting sequence number, the part name, the mounting position coordinate data, the mounting position shift data, and the images of the glass substrates 30, 130 and the chip 92 on the display screen 124, and corrects the mounting position shift data. The mounting inspection is performed on the long side mounting portion 250 by turning the glass substrate 30 upside down from a horizontally long posture, and the mounting position deviation data is data obtained in that state. Therefore, when the worker corrects the mounting position related data set for the long side mounting unit 250, the worker selects the mounting position related data of sequence numbers 1 to 4 and displays the coordinates displayed on the display screen 124. Among the types of conversion, select the inside out and instruct the execution. As a result, the display screen 124 is switched as shown in FIG. 13B, and the mounting position coordinate data and the mounting position deviation data, which are mounting position related data, are converted and displayed, and an image of the glass substrate 30, etc. Is displayed reversed.

そして、作業者は、印刷された装着位置ずれを見ながら、入力装置114により装着位置ずれを修正する。ここにおいて装着位置ずれの修正は、装着位置ずれを打ち消すことではなく、設計上の装着位置座標に対するずれであって、現に生じている最新の装着位置ずれに更新することである。修正時には、検査により得られた装着位置ずれの値をそのまま使用することができ、検査時におけるガラス基板30の姿勢を考えることなく、迅速に修正を行うことができる。前述のように、第二座標面と検査座標面とは同じ座標面であって、X軸およびY軸が共に平行であり、かつ、X軸,Y軸の正負の向きが同じであり、また、いずれの座標面においてもガラス基板30が表裏反転させられているからである。これら座標面における装着位置ずれは、ガラス基板30が基準姿勢にある状態でのずれではなく、電子回路部品装着機について設定された基準座標面におけるずれではないが、修正後、逆座標変換が行われることにより、自動的にガラス基板30が基準姿勢にある状態でのずれであって、長辺側装着部250については部品装着時のずれにされるため、作業者が、ガラス基板30が基準姿勢にある状態での装着位置ずれに換算しなくてよく、容易にかつミスなく修正を行うことができる。なお、装着検査が初めて行われ、装着位置座標データが初めて修正される場合には、作業者は取得された装着位置ずれをそのまま入力すればよい。装着検査が2回目以降の場合には、作業者は取得された装着位置ずれを、既に入力されて表示されている装着位置ずれに加算した値を入力する。この演算も、表示された値に、取得された値をそのまま加えることにより行えばよく、容易である。初回の装着位置ずれの入力は、0の装着位置ずれの修正である。図13(b)では、装着位置ずれが入力された状態が図示されている。   Then, the operator corrects the mounting position deviation with the input device 114 while viewing the printed mounting position deviation. Here, the correction of the mounting position deviation is not to cancel the mounting position deviation, but to update the latest mounting position deviation that has actually occurred and is a deviation from the design mounting position coordinates. At the time of correction, the value of the mounting position deviation obtained by the inspection can be used as it is, and the correction can be performed quickly without considering the posture of the glass substrate 30 at the time of inspection. As described above, the second coordinate plane and the inspection coordinate plane are the same coordinate plane, both the X axis and the Y axis are parallel, and the positive and negative directions of the X axis and the Y axis are the same. This is because the glass substrate 30 is turned upside down in any coordinate plane. These mounting position shifts in the coordinate plane are not shifts in the state where the glass substrate 30 is in the reference posture, but are not shifts in the reference coordinate plane set for the electronic circuit component mounting machine. Therefore, the glass substrate 30 is automatically displaced in the reference posture, and the long side mounting portion 250 is displaced at the time of component mounting. It is not necessary to convert the mounting position deviation in the posture state, and correction can be performed easily and without mistakes. When the mounting inspection is performed for the first time and the mounting position coordinate data is corrected for the first time, the operator may input the acquired mounting position deviation as it is. When the mounting inspection is performed for the second time or later, the operator inputs a value obtained by adding the acquired mounting position deviation to the already inputted and displayed mounting position deviation. This calculation can be easily performed by adding the acquired value as it is to the displayed value. The first input of the mounting position deviation is correction of zero mounting position deviation. FIG. 13B shows a state in which the mounting position deviation is input.

装着位置ずれの修正が終了したならば、作業者は逆座標変換の実行を指示する。本実施例では、実行した座標変換の種類を再度、選択し、実行を指示することにより、その座標変換の逆座標変換の実行が指示される。それにより設計装着位置座標データおよび修正された装着位置ずれデータである修正装着位置ずれデータが逆座標変換され、図13(a)に示すように、初期表示データ、すなわちガラス基板30が基準姿勢にある状態でのデータであって、長辺側装着部250については部品装着時のデータとされて表示される。また、この修正されて逆変換された装着位置修正データを含むずれ解消装着位置座標データ取得データは、装着位置ずれ修正前のずれ解消装着位置座標データ取得データと置き換えられてRAM104に記憶され、部品装着時に使用される。   When the correction of the mounting position deviation is completed, the operator instructs execution of inverse coordinate conversion. In the present embodiment, the type of coordinate transformation that has been executed is selected again, and execution is instructed to instruct execution of inverse coordinate transformation of that coordinate transformation. As a result, the design mounting position coordinate data and the corrected mounting position deviation data, which is the corrected mounting position deviation data, are subjected to inverse coordinate conversion, and as shown in FIG. 13A, the initial display data, that is, the glass substrate 30 is set to the reference posture. It is data in a certain state, and the long side mounting portion 250 is displayed as data at the time of component mounting. Further, the deviation-removed mounting position coordinate data acquisition data including the corrected and reverse-converted mounting position correction data is replaced with the deviation-removed mounting position coordinate data acquisition data before the mounting position deviation correction, and is stored in the RAM 104. Used when wearing.

短辺側装着部252について設定された装着位置関連データも同様にして作業者により修正される。この場合、作業者は、シーケンス番号5,6の装着位置関連データを指定するとともに、装着検査時と同様に、まず、「右旋回」を選択し、実行を指示して右旋回の座標変換を行わせる。その後、更に、シーケンス番号5,6の装着位置関連データを指定した状態で「裏返し」を選択し、実行を指示して、右旋回の座標変換後、裏返しの座標変換が行われた装着位置関連データおよびガラス基板30等の像を表示させ、座標変換された装着位置ずれデータを修正する。この場合にも、第二座標面と検査座標面とが同じ座標面とされ、装着位置関連データおよびガラス基板30の像等が表示画面124に検査時と同じ状態で表示されるため、作業者は印刷された装着位置ずれであって、検査により得られた装着位置ずれをそのまま使用して装着位置ずれを修正することができる。   The mounting position related data set for the short side mounting unit 252 is similarly corrected by the operator. In this case, the operator designates the mounting position related data of sequence numbers 5 and 6 and, at the same time as the mounting inspection, first selects “right turn”, instructs execution, and coordinates for right turn. Let the conversion take place. After that, in the state where the mounting position related data of sequence numbers 5 and 6 are designated, “inside out” is selected, execution is instructed, the right turn coordinate conversion is performed, and the mounting position in which the reverse coordinate conversion is performed is performed. The related data and the image of the glass substrate 30 or the like are displayed, and the mounting position deviation data subjected to coordinate conversion is corrected. Also in this case, the second coordinate plane and the inspection coordinate plane are the same coordinate plane, and the mounting position related data and the image of the glass substrate 30 are displayed on the display screen 124 in the same state as at the time of the inspection. Is a printed mounting position deviation, and the mounting position deviation obtained by the inspection can be used as it is to correct the mounting position deviation.

修正後、逆座標変換の実行を指示すれば、装着位置座標データおよび装着位置ずれデータは、図14(a)に示すように、右旋回および表裏反転による座標変換が行われないデータに自動的に逆変換され、第一座標面上における装着位置座標データおよび修正装着位置ずれデータに自動的に変換される。逆座標変換は、裏返しおよび右旋回をそれぞれ再度、座標変換時とは逆の順序で選択し、実行を指示することにより行われる。そして、修正されて逆変換された装着位置関連データを含むずれ解消装着位置座標データ取得データは、修正前のデータと置き換えられてRAM104に記憶され、部品装着時に使用される。   If the execution of reverse coordinate conversion is instructed after correction, the mounting position coordinate data and the mounting position deviation data are automatically converted into data that is not subjected to coordinate conversion by turning right and turning upside down, as shown in FIG. Thus, it is automatically converted into mounting position coordinate data and corrected mounting position deviation data on the first coordinate plane. Inverse coordinate conversion is performed by selecting reverse and right turn again in the reverse order of the coordinate conversion and instructing execution. Then, the deviation-removed mounting position coordinate data acquisition data including the mounting position related data that has been corrected and reversely converted is replaced with the data before correction, stored in the RAM 104, and used at the time of component mounting.

部品装着時には、部品装着のシーケンス番号から、現に装着作業を行っているチップ92についてのずれ解消装着位置座標データ取得データが読み出され、設計装着位置座標データが修正装着位置ずれデータに基づいて修正され、その修正データに従って装着ヘッド350が装着ヘッド移動装置352により移動させられてチップ92の装着を行う。部品装着後の検査により取得された位置ずれは、前述のように、チップ92およびガラス基板30が異なっていても共通に生じる位置ずれであり、その位置ずれが打ち消されるように設計装着位置座標データが修正されて装着が行われることにより、チップ92が精度良くガラス基板30に装着される。   At the time of component mounting, the deviation-removed mounting position coordinate data acquisition data for the chip 92 currently performing the mounting operation is read from the component mounting sequence number, and the design mounting position coordinate data is corrected based on the corrected mounting position shift data. Then, the mounting head 350 is moved by the mounting head moving device 352 according to the correction data, and the chip 92 is mounted. As described above, the positional deviation obtained by the inspection after mounting the component is a positional deviation that occurs in common even if the chip 92 and the glass substrate 30 are different from each other, and the design mounting position coordinate data so that the positional deviation is canceled out. Is corrected and mounted, the chip 92 is mounted on the glass substrate 30 with high accuracy.

この場合、長辺側装着部250について取得されたずれ解消装着位置座標データ取得データはそのまま使用されるが、短辺側装着部252について取得されたデータは、90度右旋回の座標変換が行われて使用される。短辺側装着部252についてチップ92が装着される場合には、ガラス基板30が90度、右旋回させられて短辺側装着部252が電子回路部品装着機の基準座標面のX軸方向と平行となるようにされるからである。   In this case, the deviation-removed mounting position coordinate data acquisition data acquired for the long-side mounting unit 250 is used as it is, but the data acquired for the short-side mounting unit 252 is 90 ° right-turn coordinate conversion. Done and used. When the chip 92 is mounted on the short side mounting portion 252, the glass substrate 30 is rotated 90 degrees to the right so that the short side mounting portion 252 is in the X-axis direction of the reference coordinate plane of the electronic circuit component mounting machine. It is because it is made to become parallel with.

このように、設計データは、ガラス基板30に装着される全部のチップ92について同じ姿勢で作成されるのに対し、装着検査およびデータ修正は、縦横の姿勢が、設計時とは異なる向きおよび姿勢で行われるが、修正後、逆座標変換により、設計座標面上でのデータに戻されるため、設計データを、装着時のガラス基板30の姿勢によって区別しなくてもよく、データ管理が容易である。
また、部品装着時と装着検査時とにおいてガラス基板30の縦横の向きを同じにすることは不可欠ではなく、例えば、短辺側装着部252に装着されたチップ92の装着検査を、長辺側装着部250に装着されたチップ92の装着検査と同様に、液晶パネル28を上向きかつ横長の姿勢から表裏反転させた姿勢で行ってもよい。装着位置ずれ取得時のガラス基板30の姿勢がいかなる姿勢であっても、取得時と同じ姿勢で修正が行われるとともに、修正後、逆変換されたデータが、装着位置ずれを生じさせた装着姿勢と同じ姿勢での部品装着に使用されれば、装着位置ずれを修正することができるからである。検査対象基板の上下(表裏)の向きについても同様である。
As described above, the design data is created in the same posture for all the chips 92 mounted on the glass substrate 30, whereas the mounting inspection and the data correction are performed in the orientation and orientation in which the vertical and horizontal postures are different from those at the time of design. However, after correction, the data is returned to the data on the design coordinate plane by inverse coordinate transformation. Therefore, it is not necessary to distinguish the design data according to the posture of the glass substrate 30 at the time of mounting, and data management is easy. is there.
Further, it is not indispensable to make the vertical and horizontal orientations of the glass substrate 30 the same at the time of component mounting and mounting inspection. For example, the mounting inspection of the chip 92 mounted on the short side mounting portion 252 is performed on the long side side. Similarly to the mounting inspection of the chip 92 mounted on the mounting unit 250, the liquid crystal panel 28 may be mounted in an upside-down orientation from the horizontally long orientation. Regardless of the posture of the glass substrate 30 at the time of acquisition of the mounting position deviation, correction is performed in the same posture as at the time of acquisition, and after the correction, the inversely converted data causes the mounting posture that caused the mounting position deviation. This is because the mounting position deviation can be corrected if it is used for mounting the component in the same posture. The same applies to the upper and lower (front and back) orientations of the substrate to be inspected.

ガラス基板30を左旋回させるとともに表裏反転させた状態で検査および装着位置ずれの修正を行ってもよいが、それらは、ガラス基板30を右旋回させるとともに表裏反転させた状態で検査,修正を行う場合と、X座標値およびY座標値の正負の符号が逆になる点を除いて同様に行われるため、図示および説明を省略する。
また、検査台152にセットされたガラス基板30の姿勢によっては、右旋回あるいは左旋回の座標変換が複数回行われることもある。
While the glass substrate 30 is turned left and the front and back are reversed, the inspection and the mounting position deviation may be corrected. However, they are inspected and corrected while the glass substrate 30 is turned right and reversed. Since it is performed in the same way except for the case where the positive and negative signs of the X coordinate value and the Y coordinate value are reversed, illustration and description are omitted.
Further, depending on the posture of the glass substrate 30 set on the inspection table 152, coordinate conversion of right turn or left turn may be performed a plurality of times.

以上、装着検査に基づいて装着位置ずれデータを修正し、それにより装着位置座標データが修正される場合を説明したが、本電子回路部品装着システムにおいては、装着位置座標データの変更および装着位置関連データの追加も行うことができる。例えば、装着検査により取得されたチップ92の装着位置ずれが、X軸方向とY軸方向との少なくとも一方において、ずれの範囲を超えて大きい場合、例えば、設計データが間違っていると考えられる。この場合には、装着位置ずれに基づいて設計上の装着位置座標データそのものを変更する。表示画面124に表示される装着位置座標データを変更するのであり、ずれ解消装着位置座標データ取得データの装着位置座標データが変更される。この変更は、検査時のガラス基板30の姿勢に合わせて装着位置関連データが座標変換され、表示された状態で行われることは、装着位置ずれの修正時と同じである。なお、取得されたずれの大きさが小数点以下の値を含む場合、例えば、整数部分を用いて装着位置座標を変更し、小数点以下の部分は装着位置ずれとすればよい。部品装着プログラムの設計装着位置座標データも変更されてもよい。   The case where the mounting position deviation data is corrected based on the mounting inspection and the mounting position coordinate data is corrected has been described above. However, in this electronic circuit component mounting system, the mounting position coordinate data is changed and the mounting position is related. You can also add data. For example, when the mounting position shift of the chip 92 acquired by the mounting inspection is large beyond the shift range in at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction, for example, it is considered that the design data is incorrect. In this case, the design mounting position coordinate data itself is changed based on the mounting position deviation. The mounting position coordinate data displayed on the display screen 124 is changed, and the mounting position coordinate data of the deviation elimination mounting position coordinate data acquisition data is changed. This change is performed in a state where the mounting position related data is coordinate-converted and displayed in accordance with the posture of the glass substrate 30 at the time of inspection, which is the same as when the mounting position deviation is corrected. In addition, when the magnitude | size of the acquired shift | offset | difference contains the value below a decimal point, a mounting position coordinate should be changed using an integer part, for example, and the part below a decimal point should just be set as a mounting position shift | offset | difference. The design mounting position coordinate data of the component mounting program may also be changed.

また、例えば、チップ92の実装が済んだガラス基板30を作業者が見て、チップ92が装着されるべき箇所に装着されていないのであれば、装着位置関連データを追加し、チップ92が装着されるようにする。追加時には、ガラス基板30が基準姿勢にある状態での装着位置関連データを表示画面124に表示させ、作業者は、表示画面124に表示されている「データ追加」を選択し、実行を指示する。それにより、例えば、表示画面124に、シーケンス番号,部品名および装着位置関連データの入力欄が表示され、作業者は入力装置114を用いてデータを入力する。この際、作業者は、表示画面124に表示されたガラス基板30等の像を参考にしてデータを入力することができる。短辺側装着部252について装着位置関連データを追加する場合には、装着位置関連データ等について右旋回の座標変換を行ったデータ等を表示させて追加を行わせ、追加後、逆座標変換させて設計上の装着位置関連データとするようにしてもよい。装着位置関連データ等の追加により、その追加されたデータと同じシーケンス番号以降の装着位置関連データについてシーケンス番号が自動的にずらされる。追加されたチップ92の装着順は、その装着位置関連データを含むすべての装着位置関連データに基づいて自動的に設定されるようにしてもよい。また、データの追加は、修正と共に行われてもよい。部品装着プログラムについても装着位置関連データが追加され、追加された装着位置にチップ92が装着されるようにされる。   Further, for example, if the operator looks at the glass substrate 30 on which the chip 92 has been mounted and the chip 92 is not mounted at a position where the chip 92 is to be mounted, the mounting position related data is added and the chip 92 is mounted. To be. At the time of addition, the mounting position related data in a state where the glass substrate 30 is in the reference posture is displayed on the display screen 124, and the operator selects “add data” displayed on the display screen 124 and instructs execution. . Thereby, for example, input fields for sequence number, part name, and mounting position related data are displayed on the display screen 124, and the operator inputs data using the input device 114. At this time, the operator can input data with reference to the image of the glass substrate 30 or the like displayed on the display screen 124. When adding mounting position related data for the short side mounting section 252, data such as right-turned coordinate conversion is displayed on the mounting position related data and the like is added, and after the addition, inverse coordinate conversion is performed. Thus, the design-related mounting position related data may be used. By adding the mounting position related data or the like, the sequence number is automatically shifted for the mounting position related data after the same sequence number as the added data. The order of mounting the added chips 92 may be automatically set based on all mounting position related data including the mounting position related data. Further, the addition of data may be performed together with the correction. The mounting position related data is also added to the component mounting program, and the chip 92 is mounted at the added mounting position.

以上の説明から明らかなように、本実施例においては、装着制御コンピュータ106のRAM104の、設計装着位置座標データおよび装着位置ずれデータを記憶する部分が記憶手段を構成し、入力装置114がデータ入力部を構成するとともに、座標変換指示部,逆座標変換指示部,座標変換種類選択部および逆座標変換種類選択部を構成し、装着制御コンピュータ106の指示された座標変換の種類および逆座標変換の種類に従って装着位置座標データおよび装着位置ずれデータについて演算を行い、座標変換および逆座標変換を実行する部分が座標変換部および逆座標変換部を構成し、入力装置114が部品装着位置修正部,装着位置関連データ追加部および装着位置関連データ変更部を構成している。逆座標変換部は、設計状態データ復帰部でもあると考えることもできる。装着制御コンピュータ106の作業者の指示に基づいて装着位置ずれを演算する部分が装着位置ずれ演算部を構成し、データ変更量取得部たるデータ修正量取得部としての装着位置ずれ取得部を構成していると考えることができる。装着制御コンピュータ106のデータ読取・書込装置116により読み取られたデータを取り込む部分がデータ変更量取得部を構成していると考えることもできる。また、テーブル34およびテーブル34に設けられた基板吸着装置が基板保持装置を構成し、テーブル移動装置36および装着ヘッド移動装置352が基板保持装置と装着ヘッド350とを相対移動させる相対移動装置を構成している。装着ヘッド350は加圧ヘッドであり、加熱ヘッドでもある。   As is clear from the above description, in this embodiment, the portion of the RAM 104 of the mounting control computer 106 that stores the design mounting position coordinate data and the mounting position deviation data constitutes the storage means, and the input device 114 inputs the data. And a coordinate conversion instructing unit, an inverse coordinate conversion instructing unit, a coordinate conversion type selecting unit, and an inverse coordinate conversion type selecting unit. The calculation is performed on the mounting position coordinate data and the mounting position deviation data according to the type, and the portion that performs coordinate conversion and inverse coordinate conversion constitutes the coordinate conversion unit and the inverse coordinate conversion unit, and the input device 114 is the component mounting position correction unit, mounting A position related data adding unit and a mounting position related data changing unit are configured. The inverse coordinate conversion unit can also be considered as a design state data return unit. The portion of the mounting control computer 106 that calculates the mounting position deviation based on the operator's instruction constitutes a mounting position deviation calculation unit, and constitutes a mounting position deviation acquisition unit as a data correction amount acquisition unit that is a data change amount acquisition unit. Can be considered. It can also be considered that the part that takes in the data read by the data reading / writing device 116 of the mounting control computer 106 constitutes a data change amount acquisition unit. Further, the table 34 and the substrate suction device provided on the table 34 constitute a substrate holding device, and the table moving device 36 and the mounting head moving device 352 constitute a relative moving device that relatively moves the substrate holding device and the mounting head 350. is doing. The mounting head 350 is a pressure head and a heating head.

なお、マーク位置データ等は、通信により検査コンピュータ210から装着制御コンピュータ106に入力されてもよい。
また、検査コンピュータ210においてチップ92の装着位置ずれが求められるようにしてもよい。この場合、例えば、装着検査機150にプリンタを設け、作業者は求められた装着位置ずれを印刷し、電子回路部品装着機において装着位置ずれデータを修正する。あるいは記録媒体に装着位置ずれデータ等を記憶させ、電子回路部品装着機のプリンタに印刷させてもよい。
The mark position data and the like may be input from the inspection computer 210 to the mounting control computer 106 by communication.
In addition, the inspection computer 210 may require a displacement of the mounting position of the chip 92. In this case, for example, a printer is provided in the mounting inspection machine 150, and the operator prints the required mounting position deviation, and corrects the mounting position deviation data in the electronic circuit component mounting machine. Alternatively, mounting position deviation data or the like may be stored in a recording medium and printed by a printer of the electronic circuit component mounting machine.

請求可能発明の別の実施例を図16および図17に基づいて説明する。本実施例においては、装着検査時に検査ヘッド154が、装着位置座標データに基づいて自動的に装着順にチップ92へ移動させられてマーク82,96を撮像し、電子回路部品装着機において装着位置ずれが自動的に修正されるようにされている。また、電子回路部品装着機と装着検査機との間においては、データのやり取りが通信線により行われるようにされている。そのため、図16に示すように、電子回路部品装着機の制御装置300は、前記制御装置24と同様に装着制御コンピュータ302を主体として構成されているが、その入出力インタフェース108に、部品装着検査機の制御装置310の主体を成す検査コンピュータ312が通信線により接続されている。図17に示すように、部品装着検査機の制御装置310の検査コンピュータ312の入出力インタフェース212にも、装着制御コンピュータ302が通信線により接続されている。また、部品装着検査機の検査撮像装置316および照明装置318は、前記検査撮像装置400および照明装置402と同様に構成されているが、本実施例では、2つの部品マーク96および2つの基板マーク82を同時に照明し、撮像し得るものとされている。   Another embodiment of the claimable invention will be described with reference to FIGS. In this embodiment, at the time of mounting inspection, the inspection head 154 is automatically moved to the chip 92 in the mounting order based on the mounting position coordinate data and images the marks 82 and 96, and the mounting position shift is performed in the electronic circuit component mounting machine. Has been fixed automatically. In addition, data is exchanged between the electronic circuit component placement machine and the placement inspection machine via a communication line. Therefore, as shown in FIG. 16, the control device 300 of the electronic circuit component mounting machine is configured mainly by the mounting control computer 302 as in the case of the control device 24, but the input / output interface 108 is connected to the component mounting inspection. The inspection computer 312 which is the main body of the machine control device 310 is connected by a communication line. As shown in FIG. 17, the mounting control computer 302 is also connected to the input / output interface 212 of the inspection computer 312 of the control device 310 of the component mounting inspection machine via a communication line. Further, the inspection imaging device 316 and the illumination device 318 of the component mounting inspection machine are configured in the same manner as the inspection imaging device 400 and the illumination device 402, but in this embodiment, two component marks 96 and two board marks are provided. It is supposed that 82 can be simultaneously illuminated and imaged.

検査コンピュータ312には、設計装着位置座標データおよび装着順序データが通信により装着制御コンピュータ302から入力され、RAM204に記憶される。そして、部品装着検査機150では、部品装着位置順に装着位置座標データが読み出され、検査ヘッド154が自動的に撮像対象であるチップ92上へ移動させられる。前述のように、ガラス基板30は検査台152に種々の姿勢でセットされ、その姿勢に応じてガラス基板30の基準点の検査座標面内における位置が変わる。そのため、例えば、ガラス基板30を基準姿勢と同じ姿勢で検査台152にセットした後、作業者はモータ176,178のインチング操作によって検査ヘッド154をガラス基板30の基準点へ移動させ、検査撮像装置316に基準点を撮像させるとともにカーソルを用いて基準点の位置を検査コンピュータ312に取得させる。あるいはガラス基板30を検査台152に、基準点において直交する2辺をX軸方向およびY軸方向において位置決めする位置決め装置を設け、位置決め装置によるガラス基板30の位置決め位置に基づいて基準点の位置が取得されるようにする。検査姿勢にセットした状態で基準点の位置を取得してもよい。この検査座標面内におけるガラス基板30の基準点の位置,設計装着位置座標データおよびガラス基板30の検査姿勢に基づいて検査ヘッド154の移動位置が求められる。ガラス基板30の検査姿勢は、作業者により入力される。この際、検査コンピュータ312では、ガラス基板30の検査姿勢に基づいて設計装着位置座標データが座標変換されて検査ヘッド154の移動位置が求められる。この座標変換は装着制御コンピュータ302において行われ、検査コンピュータ312に供給されるようにしてもよい。   Designed mounting position coordinate data and mounting order data are input to the inspection computer 312 from the mounting control computer 302 through communication and stored in the RAM 204. In the component mounting inspection machine 150, mounting position coordinate data is read in the order of component mounting positions, and the inspection head 154 is automatically moved onto the chip 92 that is the imaging target. As described above, the glass substrate 30 is set on the inspection table 152 in various postures, and the position of the reference point of the glass substrate 30 in the inspection coordinate plane changes according to the posture. Therefore, for example, after setting the glass substrate 30 on the inspection table 152 in the same posture as the reference posture, the operator moves the inspection head 154 to the reference point of the glass substrate 30 by the inching operation of the motors 176 and 178, and the inspection imaging apparatus. In 316, the reference point is imaged and the inspection computer 312 is made to acquire the position of the reference point using the cursor. Alternatively, a positioning device for positioning the glass substrate 30 on the inspection table 152 and two sides orthogonal to each other in the reference point in the X-axis direction and the Y-axis direction is provided, and the position of the reference point is determined based on the positioning position of the glass substrate 30 by the positioning device. To be acquired. You may acquire the position of a reference point in the state set to the inspection posture. The moving position of the inspection head 154 is obtained based on the position of the reference point of the glass substrate 30 in the inspection coordinate plane, the design mounting position coordinate data, and the inspection posture of the glass substrate 30. The inspection posture of the glass substrate 30 is input by an operator. At this time, the inspection computer 312 converts the design mounting position coordinate data based on the inspection posture of the glass substrate 30 and obtains the movement position of the inspection head 154. This coordinate conversion may be performed by the mounting control computer 302 and supplied to the inspection computer 312.

検査ヘッド154の移動後、チップ92が撮像されるとともに表示画面232に拡大されて表示され、作業者がカーソルCX1,CX2,CY1,CY2を基板マーク82および部品マーク96にそれぞれ合わせ、検査コンピュータ312に、2つの基板マーク82の各々のX軸,Y軸方向の位置および2つの部品マーク96の各々のX軸,Y軸方向の位置を取得させることは、前記実施例と同様である。2つずつの基板マーク82および部品マーク96のうち、近接する一方の組の基板マーク82および部品マーク96についてカーソルを合わせて位置を取得させた後、他方の組の基板マーク82および部品マーク96についてカーソルを合わせて位置を取得させる。取得された基板マーク82および部品マーク96の各位置は、装着順序およびマーク識別データと対応付けて記憶される。このようにマーク82,96の位置が取得されるとき、作業者は電子回路部品装着機の表示画面124に装着シーケンス番号,部品名,装着位置関連データおよびガラス基板30等の像を、ガラス基板30の検査姿勢に合わせた状態で表示させる。ガラス基板30が横長姿勢から表裏反転させられた姿勢で検査が行われるのであれば、作業者は裏返しによる座標変換を指示し、それにより座標変換された装着位置関連データおよび裏返しにされたガラス基板30の像が表示画面124に表示されるのであり、例えば、作業者は、装着検査が実行されるチップ92がいずれであるかを表示画面124を見て確認しながら、撮像等を指示することができる。1つのチップ92が撮像され、基板マーク82および部品マーク96の位置が取得されたならば、次のチップ92の撮像,マーク82,96の位置の取得が作業者により指示され、それにより、検査ヘッド154が装着順序および装着位置座標データに基づいてチップ92へ自動的に移動させられ、検査撮像装置316により撮像が行われる。   After the inspection head 154 moves, the chip 92 is imaged and enlarged and displayed on the display screen 232. The operator aligns the cursors CX1, CX2, CY1, and CY2 with the board mark 82 and the component mark 96, respectively, and the inspection computer 312. In the same manner as in the above embodiment, the positions of the two substrate marks 82 in the X-axis and Y-axis directions and the positions of the two component marks 96 in the X-axis and Y-axis directions are acquired. Of the two board marks 82 and component marks 96, the cursor is moved to obtain the position of one set of adjacent board marks 82 and component marks 96, and then the other set of board marks 82 and component marks 96 is set. Place the cursor on to get the position. The acquired positions of the board mark 82 and the component mark 96 are stored in association with the mounting order and the mark identification data. Thus, when the positions of the marks 82 and 96 are acquired, the operator displays the image of the mounting sequence number, the part name, the mounting position related data and the glass substrate 30 on the display screen 124 of the electronic circuit component mounting machine. It is displayed in a state in accordance with 30 inspection postures. If the inspection is performed in a posture in which the glass substrate 30 is turned upside down from the horizontally long posture, the operator instructs the coordinate conversion by turning it over, whereby the coordinate-converted mounting position related data and the glass substrate turned upside down. 30 images are displayed on the display screen 124. For example, the operator gives an instruction for imaging while checking the display screen 124 to determine which chip 92 is to be subjected to the mounting inspection. Can do. If one chip 92 is imaged and the positions of the board mark 82 and the component mark 96 are acquired, the operator is instructed to image the next chip 92 and acquire the positions of the marks 82 and 96, thereby inspecting. The head 154 is automatically moved to the chip 92 based on the mounting order and mounting position coordinate data, and imaging is performed by the inspection imaging device 316.

全部のチップ92について2つずつの基板マーク82および部品マーク96の各X軸,Y軸方向の位置が取得されたならば、それらマーク位置データ,装着順序データおよび検査時のガラス基板30の姿勢データが通信により、装着制御コンピュータ302に供給され、入力される。装着制御コンピュータ302は、入力されたマーク位置データに基づいてチップ92の装着位置ずれを求めるとともに、RAM104にずれ解消装着位置座標データ取得データの一部として記憶されている装着位置ずれデータを修正する。前記実施例において作業者により行われていた装着位置ずれ修正作業が装着制御コンピュータ302により自動的に行われるのである。   If the positions of each of the substrate marks 82 and the component marks 96 in the X-axis and Y-axis directions for all the chips 92 are acquired, the mark position data, the mounting order data, and the attitude of the glass substrate 30 at the time of inspection. Data is supplied and input to the mounting control computer 302 by communication. The mounting control computer 302 obtains the mounting position deviation of the chip 92 based on the input mark position data, and corrects the mounting position deviation data stored in the RAM 104 as a part of the data for acquiring the position canceling mounting position coordinate data. . The mounting position deviation correction work performed by the operator in the above embodiment is automatically performed by the mounting control computer 302.

この際、装着位置ずれデータの修正は、装着検査時のガラス基板30の姿勢に合わせて行われる。ガラス基板30を横長姿勢から表裏反転させた姿勢で装着位置ずれが取得されたのであれば、裏返しの座標変換が行われた装着位置ずれデータが、取得された装着位置ずれにより修正されるのである。修正後、自動的に逆座標変換が行われ、装着位置座標データおよび修正装着位置ずれデータが、基準姿勢にあるガラス基板30についてのデータとされる。作業者による逆座標変換の実行の指示に基づいて逆座標変換が行われるようにしてもよい。   At this time, the correction of the mounting position deviation data is performed according to the posture of the glass substrate 30 at the time of mounting inspection. If the mounting position deviation is acquired in a posture in which the glass substrate 30 is reversed from the landscape orientation, the mounting position deviation data subjected to the reverse coordinate conversion is corrected by the acquired mounting position deviation. . After the correction, the inverse coordinate conversion is automatically performed, and the mounting position coordinate data and the corrected mounting position deviation data are used as data for the glass substrate 30 in the reference posture. Inverse coordinate transformation may be performed based on an instruction to perform inverse coordinate transformation by the operator.

本実施例においては、作業者が部品装着検査機150においてカーソルCX1,CX2,CY1,CY2をマーク82,96に合わせてその位置を取得させ、装着位置ずれが取得されるようにすることがデータ変更であり、カーソルCX1,CX2,CY1,CY2を移動させる操作等を行う入力装置158がデータ変更部を構成している。装着検査機150側にデータ変更部が設けられているのである。また、装着制御コンピュータ302のRAM104が記憶手段を構成し、装着位置ずれデータの修正時に、ガラス基板30の検査姿勢に合わせた装着位置関連データの座標変換を指示し、実行する部分が座標変換指示部および座標変換部を構成し、修正後、逆座標変換を指示し、実行する部分が逆座標変換指示部および逆座標変換部を構成し、これらが部品装着検査機150側のデータ変更部と共に装着位置関連データ変換装置を構成している。本実施例では、座標変換の指示も逆座標変換の指示も自動で行われるのである。   In the present embodiment, the data is acquired by the operator by causing the component mounting inspection machine 150 to obtain the position of the cursor CX1, CX2, CY1, CY2 by aligning the marks 82, 96 with the cursor CX1, CX2, CY1, CY2. An input device 158 that is a change operation for moving the cursors CX1, CX2, CY1, and CY2 constitutes a data change unit. A data changing unit is provided on the mounting inspection machine 150 side. Further, the RAM 104 of the mounting control computer 302 constitutes a storage means, and when correcting the mounting position deviation data, the coordinate conversion of the mounting position related data in accordance with the inspection posture of the glass substrate 30 is instructed. And the coordinate conversion unit, and after correction, the inverse coordinate conversion is instructed, and the part to be executed constitutes the inverse coordinate conversion instruction unit and the inverse coordinate conversion unit, which together with the data changing unit on the component mounting inspection machine 150 side A mounting position related data converter is configured. In this embodiment, both the coordinate conversion instruction and the inverse coordinate conversion instruction are automatically performed.

装着制御コンピュータ302の、マーク位置データを受け取る部分がデータ変更部としてのデータ受取部を構成している考えることもでき、マーク位置データに基づいて装着位置関連データとして記憶されている装着位置ずれデータを修正する部分が部品装着位置修正部を構成し、データ変更部を構成していると考えることもできる。これらの場合、データ変更は自動で行われ、電子回路部品装着機側に装着位置関連データ変換装置の全部が設けられていることとなる。この際、作業者がカーソルCX1,CX2,CY1,CY2を2つずつの基板マーク82および部品マーク96に合わせる操作もデータ変更部の一部であると考えれば、データ変更部が電子回路部品装着機と部品装着検査機150との両方に跨って設けられていることとなる。また、装着制御コンピュータ302の、検査コンピュータ312からマーク位置データを受け取る部分がデータ変更量取得部としてのデータ修正量取得部を構成していると考えることもでき、マーク位置データに基づいて装着位置ずれを求める部分が、データ変更量取得部としてのデータ修正量取得部を構成していると考えることもでき、データ修正量取得部が部品装着位置修正部の一部を構成していると考えることもできる。マーク位置データに基づく装着位置ずれは、検査コンピュータ312において演算され、装着制御コンピュータ302に通信により供給されるようにしてもよい。この場合、検査コンピュータ312の装着位置ずれを演算する部分もデータ変更部の一部を構成すると考えることもでき、装着制御コンピュータ302の装着位置ずれを受け取る部分がデータ変更部としてのデータ受取部を構成するとともに、データ変更量取得部を構成していると考えることもできる。   It can be considered that the portion of the mounting control computer 302 that receives the mark position data constitutes a data receiving unit as a data changing unit, and mounting position deviation data stored as mounting position related data based on the mark position data It can also be considered that the part that corrects the component constitutes the component mounting position correcting unit and the data changing unit. In these cases, the data change is automatically performed, and the entire mounting position related data conversion device is provided on the electronic circuit component mounting machine side. At this time, if the operator thinks that the operation of aligning the cursors CX1, CX2, CY1, and CY2 with the two board marks 82 and the component mark 96 is also part of the data changing unit, the data changing unit is mounted with the electronic circuit component. It is provided across both the machine and the component mounting inspection machine 150. Further, it can be considered that the portion of the mounting control computer 302 that receives the mark position data from the inspection computer 312 constitutes a data correction amount acquisition unit as a data change amount acquisition unit, and the mounting position is determined based on the mark position data. It can be considered that the portion for obtaining the deviation constitutes a data correction amount acquisition unit as a data change amount acquisition unit, and the data correction amount acquisition unit constitutes a part of the component mounting position correction unit. You can also The mounting position deviation based on the mark position data may be calculated by the inspection computer 312 and supplied to the mounting control computer 302 by communication. In this case, it can be considered that the part for calculating the mounting position deviation of the inspection computer 312 also constitutes a part of the data changing unit, and the part for receiving the mounting position deviation of the mounting control computer 302 serves as the data receiving unit as the data changing unit. It can also be considered that the data change amount acquisition unit is configured.

検査ヘッド154は、1つのチップ92が撮像され、マーク82,96にカーソルが合わされて装着位置のずれが取得される毎に、次に位置ずれが取得されるチップ92へ自動的に移動させられるようにしてもよい。   The inspection head 154 is automatically moved to the next chip 92 where the positional deviation is acquired every time the chip 92 is imaged and the cursor is placed on the marks 82 and 96 and the positional deviation is acquired. You may do it.

上記各実施例の装着位置関連データ変換装置は、部品装着基板を表裏反転させることなく装着位置ずれが取得される場合のデータ変換等、種々のデータ変換に使用することができる。例えば、部品装着検査を表側(部品装着基板の部品装着面側)から行うことができるのであれば、部品既装着面が上向きの姿勢で、かつ部品装着基板が横長の姿勢で検査を行ったり、部品既装着面が上向きの状態で横長姿勢から右旋回させたり、左旋回させたりした姿勢で検査を行い、その姿勢に応じて装着位置関連データ変換装置に座標変換,逆座標変換,データ変更を行わせる。例えば、部品装着基板が不透明であり、裏側から、部品装着面に設けられた部材や装着された電子回路部品を透かして見ることができない場合でも、部品装着面側から検査を行って位置ずれを取得することができる場合がある。例えば、電子回路部品の本体に電極が、部品装着面側から認識可能に設けられる場合、電子回路部品の本体の部品装着面側とは反対側の面にマークが設けられ、そのマークを部品装着面側から認識可能な場合、リードが本体から側方へ突出して設けられる場合等には、それら電極,マークおよびリードを、電子回路部品が部品装着基板に装着された状態において部品装着面側から認識可能であり、その認識に基づいて装着位置ずれを取得したり、部品マークおよび基板マークの位置に基づいて装着位置ずれを取得したりすることができる。電子回路部品の本体を撮像し、その位置を求めて正規の位置と比較して装着位置ずれを求めることも可能である。電子回路部品の本体が透明な場合、例えば、電子回路部品がFPC基板であって、本体が透明であれば、その部品装着基板の被装着面に設けられた部品マークを、被装着面とは反対側の面側から認識することもできる。装着位置関連データ変換装置は、透明な部品装着基板ヘの電子回路部品の装着を行う電子回路部品装着機,不透明な部品装着基板への電子回路部品の装着を行う電子回路部品装着機,両方を行う電子回路部品装着機等、種々の電子回路部品装着機に設けられてデータ変換を行うことができるのである。装着検査は、例えば、横長姿勢から右旋回させたり、左旋回させた状態で行ったり、右旋回あるいは左旋回を複数回、行った状態で行うことができる。このように位置ずれを取得することができる場合、部品装着基板が透明であっても、表裏反転させることなく、部品装着基板の部品装着面側から位置ずれを取得し、それに基づいて位置関連データを変更することができる。   The mounting position-related data conversion device of each of the above embodiments can be used for various data conversions such as data conversion when a mounting position deviation is acquired without turning the component mounting board upside down. For example, if the component mounting inspection can be performed from the front side (component mounting surface side of the component mounting board), the component mounting surface is in an upward orientation and the component mounting board is in a landscape orientation, Inspection is performed in a right-turned or left-turned posture from a horizontally long posture with the part mounting surface facing upward, and coordinate conversion, inverse coordinate conversion, and data change are made to the mounting position related data converter according to the posture. To do. For example, even if the component mounting board is opaque and it is not possible to see through the components provided on the component mounting surface or the mounted electronic circuit components from the back side, inspection is performed from the component mounting surface side to detect misalignment. You may be able to get it. For example, when an electrode is provided on the body of an electronic circuit component so that it can be recognized from the component mounting surface side, a mark is provided on the surface opposite to the component mounting surface side of the body of the electronic circuit component, and the mark is mounted on the component When the lead can be recognized from the surface side, or when the lead is provided to protrude sideways from the body, the electrodes, marks and leads are connected from the component mounting surface side with the electronic circuit component mounted on the component mounting board. It is possible to recognize, and it is possible to acquire a mounting position shift based on the recognition, or to acquire a mounting position shift based on the position of the component mark and the board mark. It is also possible to take an image of the main body of the electronic circuit component, find its position, and compare it with the normal position to find the mounting position deviation. If the electronic circuit component main body is transparent, for example, if the electronic circuit component is an FPC board and the main body is transparent, the component mark provided on the mounting surface of the component mounting substrate is the mounting surface. It can also be recognized from the opposite side. The mounting position related data conversion device includes an electronic circuit component mounting machine for mounting electronic circuit components on a transparent component mounting board, and an electronic circuit component mounting machine for mounting electronic circuit components on an opaque component mounting board. It is provided in various electronic circuit component mounting machines such as an electronic circuit component mounting machine to perform data conversion. The mounting inspection can be performed, for example, in a state of turning right or turning left from a horizontally long posture, or in a state of performing right turn or left turn a plurality of times. When the positional deviation can be obtained in this manner, even if the component mounting board is transparent, the positional deviation is acquired from the component mounting surface side of the component mounting board without reversing the front and back, and the position related data is based on that. Can be changed.

また、部品装着基板が透明であり、かつ、回路パターンおよびACF等の接続材を通して部品の電極あるいはリードを認識することができるのであれば、部品装着基板を表裏反転させて装着位置ずれを検査する際、回路パターンおよび電極あるいはリードの認識(撮像)に基づいて位置ずれを検出してもよい。回路パターン等を基板マークおよび部品マークとして利用するのである。
位置関連データ変換装置が電子回路部品装着システム以外の作業システムに設けられる場合にも、座標変換対象物の特性や作業の内容等に応じて、座標変換は種々の態様で行うことができる。
If the component mounting board is transparent and the electrode or lead of the component can be recognized through the connection material such as the circuit pattern and ACF, the mounting position deviation is inspected by inverting the component mounting board. At this time, the positional deviation may be detected based on the recognition (imaging) of the circuit pattern and the electrodes or leads. Circuit patterns and the like are used as board marks and component marks.
Even when the position-related data conversion device is provided in a work system other than the electronic circuit component mounting system, the coordinate conversion can be performed in various modes according to the characteristics of the coordinate conversion object, the contents of the work, and the like.

また、装着位置関連データの修正は、装着位置ずれが検出される毎に行われてもよい。例えば、修正が作業者によって行われる場合、装着検査機において電子回路部品について2つずつの部品マークおよび基準マークの各位置が取得される毎に、装着位置ずれを演算させるとともに表示させ、作業者がそれを見て修正を行うようにするのである。あるいは、装着制御コンピュータにおいて装着位置ずれが1つ演算される毎に表示させ、作業者に修正させる。修正が自動で行われる場合、例えば、装着制御コンピュータと検査コンピュータとの間においてデータのやり取りが通信により常時行われるようにし、マーク位置データが取得される毎に検査コンピュータから装着制御コンピュータに送られて装着位置ずれが求められ、修正が行われるようにする。検査および修正が同じコンピュータで行われる場合、データ伝送は不要である。   Further, the correction of the mounting position related data may be performed every time a mounting position shift is detected. For example, when correction is performed by an operator, the mounting position deviation is calculated and displayed each time two component marks and reference mark positions are obtained for each electronic circuit component in the mounting inspection machine. Look at it and make corrections. Alternatively, it is displayed each time one mounting position deviation is calculated in the mounting control computer, and is corrected by the operator. When correction is performed automatically, for example, data exchange between the mounting control computer and the inspection computer is always performed by communication, and each time mark position data is acquired, the data is sent from the inspection computer to the mounting control computer. Thus, the mounting position deviation is obtained and corrected. If the inspection and correction are performed on the same computer, data transmission is not necessary.

逆座標変換は、全部の装着位置関連データについて変更が為された後にまとめて行われてもよく、1個、あるいは予め設定された複数個ずつ、装着位置関連データの変更が行われる毎に行われてもよい。   The inverse coordinate transformation may be performed collectively after all the mounting position related data has been changed, and is performed each time the mounting position related data is changed by one or a plurality of preset data. It may be broken.

また、逆座標変換は、例えば、表示画面に、座標変換の種類と共に「逆座標変換」の表示を表示させ、その選択,実行の指示により行われるようにしてもよく、あるいは、表示画面にエンタ表示,終了表示あるいは初期表示への復帰表示を設け、データ入力後、エンタあるいは終了あるいは初期表示を選択し、実行を指示することが逆変換の実行指示であり、それにより逆変換が行われるようにしてもよい。   Further, the inverse coordinate conversion may be performed by, for example, displaying a display of “inverse coordinate conversion” together with the type of coordinate conversion on the display screen, and performing the selection and execution instructions, or enter the display screen. Display, end display, or return display to initial display is provided, and after data input, enter or end or initial display is selected, and execution is instructed to execute reverse conversion. It may be.

さらに、取得された装着位置ずれに基づいて装着位置座標データを直接修正するようにしてもよい。   Further, the mounting position coordinate data may be directly corrected based on the acquired mounting position deviation.

また、装着位置ずれに替えて装着位置ずれ解消データが表示され、検出された装着位置ずれに基づいて、装着位置ずれ解消データが更新され、表示されるようにしてもよい。   Alternatively, the mounting position deviation cancellation data may be displayed instead of the mounting position deviation, and the mounting position deviation cancellation data may be updated and displayed based on the detected mounting position deviation.

さらに、表示画面に部品装着基板の基準点,X軸およびY軸を表示すれば作業者にわかり易いが、その表示は不可欠ではなく、少なくとも1つの表示を省略してもよい。   Further, if the reference point of the component mounting board, the X axis, and the Y axis are displayed on the display screen, it is easy for the operator to understand. However, the display is not essential, and at least one display may be omitted.

さらに、部品装着検査機に装着位置関連データ変換装置を設けてもよい。この場合、記録媒体の使用や通信等により、ずれ解消装着位置座標データ取得データ等、必要なデータを検査コンピュータに入力するとともに、座標変換および逆座標変換のためのプログラムを検査コンピュータに設ける。また、表示画面を2つ設け、あるいは1つの表示画面を2分割し得るようにし、一方に撮像された基板マーク等を表示させ、他方に装着位置関連データ等を表示させつつ装着検査が行われ、検査後、装着位置関連データ等を表示画面に表示させつつ自動で、あるいは手動で装着位置ずれの修正が行われるようにする。修正後のデータは記録媒体に記録したり、無線あるいは有線の通信等により装着制御コンピュータに入力する。   Furthermore, a mounting position related data conversion device may be provided in the component mounting inspection machine. In this case, necessary data such as deviation-removed mounting position coordinate data acquisition data or the like is input to the inspection computer by using a recording medium or communication, and a program for coordinate conversion and inverse coordinate conversion is provided in the inspection computer. In addition, two display screens are provided, or one display screen can be divided into two, and a mounting inspection is performed while displaying a picked-up board mark or the like on one side and displaying mounting position related data on the other side. After the inspection, the mounting position deviation is corrected automatically or manually while displaying the mounting position related data and the like on the display screen. The corrected data is recorded on a recording medium or input to the mounting control computer by wireless or wired communication.

さらに、電子回路部品装着機に記憶手段を設け、座標変換指示部等、位置関連データ変換装置の他の構成要素は、装着検査機等、他の装置に設けてもよい。この場合、他の装置において行われた座標変換,データ変更および逆座標変換の結果を電子回路部品装着機に戻し、記憶手段の記憶を更新させる。   Furthermore, a storage means may be provided in the electronic circuit component mounting machine, and other components of the position-related data conversion device such as a coordinate conversion instruction unit may be provided in another device such as a mounting inspection machine. In this case, the results of coordinate transformation, data change and inverse coordinate transformation performed in another device are returned to the electronic circuit component mounting machine, and the storage of the storage means is updated.

さらにまた、部品装着検査機において検査ヘッドを自動的に装着部品へ移動させ、撮像装置に基板マークおよび部品マークを撮像させる場合、互いに近接して位置する1つずつの基板マークおよび部品マークのみが同時に撮像されるようにしてもよい。この場合、装着制御コンピュータから検査コンピュータへ、設計装着位置座標データおよび電子回路部品における部品マークの配置位置データを含む部品データと共に基板マークの位置データが供給され、それらに基づいて撮像装置の移動位置が求められる。撮像装置は、装着部品について設けられた2つの部品マークのうちの一方と、その部品マークに近接する基板マークとを同時に撮像した後、自動で他方の部品マークおよびその部品マークに近接する基板マークへ移動させられて同時に撮像し、部品マークおよび基板マークがよりクリアに撮像される。   Furthermore, in the component mounting inspection machine, when the inspection head is automatically moved to the mounting component and the image pickup apparatus picks up the board mark and the component mark, only the one board mark and the component mark located close to each other are present. You may make it image simultaneously. In this case, the position data of the board mark is supplied from the mounting control computer to the inspection computer together with the component mounting data including the design mounting position coordinate data and the component mark arrangement position data in the electronic circuit component, and the moving position of the imaging device based on them. Is required. The imaging apparatus simultaneously images one of the two component marks provided for the mounted component and the board mark adjacent to the component mark, and then automatically captures the other component mark and the board mark adjacent to the component mark. The component mark and the board mark are imaged more clearly.

また、上記実施例においてACFは熱可塑性樹脂フィルムを含むものとされていたが、熱硬化性樹脂フィルムを含むものでもよい。   Moreover, although ACF was supposed to contain a thermoplastic resin film in the said Example, it may contain a thermosetting resin film.

さらに、ACFテープは、部品装着基板に設定された少なくとも1つの部品装着位置の各々について個別に貼付してもよい。   Further, the ACF tape may be individually attached to each of at least one component mounting position set on the component mounting board.

また、ACFテープを部品装着基板に貼付する際、基板マークおよび部品装着基板の部品マークに対応する部分を外し、それらを覆わないように貼付してもよい。そのようにすれば、部品マークがACFテープを介することなく撮像され、照明装置を可視光源のみを含む装置としたり、ACFテープが光の透過を許容しないものである場合でも部品マークを認識したりすることができる。   Moreover, when affixing the ACF tape to the component mounting substrate, the substrate mark and the part corresponding to the component mark of the component mounting substrate may be removed and affixed so as not to cover them. By doing so, the part mark is imaged without going through the ACF tape, and the lighting device is a device including only a visible light source, or the part mark is recognized even when the ACF tape does not allow light transmission. can do.

また、電子回路部品をACFを用いて部品装着基板に接合する場合、仮圧着と本圧着とが1台の作業機上で行われるようにしてもよい。   Further, when the electronic circuit component is bonded to the component mounting board using the ACF, the temporary pressure bonding and the main pressure bonding may be performed on one working machine.

さらに、部品装着基板は、ガラス基板に限らず、FPC基板(Flexible Printed Circuit Board,フレキシブルプリント基板)等でもよく、種々の基板が座標変換対象物とされる。フレキシブルプリント基板は、可撓性および絶縁性を有するフィルム上に導体パターンが形成されたプリント配線板であり、例えば、耐熱性を有し、可撓性,絶縁性を有する透明なポリイミド樹脂やポリエステル樹脂製のフィルム上に導体パターンが形成されてフリップチップ等の電子回路部品が搭載される。FPC基板は、電子回路部品としてガラス基板に装着されることもあり、それに設けられたマークと、ガラス基板に設けられたマークとを撮像し、装着位置ずれを取得して修正することができ、その取得,修正に装着位置関連データ変換装置を使用することができる。また、電子回路部品の電極と部品装着基板の電極とは、ACFテープを用いた接続工法に限らず、例えば、溶融はんだ結合工法や、金属結合工法によって接続することができる。溶融はんだ結合工法は、はんだを溶融して電極端子同士を電気的に接合する工法であり、例えば、部品装着基板の電極端子にクリーム状はんだを塗布し、塗布はんだ上に電子回路部品の電極端子を載置した状態で加熱,溶融させたり、電子回路部品に設けたはんだバンプを部品装着基板の電極端子に接触させた状態で加熱,溶融させたりする。金属結合工法は、金属製、例えば、金製の電極端子同士を直接接触させ、圧力および超音波振動を加えることによって接合する工法である。光または熱硬化性樹脂を用いて接続する工法もある。これら部品接続工法は、部品装着基板や電子回路部品等の種類や特性等に応じて適切な工法が選択される。例えば、溶融はんだ結合工法は、耐熱性に優れ、はんだ溶融時の加熱に耐えることができる部品装着基板における電極端子の接合に適しており、例えば、フレキシブルプリント配線板が耐熱性を有する樹脂により作られている場合に電子回路部品の接合に用いることができる。フレキシブルプリント配線板の基材が透明な合成樹脂製の場合、表裏反転させた状態でフレキシブルプリント配線板に装着された部品の位置検査を行うことができる。
Further, the component mounting board is not limited to a glass substrate, FPC board (Flexible Printed Circuit Board, flexible printed circuit board) may even like, various substrates are the coordinate transformation object. A flexible printed circuit board is a printed wiring board in which a conductor pattern is formed on a flexible and insulating film. For example, a transparent polyimide resin or polyester having heat resistance and flexibility and insulation. A conductor pattern is formed on a resin film and an electronic circuit component such as a flip chip is mounted. The FPC board may be mounted on the glass substrate as an electronic circuit component, and the mark provided on the FPC board and the mark provided on the glass substrate can be imaged, and the mounting position deviation can be acquired and corrected. A mounting position related data converter can be used for the acquisition and correction. Further, the electrodes of the electronic circuit component and the electrodes of the component mounting substrate are not limited to the connection method using the ACF tape, and can be connected by, for example, a molten solder bonding method or a metal bonding method. The molten solder bonding method is a method of melting the solder and electrically joining the electrode terminals to each other. For example, cream solder is applied to the electrode terminals of the component mounting board, and the electrode terminals of the electronic circuit component are applied onto the applied solder. Is heated and melted in a state of mounting, or is heated and melted in a state where solder bumps provided on the electronic circuit component are in contact with the electrode terminals of the component mounting board. The metal bonding method is a method of bonding by bringing metal electrode terminals, for example, gold, into direct contact with each other and applying pressure and ultrasonic vibration. There is also a method of connection using light or thermosetting resin. As these component connection methods, an appropriate method is selected according to the type and characteristics of the component mounting board and the electronic circuit component. For example, the molten solder bonding method is excellent in heat resistance and is suitable for joining electrode terminals on a component mounting board that can withstand the heat during melting of the solder. For example, a flexible printed wiring board is made of a heat-resistant resin. It can be used for joining electronic circuit components. When the base material of the flexible printed wiring board is made of a transparent synthetic resin, it is possible to inspect the position of the component mounted on the flexible printed wiring board in a state where the front and back are reversed.

電子回路部品を部品装着基板にはんだによって接合する場合、はんだによって電子回路部品が部品装着基板に仮止めされた状態において電子回路部品がずれる恐れがなければ、仮止め状態において装着検査を行ってもよく、はんだが溶融されて電子回路部品が部品装着基板に電気的に接続された状態で検査を行ってもよい。   When electronic circuit components are joined to a component mounting board by soldering, if there is no fear that the electronic circuit components will shift when soldered, the electronic circuit components may be temporarily fixed. The inspection may be performed in a state where the solder is melted and the electronic circuit component is electrically connected to the component mounting board.

また、ACF貼付ヘッドによる部品装着基板へのACF貼付位置あるいはACF切断ヘッドによるACFのカット長さ等を検査し、位置関連データに変更を加えてもよい。ACF切断ヘッドは、部品装着基板に貼付されたACFテープを設定長さに切断することにより、間接的に部品装着基板に作業を施す作業ヘッドである。ACF貼付位置データは、座標変換対象物である部品装着基板の位置に関連するデータであり、ACFのカット長さも、その貼付位置から得ることができ、長さを規定する貼付位置データが位置関連データである。ACF貼付位置は、ACFテープの部品装着基板への貼付け後、電子回路部品の装着前に検査してもよく、装着後に検査してもよい。部品装着基板が透明基板であれば、電子回路部品の装着後、部品装着基板を表裏反転させてACFテープの貼付位置を取得してもよい。ACF貼付位置を検査する場合、ACFの予め設定された1箇所について位置を取得して位置ずれ等を取得してもよく、複数箇所について位置を取得し、それらに基づいて位置ずれ等を取得してもよい。ACFには導電粒子が含まれており、例えば、撮像装置によるACFの撮像により導電粒子の有無,数や密度を取得し、それに基づいてACFの貼付位置や長さを取得する。また、ACFカット長さを検査する場合、例えば、ACFテープについて予め設定された複数箇所、例えば、長手方向に隔たった4箇所について検査位置を設定し、各検査位置におけるACFテープの有無に基づいてACFテープの端の位置を取得して長さを求め、正規の長さに対する差を取得する。これら取得された実際のACF貼付位置ずれやACFカット長さの正規の長さとの差に基づいて、例えば、設定されたACF貼付位置やカット位置に変更を加え、ACF貼付時におけるACF貼付ヘッドと部品装着基板との相対位置が修正されたり、テープ切断装置による切断位置が修正されるようにする。この変更に位置関連データ変換装置が用いられる。
ACF貼付ヘッドが、電子回路部品にACFを貼付するものである場合にも、その貼付位置等を検査し、位置関連データに変更が加えられるようにしてもよい。この場合、電子回路部品が座標変換対象物であることとなる。
Further, the position-related data may be changed by inspecting the ACF application position on the component mounting board by the ACF application head or the cut length of the ACF by the ACF cutting head. The ACF cutting head is a work head that indirectly performs work on the component mounting board by cutting the ACF tape affixed to the component mounting board to a set length. The ACF application position data is data related to the position of the component mounting board, which is a coordinate conversion object, and the cut length of the ACF can also be obtained from the application position, and the application position data defining the length is position related. It is data. The ACF application position may be inspected after the ACF tape is attached to the component mounting substrate and before the electronic circuit component is mounted, or after the mounting. If the component mounting substrate is a transparent substrate, the mounting position of the ACF tape may be obtained by inverting the component mounting substrate after mounting the electronic circuit component. When inspecting the ACF application position, the position may be acquired for one preset position of the ACF to acquire misalignment, etc., the position may be acquired for a plurality of locations, and the misalignment etc. may be acquired based on the position. May be. The ACF includes conductive particles. For example, the presence / absence, number, and density of conductive particles are acquired by imaging the ACF with an imaging device, and the ACF attachment position and length are acquired based on the acquired ACF. Further, when inspecting the ACF cut length, for example, inspection positions are set at a plurality of positions set in advance on the ACF tape, for example, at four positions separated in the longitudinal direction, and based on the presence or absence of the ACF tape at each inspection position. The position of the end of the ACF tape is obtained to obtain the length, and the difference from the normal length is obtained. Based on the actual deviation of the ACF application position and the difference between the actual length of the ACF cut length, for example, the set ACF application position and the cut position are changed, and the ACF application head at the time of ACF application The relative position with respect to the component mounting board is corrected, or the cutting position by the tape cutting device is corrected. A position related data converter is used for this change.
Even when the ACF sticking head is for sticking the ACF to the electronic circuit component, the sticking position or the like may be inspected to change the position related data. In this case, the electronic circuit component is a coordinate conversion object.

電子回路部品の装着検査は、部品装着基板の検査機へのセット後は、全部自動で行われるようにしてもよい。例えば、電子回路部品の装着位置座標データ等に基づいて検査ヘッドが自動的に電子回路部品へ移動させられ、例えば、電子回路部品全体を撮像してその位置を取得し、ずれのない正規の位置との比較により位置ずれ量を取得する。あるいは部品マーク,基板マークを撮像して装着位置ずれを取得してもよい。この場合、装着検査に続いて、装着位置関連データの変更まで自動的に行われるようにしてもよい。   The electronic circuit component mounting inspection may be automatically performed after the component mounting board is set in the inspection machine. For example, the inspection head is automatically moved to the electronic circuit component based on the mounting position coordinate data of the electronic circuit component, etc. The amount of positional deviation is acquired by comparison with. Alternatively, the mounting position deviation may be acquired by imaging the component mark and the board mark. In this case, subsequent to the mounting inspection, the mounting position related data may be automatically changed.

座標変換対象物は、電子回路部品や部品装着基板に限らず、例えば、作業ヘッドにより何らかの作業が施される部材であれば、座標変換対象物になり得る。また、座標変換対象物が部品装着基板である場合、装着される電子回路部品は液晶駆動回路部品に限らず、QFP(Quad Flat Package),CSP(Chip Size Package)等のパッケージ部品等、部品装着基板の種類等に応じて種々の電子回路部品が装着され、例えば、それら電子回路部品の装着位置関連データが装着位置関連データ変換装置により変更される。   The coordinate conversion object is not limited to an electronic circuit component or a component mounting board, and can be a coordinate conversion object as long as it is a member on which some work is performed by a work head, for example. In addition, when the coordinate conversion object is a component mounting board, the electronic circuit component to be mounted is not limited to the liquid crystal drive circuit component, but the component mounting such as a package component such as QFP (Quad Flat Package) and CSP (Chip Size Package). Various electronic circuit components are mounted in accordance with the type of the substrate and the like. For example, the mounting position related data of the electronic circuit components is changed by the mounting position related data conversion device.

以上、説明した位置ずれの取得および位置関連データ変換装置等に関する種々の態様は、電子回路部品装着システム以外の対部品装着基板作業システムにおいても採用可能である。   As described above, the various aspects related to the acquisition of positional deviation and the position-related data conversion device and the like can also be adopted in a component mounting board working system other than the electronic circuit component mounting system.

請求可能発明の実施例である電子回路部品装着システムを概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the electronic circuit component mounting system which is an Example of claimable invention. 上記電子回路部品装着システムを概略的に示す側面図である。It is a side view which shows the said electronic circuit component mounting system schematically. 上記電子回路部品装着システムにおいてチップ部品が装着されるガラス基板の複数の部品装着位置の1つについて設けられた基板マークを示す平面図である。It is a top view which shows the board | substrate mark provided about one of several component mounting positions of the glass substrate in which a chip component is mounted in the said electronic circuit component mounting system. 上記ガラス基板に装着される電子回路部品の一種であるフリップチップを示す底面図である。It is a bottom view which shows the flip chip which is 1 type of the electronic circuit components with which the said glass substrate is mounted | worn. 上記ガラス基板にACFテープを介してフリップチップが装着された状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state by which the flip chip was mounted | worn through the ACF tape on the said glass substrate. 上記電子回路部品装着システムを制御する制御装置を概略的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows roughly the control apparatus which controls the said electronic circuit component mounting system. 上記電子回路部品装着機における電子回路部品のガラス基板への装着状態を検査する部品装着検査機を概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the component mounting inspection machine which test | inspects the mounting state to the glass substrate of the electronic circuit component in the said electronic circuit component mounting machine. 上記部品装着検査機の検査ヘッドの検査撮像装置等を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows roughly the test | inspection imaging device etc. of the test | inspection head of the said component mounting test | inspection machine. 上記部品装着検査機を制御する制御装置を概略的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows roughly the control apparatus which controls the said component mounting inspection machine. 上記部品装着検査機による装着検査時のガラス基板の姿勢を説明する図である。It is a figure explaining the attitude | position of the glass substrate at the time of the mounting inspection by the said component mounting inspection machine. フリップチップが装着されたガラス基板を表裏反転させた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which reversed the front and back of the glass substrate with which the flip chip was mounted | worn. 上記部品装着検査機の撮像装置により撮像されたチップが表示画面に表示された状態を示すとともに、基準マークおよび部品マークの位置の取得を説明する図である。It is a figure explaining the acquisition of the position of a reference mark and a component mark while showing the state where the chip imaged by the imaging device of the above-mentioned component mounting inspection machine was displayed on the display screen. 上記部品装着検査機による検査時に、電子回路部品装着機の表示画面に初期表示される装着位置関連データ,部品装着基板の像等およびガラス基板が横長姿勢から表裏反転させられて装着状態が検査される際に表示画面に表示される装着位置関連データ,部品装着基板の像等を示す図である。During the inspection by the component mounting inspection machine, the mounting position related data initially displayed on the display screen of the electronic circuit component mounting machine, the image of the component mounting board, and the glass board are reversed from the horizontal orientation to check the mounting state. FIG. 5 is a diagram showing mounting position related data, an image of a component mounting board, and the like displayed on a display screen when a display is performed. 上記部品装着検査機による検査時に、電子回路部品装着機の表示画面に初期表示される装着位置関連データ,部品装着基板の像等およびガラス基板が横長姿勢から右旋回させられた状態で電子回路部品装着機の表示画面に表示される装着位置関連データおよび部品装着基板の像等を示す図である。The electronic circuit with the mounting position related data initially displayed on the display screen of the electronic circuit component mounting machine, the image of the component mounting board, and the glass substrate rotated rightward from the horizontal position during the inspection by the component mounting inspection machine. It is a figure which shows the mounting position related data, the image of a component mounting board, etc. which are displayed on the display screen of a component mounting machine. ガラス基板が横長姿勢から右旋回させられるとともに表裏反転させられて装着状態が検査される際に電子回路部品装着機の表示画面に表示される装着位置関連データおよびガラス基板の像等を示す図である。The figure which shows the mounting position related data, the image of a glass substrate, etc. which are displayed on the display screen of an electronic circuit component mounting machine when a glass substrate is rotated rightward from a horizontally long posture and turned upside down and the mounting state is inspected It is. 請求可能発明の別の実施例である電子回路部品装着システムを制御する制御装置を概略的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows roughly the control apparatus which controls the electronic circuit component mounting system which is another Example of claimable invention. 図16に示す制御装置を有する電子回路部品装着機においてガラス基板に装着された電子回路部品の装着状態を検査する部品装着検査機を制御する制御装置を概略的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows roughly the control apparatus which controls the component mounting inspection machine which test | inspects the mounting state of the electronic circuit component mounted in the glass substrate in the electronic circuit component mounting machine which has a control apparatus shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

16:部品装着装置 24:制御装置 30:部品装着基板(ガラス基板) 34:テーブル 36:テーブル移動装置 350:装着ヘッド 352:装着ヘッド移動装置 92:チップ部品 114:入力装置 124:表示画面 150:部品装着検査機 162:制御装置 300,310:制御装置   16: Component mounting device 24: Control device 30: Component mounting substrate (glass substrate) 34: Table 36: Table moving device 350: Mounting head 352: Mounting head moving device 92: Chip component 114: Input device 124: Display screen 150: Component mounting inspection machine 162: Control device 300, 310: Control device

Claims (5)

互いに直交するX軸とY軸とを座標軸とする第一座標面上における、電子回路部品が装着されることにより電子回路を構成する基板の少なくとも1点の位置に関連するデータである位置関連データを記憶する記憶手段と、
その記憶手段に記憶された前記位置関連データに、互いに直交するX軸とY軸とを座標軸とするとともにX軸とY軸とのそれぞれについて正負の方向が前記第一座標軸と同じである第二座標面への座標変換を施すべきことを指示する座標変換指示部と、
その座標変換指示部による座標変換指示に従って前記記憶手段に記憶された前記位置関連データの前記第二座標面への座標変換を施す座標変換部と、
その第二座標面上において前記位置関連データに変更を加えるデータ変更部と、
そのデータ変更部により変更された前記位置関連データを前記第一座標面上における位置関連データに逆座標変換すべきことを指示する逆座標変換指示部と、
その逆座標変換指示部の指示に従って逆座標変換を施す逆座標変換部と
を含み、かつ、前記座標変換指示部が前記座標変換部において施すべき座標変換の種類を指示する変換座標指示部を含み、その変換座標指示部により指示される座標変換の種類が、前記X軸まわりの回転による表裏反転, 前記Y軸まわりの回転による表裏反転, 正方向の回転および逆方向の回転のうちの少なくとも2つを含むことを特徴とする位置関連データ変換装置。
Position-related data, which is data related to the position of at least one point of the board constituting the electronic circuit on the first coordinate plane having the X axis and the Y axis orthogonal to each other as the coordinate axes. Storage means for storing
In the position-related data stored in the storage means, a second axis having an X axis and a Y axis orthogonal to each other as coordinate axes and a positive / negative direction for each of the X axis and the Y axis is the same as the first coordinate axis . A coordinate conversion instruction unit for instructing to perform coordinate conversion to a coordinate plane;
A coordinate transformation section for performing coordinate transformation into the second coordinate plane of the position-related data stored in the storage means in accordance with the coordinate conversion instruction by the coordinate conversion specification unit,
A data changing unit for changing the position related data on the second coordinate plane;
An inverse coordinate conversion instruction unit for instructing that the position related data changed by the data change unit should be inversely converted into position related data on the first coordinate plane;
See contains an inverse coordinate transformation unit for performing an inverse coordinate transformation in accordance with an instruction of the reverse coordinate conversion specification unit, and the transformed coordinate instruction unit which the coordinate conversion instruction unit instructs the kind of coordinate transformation to be performed in the coordinate transformation unit And the type of coordinate conversion indicated by the conversion coordinate designating unit is at least one of reverse rotation by rotation around the X axis, reverse rotation by rotation around the Y axis, forward rotation and reverse rotation A position-related data conversion device including two .
前記座標変換部により座標変換された前記位置関連データと、座標変換された前記基板の像との少なくとも一方を表示する表示画面を含むことを特徴とする請求項1に記載の位置関連データ変換装置。 2. The position-related data conversion device according to claim 1, further comprising a display screen that displays at least one of the position-related data whose coordinates have been converted by the coordinate conversion unit and the image of the substrate whose coordinates have been converted. . 前記座標変換部が、前記基板の前記第一座標面の原点に対する相対位置と前記第二座標面の原点に対する相対位置とが前記座標変換の前後において変わらないように座標変換を行うものであることを特徴とする請求項1または2に記載の位置関連データ変換装置。 The coordinate conversion unit, a coordinate conversion so unchanged before and after the relative position against the origin of that relative position against the origin of the first coordinate surface of the substrate the second coordinate plane has a coordinate transformation The position-related data conversion device according to claim 1 or 2 , wherein 記位置関連データが、前記基板に設けられた回路パターンに装着されて電子回路を構成する電子回路部品の装着位置に関連する装着位置関連データを含み、その装着位置関連データが、前記電子回路部品の装着位置を規定する装着位置座標データと前記電子回路部品の装着位置のずれに関する装着位置ずれ関連データとの少なくとも一方を含み、前記データ変更部が、前記装着位置座標データと前記装着位置ずれ関連データとの少なくとも一方を修正し、装着位置修正データを取得する部品装着位置修正部を含む請求項1ないしのいずれかに記載の位置関連データ変換装置。 Before Symbol position related data, is mounted on the circuit pattern provided before Kimoto plate comprises a mounting position related data related to the mounting positions of the electronic circuit components constituting the electronic circuit, its mounting position related data, wherein Including at least one of mounting position coordinate data defining a mounting position of the electronic circuit component and mounting position deviation related data relating to a shift in the mounting position of the electronic circuit component, wherein the data changing unit includes the mounting position coordinate data and the mounting positional deviation and correct at least one of the associated data, location-related data conversion apparatus according to any one of 3 claims 1 comprises a component mounting position correction unit for obtaining the mounting position correction data. 請求項1ないしのいずれかに記載の位置関連データ変換装置と、
前記基板を保持する基板保持装置と、
前記基板に作業を施す作業ヘッドと、
前記基板保持装置と前記作業ヘッドとを相対移動させる相対移動装置と、
前記位置関連データ変換装置,前記基板保持装置,前記作業ヘッドおよび前記相対移動装置を制御する制御装置と
を含むことを特徴とする対部品装着基板作業システム。
The position-related data conversion device according to any one of claims 1 to 4 ,
A substrate holding device for holding the substrate;
A working head for working on the substrate;
A relative movement device for relatively moving the substrate holding device and the working head;
And a control device for controlling the position-related data conversion device, the substrate holding device, the work head, and the relative movement device.
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