JP4528617B2 - マスフローコントローラにおける圧力補償のための方法および装置 - Google Patents
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Description
この発明は一般的に流体の流量を制御するための方法およびシステムに関し、より特定的には、マスフローコントローラに関わる方法およびシステムに関する。
多くの産業的プロセスはさまざまなプロセス流体の正確な制御を必要とする。たとえば、医薬および半導体産業においては、マスフローコントローラはプロセスチャンバに導入されるプロセス流体の量を正確に測定しかつ制御するために用いられる。ここで流体という用語は、流れることが可能であるいかなる状態のいかなる種類の物質をも記述するために用いられる。流体という用語は、制御された流れが利益となる、いかなる組合せの物質または物体をも構成する液体、気体およびスラリーにも当てはまることを理解されたい。
この発明の1つの局面は、フローコントローラにおける方法を含み、該フローコントローラは、入口側と出口側とを有する流体流路に結合されるフローセンサを含み、フローセンサは流路を通る感知された流体流れを示すセンサ出力信号を提供するよう適合され、方法は、流路の少なくとも1つの圧力を測定することと、少なくとも1つの圧力を測定することに基づきセンサ出力信号を調節することとを含む。一実施例に従うと、方法は、少なくとも1つの圧力に基づき、少なくとも1つの圧力信号を形成することをさらに含む。一実施例に従うと、方法は、少なくとも1つの圧力信号をフィルタリングして、流路における圧力変化によるフローセンサの応答をエミュレートする偽の流れ信号を提供することをさらに含む。一実施例に従うと、方法は、センサ出力を調節することは、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことを含むことをさらに含む。
変化を測定することと、c)(a)によって感知された流体の流量に対する圧力における変化の影響を判断することと、d)圧力における変化の影響に基づき、流体の感知された流量を修正して、導管内を流れる流体の流量を判断することとを含む。
数をとることにより形成されるプロセス逆利得項を決定することを含み、プロセス逆利得項は、少なくとも1つの可変動作条件の関数である。一実施例に従うと、少なくとも1つの可変動作条件は、マスフローコントローラ環境における少なくとも1つの圧力を含む。一実施例に従うと、少なくとも1つの可変動作条件は、入口圧力を含む。一実施例に従うと、少なくとも1つの可変動作条件はセットポイントを含む。
この出願は、2002年4月24日に出願のマスフローコントローラのためのシステムおよび方法と題する米国特許出願連続番号第10/131,603号に関する主題を含み、その全体が引用によりここに援用される。
るスパイクは実際の流れに対して大きな偽の流れ成分を含む。したがって、マスフローコントローラはそれに応じて流れスパイクに反応し、瞬間的にプロセスの制御を失い得る。
ただし、
K=利得
s=ラプラス演算子
ωn=固有周波数
ξ=減衰定数
各フィルタを互いから独立して適応させることができるように、スケーリング因子が追加され得る。したがって、フィルタバンク830は「高さ」(利得)、「幅」(周波数応答)およびオーバー/アンダーシュート(減衰)の意味において異なった応答を提供するよう最適化され、それにより形成された偽の流れ信号の形状はスケーリング因子ξ、ω、およびδを変化させることにより「ダイヤル調整される(dialed)」。
転換機能におけるK項は定数利得係数Knとして示される。したがって、各二次フィルタからの出力はKnによって乗算されて、加算器840に与えられる。加算器840は、各フィルタからの寄与を合計して偽の流れ信号1160を提供する。偽の流れ信号1160はセンサ出力信号から差し引かれて、指標流れ信号を提供する。したがって、圧力過渡により流れ信号に重畳された偽の流れ情報は、形成された偽の流れ信号により差し引かれて、流路の出力側でプロセスに供給される実際の流れを示す流れ信号を残す。
。制御ループの一部である各構成要素は、関連付けられる利得を有し得る。一般的に、利得という用語は特定の構成要素または構成要素の群の入力と出力との間の関係を指す。たとえば、利得は出力における変化対入力における変化の比を表わし得る。利得は、1つ以上の変数、たとえばマスフローコントローラの1つ以上の動作条件および/または特徴の関数であり得る(たとえば流量、入口および/または出口圧力、温度、バルブ変位など)。一般的に、そのような利得関数はここで利得項と称する。利得項は、およびより特定的には利得項の表現は曲線、関数のサンプル、離散したデータポイント、ポイントの対、定数などであり得る。
さまざまな局面が実現され得るそのようなフローコントローラは、特に、2002年4月24日出願のマスフローコントローラのためのシステムおよび方法と題する米国特許出願連続番号第10/131,603号に記載され、その全体をここに引用により援用する。この発明のさまざまな局面は、そこに説明されるマスフローコントローラにおいて実現され得るが、どのようなマスフローコントローラをも用いることができ、この発明はどのような特定のマスフローコントローラで実現されることにも限定されないことを理解されたい。
図1は、この発明の一実施例に従ったマスフローコントローラの概略ブロック図を示す。図1に示すマスフローコントローラは、フローメータ110、利得/進み/遅れ(GLL)コントローラ150、バルブアクチュエータ160およびバルブ170を含む。
利得項は、複数の個々の利得項の寄与を含むいかなる利得項をも記述する。ここで用いられる合成利得項についての表記は、合成利得項に寄与する個々の利得項を表わすのに用いられる符号の連結として示される。たとえば、上述の制御ループ利得項は利得項ABCDとして表わされる。特に記載しない限り、合成利得項についての上記表記は、その構成要素の利得項の積であるとみなされる。
種類およびマスフローコントローラが動作する動作条件にかかわらず一定に維持されるので、マスフローコントローラの応答は、異なった流体および/または動作条件で安定させることができ、かつマスフローコントローラの製造の間にテスト流体およびテスト動作条件で観察されたものと同じ挙動を示させることができる。
スに与えられる流量を示さないので、偽の流れ情報であると考えられる。したがって、流れ信号FS0は入口圧力における過渡から生じた偽の流れ情報で破壊されているであろう。たとえば、流れ信号FS0は、圧力パルスまたは他の圧力過渡によって引き起こされた空き容量を埋めるために急激に流入する流体により引き起こされた局所的流体流れ変動から生じた偽の流れ情報を含み得る。
化信号FS1′が0.0の値を有し、導管を通るフルスケール流れでは、正規化信号FS1′が1.0の値を有することを確実にする。ここで用いられる値は単に例示的なものであるので、ゼロ流れおよびフルスケール流れでの正規化信号FS1′に対してどのような値をも選択し得ることを理解されたい。
形化された後のフローメータによって提供される流れ信号(たとえば流れ信号FS2)を記述するために用いられる。
「利得」という用語が利得/遅れ/進みGLLコントローラ内にある)、比例利得項440および積分利得項450に与えられる。
)階段状変化が提供される。この時間において、誤り信号EはレベルF0に上昇するが、なぜならば誤り信号Eは、(まだ以前の状態にある)整えられた流れ信号FS2と、今やF0の値にある信号SI2の中のセットポイントの値との差に等しいからである。誤り信号と利得項Gとを乗算したもの(すなわち、信号EG)はこうして高い値へと進み、次いで図6Bに示す態様で時間とともに減少する。比例利得項440の出力が信号EGに(単位元よりも小さい)定数KPを乗算したものであるので、信号EGKPは、図6Cに示すように振幅がやや減じられているが、同様の形状を有する。図6Dに示すように、時間T0において、積分出力信号EGKIは0であるが、誤り信号Eの大きさのために迅速に上向きの上昇を開始する。出力信号EGKPと積分された出力信号EGKIとの合計を表わす加算回路470の出力は、DSと標識付けされ図6Eに示される。バルブ駆動およびバルブ駆動電子素子回路160に与えられる駆動信号DSに基づいて、コントロールバルブ170は増大された量で開放され、指標流れ信号(たとえば流れ信号FS2)はSI2内のセットポイントの新しいレベルまで上昇を開始する。時間が進むにつれ、誤り信号Eは減少し、比例利得項440の出力信号EGKPは減少し、同様に積分出力信号EGKIも減少し、流量は新しいセットポイントのレベルで確立される。
多くの場合において、マスフローコントローラが一貫してかつ安定的な態様で動作するためには、マスフローコントローラは製造の間に調整および/または較正されなければならないことを理解されたい。手動の調整および/または較正はしばしば、時間のかかる、労働集約的な、高価なプロセスである。さらに、プロセスが、製造の間に用いられたものとは異なる流体の種および/または動作条件で動作するようにマスフローコントローラが構成されることを要求する場合、マスフローコントローラがいくつかのプロセス流体で調整されかつ較正されていたとしても、マスフローコントローラの性能は、マスフローコントローラの製造の間に観察されたものと同じ挙動を滅多に示さない。換言すれば、マスフローコントローラはマスフローコントローラが調整および/または較正されたものとは異なった流体および/または動作条件で動作する場合に異なった応答を有し得る。
動作条件を用いて製造の間に観察されたものと実質的に同じ応答を有するよう構成される)。
れの階段状変化に極めて近い階段状形状を有するセンサ出力で流体ステップに応答するように、提供することを含み得る。さらに、補償フィルタ280は、圧力過渡に対するセンサおよびセンサ電子素子応答に極めて近似する偽の流れ信号を提供するように調整され得る。調整ステップ10の間に得られる情報、たとえばフィルタ係数、補正曲線および/または利得項は、構成データ712として記憶され得る。
但し
P=4tξωp/(t2+ωp 2+3tξωp+1)、
Q=t(ωp/ξ)、および
t=Tsample/2
ここで
ωp:極値周波数。立上がり/立下がり時間およびローブの幅を制御する。ローブの高さ(利得)にも影響する。
るべき補償フィルタは図8に関連して説明したものと同様である。したがって、6つの二次フィルタの各々は、調整する3つの修正可能パラメータを有し、合計で18のパラメータとなる。デフォルトパラメータの例示的な組を以下に示す。
および
波形誤り=(センサ出力−デフォルト波形) (数式10)
但し、
センサ出力=出力パルスによるセンサからの出力
デフォルト波形=デフォルトパラメータでの補償フィルタの出力
W=生成された差分マトリックス(N×N)
パラメータデルタ(N×1)=N個の修正可能パラメータの各々における変化を記述する列ベクトル
数式9は、あるベストフィットの意味で真であり、絶対的な同等性を表わさない可能性がある。パラメータデルタは、当業者には想起されるであろう任意の数の方法に従って解かれ得る。次いでパラメータデルタベクトルに記憶されるN個の修正可能パラメータに対する変化がデフォルトパラメータの値に追加されて、調整されたセンサに対して用いられるデジタルフィルタにおいて記憶されるべき補償フィルタの最終的な値をもたらす。
現在のパラメータn=現在のパラメータn-1+パラメータデルタn
デフォルト波形n=現在のパラメータnに記憶される値を用いたフィルタ出力
波形誤りn=(センサ出力−デフォルト波形n)
当業者には、補償フィルタのパラメータを調整するさまざまな方法が想起されるであろう。しかしながら、この発明はフィルタのパラメータが得られる方法に限定されない。補償フィルタを得るためのさまざまな方法およびアプローチがこの発明の範囲にあると考えられる。
の制御パラメータを修正するために用いられる。
にするために、これらのポイント対から求められ得る。一実施例においては、ポイント対{センサ出力、実際の流体流れ}iに関連付けられる非線形性を補正するポイントの組が求められる。三次式近似がポイントの組に当てはめられ(fit)、それにより連続的でありポイント(0.0)を通る(すなわち流体流れ=0およびセンサ出力=0)線形化曲線が得られる。ステップ46において、線形化曲線はマスフローコントローラに適用される。代替的に、これらに限定されるものではないが、区分線形近似、多項近似などを含むいくつもの他の曲線当てはめ方法(curve fit method)を用い得ることを理解されたい。
が単位元である実施例においては、利得Aはフルスケール範囲(すなわち、特定の流体の種に対してマスフローコントローラを通るフルスケール流れの値)の逆数に等しい。一般的に、利得Aは、最大の指標流れの値を特定の流体の種に関連付けられたフルスケール範囲で除算したものに等しい。
ことにより形成される。
体から直接測定され得る。これに代えて、利得項Cは、システム利得分解ステップ50において形成されたポイント対{C,変位}iに記憶された情報から求められてもよい。いずれの場合においても、ステップ63の各反復において、Ciはプロセス流体および/または動作条件に対するセットポイントcfSiに対応する変位iで求められる。
ーボードまたはキーパッド、マウス、ポインタなどから入力を受けるためのインターフェイスソフトウェアを含む、情報を受けることが可能であるいくつかの装置であり得る。
この発明の別の局面に従うと、出願人らは、主に粘性圧力降下(viscous pressure drop)および非粘性(inviscid)(動的)圧力降下の2つの成分からなる、異なった入口および出口圧力での流体の流れを物理的にモデル化した。各成分に対するバルブの有効変位が等しい場合、バルブの有効変位はこれらの成分の各々の寄与を合計することにより以下の方法論を用いて経験的に求められる。上述のように、特定の流体での特定の流体流量でのバルブの有効変位を求めれば、バルブに関連付けられる利得項(たとえば利得項D)を求めることができ、こうしてバルブアクチュエータに関連付けられる利得項(たとえば利得項C)を求めることができる。
P1、PX:粘性表面の上流および下流圧力(psi)
Q:質量流量(sccm)
L:流路の長さ(ft)
H:2つの平行な表面の間の距離(ft)
w:流路の幅、wはπ・φに等しく、φは平坦部1650の平均直径であり、φはテストされたバルブに基づく0.040″に等しい
μ:気体の動的粘性(centi-Poise)
T:絶対温度(deg. Rankine)
R:一般気体定数、1545.33(ft-lbf/lb-mole-deg.R)
R:気体定数(ft-lbf/lbm-deg.R)
オリフィスまたはジェットを通る流体の非粘性流れの物理的モデルに基づき、バルブ170をわたる非粘性圧力降下をモデル化すると、
Q=バルブを通る流れ(sccm)
A=π・φ・H=バルブ有効面積(sq.in,)
φ=オリフィス1640の直径
MW=気体分子量(gm/mol)
PX,O=上流の全圧(torr)
P2=下流の静圧(torr)
T1,0=気体温度(K)
γ=比熱の比
上記の粘性および非粘性数式により、バルブ170の有効変位(すなわち、H)が簡単に求められる。上記非粘性計算に用いられた単位のいくつかは、粘性計算において用いら
れたものとは異なるように見えるが、数式の間に包括的な差は存在せず、単位変換係数は既に各数式内の数値的定数に組み入れられている。
よって用いられる動作の種類の典型だからである。これらの条件下で、気体経路の利得は以下のように規定され得る。
Mw=気体の分子量
上記数式は概算であるが、なぜならば入口圧力、温度、および比熱の比の関数である付加的な項が存在するからである。しかしながら、この付加的な項の影響は0.4乗までであり、通常無視できる。たとえば、マスフローコントローラ100の較正が最初に既知の流体または気体として窒素で行なわれたと仮定すると、この付加的な項の値は窒素および他の二原子性の気体に対し.684から、他の単原子の気体に対し最大の0.726まで、かつ多原子の気体に対して最低の0.628までの範囲にわたり、次いで0.4乗まで上昇される。こうして、窒素からの差は約3.5%以下であり、通常は無視され得る。較正において用いられたものとは異なる気体および/または異なる動作条件での利得における上記変化を補償するために、利得項Gは上記比の逆数により変化されてマスフローコントローラに対する一定の閉鎖ループ利得をもたらすが、それはセットポイントにかかわらず、動作条件にかかわらず、かつ用いられる流体または気体の種類にもかかわらない。すなわち、もしマスフローコントローラの閉鎖ループ利得がA*B*C*Dであれば、利得項Gは定数×1/(A*C*D)に設定され、較正の間に用いられたものと同じ一定の閉鎖ループ利得をもたらす。
1つの好適な力モデルを、図10に示す自由浮動プランジャを用いたバルブに関連して説明する。プランジャの位置#は、いくつかの力のバランスにより制御される。第1の力は、プランジャをそのリセット位置に戻そうとするばね力である。第2の力は、電子構成要素の制御下で、プランジャをその静止位置から遠ざけるように移動させようとする、ソレノイドからの磁気力である。第3の力は、プランジャをジェットに近づける(順流れバルブに対して)かまたは遠ざけ(逆流れバルブに対し)ようとする、ジェットオリフィスおよび平坦部の上方の、プランジャの裏とプランジャの面との間の差圧である。第4の力は、ジェット平坦領域の外部の、プランジャの裏とプランジャの面との間の流れ依存差圧である。この効果は、ジェット設計により十分に制御することができる。
D=ゼロ圧力降下で揚程Lを提供するために必要となるバルブ駆動
Dd=バルブ駆動における小さな変化
D′=圧力降下Pで揚程Lを提供するために必要となるバルブ駆動
P=バルブをわたる圧力降下
所与のバルブについて、(バルブの磁気力モデルから)以下がわかっている。
Fs(L)
平衡状態およびゼロ圧力降下では次のとおりである。
これによりゼロ圧力降下でのL(D)を計算することが可能になる。
Fmが小さなDdに対して線形であると仮定する。
すると以下が得られる。
FgがPに比例するので、これを次のように書換えることができる。
これにより、バルブドライバをDの代わりにD′から実行することにより、プランジャの位置をPから独立させることができる。
したがって、数式11は、上述のように変位補償により用いることができる(たとえば、図9および図13において説明した変位補償)。特に、圧力降下Pは、バルブ環境にお
ける圧力測定値から決定することができる。圧力降下を示す圧力信号は、変位補償ブロックに入力され得る。変位補償信号は、Kp*P/(dFm/dD)に関連付けられ得る。たとえば、変位補償信号は、Kp*P/(dFm/dD)において記述される変位を達成するのに必要である駆動レベルであり得る。この変位補償信号は次いで、圧力誘導バルブ変位を補償するために、制御ループから発生される駆動信号に追加され得る。
但し
Kpはバルブ駆動属性であり、
Piは入口圧力であり、
Poは推定されるまたは測定された出口圧力であり、
dF(D)は、Dの任意の関数、Dで評価されるdFm/dDである。
表されることができる。たとえば、dF(D)は、バルブドライバ、ソレノイドおよびバルブの挙動に対する区分近似であり得る。一実施例は、(D,dF)値の対によって指定される区分線形近似を形成することにかかわる。ポイント対の組は、バルブの磁気力モデルとしてマスフローコントローラに記憶され得る。ポイント対は、上述のように、変位補償信号を計算するために索引付けされ得る。バルブ属性利得項である。Kpを求めるための1つの方法は以下のように進む。
Pi2=高い入口圧力下での平均の指標入口圧力
D1=低い入口圧力下での平均のバルブ駆動D
D2=高い入口圧力下での平均のバルブ駆動D
5.以下を定義する。
Pd2=Pi2−Po
D0=D1−(D2−D1)*(Pi1−Po)/(Pi2−Pi1)
Kp=((D2−D1)/(P2−P1))/dF(D0)
よって、KPは製造の間に各単位ごとに調整されなければならない。
し行なわれ得る。圧力過渡(および異なった値の静圧さえも)がバルブ動作に影響を与えるので、バルブ動作に対する圧力の影響の予測がなされ補償され得る。たとえば、バルブに対する圧力の影響が求められ、圧力および圧力過渡によるどのような誘導バルブ運動をも減じるようにバルブ駆動信号が補償される。一実施例においては、バルブ駆動信号における変化を予測することができるが、これはバルブのプランジャを静止して保つために必要である。
ニットから決定されるデフォルトフィルタパラメータを用い、フィルタパラメータを立上がりエッジと一致するよう調節し、パラメータを固定(freeze)し、他のパラメータをピークと一致するよう調節し、それらを固定し、次いで残りのパラメータを立下がりエッジと一致するよう調節することを含み得る。各ステップで、たとえば、さまざまな線形最小二乗法を、パラメータを調節するために用い得る。さらに、他の最小化アルゴリズムも等しく利用可能である。
ここでkGは小さく(g0に対して)、かつ典型的には負の値である。セットポイントが流量の妥当なアナログ値(reasonable analog)であると仮定すると、この上記関係は流量の関数として効果的に利得を減じる。これに代えて、実際の指標される流量を代わりに用いてもよい。
Claims (25)
- 入口側と出口側とを有する流体流路に結合されるフローセンサを含むフローコントローラにおける方法であって、フローセンサは流路を通る感知された流体流れを示すセンサ出力信号を提供するよう適合され、方法は、
流路内の流体の圧力を測定することを含み、圧力は流路における圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力に対応する圧力信号を提供することと、
圧力過渡によるフローセンサの応答をエミュレートする偽の流れ信号を形成することと、
偽の流れ信号に基づきセンサ出力信号を調節することとを含み、
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号がセンサ出力信号に対し適時に実質的に整列されるように、圧力信号を遅延させることを含む、方法。 - センサ出力を調節することは、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことを含む、請求項1に記載の方法。
- 偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を少なくとも1つのフィルタでフィルタリングすることを含み、少なくとも1つのフィルタは、圧力過渡に対するフローセンサの応答をエミュレートする転換機能を有する、請求項1に記載の方法。
- 偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を微分することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を少なくとも1つのフィルタでフィルタリングすることをさらに含む、請求項4に記載の方法。
- 少なくとも1つのフィルタは、直列に接続される複数の二次フィルタを含み、複数の二次フィルタの各々からの出力は、スケーリングされて合計され、偽の流れ信号を提供する、請求項5に記載の方法。
- センサ出力を調節することは、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことを含む、請求項6に記載の方法。
- フローメータであって、
流体流路における流体流れを感知して、感知した流体流れを示すセンサ出力信号を提供するよう適合されるフローセンサと、
流体流路環境における圧力を測定して、測定された圧力を示す圧力信号を提供するよう適合される圧力変換器とを含み、測定された圧力は流体流路における圧力過渡に対応し、フローメータはさらに、
圧力信号を受けて、圧力信号に関する偽の流れ信号を形成する補償フィルタを含み、
偽の流れ信号は、圧力過渡によって生じる流れ変動に対するフローセンサ応答から生じる偽の流れ情報を再生成するよう形成され、
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号がセンサ出力信号に対し適時に実質的に整列されるように、圧力信号を遅延させることを含む、フローメータ。 - 補償フィルタは、流路における圧力過渡に対するフローセンサの応答をエミュレートする転換機能を含む、請求項8に記載のフローメータ。
- 偽の流れ信号は、センサ出力信号から差し引かれて流れ信号を提供する、請求項8に記載のフローメータ。
- フローメータはマスフローコントローラに含まれ、マスフローコントローラはさらに、
フローメータに結合され、少なくとも一部は流れ信号に基づき駆動信号を提供するよう適合されるコントローラと、
コントローラから駆動信号を受けるよう適合されるバルブアクチュエータと、
バルブアクチュエータによって制御されるよう適合され、流体流路に結合されるバルブとを含む、請求項8に記載のフローメータ。 - 変換器は、流路の入口圧力を測定して、入口圧力信号を提供する、請求項8に記載のフローメータ。
- 補償フィルタは、入口圧力における変化から生じる流体流れに対するフローセンサの応答をエミュレートする転換機能を有する、請求項12に記載のフローメータ。
- 偽の流れ信号は、入口圧力における変化から生じるセンサ出力信号の偽の流れ情報成分を再生成するよう形成される、請求項12に記載のフローメータ。
- 流れ信号は、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことにより決定される、請求項11に記載のフローメータ。
- 補償フィルタは、偽の流れ信号を形成して、圧力過渡に応答するフローメータから生じた偽の流れ情報を再生成し、補償フィルタは、圧力信号を受け、圧力過渡によって生じたバルブのバルブ変位を補償するための駆動レベルを示す変位補償信号を提供する変位補償手段を含む、請求項11に記載のフローメータ。
- 補償フィルタは、圧力信号を遅延させて、複数のフィルタに遅延された圧力信号を与える遅延部をさらに含む、請求項8に記載のフローメータ。
- センサ出力信号と偽の流れ信号とを受けて、センサ出力信号と偽の流れ信号との差に関する流れ信号を提供する減算器をさらに含む、請求項8に記載のフローメータ。
- 補償フィルタは、圧力信号を、圧力過渡に対するフローセンサの応答に適時に実質的に整列するように、遅延させる遅延ブロックを含み、遅延ブロックは遅延圧力信号を提供する、請求項18に記載のフローメータ。
- 補償フィルタは遅延圧力信号を受ける微分器を含み、微分器は遅延圧力信号の導関数を決定して導関数信号を提供するよう適合される、請求項19に記載のフローメータ。
- 流路に結合されるフローセンサによって提供されるセンサ出力信号から偽の流れ情報を除去する方法であって、偽の流れ情報は、圧力過渡により生じる流れ変化に応答するフローセンサから生じ、方法は、
流路内の流体の圧力を測定することを含み、測定された圧力は流路における圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力に対応する圧力信号を提供することを含み、
圧力信号から偽の流れ信号を形成することと、偽の流れ信号を形成することは、圧力信号がセンサ出力信号に対し適時に実質的に整列されるように、圧力信号を遅延させることを含み、方法はさらに、
センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引いて、流路における流体流れを示す流れ信号を提供することとを含む、方法。 - 流路に結合されるマスフローコントローラにおける方法であって、マスフローコントローラは、フローメータ、コントローラ、バルブアクチュエータおよびバルブを含む制御ループを有し、方法は、
流路環境における圧力を測定することを含み、測定された圧力は流路環境における圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力に対応する圧力信号を提供することと、
圧力過渡に対するフローメータの応答から生じる偽の流れ情報を再生成するように偽の流れ信号を形成することとを含み、偽の流れ信号を形成することは、圧力信号がセンサ出力信号に対し適時に実質的に整列されるように、圧力信号を遅延させることを含み、方法はさらに、
偽の流れ信号に基づき少なくとも1つの補償信号を決定することと、
少なくとも1つの補償信号をマスフローコントローラの制御ループに適用することとを含む、方法。 - 少なくとも1つの補償信号を制御ループに適用することは、偽の流れ信号を制御ループに適用して、圧力過渡による流体流れにおける変動に対するフローメータの応答を補償することを含む、請求項22に記載の方法。
- 少なくとも1つの補償信号を決定することは、圧力過渡によるバルブ変位を補償するための駆動レベルを示す変位補償信号を決定することを含む、請求項22に記載の方法。
- フローコントローラのプロセッサでの実行のためのプログラムをエンコードされるコンピュータ読出可能媒体であって、プログラムは、プロセッサで実行された場合に、請求項1−3、および請求項22−24のいずれかに記載の方法を実行する、コンピュータ読出可能媒体。
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