JP4533271B2

JP4533271B2 - Display panel electrical inspection equipment

Info

Publication number: JP4533271B2
Application number: JP2005222980A
Authority: JP
Inventors: 正行安斎; 秀樹池内; 裕小坂; 齋藤　　健
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2005-08-01
Filing date: 2005-08-01
Publication date: 2010-09-01
Anticipated expiration: 2025-08-01
Also published as: TW200716993A; JP2007040747A; TWI308218B

Description

本発明は、液晶表示パネルのような表示パネルの電気検査のために、通電回路と表示パネルとを接続するための電気的接続機構を有する電気検査装置に関する。 The present invention relates to an electrical inspection apparatus having an electrical connection mechanism for connecting an energization circuit and a display panel for electrical inspection of a display panel such as a liquid crystal display panel.

液晶表示パネルのような表示パネルの検査装置の一つに、検査を受ける表示パネルが配置される検査ステージに、検査のための複数のプローブユニット（接触子ユニット）を設けたものがある（特許文献１）。 One display panel inspection device such as a liquid crystal display panel is provided with a plurality of probe units (contact units) for inspection on an inspection stage on which a display panel to be inspected is arranged (patent) Reference 1).

複数のプローブユニットは、検査時にそれらのプローブが検査ステージのパネル受け上の表示パネルの対応する電極に接触することにより、通電回路からの電力を表示パネル供給する。また、検査に先立つパネル受けへの表示パネルの配置および検査後の表示パネル受けからの表示パネルの取り出し時には、各プローブユニットは、表示パネルの配置領域から後退する。したがって、多数のプローブユニットが表示パネルのパネル受けへの配置およびその取り出しの妨げになることはなく、表示パネルの取り扱いが円滑に行なえる。 The plurality of probe units supply power from the energizing circuit to the display panel by contacting the corresponding electrodes of the display panel on the panel receiver of the inspection stage during inspection. Further, when disposing the display panel on the panel receiver prior to the inspection and taking out the display panel from the display panel receiver after the inspection, each probe unit retracts from the display panel disposition area. Therefore, a large number of probe units do not hinder the arrangement and removal of the display panel from the panel receiver, and the display panel can be handled smoothly.

しかしながら、プローブユニット毎に、各ユニットのための駆動装置が必要となり、しかも全プローブユニットの動作を一致させて作動させるために、その駆動装置の作動を同期させる必要があることから、構成の複雑化を招く。 However, each probe unit requires a driving device for each unit, and the operation of the driving devices must be synchronized in order to operate all the probe units in a consistent manner. Invite

特開２００２−３５０４８５号公報JP 2002-350485 A

そこで、本発明の目的は、より単純な構成で複数のプローブユニットを同期的に作動させることができる、表示パネルの検査装置を提供することにある。 An object of the present invention, it is possible to synchronously operate a plurality of probe units in a simpler configuration is to provide an inspection device for a display panel.

本発明に係る検査装置は、表面に電極を有する矩形の表示パネルの縁部を受ける４つの辺部分を有する矩形枠体から成るパネル受けと、該パネル受けの少なくとも一つの辺部分に沿って配置される細長い移動片であってその幅方向へ対応する前記辺部分上で移動可能に支持された第１の移動片と、該第１の移動片を前記表示パネルの対応する縁部に近づく前進位置と該縁から離れた後退位置との間で駆動する駆動装置と、前記第１の移動片に沿って配置され、該各第１の移動片に保持される細長い第２の移動片と、該第２の移動片の長手方向へ間隔を置いて該第２の移動片に保持され、前記電極に対応して設けられたプローブを有する複数のプローブユニットとを備える。 An inspection apparatus according to the present invention includes a panel receiver including a rectangular frame body having four side portions for receiving edges of a rectangular display panel having electrodes on the surface, and arranged along at least one side portion of the panel receiver. A first moving piece that is movably supported on the side portion corresponding to the width direction thereof, and the first moving piece is advanced toward a corresponding edge of the display panel. A drive device for driving between a position and a retracted position away from the edge; an elongated second moving piece disposed along the first moving piece and held on each first moving piece; A plurality of probe units each having a probe which is held by the second moving piece at intervals in the longitudinal direction of the second moving piece and which is provided corresponding to the electrode.

さらに、前記検査装置は、第１の移動片と第２の移動片との間に、運動変換機構を備える。前記運動変換機構は、第１の移動片が前記後退位置と前記前進位置との間で移動されるとき、前記後退位置と、前記第２の移動片に保持された前記プローブユニットがパネル領域内の前記電極に対応する対応位置に達する運動変換点との間では、第２の移動片を第１の移動片と一体的に移動させ、前記運動変換点と前記前進位置との間では、前記プローブユニットを前記対応位置で昇降させるべく前記第２の移動片を前記第１の移動片の移動方向と直角な方向へ移動させる。 Furthermore, the inspection apparatus includes a motion conversion mechanism between the first moving piece and the second moving piece. When the first moving piece is moved between the retracted position and the advanced position, the motion conversion mechanism is configured such that the retracted position and the probe unit held by the second moving piece are within the panel region. The second moving piece is moved integrally with the first moving piece between the movement conversion point reaching the corresponding position corresponding to the electrode, and between the movement conversion point and the forward movement position, the In order to raise and lower the probe unit at the corresponding position, the second moving piece is moved in a direction perpendicular to the moving direction of the first moving piece.

本発明に係る前記検査装置では、複数の前記プローブユニットを保持する第２の移動片は、前記運動変換機構により、第１の移動片が後退位置と運動変換点との間を移動するとき該第１の移動片と一体的に移動する。他方、第１の移動片が運動変換点と前進位置との間を移動するとき、第２の移動片は、これに保持された各プローブユニットを対応する電極へ向けおよびこれから離れる方向へ移動すべく昇降する。 In the inspection apparatus according to the present invention, the second moving piece holding the plurality of probe units is moved by the motion conversion mechanism when the first moving piece moves between the retracted position and the motion conversion point. It moves integrally with the first moving piece. On the other hand, when the first moving piece moves between the motion conversion point and the advanced position, the second moving piece moves each probe unit held thereby toward the corresponding electrode and in the direction away from the corresponding electrode. Go up and down as much as possible.

したがって、本発明によれば、第１の移動片の移動を駆動装置により作動することにより、プローブユニット毎に駆動装置を設けることなく、第２の移動片に保持された複数のプローブユニットを一括的に昇降させ、またパネルの取り扱いに妨げとならないパネルの取り扱い領域外の待避位置に一括的に移動させることができる。 Therefore, according to the present invention, the plurality of probe units held by the second moving piece can be collected at a time without providing a driving device for each probe unit by operating the movement of the first moving piece by the driving device. It can be moved up and down and moved collectively to a retreat position outside the panel handling area that does not hinder the handling of the panel.

前記第１の移動片が前記後退位置と前記運動変換点との間を移動するとき、第２の移動片を第１の移動片と共に前記辺部分上を水平経路に沿って移動させることができる。これにより、前記プローブユニットを前記液晶パネルの上方で該液晶パネルに平行な面上を待避位置と前記対応位置との間で移動させることができる。また、前記第１の移動片が前記運動変換点と前記前進位置との間を移動するとき、前記第２の移動片を前記水平経路に直角な垂直経路に沿って移動させることができる。これにより、前記プローブユニットを前記パネル領域内の前記対応位置で対応する前記電極に接触しまたは接触を解除すべく昇降させることができる。このプローブユニットの垂直な昇降によって、該プローブユニットのプローブの先端で電極を擦ることを確実に防止することができ、プローブ先端での電極の損傷を確実に防止することができる。 When the first moving piece moves between the retracted position and the motion conversion point, the second moving piece can be moved along the horizontal path along the side portion together with the first moving piece. . Accordingly, the probe unit can be moved above the liquid crystal panel and on a plane parallel to the liquid crystal panel between the retracted position and the corresponding position. Further, when the first moving piece moves between the motion conversion point and the forward movement position, the second moving piece can be moved along a vertical path perpendicular to the horizontal path. Thereby, the probe unit can be moved up and down to contact or release the corresponding electrode at the corresponding position in the panel region. By vertically raising and lowering the probe unit, it is possible to reliably prevent the electrode from being rubbed at the probe tip of the probe unit, and to prevent the electrode from being damaged at the probe tip.

前記複数のプローブユニットを前記第２の移動片にその長手方向に沿って移動可能に保持し、位置決め機構により所望位置で解除可能に位置決めることができる。これにより、電極位置を異にする種々の表示パネルに対応することができる。 The plurality of probe units can be held on the second moving piece so as to be movable along the longitudinal direction, and can be positioned so as to be released at a desired position by a positioning mechanism. Thereby, it can respond to the various display panel from which an electrode position differs.

前記運動変換機構は、次のような構成を採用することができる。すなわち、運動変換機構は、第１および第２の移動片の互いに向き合う面に形成され、垂直線に関して傾斜する相互に平行な一対の傾斜面と、第１および第２の移動片を相互に前記傾斜面に沿って所定のストロークで移動可能に結合する結合機構と、前記両移動片間に前記傾斜面に沿った前記ストロークの一端へ向けてのばね力を与えるばね手段と、前記第１の移動片が前記後退位置から前記変換点に達したとき、前記第２の移動片の前記第１の移動片と一体的な前進移動を阻止しかつ前記ばね手段のばね力に打ち勝って傾斜面に沿った前記第２の移動片の摺動を許すことにより、前記第２の移動片を下方へ案内するためのストッパとを備える。この運動変換機構により、比較的単純な構成で複数のプローブユニットを確実に同期的に作動させることができる。 The motion conversion mechanism can employ the following configuration. That is, the motion conversion mechanism is formed on the mutually facing surfaces of the first and second moving pieces, and the pair of inclined surfaces that are inclined with respect to the vertical line and the first and second moving pieces are mutually connected. A coupling mechanism that movably couples along an inclined surface with a predetermined stroke; a spring means that applies a spring force toward one end of the stroke along the inclined surface between the moving pieces; When the moving piece reaches the conversion point from the retracted position, the second moving piece is prevented from moving forward integrally with the first moving piece and overcomes the spring force of the spring means to the inclined surface. And a stopper for guiding the second moving piece downward by allowing sliding of the second moving piece along. With this motion conversion mechanism, a plurality of probe units can be reliably operated synchronously with a relatively simple configuration.

矩形枠体のそれぞれの辺部分を、矩形開口を有する矩形ベース部材上で、該ベース部材の対応する矩形開口辺のそれぞれに沿って移動可能にかつ対応する矩形開口辺に近づく方向および遠ざかる方向へ移動可能に支持することができる。これにより、矩形開口の大きさが変更可能となることから、異なる大きさの表示パネルに対応することができる。 Each side part of the rectangular frame is movable on each of the corresponding rectangular opening sides of the base member on the rectangular base member having the rectangular opening and in a direction approaching and moving away from the corresponding rectangular opening side. It can be movably supported. Thereby, since the size of the rectangular opening can be changed, it is possible to deal with display panels having different sizes.

前記矩形ベース部材上に、該矩形ベース部材の前記矩形開口の互いに対向する両辺に沿って配置された一対の軌道部材と、該両軌道部材上に跨って配置され、該軌道部材上を該軌道部材と直角な姿勢で移動可能の一対の移動ベース部材とを設けることができる。また、前記矩形枠体の一対の辺部分を前記一対の移動ベース部材上で対応する該移動ベース部材上に沿って配置しかつその長手方向へ移動可能とすることができる。前記矩形枠体の他方の一対の辺部分の一端を、それぞれに隣接する前記一方の辺部分に該辺部分の長手方向へ移動可能に結合しかつ該辺部分の幅方向への移動が阻止されるように結合し、該各他方の一対の辺部分のそれぞれに隣接する前記一方の辺部分の一端を該一端に隣接する前記他方の辺部分に該辺部分の長手方向へ移動可能に結合しかつ該辺部分の幅方向への移動が阻止されるように結合することができる。 On the rectangular base member, a pair of track members disposed along opposite sides of the rectangular opening of the rectangular base member and the track members are disposed straddling the track members, and the track members are disposed on the track member. A pair of movable base members movable in a posture perpendicular to the members can be provided. Further, the pair of side portions of the rectangular frame can be arranged along the corresponding movement base member on the pair of movement base members and can be moved in the longitudinal direction thereof. One end of the other of the pair of side portions of the rectangular frame body, moving in the width direction of the longitudinal movable bound to and該辺portion of該辺portion to said one side portion adjacent to each are prevented attached to so that, linked to movable end of said one side portion adjacent to the respective longitudinal direction of該辺portion on the other side portion adjacent to said one end of the pair of side portions of each of the other And it can couple | bond so that the movement to the width direction of this edge part may be blocked | prevented.

一対の軌道部材上に跨って配置される一対の移動ベース部材を用い、この一対の移動ベース部材上に矩形枠体を配置することにより、該矩形枠体にがた付きを生じることなく安定した状態で前記矩形ベース部材上に矩形枠体を移動可能に保持することができ、また該矩形枠体の剛性を高めることができる。 By using a pair of moving base members arranged over a pair of track members and arranging a rectangular frame on the pair of moving base members , the rectangular frame is stable without rattling. In this state, the rectangular frame can be movably held on the rectangular base member, and the rigidity of the rectangular frame can be increased.

この矩形枠体に、前記したような結合構造を採用することにより、個々の辺部分の独立した運動を防止し、隣り合う辺部分の直角関係を維持した状態で各辺部分を移動させることができるので、表示パネルの大きさに応じた矩形開口を形成すべく手動で各辺部分を移動させるとき、その操作が容易に行える。 By adopting the coupling structure as described above to this rectangular frame, it is possible to prevent independent movement of each side part and to move each side part while maintaining the right angle relationship between adjacent side parts. Therefore, when each side portion is manually moved to form a rectangular opening corresponding to the size of the display panel, the operation can be easily performed.

この各辺部分の手動操作のために、前記各移動ベース部材と前記矩形ベース部材との間および前記各移動ベース部材と該移動ベース部材上の前記一方の辺部分との間に、それぞれ各移動ベース部材および前記一方の辺部分の移動を可能とすべくそれらを矩形ベース部材および前記移動ベース部材にそれぞれ解除可能に固定するための固定機構を設けることができる。この固定機構の解除により、所望の大きさの矩形開口の形成のために各辺部分の操作が可能となり、その後、前記固定機構の固定作用により、各辺部分の微動による矩形枠体の移動あるいは変形を確実に阻止することができる。 For manual operation of each side portion, each movement is made between each moving base member and the rectangular base member and between each moving base member and the one side portion on the moving base member. A fixing mechanism for releasably fixing the base member and the one side portion to the rectangular base member and the moving base member can be provided. By releasing the fixing mechanism, each side portion can be operated to form a rectangular opening having a desired size. After that, by the fixing action of the fixing mechanism, the rectangular frame body can be moved by fine movement of each side portion. Deformation can be reliably prevented.

前記移動ベース部材のための固定機構には、前記矩形ベース部材上で前記軌道部材上に沿って配置されかつ回転可能に支持されたねじ部材および該ねじ部材に螺合し前記移動ベース部材に固定的に取り付けられたナット部材を有するボールねじと、前記ねじ部材の回転を解除可能に阻止する固定装置とを備える固定機構を採用することができる。また、前記一方の辺部分のための固定機構には、同様に、前記移動ベース部材上で前記一方の辺部分に沿って配置されかつ回転可能に支持されたねじ部材および該ねじ部材に螺合し前記移動ベース部材に固定的に取り付けられたナット部材を備えるボールねじと、前記ねじ部材の回転を解除可能に阻止する固定装置とを備える固定機構を用いることができる。 The fixing mechanism for the moving base member includes a screw member disposed along the track member on the rectangular base member and rotatably supported, and screwed to the screw member and fixed to the moving base member . A fixing mechanism including a ball screw having a nut member attached thereto and a fixing device that releasably prevents rotation of the screw member can be employed. Similarly, the fixing mechanism for the one side portion is similarly screwed to the screw member disposed along the one side portion and rotatably supported on the movable base member. A fixing mechanism including a ball screw having a nut member fixedly attached to the moving base member and a fixing device for releasably preventing the rotation of the screw member can be used.

各固定機構のボールねじは、固定装置の解除時に移動ベース部材および辺部分の移動時に、それぞれ適正な摺動抵抗を与えることから、矩形枠体により規定される前記矩形開口の円滑な微調整が可能となり、前記固定装置により表示パネルに応じた所望の前記矩形開口を確実に保持できる。 The ball screw of each fixing mechanism gives an appropriate sliding resistance when the moving base member and the side portion move when the fixing device is released. Therefore, smooth fine adjustment of the rectangular opening defined by the rectangular frame can be performed. This makes it possible to reliably hold the desired rectangular opening corresponding to the display panel by the fixing device.

本発明によれば、前記したように、第１の移動片の移動を駆動装置により作動することにより、プローブユニット毎に駆動装置を設けることなく、第２の移動片に保持された複数のプローブユニットを一括的に昇降させ、またパネルの取り扱いに妨げとならないパネルの取り扱い領域外の待避位置に一括的に移動させることができるので、従来に比較して単純な構成で複数のプローブユニットを同期的に作動させることができる、表示パネルの検査装置が提供される。 According to the present invention, as described above, the plurality of probes held by the second moving piece without any driving device being provided for each probe unit by operating the movement of the first moving piece by the driving device. Units can be moved up and down collectively and moved to a retreat position outside the panel handling area that does not interfere with panel handling, so multiple probe units can be synchronized with a simpler configuration than before. A display panel inspection apparatus that can be operated automatically is provided.

本発明に係る検査装置１０は、図１に示されているように、液晶パネル１２のような表示パネルの例えば点灯検査のような電気試験に用いられる。液晶パネル１２は、矩形の形状を有し、図示しないが一方の面の各辺に沿って多数の電極群が相互に間隔を置いて形成されている。 As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 10 according to the present invention is used for an electrical test such as a lighting inspection of a display panel such as a liquid crystal panel 12. The liquid crystal panel 12 has a rectangular shape, and a large number of electrode groups are formed at intervals from each other along each side of one surface (not shown).

検査装置１０は、図１の線II-IIに沿って得られた図２に示されているように、ステージ１４上にこれから間隔をおいて配置される平板状の矩形ベース部材１６と、該ベース部材上に互いに間隔をおいて配置された一対の移動ベース部材１８と、該移動ベース部材上に組み立てられ、液晶パネル１２を受けるパネル受けを構成する矩形枠体２０と、該枠体に設けられた多数のプローブユニット２２とを備える。 As shown in FIG. 2 obtained along the line II-II in FIG. 1, the inspection apparatus 10 includes a flat rectangular base member 16 disposed on the stage 14 at a distance from the plate, A pair of moving base members 18 arranged on the base member at a distance from each other, a rectangular frame body 20 which is assembled on the moving base member and constitutes a panel receiver for receiving the liquid crystal panel 12, and provided on the frame body Provided with a large number of probe units 22.

矩形ベース部材１６は、図２に示すように、矩形開口部１６ａを規定し、ステージ１４上の矩形開口部１６ａに対応する領域には、矩形枠体２０上に配置される液晶パネル１２の点灯試験のためのバックライト装置２４が配置されている。 As shown in FIG. 2, the rectangular base member 16 defines a rectangular opening 16 a, and the liquid crystal panel 12 disposed on the rectangular frame 20 is turned on in an area corresponding to the rectangular opening 16 a on the stage 14. A backlight device 24 for testing is arranged.

液晶パネル１２は、その前記電極を上方へ向けた状態で背面からバックライト装置２４の光の照射を受けるように、矩形枠体２０の内縁上に縁部を乗せて保持される。この保持状態で前記電極に接続されるプローブユニット２２から検査のための電力が液晶パネル１２に供給される。ステージ１４は、従来よく知られているように、ステージ面上のＸ軸、Ｙ軸およびこれに垂直なＺ軸に移動可能であありかつＺ軸の周りに角度θで回転可能である。 The liquid crystal panel 12 is held with an edge on the inner edge of the rectangular frame 20 so that the backlight device 24 is irradiated with light from the back surface with the electrodes facing upward. In this holding state, power for inspection is supplied to the liquid crystal panel 12 from the probe unit 22 connected to the electrode. As is well known in the art, the stage 14 can move to the X axis, the Y axis, and the Z axis perpendicular thereto, and can rotate about the Z axis at an angle θ.

矩形ベース部材１６上には、矩形枠体２０の構造を示す図３および図４に示されているように、Ｙ軸方向へ伸びる軌道部材である一対のレール２６が、矩形ベース部材１６の矩形開口部１６ａの一対の縦辺に沿って設けられている。一対の移動ベース部材１８は、それぞれ細長い板部材からなり、矩形開口部１６ａの一対の横辺に沿って、両レール２６に跨って配置されている。各移動ベース部材１８の下面における該ベース部材の両端部近傍には、対応するレール２６上を移動する摺動子２８（図２および図４参照）が固定されている。したがって、一対の移動ベース部材１８は、互いに平行を保持した状態でＹ軸方向へ移動可能である。また、一対の移動ベース部材１８の移動を規制するために、一方のレール２６に沿って、各移動ベース部材１８のための固定機構３０が設けられている。 On the rectangular base member 16, as shown in FIGS. 3 and 4 showing the structure of the rectangular frame body 20, a pair of rails 26 that are track members extending in the Y-axis direction are rectangular in the rectangular base member 16. It is provided along a pair of vertical sides of the opening 16a. The pair of moving base members 18 are each composed of an elongated plate member, and are disposed across the rails 26 along the pair of lateral sides of the rectangular opening 16a. Sliders 28 (see FIGS. 2 and 4) that move on the corresponding rails 26 are fixed in the vicinity of both ends of the base member on the lower surface of each moving base member 18. Therefore, the pair of moving base members 18 can move in the Y-axis direction while being kept parallel to each other. In addition, in order to regulate the movement of the pair of moving base members 18, a fixing mechanism 30 for each moving base member 18 is provided along one rail 26.

各固定機構３０は、各移動ベース部材１８に対応してＹ軸方向に整列して配置され、両端がそれぞれ軸受３２を介してベース部材１６上に回転可能に支持された雄ねじ部材３４および各雄ねじ部材３４に螺合し対応する移動ベース部材１８に固定されたナット部材３６を有する従来よく知られたボールねじ３８と、雄ねじ部材３４より突出する雄ねじ部材３４の一端に組み付けられた例えばクランプ機構からなる固定装置４０とを備える。 Each fixing mechanism 30 is arranged in alignment with the moving base member 18 in the Y-axis direction, and both ends are rotatably supported on the base member 16 via bearings 32 and the respective male screws. A well-known ball screw 38 having a nut member 36 screwed to the member 34 and fixed to the corresponding movable base member 18, and a clamp mechanism assembled to one end of the male screw member 34 protruding from the male screw member 34, for example. And a fixing device 40.

固定装置４０は、矩形ベース部材１６上に支持され、雄ねじ部材３４を解除可能に締め付ける。固定機構３０は、その締め付けにより、雄ねじ部材３４の回転を阻止し、締め付けの解除により雄ねじ部材３４の回転を許す。ナット部材３６には、従来よく知られているように、雄ねじ部材３４との円滑なねじ嵌合を得るためのボール（図示せず）が組み込まれている。 The fixing device 40 is supported on the rectangular base member 16 and fastens the male screw member 34 in a releasable manner. The fixing mechanism 30 prevents the male screw member 34 from rotating by tightening, and allows the male screw member 34 to rotate by releasing the tightening. As is well known in the art, the nut member 36 incorporates a ball (not shown) for obtaining a smooth screw fit with the male screw member 34.

固定機構３０が解除された状態で、一対の移動ベース部材１８にＹ軸方向の操作力が作用すると、対応するナット部材３６を介してこれに螺合する雄ねじ部材３４が円滑に回転する。これにより、一対の移動ベース部材１８は、この雄ねじ部材３４の回転を伴って、一対の軸受３２で規定される移動範囲内でレール２６上を適正な摩擦を伴って円滑に摺動する。したがって、ボールねじ３８を用いることにより、一対の移動ベース部材１８の微調整が容易に行える。この微調整の後、各固定装置４０の締め付けにより、雄ねじ部材３４の回転が阻止されると、一対の移動ベース部材１８は、一対の軸受３２により規定される移動範囲内の回転が阻止された所望位置で、確実に固定される。 When an operation force in the Y-axis direction is applied to the pair of moving base members 18 in a state where the fixing mechanism 30 is released, the male screw member 34 screwed into the corresponding via the corresponding nut member 36 rotates smoothly. As a result, the pair of moving base members 18 smoothly slide on the rail 26 with appropriate friction within the moving range defined by the pair of bearings 32 with the rotation of the male screw member 34. Therefore, by using the ball screw 38, the pair of moving base members 18 can be easily finely adjusted. After the fine adjustment, when the rotation of the male screw member 34 is prevented by tightening each fixing device 40, the pair of moving base members 18 are prevented from rotating within the moving range defined by the pair of bearings 32. It is securely fixed at a desired position.

一対の移動ベース部材１８上に保持される矩形枠体２０は、移動ベース部材１８上でＸ軸方向に配置される長尺状の一対の横辺部分２０ａ、２０ｂと、Ｙ軸方向に沿って配置される長尺状の一対の縦辺部分２０ｃ、２０ｄとを有する。 The rectangular frame 20 held on the pair of moving base members 18 includes a pair of long side portions 20a and 20b arranged in the X-axis direction on the moving base member 18, and along the Y-axis direction. It has a pair of long side parts 20c and 20d of the elongate shape arrange | positioned.

各横辺部分２０ａ、２０ｂの下面には、図２に示すように、一対の移動ベース部材１８上に固定された案内部４２に受け入れられるレール４４が設けられている。案内部４２とレール４４との嵌合により、一対の移動ベース部材１８と、これに対応する一対の横辺部分２０ａ、２０ｂとは、矩形ベース部材１６上でレール４４と直角なＹ軸方向へ、一体的に移動可能である。また、このレール４４の案内作用により、一対の横辺部分２０ａ、２０ｂは、それぞれに対応する移動ベース部材１８上をその長手方向すなわちＸ軸方向へ移動可能である。 As shown in FIG. 2, rails 44 that are received by the guide portions 42 fixed on the pair of moving base members 18 are provided on the lower surfaces of the horizontal side portions 20 a and 20 b. Due to the fitting of the guide portion 42 and the rail 44, the pair of moving base members 18 and the pair of horizontal side portions 20 a, 20 b corresponding thereto move in the Y-axis direction perpendicular to the rail 44 on the rectangular base member 16. , Can move together. Further, by the guide action of the rail 44, the pair of lateral side portions 20a and 20b can move in the longitudinal direction, that is, the X-axis direction, on the corresponding movement base member 18.

また、各縦辺部分２０ｃ、２０ｄの下面には、該縦辺部分の長手方向へ伸長するレール４６（図２および図４参照）が設けられており、一方の縦辺部分２０ｃのレール４６は、図４に該縦辺部の中間部が切り欠いて示されているように、一方の横辺部分２０ａの一端に形成された案内部４８に該横辺部分の幅方向へ摺動可能に受け入れられている。また、各横辺部分２０ａ、２０ｂの下面には、該横辺部分の長手方向へ伸長するレール５０が設けられており、レール５０は、図４に他方の横辺部分２０ｂの中間部が切り欠いて示されているように、一方の縦辺部分２０ｃの一端に形成された案内部５２に該縦辺部分の幅方向へ摺動可能に受け入れられている。 Further, rails 46 (see FIGS. 2 and 4) extending in the longitudinal direction of the vertical side portions are provided on the lower surfaces of the vertical side portions 20c and 20d. As shown in FIG. 4 with the middle portion of the vertical side portion cut away, the guide portion 48 formed at one end of the one horizontal side portion 20a is slidable in the width direction of the horizontal side portion. Accepted. Further, rails 50 extending in the longitudinal direction of the horizontal side portions 20a and 20b are provided on the lower surfaces of the horizontal side portions 20a and 20b, and the rail 50 is formed by cutting an intermediate portion of the other horizontal side portion 20b in FIG. As shown lacking, it is slidably received in a guide portion 52 formed at one end of one vertical side portion 20c so as to be slidable in the width direction of the vertical side portion.

したがって、一方の横辺部分２０ａの一端は、一方の縦辺部分２０ｃの幅方向すなわちＸ軸方向への相対移動を阻止しかつ該縦辺部分の長手方向であるＹ軸方向への相対移動を許すように、一方の縦辺部分２０ｃに結合されている。また、この一方の縦辺部分２０ｃの一端は、他方の横辺部分２０ｂの幅方向であるＹ軸方向への相対移動を阻止しかつ該横辺部分の長手方向であるＸ軸方向への相対移動を許すように、他方の横辺部分２０ｂに結合されている。 Accordingly, one end of one horizontal side portion 20a prevents relative movement in the width direction of one vertical side portion 20c, that is, the X-axis direction, and performs relative movement in the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the vertical side portion. It is coupled to one vertical side portion 20c to allow. In addition, one end of the one vertical side portion 20c prevents relative movement in the Y-axis direction that is the width direction of the other horizontal side portion 20b and is relative to the X-axis direction that is the longitudinal direction of the horizontal side portion. It is coupled to the other side portion 20b so as to allow movement.

同様に、他方の横辺部分２０ｂの一端は、前記した一方の横辺部分２０ａおよび一方の縦辺部分２０ｃにおけると同様な結合構造により、他方の縦辺部分２０ｄの幅方向であるＸ軸方向への相対移動を阻止しかつ該縦辺部分の長手方向であるＹ軸方向への相対移動を許すように、他方の縦辺部分２０ｄに結合されている。また、他方の縦辺部分２０ｄの一端は、前記した一方の縦辺部分２０ａおよび他方の横辺部分２０ｂにおけると同様な結合構造により、一方の横辺部分２０ａの幅方向であるＹ軸方向への相対移動を阻止しかつ該横辺部分の長手方向であるＸ軸方向への相対移動を許すように、一方の横辺部分２０ａに結合されている。 Similarly, one end of the other horizontal side portion 20b is arranged in the X-axis direction, which is the width direction of the other vertical side portion 20d, by the same coupling structure as that of the one horizontal side portion 20a and the one vertical side portion 20c. It is coupled to the other vertical side portion 20d so as to prevent the relative movement in the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the vertical side portion. Further, one end of the other vertical side portion 20d is directed in the Y-axis direction, which is the width direction of the one horizontal side portion 20a, by the same coupling structure as that of the one vertical side portion 20a and the other horizontal side portion 20b. Is coupled to one lateral portion 20a so as to prevent relative movement of the lateral portion and allow relative movement in the X-axis direction, which is the longitudinal direction of the lateral portion.

各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの他端は、隣接する辺部分を超えて該辺部分の幅方向外方へ突出する。 The other ends of the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d protrude outward in the width direction of the side portions beyond the adjacent side portions.

一対の横辺部分２０ａ、２０ｂは対応する一対の移動ベース部材１８と一体的にＹ軸方向へ移動可能であり、かつ該移動ベース部材１８上をその長手方向であるＸ軸方向へ移動可能である。また、各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの前記一端は、各一端に隣接する各辺部分２０ｃ、２０ｄ、２０ｂ、２０ａのそれぞれに、それらの幅方向への相対移動を阻止しかつそれらの長手方向への相対移動を許すように、結合されている。 The pair of horizontal side portions 20a and 20b can move integrally with the corresponding pair of moving base members 18 in the Y-axis direction, and can move on the moving base member 18 in the X-axis direction which is the longitudinal direction thereof. is there. Further, the one end of each side portion 20a, 20b, 20c, 20d prevents the relative movement in the width direction of each side portion 20c, 20d, 20b, 20a adjacent to each one end and Coupled to allow relative movement in the longitudinal direction.

また、図３および図４に示されているように、一対の移動ベース部材１８上には、それぞれに設けられた一対の横辺部分２０ａ、２０ｂの長手方向への相対移動を拘束するための前記した固定機構３０と同様な構成および作用を有する固定機構１３０が設けられている。 Further, as shown in FIGS. 3 and 4, on the pair of moving base members 18, the relative movement in the longitudinal direction of the pair of lateral side portions 20 a and 20 b provided on the pair of moving base members 18 is restricted. A fixing mechanism 130 having the same configuration and operation as the above-described fixing mechanism 30 is provided.

したがって、各固定機構３０、１３０の固定機能を解除した状態で、パネル受けを構成する矩形枠体２０の各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを手動操作することにより、図５（ａ）に示すように、矩形枠体２０の内縁により規定される矩形開口５４を最大寸法から、図５（ｂ）に示すように、最大寸法より小さい所望の大きさの矩形開口５４に変更自在であり、液晶パネル１２の縁部を受けるに最適な大きさに調整した後、固定機構３０、１３０の各固定装置４０の締め付けによって、液晶パネル１２の大きさに応じた最適な矩形開口５４を保持することができる。 Therefore, by manually operating the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d of the rectangular frame 20 constituting the panel receiver in a state in which the fixing function of each fixing mechanism 30 and 130 is released, FIG. As shown in FIG. 5B, the rectangular opening 54 defined by the inner edge of the rectangular frame 20 can be changed from the maximum dimension to a rectangular opening 54 having a desired size smaller than the maximum dimension, as shown in FIG. After adjusting to the optimal size for receiving the edge of the liquid crystal panel 12, the optimal rectangular opening 54 corresponding to the size of the liquid crystal panel 12 is held by tightening the fixing devices 40 of the fixing mechanisms 30 and 130. Can do.

一対のレールすなわち軌道部材２６上に一対の移動ベース部材１８を跨って配置し、この一対の移動ベース１８上に矩形枠体２０を配置することにより、該矩形枠体にがた付きを生じることなく、安定した状態で矩形ベース部材１６上に矩形枠体２０を移動可能に保持することができ、また矩形枠体２０の剛性を高めることができる。 By placing the pair of moving base members 18 on the pair of rails, that is, the track members 26, and arranging the rectangular frame 20 on the pair of moving bases 18, the rectangular frame is rattled. In addition, the rectangular frame body 20 can be movably held on the rectangular base member 16 in a stable state, and the rigidity of the rectangular frame body 20 can be increased.

矩形枠体２０に、前記したような結合構造を採用することにより、個々の辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの独立した運動を防止し、隣り合う辺部分の直角関係を維持した状態で各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを移動させることができるので、表示パネル１２の大きさに応じた矩形開口１６ａを形成すべく手動で各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを移動させるとき、その操作が容易に行える。 By adopting the coupling structure as described above to the rectangular frame 20, the individual side portions 20a, 20b, 20c, and 20d are prevented from independent movement, and the right side relationship between the adjacent side portions is maintained. Since the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d can be moved, when the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d are manually moved to form a rectangular opening 16a corresponding to the size of the display panel 12, The operation can be easily performed.

また、この各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの手動操作のために、各移動ベース部材１８と矩形ベース部材１６との間および各移動ベース部材１８と該移動ベース部材上の辺部分２０ａ、２０ｂとの間に、それぞれ解除可能に固定するための固定機構３０、１３０を設けることにより、所望の大きさの矩形開口の形成のために各辺部分の操作が容易となり、その後、前記固定機構の固定作用により、各辺部分の微動による矩形枠体の移動あるいは変形を確実に阻止することができる。 Further, for manual operation of each side portion 20a, 20b, 20c, 20d, between each moving base member 18 and rectangular base member 16, and each moving base member 18 and side portion 20a on the moving base member, By providing the fixing mechanisms 30 and 130 for releasably fixing between the two parts, the operation of each side part is facilitated to form a rectangular opening of a desired size. With this fixing action, it is possible to reliably prevent the movement or deformation of the rectangular frame due to the fine movement of each side portion.

矩形枠体すなわちパネル受け２０上の液晶パネル１２を確実に保持するために図１に示されているように、一方の横辺部分２０ａおよび他方の縦辺部分２０ｃに位置決めピン５６が設けられ、また他方の横辺部分２０ｂおよび一方の縦辺部分２０ｄには、対向する位置決めピン５６と共同して液晶パネル１２を解除可能に挟持するためのプッシャ５８が設けられている。 In order to securely hold the liquid crystal panel 12 on the rectangular frame, that is, the panel receiver 20, as shown in FIG. 1, positioning pins 56 are provided on one horizontal side portion 20a and the other vertical side portion 20c, and the other to the lateral side portions 20b and one of the vertical side portion 20 d, the pusher 58 for releasably clamping the liquid crystal panel 12 in cooperation with the positioning pin 56 which faces are provided.

各プッシャ５８は、横辺部分２０ｂおよび縦辺部分２０ｃのそれぞれに設けられているが、代表的に、図６および図７に示された縦辺部分２０ｃに設けられたプッシャ５８に沿って説明する。 Each pusher 58 is provided in each of the horizontal side portion 20b and the vertical side portion 20c. Typically, the pusher 58 will be described along the pusher 58 provided in the vertical side portion 20c shown in FIGS. To do.

プッシャ５８は、図７および図８に示されているように、縦辺部分２０ｃの幅方向に沿って配置された支持部材６０の先端に支持されており、該支持部材６０は、縦辺部分２０ｃの下面に設けられた案内部材６２により、該縦辺部分の幅方向へ移動可能に案内される。案内部材６２は、縦辺部分２０ｃに図示しないブラケットを介して支持されたピストン・シリンダ装置６４の作動により、スリット６６に沿って図８（ａ）に示す挟持位置と、図８（ｂ）に示す解除位置との間で移動可能である。 As shown in FIGS. 7 and 8, the pusher 58 is supported at the tip end of a support member 60 arranged along the width direction of the vertical side portion 20c. The support member 60 is supported by the vertical side portion. The guide member 62 provided on the lower surface of 20c is guided so as to be movable in the width direction of the vertical side portion. The guide member 62 is moved to the clamping position shown in FIG. 8A along the slit 66 by the operation of the piston / cylinder device 64 supported by the vertical side portion 20c via a bracket (not shown), and in FIG. 8B. It can move between the release positions shown.

前記した位置決めピン５６とプッシャ５８とから成る位置決め機構によりパネル受け２０上で液晶パネル１２は確実に挟持される。このパネル受け２０上の液晶パネル１２にその前記電極を経て検査用の電力を供給するための多数の前記プローブユニット２２が、パネル受け２０の対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに保持されている。 The liquid crystal panel 12 is securely held on the panel receiver 20 by the positioning mechanism including the positioning pins 56 and the pushers 58 described above. A large number of the probe units 22 for supplying inspection power to the liquid crystal panel 12 on the panel receiver 20 through the electrodes are held in the corresponding side portions 20a, 20b, 20c, and 20d. Has been.

各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄについてのプローブユニット２２の支持構造は、それぞれ同一であることから、代表的に、図６および図７に示された縦辺部分２０ｃにおける支持構造について説明する。 Since the support structure of the probe unit 22 for each of the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d is the same, the support structure for the vertical side portion 20c shown in FIGS. 6 and 7 will be described as a representative. .

縦辺部分２０ｃすなわち各辺部分上には、該辺部分の長手方向に沿ってそれぞれ細長い第１の移動片６８および第２の移動片７０が配置されている。第１の移動片６８は、図７に明確に示されているように、前記辺部分２０ｃ上でこれに沿って配置される底部６８ａと、該底部の矩形開口５４側に位置する縁部から底部６８ａと直角に立ち上がる直立壁部６８ｂとを備え、全体にＬ字状の横断面形状を有する。前記辺部分２０ｃ上には、該辺部分の幅方向に伸びる一対のレール７２が設けられており、また、第１の移動片６８の底部６８ａの下面には、対応するレール７２に嵌合する一対の案内部７４が設けられている。 On the vertical side portion 20c, that is, on each side portion, a first moving piece 68 and a second moving piece 70 that are elongated along the longitudinal direction of the side portion are arranged. As clearly shown in FIG. 7, the first moving piece 68 includes a bottom 68 a disposed along the side portion 20 c and an edge located on the rectangular opening 54 side of the bottom portion 20 c. It has an upright wall portion 68b that rises at a right angle with the bottom portion 68a, and has an L-shaped cross-sectional shape as a whole. A pair of rails 72 extending in the width direction of the side portion are provided on the side portion 20c, and the lower surface of the bottom portion 68a of the first moving piece 68 is fitted to the corresponding rail 72. A pair of guide portions 74 are provided.

したがって、レール７２の案内作用により、第１の移動片６８は、前記辺部分２０ｃ上でその幅方向へ移動可能である。第１の移動片６８が矩形開口５４を規定する前記辺部分２０ｃの内縁に最も近接する前進位置は、前記辺部分２０ｃの外縁に形成された凹所７６の底部７６ａと、該凹所に対応して底部６８ａに形成された係止部材７８との当接により、規定される。 Therefore, the first moving piece 68 can move in the width direction on the side portion 20c by the guide action of the rail 72. The advance position where the first moving piece 68 is closest to the inner edge of the side portion 20c defining the rectangular opening 54 corresponds to the bottom 76a of the recess 76 formed on the outer edge of the side portion 20c, and the recess. Then, it is defined by contact with the locking member 78 formed on the bottom 68a.

第２の移動片７０は、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂに沿って前記辺部分２０ｃの内縁の側に配置されており、直立壁部６８ｂから間隔を置いてこれと平行に伸びる。第２の移動片７０の両端には、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂの両端を超えて伸長するアーム部７０ａが形成されている。各アーム部７０ａには、その外方へ該アーム部の伸長方向と直角な回転軸を有するローラ８０が回転可能に支持されている。 The second moving piece 70 is disposed on the inner edge side of the side portion 20c along the upright wall portion 68b of the first moving piece 68, and extends parallel to the upright wall portion 68b with a space therebetween. . At both ends of the second moving piece 70, arm portions 70a extending beyond both ends of the upright wall portion 68b of the first moving piece 68 are formed. A roller 80 having a rotation axis perpendicular to the extending direction of the arm part is rotatably supported on each arm part 70a.

第１の移動片６８の直立壁部６８ｂと、これに対向する第２の移動片７０との間には、図９および図１０に示すように、両者を移動可能に結合する結合機構８２が形成されている。結合機構８２は、図１０に明確に示されているように、直立壁部６８ｂの底部に形成された下方ブロック８２ａと、底部６８ａに対向する第２の移動片７０の内面で下方ブロック８２ａの対角位置に形成された上方ブロック８２ｂとを備える。下方ブロック８２ａには、上方ブロック８２ｂへ向けて伸長する傾斜ピン８２ｃが支持されている。この傾斜ピン８２ｃは、下方ブロック８２ａから上方および前記辺部分２０ｃの内縁へ向けて傾斜して立ち上がる。他方、上方ブロック８２ｂには、傾斜ピン８２ｃを受け入れる案内孔８２ｄが形成されている。 Between the upright wall portion 68b of the first moving piece 68 and the second moving piece 70 facing the first moving piece 68, as shown in FIGS. Is formed. As clearly shown in FIG. 10, the coupling mechanism 82 includes a lower block 82a formed at the bottom of the upright wall 68b and an inner surface of the second moving piece 70 facing the bottom 68a. And an upper block 82b formed in a diagonal position. An inclined pin 82c extending toward the upper block 82b is supported on the lower block 82a. The inclined pin 82c rises from the lower block 82a while being inclined upward and toward the inner edge of the side portion 20c. On the other hand, a guide hole 82d for receiving the inclined pin 82c is formed in the upper block 82b.

結合機構８２は、傾斜ピン８２ｃの軸線方向への第１の移動片６８および第２の移動片７０の相対移動を許すように、該両移動片６８、７０を結合する。また、傾斜ピン８２ｃを取り巻いてばね手段である圧縮コイルスプリング８４が配置されている。圧縮コイルスプリング８４は、下方ブロック８２ａおよび上方ブロック８２ｂが傾斜ピン８２ｃの軸線方向に沿って相離れる方向へのばね力を作用させる。この結合機構８２は、図７および図９に示すように、第１の移動片６８および第２の移動片７０の長手方向の両端近傍および中央部に、それぞれ設けられている。 The coupling mechanism 82 couples both the moving pieces 68 and 70 so as to allow relative movement of the first moving piece 68 and the second moving piece 70 in the axial direction of the inclined pin 82c. In addition, a compression coil spring 84 that is a spring means is disposed around the inclined pin 82c. The compression coil spring 84 applies a spring force in a direction in which the lower block 82a and the upper block 82b are separated from each other along the axial direction of the inclined pin 82c. As shown in FIGS. 7 and 9, the coupling mechanism 82 is provided in the vicinity of the longitudinal ends of the first moving piece 68 and the second moving piece 70 and in the central portion thereof.

各結合機構８２における案内孔８２ｄの圧縮コイルスプリング８４のばね力による傾斜ピン８２ｃからの離脱は、図７および図１０に示されているように、前記辺部分２０ｃの両端に設けられた一対のストッパ部材８６により防止されている。各ストッパ部材８６は、前記辺部分２０ｃから第２の移動片７０のアーム部７０ａの外側に沿って立ち上がる直立部８６ａおよび該直立部から対応するアーム部７０ａの上面に係合可能に伸長するフック部８６ｂを有する。 As shown in FIGS. 7 and 10, the guide hole 82d in each coupling mechanism 82 is detached from the inclined pin 82c due to the spring force of the compression coil spring 84. As shown in FIGS. The stopper member 86 prevents this. Each stopper member 86 rises from the side portion 20c along the outside of the arm portion 70a of the second moving piece 70, and a hook that extends from the upright portion to engage with the upper surface of the corresponding arm portion 70a. Part 86b.

ストッパ部材８６のフック部８６ｂは、図１０に示すように第２の移動片７０のアーム部７０ａの上面を摺動可能に受けることにより、上方ブロック８２ｂの傾斜ピン８２ｃからの離脱を防止する。また、第２の移動片７０は、圧縮コイルスプリング８４のばね力によりアーム部７０ａがフック部８６ｂに当接された復帰位置で、第１の移動片６８とのレール７２に沿った一体的な移動が可能である。また、ストッパ部材８６は、その直立部８６ａがアーム部７０ａのローラ８０に当接することにより、後述する案内機構８８と共同して、第２の移動片７０の円滑な垂直移動を可能とする。 The hook portion 86b of the stopper member 86 prevents the upper block 82b from being detached from the inclined pin 82c by slidably receiving the upper surface of the arm portion 70a of the second moving piece 70 as shown in FIG. Further, the second moving piece 70 is integrated with the first moving piece 68 along the rail 72 at a return position where the arm portion 70a is brought into contact with the hook portion 86b by the spring force of the compression coil spring 84. It is possible to move. Further, the stopper member 86 allows the second moving piece 70 to smoothly move vertically in cooperation with the guide mechanism 88 described later, with the upright portion 86a abutting against the roller 80 of the arm portion 70a.

また、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂと、これに対向する第２の移動片７０との間には、図７および図１０に示すように、両者を円滑に傾斜ピン８２ｃの傾斜に沿って案内するための一対の案内機構８８が設けられている。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, between the upright wall portion 68b of the first moving piece 68 and the second moving piece 70 opposed to the upright wall portion 68b, both are smoothly inclined by the inclined pin 82c. A pair of guide mechanisms 88 are provided for guiding along.

各案内機構８８は、図１１に示されているように、第１の移動片６８に設けられた第１の傾斜ブロック８８ａと、該傾斜ブロックに対向して第２の移動片７０に設けられた第２の傾斜ブロック８８ｂとを備える。第１の傾斜ブロック８８ａは、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂの第２の移動片７０に対向する面に設けられ、前記傾斜ピン８２ｃの傾斜角に一致した傾斜角を有する傾斜面９０ａが設けられている。傾斜面９０ａには、傾斜ピン８２ｃの伸長方向に沿ってレール９２が設けられている。 As shown in FIG. 11, each guide mechanism 88 is provided on a first inclined block 88 a provided on the first moving piece 68 and on the second moving piece 70 facing the inclined block. And a second inclined block 88b. The first inclined block 88a is provided on the surface of the upright wall 68b of the first moving piece 68 that faces the second moving piece 70, and has an inclined surface that has an inclination angle that matches the inclination angle of the inclined pin 82c. 90a is provided. A rail 92 is provided on the inclined surface 90a along the extending direction of the inclined pin 82c.

また、第２の傾斜ブロック８８ｂは、第１の傾斜ブロック８８ａの傾斜面９０ａから間隔を置いてこれに平行に形成された傾斜面９０ｂを有する。この傾斜面９０ｂには、レール９２に嵌合し、該レールに案内される案内部９４が設けられている。 The second inclined block 88b has an inclined surface 90b formed in parallel with the inclined surface 90a of the first inclined block 88a at a distance from the inclined surface 90a. The inclined surface 90b is provided with a guide portion 94 that is fitted to the rail 92 and guided by the rail.

各案内機構８８は、後述するように第２の移動片７０が第１の移動片６８との間で圧縮コイルスプリング８４を圧縮する作用力を受けたとき、第２の移動片７０の傾斜ピン８２ｃに沿った移動を確実に案内する。 As will be described later, each guide mechanism 88 has an inclined pin of the second moving piece 70 when the second moving piece 70 receives an acting force compressing the compression coil spring 84 with the first moving piece 68. The movement along 82c is reliably guided.

前記辺部分２０ｃには、図７に示すように、一対のピストン・シリンダ装置９６が設けられている。各ピストン・シリンダ装置９６のシリンダは、図示しないブラケットを介して前記辺部分２０ｃに支持されており、ピストン・シリンダ装置９６の伸長および収縮動作により、第２の移動片７０が保持された第１の移動片６８は、矩形開口５４の縁部に近づく前進位置と前記縁部から遠ざかる後退位置との間で駆動される。 As shown in FIG. 7, the side portion 20c is provided with a pair of piston / cylinder devices 96. The cylinder of each piston / cylinder device 96 is supported by the side portion 20c via a bracket (not shown), and the first moving piece 70 is held by the expansion and contraction operations of the piston / cylinder device 96. The moving piece 68 is driven between an advanced position approaching the edge of the rectangular opening 54 and a retracted position moving away from the edge.

前記した第１の移動片６８、第２の移動片７０、両移動片６８、７０間に設けられた結合機構８２、圧縮コイルスプリング８４、案内機構８８およびピストン・シリンダ装置９６の構成は、各横辺部分２０ａ、２０ｂおよび各縦辺部分２０ｃ、２０ｄに共通である（図１参照）。 The configuration of the first moving piece 68, the second moving piece 70, the coupling mechanism 82 provided between the two moving pieces 68, 70, the compression coil spring 84, the guide mechanism 88, and the piston / cylinder device 96 is as follows. This is common to the horizontal side portions 20a and 20b and the vertical side portions 20c and 20d (see FIG. 1).

各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ上の第２の移動片７０には、複数の前記したプローブユニット２２が保持されている。各プローブユニット２２は、図１１に示されているように、第２の移動片７０に沿ってその外面に支持された案内バー９８に解除可能に結合される例えばクランプ機構から成る固定装置１００により、それぞれのプローブ２２ａが垂下するように各第２の移動片７０に解除可能に固定されている。また、各プローブユニット２２は、第２の移動片７０の下面にその長手方向へ形成されたレール１０２に係合する案内部１０４により、確実に保持され、また、第２の移動片７０の長手方向に一致する前記辺部分の長手方向へ確実に案内される。 A plurality of probe units 22 are held on the second moving piece 70 on each of the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d. As shown in FIG. 11, each probe unit 22 is fixed by a fixing device 100 composed of, for example, a clamp mechanism releasably coupled to a guide bar 98 supported on the outer surface along the second moving piece 70. Each probe 22a is releasably fixed to each second moving piece 70 so as to hang down. Each probe unit 22 is securely held by the guide portion 104 that engages with the rail 102 formed in the longitudinal direction on the lower surface of the second moving piece 70, and the length of the second moving piece 70 is It is reliably guided in the longitudinal direction of the side portion that coincides with the direction.

したがって、各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ上の第２の移動片７０に設けられた各プローブユニット２２は、固定装置１００を解除した状態で、液晶パネル１２に設けられた前記電極の配置に対応した所定位置に移動させることができ、各固定装置１００の締め付けにより、各プローブユニット２２を所定位置に確実に位置決めることができる。 Accordingly, each probe unit 22 provided on the second moving piece 70 on each side portion 20a, 20b, 20c, 20d is arranged with the electrodes provided on the liquid crystal panel 12 in a state where the fixing device 100 is released. The probe units 22 can be surely positioned at predetermined positions by tightening the fixing devices 100.

本発明に係る検査装置１０の作動を図１２に沿って説明する。
本発明に係る検査装置１０は、各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに設けられたピストン・シリンダ装置９６が収縮動作し、収縮位置に保持される。各ピストン・シリンダ装置９６の収縮位置では、対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに設けられた第１の移動片６８は、図１２（ａ）に示す後退位置に保持される。 The operation of the inspection apparatus 10 according to the present invention will be described with reference to FIG.
In the inspection apparatus 10 according to the present invention, the piston / cylinder devices 96 provided on the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d are contracted and held in the contracted position. In the contracted position of each piston / cylinder device 96, the first moving piece 68 provided in each corresponding side portion 20a, 20b, 20c, 20d is held at the retracted position shown in FIG.

この後退位置では、第２の移動片７０は、圧縮コイルスプリング８４のばね力により、そのアーム部７０ａがストッパ部材８６のフック部８６ｂに係合する位置に保持されている。これにより、第２の移動片７０は、対応する第１の移動片６８と一体的に、これらが設けられた対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの幅方向へそれぞれ移動可能である。また、第１の移動片６８の後退位置では、各アーム部７０ａの先端部に支持されたローラ８０は、ストッパ部材８６の直立部８６ａから間隔をおいて保持されており、各プローブユニット２２は、矩形開口５４の縁部およびパネル受け２０から大きく隔てられた待機位置に保持されている。 In the retracted position, the second moving piece 70 is held at a position where the arm portion 70 a is engaged with the hook portion 86 b of the stopper member 86 by the spring force of the compression coil spring 84. Thereby, the 2nd moving piece 70 can move to the width direction of each side part 20a, 20b, 20c, 20d to which these are provided integrally with the corresponding 1st moving piece 68, respectively. . In the retracted position of the first moving piece 68, the roller 80 supported by the tip of each arm portion 70a is held at a distance from the upright portion 86a of the stopper member 86, and each probe unit 22 is In the standby position, the edge of the rectangular opening 54 and the panel receiver 20 are separated from each other.

この状態で、図５に沿って説明したとおり、検査対象である液晶パネル１２の大きさに適するように、パネル受け２０の大きさが調整され、各固定機構３０によりパネル受け２０が矩形ベース部材１６上で固定される。 In this state, as described with reference to FIG. 5, the size of the panel receiver 20 is adjusted so as to be suitable for the size of the liquid crystal panel 12 to be inspected, and the panel receiver 20 is fixed to the rectangular base member by each fixing mechanism 30. 16 is fixed.

次に、パネル受け２０上に液晶パネル１２がその前記電極を上方へ向けた姿勢で、その縁部がパネル受け２０の矩形開口５４の縁部上に乗るように配置される。このとき、待機位置にある各プローブユニット２２は、液晶パネル１２の取り扱い領域外にあることから、液晶パネル１２のパネル受け２０上への配置およびパネル受け２０上からの取り出し作業に支障を与えることはない。また、パネル受け２０上に液晶パネル１２が配置されると、前記したように各プッシャ５８が対応する位置決めピン５６との間で、液晶パネル１２を確実に挟持する。 Next, the liquid crystal panel 12 is arranged on the panel receiver 20 so that the edge of the liquid crystal panel 12 rides on the edge of the rectangular opening 54 of the panel receiver 20 with the electrode facing upward. At this time, since each probe unit 22 in the standby position is outside the handling area of the liquid crystal panel 12, the arrangement of the liquid crystal panel 12 on the panel receiver 20 and the removal work from the panel receiver 20 are hindered. There is no. Further, when the liquid crystal panel 12 is disposed on the panel receiver 20, the liquid crystal panel 12 is securely sandwiched between the respective pushers 58 and the corresponding positioning pins 56 as described above.

液晶パネル１２がパネル受け２０上で挟持されると、各ピストン・シリンダ装置９６が伸長動作し、この伸長動作に伴って第１の移動片６８が第２の移動片７０と一体的に、前進位置へ向けて移動する。この移動は、図１２（ａ）に符号αで示すように、パネル受け２０の正面に平行な面上で対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの幅方向に沿った水平経路に沿う。 When the liquid crystal panel 12 is clamped on the panel receiver 20, each piston / cylinder device 96 extends, and the first moving piece 68 moves forward integrally with the second moving piece 70 along with the extending operation. Move towards position. This movement follows a horizontal path along the width direction of each of the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d corresponding to a plane parallel to the front surface of the panel receiver 20, as indicated by reference numeral α in FIG. .

この水平経路αに沿った第１の移動片６８および第２の移動片７０の一体的な移動により、図１２（ｂ）に示すように、ローラ８０がストッパ部材８６の直立部８６ａに当接すると、引き続くピストン・シリンダ装置９６の伸長動作に伴って第１の移動片６８は、引き続き前進位置へ向けて水平経路αを前進する。しかしながら、第２の移動片７０は、ローラ８０と直立部８６ａとの当接により、第１の移動片６８との一体的な移動を阻止される。
このローラ８０と直立部８６ａとが当接するとき、図１２（ｂ）に示されているように、第２の移動片７０に支持された各プローブユニット２２は液晶パネル１２の配置領域内にあり、プローブユニット２２のプローブ２２ａは、液晶パネル１２の対応する電極１２ａの直上に位置する。 Due to the integral movement of the first moving piece 68 and the second moving piece 70 along the horizontal path α, the roller 80 comes into contact with the upright portion 86a of the stopper member 86 as shown in FIG. Then, as the piston / cylinder device 96 continues to extend, the first moving piece 68 continues to advance along the horizontal path α toward the advance position. However, the second moving piece 70 is prevented from moving integrally with the first moving piece 68 by the contact between the roller 80 and the upright portion 86a.
When the roller 80 and the upright portion 86a come into contact with each other, as shown in FIG. 12B, each probe unit 22 supported by the second moving piece 70 is in the arrangement region of the liquid crystal panel 12. The probe 22a of the probe unit 22 is located immediately above the corresponding electrode 12a of the liquid crystal panel 12.

また、ストッパ部材８６により、第２の移動片７０の前進が阻止されると、ピストン・シリンダ装置９６により与えられる前進力の一部は、結合機構８２の傾斜ピン８２ｃと案内孔８２ｄとの係合および案内機構８８の傾斜面９０ａ、９０ｂに形成されたレール９２と案内部９４との係合により、圧縮コイルスプリング８４の圧縮力に変換される。 Further, when the stopper member 86 prevents the second moving piece 70 from advancing, a part of the advancing force applied by the piston / cylinder device 96 is related to the inclination pin 82c of the coupling mechanism 82 and the guide hole 82d. By the engagement of the rail 92 formed on the inclined surfaces 90 a and 90 b of the guide mechanism 88 and the guide portion 94, the compression force of the compression coil spring 84 is converted.

その結果、ストッパ部材８６とローラ８０とが当接する運動変換点を超えて第１の移動片６８が前進すると、この第１の移動片６８の引き続く前進に伴い、第２の移動片７０は水平経路αと直角な垂直経路βに沿って下方へ移動し、この第２の移動片７０の移動と一体にプローブユニット２２が対応する電極１２ａに向けて降下する。この降下によって、第１の移動片６８の前進位置では、図１２（ｃ）に示すように、各プローブユニット２２のプローブ２２ａが液晶パネル１２の対応する電極１２ａに接続される。
前記した第２の移動片７０の垂直経路βに沿った移動は、ローラ８０がストッパ部材８６の直立部８６ａを転動することから、プローブユニット２２の垂直経路βに沿った昇降は円滑に行われる。 As a result, when the first moving piece 68 moves forward beyond the motion conversion point at which the stopper member 86 and the roller 80 abut, the second moving piece 70 moves horizontally as the first moving piece 68 advances. The probe unit 22 moves downward along the vertical path β perpendicular to the path α, and the probe unit 22 descends toward the corresponding electrode 12 a together with the movement of the second moving piece 70. Due to this lowering, the probe 22a of each probe unit 22 is connected to the corresponding electrode 12a of the liquid crystal panel 12 at the forward position of the first moving piece 68, as shown in FIG.
In the movement of the second moving piece 70 along the vertical path β, the roller 80 rolls on the upright portion 86a of the stopper member 86, so that the probe unit 22 smoothly moves up and down along the vertical path β. Is called.

また、プローブユニット２２からの電力供給を伴う液晶パネル１２の検査が終了すると、ピストン・シリンダ装置９６が収縮動作する。このピストン・シリンダ装置９６の収縮動作により、第１の移動片６８が前進位置から後退位置へ向けて移動すると、この移動に伴い、第２の移動片７０が圧縮コイルスプリング８４のばね力により上方ヘ向けて移動することから、プローブユニット２２は垂直経路βに沿って対応する電極１２ａの上方へ移動する。
第２の移動片７０の上方への移動によってそのアーム部７０ａがストッパ部材８６のフック部８６ｂに当接すると、第２の移動片７０は上方への移動が阻止されることから、この運動変換点を超える後退位置へ向けての第１の移動片６８の移動に伴い、第２の移動片７０は第１の移動片６８と一体的に後退する。 Further, when the inspection of the liquid crystal panel 12 accompanied by the power supply from the probe unit 22 is completed, the piston / cylinder device 96 is contracted. When the first moving piece 68 moves from the forward movement position to the backward movement position due to the contraction operation of the piston / cylinder device 96, the second moving piece 70 is moved upward by the spring force of the compression coil spring 84. Therefore, the probe unit 22 moves along the vertical path β above the corresponding electrode 12a.
When the second moving piece 70 is brought into contact with the hook portion 86b of the stopper member 86 by the upward movement of the second moving piece 70, the second moving piece 70 is prevented from moving upward. As the first moving piece 68 moves toward the retracted position beyond the point, the second moving piece 70 moves backward together with the first moving piece 68.

このように、第１の移動片６８と第２の移動片７０との間に設けられた結合機構８２、案内機構８８、第２の移動片７０の移動を規制するためのローラ８０およびストッパ部材８６は、ピストン・シリンダ装置９６の作動によって第１の移動片６８に与えられる水平移動と一体的な第２の移動片７０の水平経路αに沿った水平移動を、その垂直経路βに沿った昇降移動に変換することから、運動変換機構を構成する。 As described above, the coupling mechanism 82 provided between the first moving piece 68 and the second moving piece 70, the guide mechanism 88, the roller 80 and the stopper member for restricting the movement of the second moving piece 70. 86 shows a horizontal movement along the horizontal path α of the second moving piece 70 integrated with the horizontal movement given to the first moving piece 68 by the operation of the piston / cylinder device 96 along the vertical path β. The motion conversion mechanism is configured from the conversion to the up-and-down movement.

本発明に係る検査装置１０では、前記したように、各第１の移動片６８を作動させるピストン・シリンダ装置９６の作動により、各第２の移動片７０に設けられた複数のプローブユニット２２を作動させることができるので、プローブユニット２２毎にこれを作動させるための駆動装置が不要となる。したがって、プローブユニット２２を作動させるための駆動装置の数を低減させることができるので、検査装置１０の構成の簡素化を図ることができる。 In the inspection apparatus 10 according to the present invention, as described above, the plurality of probe units 22 provided in each second moving piece 70 are provided by the operation of the piston / cylinder device 96 that operates each first moving piece 68. Since it can operate, the drive device for operating this for every probe unit 22 becomes unnecessary. Therefore, since the number of drive devices for operating the probe unit 22 can be reduced, the configuration of the inspection device 10 can be simplified.

また、パネル受け２０の辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ毎に設けられる多数のプローブユニット２２が一体的に動作することから、辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ毎に設けられる複数のプローブユニット２２の動作を同期させるための格別な回路構成は不要となるので、構成の一層の簡素化を図ることができる。 In addition, since the multiple probe units 22 provided for each of the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d of the panel receiver 20 operate integrally, a plurality of probe units provided for each of the side portions 20a, 20b, 20c, and 20d. Since a special circuit configuration for synchronizing the operations of 22 is not required, the configuration can be further simplified.

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
例えば、パネル受け２０を固定枠とすることができる。また、運動変換機構として前記した運動変換機構に代えて、種々の運動変換機構を採用することができる。
また、検査を受ける表示パネルとして、液晶パネルの例を示したが、これに代えて、本発明に係る検査装置を有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル等の種々の表示パネルの検査に用いることができる。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the panel receiver 20 can be a fixed frame. Moreover, it can replace with the above-mentioned movement conversion mechanism as a movement conversion mechanism, and can employ | adopt various movement conversion mechanisms.
Moreover, although the example of the liquid crystal panel was shown as a display panel which receives a test | inspection, it replaces with this and the test | inspection apparatus based on this invention can be used for the test | inspection of various display panels, such as an organic electroluminescent panel and a plasma display panel. .

本発明に係る検査装置の平面図である。It is a top view of the inspection device concerning the present invention. 図１に示された線II-IIに沿って得られた断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II shown in FIG. 図１に示した矩形枠体の平面図である。It is a top view of the rectangular frame shown in FIG. 矩形枠体を構成する辺部分の結合関係を一部を破断して示す斜視図である。It is a perspective view which fractures | ruptures and shows the connection relationship of the side part which comprises a rectangular frame. 矩形枠によるパネル受けの大きさの変更形態を示し、（ａ）は最大寸法に設定されたパネル受けを示す平面図であり、（ｂ）はそれよりも小さな寸法に設定されたパネル受けを示す平面図である。The change form of the size of the panel receiver by the rectangular frame is shown, (a) is a plan view showing the panel receiver set to the maximum dimension, (b) shows the panel receiver set to a smaller dimension than that It is a top view. 図１に示した本発明に係る運動変換機構を拡大して示す平面図である。It is a top view which expands and shows the motion conversion mechanism based on this invention shown in FIG. 本発明に係る運動変換機構を矩形枠体の辺部分から分解して示す斜視図である。It is a perspective view which decomposes | disassembles and shows the motion conversion mechanism which concerns on this invention from the side part of a rectangular frame. プッシャーの作動状態を示し、（ａ）は液晶パネルの保持位置にあるプッシャーを示す断面図であり、（ｂ）は液晶パネルの解放位置にあるプッシャーを示す断面図である。The operation state of a pusher is shown, (a) is sectional drawing which shows the pusher in the holding position of a liquid crystal panel, (b) is sectional drawing which shows the pusher in the releasing position of a liquid crystal panel. 本発明に係る運動変換機構の一部を破断して示す斜視図である。It is a perspective view which fractures | ruptures and shows a part of motion conversion mechanism which concerns on this invention. 図６に示された線Ｘ-Ｘに沿って得られた断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line XX shown in FIG. 6. 図６に示された線ＸI-ＸIに沿って得られた断面図である。It is sectional drawing obtained along line XI-XI shown by FIG. プローブユニットの動作を示す説明図であり、（ａ）は待機位置にあるプローブユニットを示し、（ｂ）は第１の移動片が運動変換点に達した状態にあるプローブユニットを示し、（ｃ）は液晶パネルの電極への接触位置にあるプローブユニットを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows operation | movement of a probe unit, (a) shows the probe unit in a stand-by position, (b) shows the probe unit in the state in which the 1st moving piece reached the motion conversion point, (c ) Is an explanatory diagram showing a probe unit in a position of contact with an electrode of a liquid crystal panel.

Explanation of symbols

１０検査装置
１２表示パネル（液晶パネル）
１２ａ電極
１６矩形ベース部材
１８一対の移動ベース部材
２０矩形枠体（パネル受け）
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ矩形枠体の辺部分
２２プローブユニット
２６一対の軌道部材（レール）
３０固定機構
３４雄ねじ部材
３６ナット部材
３８ボールねじ
４０固定装置
５４矩形枠体の矩形開口
６８第１の移動片
７０第２の移動片
８０、８２、８６、８８運動変換機構
８２ｃ傾斜ピン
８２ｄ案内孔
８４ばね手段（圧縮コイルスプリング）
９０ａ、９０ｂ傾斜面
９２レール
９４案内部
９６駆動装置（ピストン・シリンダ装置） 10 Inspection equipment 12 Display panel (liquid crystal panel)
12a electrode 16 rectangular base member 18 pair of moving base members 20 rectangular frame (panel receiver)
20a, 20b, 20c, 20d Side part of rectangular frame 22 Probe unit 26 Pair of track members (rails)
30 fixing mechanism 34 male screw member 36 nut member 38 ball screw 40 fixing device 54 rectangular opening of rectangular frame 68 first moving piece 70 second moving piece 80, 82, 86, 88 motion conversion mechanism 82c inclined pin 82d guide hole 84 Spring means (compression coil spring)
90a, 90b Inclined surface 92 Rail 94 Guide part 96 Drive device (piston / cylinder device)

Claims

A panel receiver comprising a rectangular frame having four side portions for receiving the edge of a rectangular display panel having electrodes on the surface;
A first elongated moving piece disposed along at least one side portion of the panel receiver, the first movable piece being movably supported on the side portion corresponding to the width direction thereof;
A driving device for driving the first moving piece between a forward position approaching a corresponding edge of the display panel and a retracted position away from the edge;
An elongated second moving piece disposed along the first moving piece and held by each first moving piece;
A plurality of probe units having probes provided corresponding to the electrodes and held by the second moving piece at intervals in the longitudinal direction of the second moving piece;
Provided between the first moving piece and the second moving piece, and when the first moving piece is moved between the retracted position and the advanced position, the retracted position and the second movement; The probe unit held on the piece moves between the movement moving point reaching the corresponding position corresponding to the electrode in the panel region, the second moving piece is moved integrally with the first moving piece, and the movement Between the conversion point and the advance position, a motion conversion mechanism that moves the second moving piece in a direction perpendicular to the moving direction of the first moving piece in order to raise and lower the probe unit at the corresponding position. Prepared,
The motion conversion mechanism is formed on mutually facing surfaces of the first and second moving pieces, and a pair of inclined surfaces parallel to each other inclined with respect to a vertical line, and the first and second moving pieces are inclined with respect to each other. A coupling mechanism movably coupled along a plane with a predetermined stroke; spring means for applying a spring force toward one end of the stroke along the inclined surface between the two moving pieces; and the first movement When the piece reaches the conversion point from the retracted position, the forward movement of the second moving piece integrally with the first moving piece is prevented and the spring force of the spring means is overcome and along the inclined surface. A display panel inspection apparatus comprising: a stopper for guiding the second moving piece downward by allowing sliding of the second moving piece.

When the first moving piece moves between the retracted position and the motion conversion point, the second moving piece moves along the horizontal path along the side portion together with the first moving piece, thereby The probe unit moves above the liquid crystal panel on a plane parallel to the liquid crystal panel between a retracted position and the corresponding position, and the first moving piece includes the motion conversion point and the forward position. The second moving piece moves along a vertical path perpendicular to the horizontal path, so that the probe unit contacts the corresponding electrode at the corresponding position in the panel area. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection apparatus moves up and down to release the contact.

The inspection apparatus according to claim 1, wherein the plurality of probe units are movable along the longitudinal direction of the second moving piece and are releasably positioned at a desired position by a positioning mechanism.

Each side portion of the rectangular frame is movable along each of the corresponding rectangular opening sides of the base member on the rectangular base member having the rectangular opening, and in a direction approaching and moving away from the corresponding rectangular opening side. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection apparatus is supported so as to be movable, and thereby can correspond to display panels having different sizes.

On the rectangular base member, a pair of track members disposed along opposite sides of the rectangular opening of the rectangular base member, and the straddle member are disposed over both the track members. A pair of moving base members movable in a posture perpendicular to the track member are provided, and a pair of side portions of the rectangular frame are disposed on the corresponding moving base members on the pair of moving base members. And one end of the other pair of side portions of the rectangular frame is moved to the one side portion adjacent to each other in the longitudinal direction of the side portion. The one side part adjacent to each of the other pair of side parts is connected to the other side part adjacent to the one end. Can move in the longitudinal direction of the side To and movement in the width direction of the 該辺 moiety is attached is prevented, inspection apparatus according to claim 1.

Between each moving base member and the rectangular base member and between each moving base member and the one side portion on the moving base member, each moving base member and one side by manual operation are respectively The inspection apparatus according to claim 4, further comprising a fixing mechanism for releasably fixing the parts to the rectangular base member and the moving base member so as to enable movement of the parts.

A fixing mechanism for the moving base member is disposed on the rectangular base member along the track member and rotatably supported by the screw member, and is fixed to the moving base member. A ball screw having a nut member attached to the screw member, and a fixing device for releasably preventing rotation of the screw member. A ball screw including a screw member disposed along the side portion and rotatably supported, a nut member fixedly attached to the moving base member and screwed to the screw member, and the rotation of the screw member is released. The inspection device according to claim 5, further comprising a fixing device that prevents the same.