JP4535182B2 - アナログデジタル変換器及びアナログデジタル変換方法、並びに撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents

アナログデジタル変換器及びアナログデジタル変換方法、並びに撮像装置及びその駆動方法 Download PDF

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本発明はアナログデジタル変換器(ADC:Analog to Digital Converter)及びアナログデジタル変換方法、並びに撮像装置及びその駆動方法に関する。詳しくは、アナログ信号を時間に変換することによって、アナログ値をデジタル値に変換するADC及びその変換方法、並びにこうしたADCを備える撮像装置及びその駆動方法に係るものである。
CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)型イメージセンサ等の固体撮像素子は、近年、広く用いられている。具体的には、例えば、携帯電話等の各種携帯端末機器に搭載される撮像装置や、デジタルスチールカメラあるいはデジタルビデオカメラ等の撮像装置の画像入力装置(撮像デバイス)として広く用いられている(例えば、特許文献1参照。)。
図6はCMOS型イメージセンサを説明するための模式図である。ここで示すCMOS型イメージセンサは、画素アレイ部202と、垂直走査回路203と、カラム信号処理部204と、水平走査回路206とを有する。
ここで、画素アレイ部202は、光電変換素子を有する多数の画素201がマトリクス状に配列されて構成されており、垂直走査回路203は、画素アレイ部202の各画素を1行ずつ選択して各画素のシャッタ動作や読み出し動作を制御する。
また、カラム信号処理部204は、画素アレイ部202からの信号を1行ずつ読み出して、列毎に所定の信号処理を行なう。なお、信号処理としては、例えば、CDS処理(画素トランジスタの閾値のバラツキに起因する固定パターンノイズを除去する処理)、AGC(オートゲインコントロール)処理、アナログデジタル変換処理等がある。
更に、水平走査回路206は、カラム信号処理部の信号を1つずつ選択して水平信号線205に導く様に構成されており、データ信号処理部(図示せず)によって、水平信号線205からの信号を意図した出力形態にデータ変換を行なう。
また、画素アレイ部の各画素201は、図7で示す様に、光電変換素子101に加えて、転送トランジスタ102、リセットトランジスタ103、増幅トランジスタ104及び選択トランジスタ105の4つのトランジスタを有する回路構成となっている。ここでは、これらトランジスタ102〜105として、nチャネル型のMOSトランジスタを用いた回路例を示している。なお、光電変換素子としては、例えばフォトダイオードが考えられる。
ここで、転送トランジスタ102は、フォトダイオード101のカソード電極とFD(フローティングディフュージョン)部106との間で接続され、転送ゲートパルスTGが与えられる転送制御線111にゲート電極が接続されている。また、リセットトランジスタ103は、電源Vddにドレイン電極が、FD部106にソース電極が、リセットパルスRSが与えられるリセット制御線112にゲート電極がそれぞれ接続されている。
更に、増幅トランジスタ104は、FD部106にゲート電極が、電源Vddにドレイン電極が、選択トランジスタ105のドレイン電極にソース電極がそれぞれ接続されている。また、選択トランジスタ105は、選択パルスSELが与えられる選択制御線113にゲート電極が接続され、垂直信号線216にソース電極がそれぞれ接続されている。なお、垂直信号線は同垂直信号線に定電流を供給する定電流源217と接続されると共に、カラム信号処理部とも接続されている。
図8は、増幅トランジスタ104及び選択トランジスタ105を除く画素部分の断面構造を示す模式図である。
p型基板131の表層部にn型拡散領域132,133,134が形成されている。また、p型基板131の上には、n型拡散領域132とn型拡散領域133との間の上方にゲート電極135が、n型拡散領域133とn型拡散領域134との間の上方にゲート電極136が、それぞれ図示しないゲート酸化膜(SiO)を介して形成されている。
図7との対応関係において、フォトダイオード101は、p型基板131とn型拡散領域132とのpn接合によって形成されている。転送トランジスタ102は、n型拡散領域132及びn型拡散領域133とその間のゲート電極135とによって形成されている。リセットトランジスタ103は、n型拡散領域133及びn型拡散領域134とその間のゲート電極136とによって形成されている。
n型拡散領域133はFD部106となり、増幅トランジスタ104のゲート電極と電気的に接続される。リセットトランジスタ103のドレイン領域となるn型拡散領域134には電源電位Vddが与えられる。そして、フォトダイオード101を除くp型基板131の上面は、遮光層137によって覆われている。
次に、図8の断面図を基にして、図9の波形図を用いて画素201の回路動作について説明する。
図8に示す様に、フォトダイオード101に光が照射されると、光の強さに応じて電子(−)と正孔(+)の対が誘起される(光電変換)。また、図9において、時刻T1で選択トランジスタ105のゲート電極に選択パルスSELが印加され、同時にリセットトランジスタ103のゲート電極にリセットパルスRSが印加される。その結果、リセットトランジスタ103が導通状態になり、時刻T2でFD部106が電源電位Vddにリセットされる。
FD部106がリセットされると、このリセット時のFD部106の電位がリセットレベルVnとして増幅トランジスタ104を介して信号線216に出力される。このリセットレベルは、画素201固有のノイズ成分に対応したものとなる。リセットパルスRSは、所定の期間(時刻T1〜T3)のみアクティブ("H"レベル)状態となる。FD部106は、リセットパルスRSがアクティブ状態から非アクティブ("L"レベル)状態に遷移した後もリセットされた状態を保っている。このリセット状態にある期間がリセット期間となる。
次に、選択信号SELがアクティブ状態のままで、時刻T4で転送トランジスタ102のゲート電極に転送ゲートパルスTGが印加される。すると、転送トランジスタ102が導通状態となり、フォトダイオード101で光電変換され、蓄積された信号電荷がFD部106に転送される。その結果、FD部106の電位が信号電荷の電荷量に応じて変化する(時刻T4〜T5)。このときのFD部106の電位が信号レベルVsとして増幅トランジスタ104を介して信号線216に出力される(信号読み出し期間)。そして、信号レベルVsとリセットレベルVnとの差分RSI1が、ノイズ成分を除去した純粋な画素信号レベルとなる。
通常、明るい物体を撮像した方が、暗い物体を撮像するよりもフォトダイオード101に蓄積される電荷が多いので、垂直信号線216上におけるレベル差RSI1は大きくなる。
ところで、画素アレイ部202の各画素201からは、信号電荷に応じた電気信号が順に読み出されることとなるが、各画素201から読み出されたアナログの電気信号を、ADCにてデジタル信号に変換して外部に出力する方式が一般に採用されている。なお、ADCにてデジタル信号に変換して外部に出力する点については、例えば、特許文献2や特許文献3に記載がなされている。
以下、図面を用いて従来のADCの一例について説明を行なう。なお、図10は従来のADCの構成を説明するための模式図であり、図11は従来のADCの原理を説明するための模式図である。
図10で示す従来のADC301は、カウンタクロック供給線302と、コンパレータ304と、カウンタ305から構成されている。
ここで、カウンタクロック供給線302にはカウンタクロックが供給され、デジタルアナログ変換器(DAC:Digital to Analog Converter)303はカウンタクロック供給線302と接続されている。また、コンパレータ304はDAC303と接続されており、カウンタ305はコンパレータ304及びカウンタクロック供給線302と接続されている。
上記したDAC303には、カウンタクロック供給線302を介してカウンタクロック(図11中の"カウンタクロック"参照。)が入力される。そして、カウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングでその出力値が一定割合で減少するランプ波(アナログ信号)を出力する様に構成されている(図11中の"DAC出力(ランプ波)"参照。)。なお、DAC303から出力されるランプ波は全てのコンパレータ304に共通して供給される。
また、上記したコンパレータ304では、画素アレイ部202(画素201)から読み出されたアナログ信号である画素出力(図11中の"画素出力値"参照。)とランプ波が入力される。そして、画素出力とランプ波の関係が「(ランプ波)>(画素出力)」の場合にはハイレベル(Hレベル)信号を出力し、「(ランプ波)<(画素出力)」の場合にはローレベル(Lレベル)信号を出力する様に構成されている(図11中の"コンパレータ出力"参照。)。
更に、上記したカウンタ305はDDR(Double Date Rate)カウンタであり、入力されるカウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングの両方でカウントを行なう様に構成されている(図11中の"カウンタ出力"参照。)。また、上記したカウンタ305は、コンパレータ304からの出力信号がLレベルとなったタイミングでカウントが停止する様に構成されている。
上記の様に構成されたADCでは、コンパレータの出力がHレベル信号からLレベル信号に反転したタイミング、即ち、ランプ波が画素出力よりも小さくなったタイミングでカウントを停止する。そして、その時のカウント値を画素出力のデジタル値として出力し、画素出力(電気信号)を時間に変換することでアナログ値(画素出力)をデジタル値(カウント値)に変換しているのである。
以下、図12を参照して具体的に説明を行なう。ここで、図中符合V(N−1)は第(N−1)行目の画素出力(アナログ値)を示し、図中符合Vは第N行目の画素出力(アナログ値)を示している。また、図中符合Lはランプ波の波形を示している。なお、図12では説明の便宜上、V(N−1)とVの双方を示しているが、実際にはV(N−1)が出力された後にVが出力されるものである。
上記の様に構成されたADCでは、第(N−1)行目の画素のリセットレベルVnをデジタル変換するために、DACから出力されるランプ波とリセットレベルVnの交点(出力値が同一となったタイミング)のカウント値を決定する。即ち、ランプ波の減少と共にカウントを開始し、第(N−1)行目の画素のリセットレベルVnとランプ波との交点でのカウント値を第(N−1)行目の画素のリセットレベルVnのカウント値(デジタル値)として決定する。
具体的には、図12中符合t1で示すタイミングでランプ波の減少と共にカウントを開始する。そして、第(N−1)行目の画素のリセットレベルVnとランプ波との交点(符合P(N−1)で示す点)でカウントを停止し、その時のカウント値を第(N−1)行目の画素のリセットレベルVnのカウント値(デジタル値)として決定するのである。
また、第(N−1)行目の画素の信号レベルVsをデジタル変換するために、DACから出力されるランプ波と信号レベルVsの交点(出力値が同一となったタイミング)のカウント値を決定する。即ち、ランプ波の減少と共にカウントを開始し、第(N−1)行目の画素の信号レベルVsとランプ波との交点でのカウント値を第(N−1)行目の画素の信号レベルVsのカウント値(デジタル値)として決定する。
具体的には、図12中符合t2で示すタイミングでランプ波の減少と共にカウントを開始する。そして、第(N−1)行目の画素の信号レベルVsとランプ波との交点(符合D(N−1)で示す点)でカウントを停止し、その時のカウント値を第(N−1)行目の画素の信号レベルVsのカウント値(デジタル値)として決定するのである。
同様に、第N行目の画素のリセットレベルVnをデジタル変換するために、DACから出力されるランプ波とリセットレベルVnの交点(出力値が同一となったタイミング)のカウント値を決定する。即ち、ランプ波の減少と共にカウントを開始し、第N行目の画素のリセットレベルVnとランプ波との交点でのカウント値を第N行目の画素のリセットレベルVnのカウント値(デジタル値)として決定する。
具体的には、図12中符合t3で示すタイミングでランプ波の減少と共にカウントを開始する。そして、第N行目の画素のリセットレベルVnとランプ波との交点(符合Pで示す点)でカウントを停止し、その時のカウント値を第N行目の画素のリセットレベルVnのカウント値(デジタル値)として決定するのである。
また、第N行目の画素の信号レベルVsをデジタル変換するために、DACから出力されるランプ波と信号レベルVsの交点(出力値が同一となったタイミング)のカウント値を決定する。即ち、ランプ波の減少と共にカウントを開始し、第N行目の画素の信号レベルVsとランプ波との交点でのカウント値を第N行目の画素の信号レベルVsのカウント値(デジタル値)として決定する。
具体的には、図12中符合t4で示すタイミングでランプ波の減少と共にカウントを開始する。そして、第N行目の画素の信号レベルVsとランプ波との交点(符合Dで示す点)でカウントを停止し、その時のカウント値を第N行目の画素の信号レベルVsのカウント値(デジタル値)として決定するのである。
以上の様にして、画素出力(電気信号)を時間に変換し、アナログ値(画素出力)をデジタル値(カウント値)に変換しているのである。
ここで、上記ではランプ波の値が一定割合で減少する場合(ダウンカウントのランプ波の場合)を例に挙げて説明を行なっているが、出力値が一定割合で増加するアップカウントのランプ波を用いても良い。
なお、従来のADCでは、DACからの出力波形(ランプ波)は画素出力によらず常に同一である。即ち、第(N−1)行目の画素出力をアナログデジタル変換する場合であっても、第N行目の画素出力をアナログデジタル変換する場合であっても、図中符合Lで示すランプ波を使用している。
従って、どの様な画素出力であったとしても、リセットレベルVnをデジタル変換するために要する期間(P相読み出し期間)及び信号レベルVsをデジタル変換するために要する期間(D相読み出し期間)は一定である。
特開平10−126697号公報 特開2000−152082号公報 特開2002−232291号公報
ところで、近年では、撮像装置の処理速度の向上が強く求められており、それに伴って、ADCにおける処理速度の向上が求められている。
本発明は以上の点に鑑みて創案されたものであって、高速処理に対応可能なADC及びアナログデジタル変換方法、並びに高速処理に対応可能な撮像装置及びその駆動方法を提供することを目的とするものである。
上記の目的を達成するために、本発明に係るアナログデジタル変換器では、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、デジタル信号に変換されるそれぞれのアナログ信号に対応して設けられ、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える。
また、本発明に係るアナログデジタル変換器では、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、デジタル信号に変換されるそれぞれのアナログ信号に対応して設けられ、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える。
また、本発明に係るアナログデジタル変換器では、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、デジタル信号に変換されるそれぞれのアナログ信号に対応して設けられ、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える。
ここで、参照信号生成部が、先のタイミングでデジタル信号に変換されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号若しくは最小の電圧値を示すアナログ信号に基づいて参照信号を生成することによって、カウント動作期間の短縮化が実現する。即ち、先のタイミングでデジタル信号に変換されたアナログ信号から後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の範囲を予測し、予測範囲を走査する参照信号を生成することによって、カウント動作期間の短縮化が実現する。
また、参照信号生成部で生成された参照信号を複数の比較部が共通して使用するために、ダウンカウントの参照信号の場合には、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を基準としている。同様に、参照信号生成部で生成された参照信号を複数の比較部が共通して使用するために、アップカウントの参照信号の場合には、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を基準としている。
なお、上述の基準となる電圧値と初期電圧値との差分(所定電圧)は、先のタイミングでデジタル信号に変換されたアナログ信号に基づいて予測される後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の範囲から決定される。
また、上記の目的を達成するために、本発明に係るアナログデジタル変換方法では、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成工程と、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成工程で生成される参照信号とを比較する比較工程と、該比較工程が完了した時点のカウント値を計数するカウント計数工程とを備える。
ここで、参照信号生成工程により、先のタイミングでデジタル信号に変換されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号若しくは最小の電圧値を示すアナログ信号に基づいて参照信号を生成するによって、カウント動作期間の短縮化が実現する。即ち、先のタイミングでデジタル信号に変換されたアナログ信号から後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の範囲を予測し、予測範囲を走査する参照信号を生成することによって、カウント係数工程の短縮化が実現する。
また、上記の目的を達成するために、本発明に係る撮像装置では、入射光に応じたアナログ信号を蓄積する画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、読み出しが行なわれるそれぞれの画素に対応して設けられ、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える。
また、本発明に係る撮像装置では、入射光に応じたアナログ信号を蓄積する画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、読み出しが行なわれるそれぞれの画素に対応して設けられ、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える。
また、本発明に係る撮像装置では、入射光に応じたアナログ信号を蓄積する画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、読み出しが行なわれるそれぞれの画素に対応して設けられ、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える。
ここで、参照信号生成部が、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号に基づいて参照信号を生成することによって、カウント動作期間の短縮化が実現する。同様に、参照信号生成部が、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号に基づいて参照信号を生成することによって、カウント動作期間の短縮化が実現する。
即ち、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号から後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の範囲を予測し、予測範囲を走査する参照信号を生成することによって、カウント動作期間の短縮化が実現する。
また、上記の目的を達成するために、本発明に係る撮像装置の駆動方法では、マトリクス状に配列された画素で入射光に応じたアナログ信号を蓄積する蓄積工程と、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成工程と、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成工程で生成された参照信号とを比較する比較工程と、該比較工程が完了した時点のカウント値を計数するカウント計数工程とを備える。
ここで、参照信号生成工程により、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号に基づいて参照信号を生成するによって、カウント計数工程の短縮化が実現する。同様に、参照信号生成工程により、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号に基づいて参照信号を生成するによって、カウント計数工程の短縮化が実現する。
即ち、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号から後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の範囲を予測し、予測範囲を走査する参照信号を生成することによって、カウント計数工程の短縮化が実現する。
本発明を適用したADC及びアナログデジタル変換方法、並びに撮像装置及びその駆動方法では、カウント動作期間(カウント計数工程)の短縮化が実現し、高速処理への対応が可能となる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
図1は本発明を適用した撮像装置の一例であるCMOS型イメージセンサを説明するための模式図である。ここで示すCMOS型イメージセンサは、画素アレイ部22と、垂直走査回路23と、カラム信号処理部24と、水平走査回路26と、DAC3と、メモリ8を有する。
ここで、画素アレイ部22は、光電変換素子を有する多数の画素21がマトリクス状に配列されて構成されており、垂直走査回路23は、画素アレイ部22の各画素を1行ずつ選択して各画素のシャッタ動作や読み出し動作を制御する。
また、カラム信号処理部24は、画素アレイ部22からの信号を1行ずつ読み出して、列毎に所定の信号処理を行なう。なお、信号処理としては、従来のCMOS型イメージセンサと同様に、CDS処理、AGC処理、アナログデジタル変換処理等がある。
更に、水平走査回路26は、カラム信号処理部の信号の1つずつを選択して水平信号線25に導く様に構成されており、データ信号処理部(図示せず)によって、水平信号線25からの信号を意図した出力形態にデータ変換を行なう。
また、画素アレイ部の各画素21は、従来と同様に、光電変換素子11に加えて、転送トランジスタ12、リセットトランジスタ13、増幅トランジスタ14及び選択トランジスタ15の4つのトランジスタを有する回路構成となっている(図7参照)。ここでは、これらトランジスタ12〜15として、nチャネル型のMOSトランジスタを用いた回路例を示している。なお、光電変換素子としては、例えばフォトダイオードが考えられる。
ここで、転送トランジスタ12は、フォトダイオード11のカソード電極とFD部16との間で接続され、転送ゲートパルスTGが与えられる転送制御線17にゲート電極が接続されている。また、リセットトランジスタ13は、電源Vddにドレイン電極が、FD部16にソース電極が、リセットパルスRSが与えられるリセット制御線18にゲート電極がそれぞれ接続されている。
更に、増幅トランジスタ14は、FD部16にゲート電極が、電源Vddにドレイン電極が、選択トランジスタ15のドレイン電極にソース電極がそれぞれ接続されている。また、選択トランジスタ15は、選択パルスSELが与えられる選択制御線19にゲート電極が接続され、垂直信号線30にソース電極がそれぞれ接続されている。なお、垂直信号線は同垂直信号線に定電流を供給する定電流源31と接続されると共に、カラム信号処理部とも接続されている。
なお、画素部分の断面構造については、上記した従来の構造と全く同一であるために、ここでの記載は省略する(図8参照)。
また、カラム信号処理部24に垂直信号線30毎に設けられているADC1は、従来のADCと同様に、コンパレータ4と、カウンタ5から構成されている。
ここで、カウンタクロック供給線(図示せず)にはカウンタクロックが供給され、DAC3はカウンタクロック供給線と接続されている。また、コンパレータ4はDAC3と接続されており、カウンタ5はコンパレータ4及びカウンタクロック供給線と接続されている。
上記したDAC3には、カウンタクロック供給線を介してカウンタクロックが入力される。そして、カウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングでその出力値が一定割合で減少するダウンカウントのランプ波(アナログ信号)を出力する様に構成されている。具体的には、メモリ8に記憶された電圧値よりも所定電圧だけ高い電圧値を初期電圧値(ランプ波スタート電圧)とし、この初期電圧値から一定割合で減少するダウンカウントのランプ波を出力する様に構成されている。
なお、DAC3から出力されるランプ波は全てのコンパレータ4に共通して供給される。
また、メモリ8には、先のタイミングで各ADCによってデジタル変換を行なったアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を記憶することが可能に構成されている。
以下、図面を参照して本発明を適用したCMOS型撮像装置のDACで出力されるランプ波について具体的に説明を行なう。ここで、図中符合V(N−1)は第(N−1)行目の画素出力値(アナログ値)のうち、最大の電圧値を示す画素出力値を示している。また、図中符合L(N−1)は第(N−1)行目の画素出力時のランプ波の波形を示し、図中符合Lは第N行目の画素出力時のランプ波の波形を示している。
更に、第(N−1)行目の画素出力値V(N−1)のリセットレベルの出力値をP(N−1)で示し、第(N−1)行目の画素出力値V(N−1)の信号レベルの出力値をD(N−1)で示している。
また、以下では、第(N−1)行目の画素で生成された信号電荷のアナログデジタル変換を行い、その後に、第N行目の画素で生成された信号電荷のアナログデジタル変換を行なう場合を例に挙げて説明を行なう。即ち、先のタイミングで第(N−1)行目の画素で生成された信号電荷のアナログデジタル変換がなされ、後のタイミングで第N行目の画素で生成された信号電荷のアナログデジタル変換がなされる場合を例に挙げて説明を行なう。
上記の様に構成されたDACでは、リセットレベルの出力値P(N−1)及び信号レベルの出力値D(N−1)がメモリ8に記憶され、メモリ8に記憶されたP(N−1)及びD(N−1)に基づいて第N行目の画素出力時のランプ波Lが生成されることとなる。
具体的には、図2で示す様に、P(N−1)よりも所定電圧(d1)だけ大きな電圧値を初期電圧値Dとし、この初期電圧値Dからダウンクロックを開始するランプ波を生成する。この様にして、第N行目の画素出力値のリセットレベルの出力値Pのデジタル変換期間(P相読み出し期間)のランプ波を生成する。また、D(N−1)よりも所定電圧(d2)だけ大きな電圧値を初期電圧値とし、この初期電圧値Dからダウンクロックを開始するランプ波を生成する。この様にして、第N行目の画素出力値の信号レベルの出力値Dのデジタル変換期間(D相読み出し期間)のランプ波を生成する。
ここで、「所定電圧d1」は、先のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号と後のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号との差分として一般に考えられる電圧値である。そして、この様な所定電圧d1をP(N−1)と加算して初期電圧値Dが決定されている。従って、後のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号は初期電圧値D以下となると考えられる。
同様に、「所定電圧d2」は、先のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号と後のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号との差分として一般に考えられる電圧値である。そして、この様な所定電圧値d2をD(N−1)と加算して初期電圧値Dが決定されている。従って、後のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号は初期電圧値D以下となると考えられる。
以下、図3を参照して上記の様にして生成されたランプ波Lを用いた第N行目の画素出力値のアナログデジタル変換方法について説明を行なう。
先ず、第N行目の画素出力値のリセットレベルPをデジタル変換するために、DACから出力されるランプ波LとリセットレベルPの交点(出力値が同一となったタイミング)のカウント値を決定する。即ち、ランプ波の減少と共にカウントを開始し、第N行目の画素出力値のリセットレベルPとランプ波との交点のカウント値を第N行目の画素出力値のリセットレベルPのカウント値(デジタル値)として決定する。
具体的には、図3中符合t1で示すタイミングでランプ波の減少と共にカウントを開始する。そして、第N行目の画素出力値のリセットレベルPとランプ波Lとの交点(符合Pで示す点)でカウントを停止し、その時のカウント値を第N行目の画素出力値のリセットレベルPのカウント値(デジタル値)として決定する。
また、第N行目の画素出力値の信号レベルDをデジタル変換するために、DACから出力されるランプ波Lと信号レベルDの交点(出力値が同一となったタイミング)のカウント値を決定する。即ち、ランプ波の減少と共にカウントを開始し、第N行目の画素出力値の信号レベルDとランプ波との交点のカウント値を第N行目の画素出力値の信号レベルDのカウント値(デジタル値)として決定する。
具体的には、図3中符合t2で示すタイミングでランプ波の減少と共にカウントを開始する。そして、第N行目の画素出力値の信号レベルDとランプ波Lとの交点(符合Dで示す点)でカウントを停止し、その時のカウント値を第N行目の画素出力値の信号レベルDのカウント値(デジタル値)として決定する。
ここで、本実施例のCMOS型イメージセンサでは、メモリ8に先のタイミングで各ADCによってデジタル変換を行なったアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を記憶する場合を例に挙げて説明を行なっている。しかしながら、先のタイミングでデジタル変換を行なったアナログ信号を基準として後のタイミング時のランプ波が生成できれば充分であり、メモリ8には初期電圧値を記憶可能に構成しても良い。即ち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値に所定電圧d1やd2を加算した初期電圧値DやDを記憶可能に構成しても良い。
また、本実施例のCMOS型イメージセンサでは、先のタイミングで第(N−1)行目の画素で生成された信号電荷が読み出され、後のタイミングで第N行目の画素で生成された信号電荷が読み出された場合を例に挙げて説明を行なっている。しかしながら、必ずしも第(N−1)行目の画素で生成された信号電荷が先のタイミングで読み出される必要はない。従って、先のタイミングで第N行目の画素で生成された信号電荷が読み出され、後のタイミングで第(N−1)行目の画素で生成された信号電荷が読み出されても良い。
更に、本実施例のCMOS型イメージセンサでは、第(N−1)行目に属する画素と第N行目に属する画素といった具合に、隣接する画素を対象として後のタイミングでデジタル変換されるアナログ信号の範囲を予測する場合を例に挙げて説明を行なっている。しかしながら、必ずしも隣接する画素に基づいてアナログ信号の範囲を予測する必要はなく、第(N−3)行目に属する画素と第N行目に属する画素といった具合に、隣接しない画素に基づいてアナログ信号の範囲を予測しても良い。但し、隣接する2画素の場合には、一般に差分が小さいと考えられるが故に、隣接する画素に基づいてアナログ信号の範囲を予測した方がカウント動作期間のより一層の短縮化が期待できるものである。
また、本実施例のCMOS型イメージセンサでは、上述の様に、第(N−1)行目に属する画素と第N行目に属する画素といった具合に、同一フレーム内の画素を対象としてアナログ信号の予測を行なう場合を例に挙げて説明を行なっている。しかしながら、必ずしも同一フレーム内の画素を対象とする必要はなく、例えば、同一画素における先のフレームのアナログ信号に基づいて、同一画素における後のフレームのアナログ信号を予測しても良い。
また、本実施例のCMOS型イメージセンサでは、ダウンカウントのランプを使用する場合を例に挙げて説明を行なっているが、必ずしもダウンカウントである必要はなく、アップカウントのランプ波であっても良い。なお、アップカウントのランプ波を用いる場合には、先のタイミングでデジタル変換されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧とする。
本発明を適用したCMOS型イメージセンサでは、第N行目の画素出力値のデジタル変換時に利用するランプ波Lを生成するにあたって、第(N−1)行目の画素出力値から初期電圧値を決定しているために、カウント動作期間の低減が実現する。
即ち、従来のADCでは、DACからの出力波形は画素出力によらず常に一定であり、Pをデジタル変換するためにカウンタを動作させる期間は図12中符合LPNで示す期間となっている。また、Dをデジタル変換するためにカウンタを動作させる期間は図12中符合DPNで示す期間となっている。これに対して、本発明を適用したCMOS型イメージセンサでは、第(N−1)行目の画素出力値から初期電圧値を決定しており、Pをデジタル変換するためにカウンタを動作させる期間は図3中符合MPNで示す期間である。また、Dをデジタル変換するためにカウンタを動作させる期間は図3中符合MDNで示す期間である。
具体的には、ランプ波L(N−1)を第N行目の画素出力値のデジタル変換にも利用した場合には、第N行目の画素出力値のリセットレベルPのカウント値を決定するために、図4中符合Tで示す期間が必要となる。また、第N行目の画素出力値の信号レベルDのカウント値を決定するために、図4中符合Tで示す期間が必要となる。
これに対して、ランプ波Lを第N行目の画素出力値のデジタル変換に利用する場合には、第N行目の画素出力値のリセットレベルPのカウント値を決定するために、図3中符合MPNで示す期間である。また、第N行目の画素出力値の信号レベルDのカウント値を決定するために、図3中符合MDNで示す期間である。
上記の様に、カウンタの動作期間の短縮化が実現することによって、各画素のアナログデジタル変換時間の短縮化が実現し、そのことで、CMOS型撮像装置の動作の高速化が実現することとなる。
また、ADCの消費電力の大部分をカウンタが占めていることに鑑みると、カウンタの動作期間の短縮化が実現することによって、ADCの消費電力の低減が実現し、そのことで、CMOS型撮像装置の消費電力の低減が実現することとなる。
ここで、第N行目の画素出力値のリセットレベルPが予測範囲(d1)以上に高電圧であり、初期電圧値Dよりも高い電圧値であった場合には、ランプ波Lとの交点が存在しないこととなり、リセットレベルPのカウント値が決定できないこととなる。
かかる場合には、DACの最大電圧値(>初期電圧値)からダウンカウントのランプ波を出力することでリセットレベルPとの交点を検出すべく対応すれば充分である。
同様に、第N行目の画素出力値の信号レベルDが予測範囲(d2)以上に高電圧であり、初期電圧値Dよりも高い電圧値であった場合には、ランプ波Lとの交点が存在しないこととなり、信号レベルDのカウント値が決定できないこととなる。
かかる場合には、DACの最大電圧値(>初期電圧値)からダウンカウントのランプ波を出力することで信号レベルDとの交点を検出すべく対応すれば充分である。
具体的には、図5で示す様に、第N行目の画素出力値の信号レベルDをデジタル変換するために、図5中符号t5で示すタイミングでランプ波の減少を開始し、ランプ波と信号レベルDとの交点が見つからないままDACの最小電圧値に達したとする。かかる場合には、DACの最小電圧値に達しタイミング(図5中符合t6で示すタイミング)で、DACの最大電圧値からダウンカウントのランプ波を出力する。こうすることによって、ランプ波と信号レベルDとの交点Dが見つかり、第N行目の画素出力値のデジタル値が決定されることとなる。
なお、DACの最大電圧値からダウンカウントのランプ波を出力する場合であったとしても、従来のADCよりもカウント動作期間が増大することはない。即ち、従来のADCでは、DACの最大電圧値を初期電圧値としてダウンカウントのランプ波を生成しており、例え、最小電圧値に達した後に最大電圧値からダウンカウントのランプ波を出力したとしても、従来のADCと同期間のカウント動作期間となるのみである。
本発明を適用した撮像装置の一例であるCMOS型イメージセンサを説明するための模式図である。 ランプ波Lの生成を説明するための模式図である。 第N行目の画素出力値のアナログデジタル変換を説明するための模式図である。 ランプ波L(N−1)を利用した場合のアナログデジタル変換を説明するための模式図である。 DACの最大電圧値からダウンカウントのランプ波を生成する場合を説明するための模式図である。 従来のCMOS型イメージセンサを説明するための模式図である。 画素アレイ部を説明するための模式図である。 画素部分の断面構造を説明するための模式図である。 画素の回路動作を説明するための模式図である。 従来のADCを説明するための模式図である。 従来のADCの原理を説明するための模式図である。 従来のアナログデジタル変換を説明するための模式図である。
符号の説明
1 ADC
3 DAC
4 コンパレータ
5 カウンタ
8 メモリ
11 光電変換素子
12 転送トランジスタ
13 リセットトランジスタ
14 増幅トランジスタ
15 選択トランジスタ
16 FD部
17 転送制御線
18 リセット制御線
19 選択制御線
21 画素
22 画素アレイ部
23 垂直走査回路
24 カラム信号処理部
25 水平信号線
26 水平走査回路
30 垂直信号線
31 定電流源

Claims (11)

  1. 先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、
    デジタル信号に変換されるそれぞれのアナログ信号に対応して設けられ、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、
    該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える
    アナログデジタル変換器。
  2. 前記参照信号生成部は、前記ダウンカウントの参照信号が最小電圧値に達しても前記比較部による比較処理が完了しない場合には同参照信号生成部の最大電圧値からダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記アップカウントの参照信号が最大電圧値に達しても前記比較部による比較処理が完了しない場合には同参照信号生成部の最小電圧値からアップカウントの参照信号を生成する
    請求項1に記載のアナログデジタル変換器。
  3. 先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、
    該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、
    デジタル信号に変換されるそれぞれのアナログ信号に対応して設けられ、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、
    該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える
    アナログデジタル変換器。
  4. 先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、
    該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、
    デジタル信号に変換されるそれぞれのアナログ信号に対応して設けられ、後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、
    該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える
    アナログデジタル変換器。
  5. 先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングでデジタル信号に変換された複数のアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成工程と、
    後のタイミングでデジタル信号に変換されるアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成工程で生成される参照信号とを比較する比較工程と、
    該比較工程が完了した時点のカウント値を計数するカウント計数工程とを備える
    アナログデジタル変換方法。
  6. 入射光に応じたアナログ信号を蓄積する画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、
    先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、
    読み出しが行なわれるそれぞれの画素に対応して設けられ、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、
    該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える
    撮像装置。
  7. 入射光に応じたアナログ信号を蓄積する画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、
    先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、
    該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、
    読み出しが行なわれるそれぞれの画素に対応して設けられ、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、
    該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える
    撮像装置。
  8. 入射光に応じたアナログ信号を蓄積する画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、
    先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を最大電圧値として記憶し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を最小電圧値として記憶する電圧値記憶手段と、
    該電圧値記憶手段に記憶された前記最大電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、前記電圧値記憶手段に記憶された前記最小電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成部と、
    読み出しが行なわれるそれぞれの画素に対応して設けられ、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成部で生成された参照信号の電圧値とを比較する比較部と、
    該比較部による比較処理が完了した時点のカウント値を計数するカウンタとを備える
    撮像装置。
  9. 後のタイミングで読み出しが行なわれた画素は、先のタイミングで読み出しが行なわれた画素と隣接している
    請求項6、請求項7または請求項8に記載の撮像装置。
  10. 先のタイミングで読み出しが行なわれた画素と、後のタイミングで読み出しが行なわれた画素は同一画素である
    請求項6、請求項7または請求項8に記載の撮像装置。
  11. マトリクス状に配列された画素で入射光に応じたアナログ信号を蓄積する蓄積工程と、
    先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最大の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ大きな電圧値を初期電圧値としたダウンカウントの参照信号を生成し、若しくは、先のタイミングで読み出しが行なわれた複数の画素で生成されたアナログ信号のうち、最小の電圧値を示すアナログ信号の電圧値よりも所定電圧だけ小さな電圧値を初期電圧値としたアップカウントの参照信号を生成する参照信号生成工程と、
    後のタイミングで読み出しが行なわれた画素で生成されたアナログ信号の電圧値と、前記参照信号生成工程で生成された参照信号とを比較する比較工程と、
    該比較工程が完了した時点のカウント値を計数するカウント計数工程とを備える
    撮像装置の駆動方法。
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