JP4526311B2 - 石英ガラスルツボの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)石英粉を加熱してガラス化する際に、高電圧を印加して金属不純物を負極側に集めて除去することによって高純度の石英ガラス材を得る電解精製による製造方法において、アルミニウムとリチウムを含有した石英粉を用い、アルミニウムによってガラスの粘度を高める一方、リチウムによって電気抵抗を下げて精製効果を高めることを特徴とする高粘度および高純度の石英ガラス材の製造方法。
(2)モールド内表面に堆積した石英原料粉をアーク溶融し、あるいは石英原料粉をモールド内表面に供給しながらアーク溶融して石英ガラスルツボを製造する方法において、アルミニウムとリチウムを含有した石英粉を用い、アーク溶融時に高電圧を印加してガラス化することによって、高粘度および高純度の石英ガラスルツボを製造する上記(1)に記載する製造方法。
(3)少なくともルツボの外周部分がアルミニウム濃度5〜45ppmおよびリチウム濃度がアルミニウム濃度の2%以上の石英粉を用いて製造されたルツボであって、1500℃での粘度が9.6×109ポイズ以上であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
(4)ルツボの外周部分がアルミニウム濃度5〜45ppmおよびリチウム濃度がアルミニウム濃度の2%以上の石英粉を用い、ルツボ内周部分が合成石英粉を用いて製造された上記(3)の石英ガラスルツボ。
(5)電解精製後のルツボ外周部分のリチウム濃度がアルミニウム濃度の1%以下である上記(3)または(4)に記載する石英ガラスルツボ。
(6)上記(3)〜(5)の何れかに記載する石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。
本発明の製造方法は、石英粉を加熱してガラス化する際に、高電圧を印加して金属不純物を負極側に集めて除去することによって高純度の石英ガラス材を得る電解精製による製造方法において、アルミニウムとリチウムを含有した石英粉を用い、アルミニウムによってガラスの粘度を高める一方、リチウムによって電気抵抗を下げて精製効果を高めることを特徴とする高粘度および高純度の石英ガラス材の製造方法である。
以下、本発明を実施例および比較例によって具体的に示す。表1に示す製造条件に従い、回転モールドの内周面に石英粉を堆積し、これをアーク溶融して石英ガラスルツボを製造した。使用した石英粉のアルミニウム濃度とリチウム濃度、および製造した石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行った。この結果を表1にまとめて示した。
Claims (3)
- モールド内表面に堆積した石英粉をアーク溶融し、あるいは石英粉をモールド内表面に供給しながらアーク溶融すると共に、前記アーク溶融時に前記モールド側を負極とする20kV以下の高電圧を印加して金属不純物を負極側に集める電解精製を行うことによって、高純度の石英ガラスルツボを製造する方法において、
ルツボ外周部分についてはアルミニウム濃度が5〜45ppm且つリチウム濃度がアルミニウム濃度の2%以上の石英粉を用い、
ルツボ内周部分については合成石英粉を用い、
ルツボ外周部分のリチウム濃度がアルミニウム濃度の1%以下となるまで電解精製を行うことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。 - 前記高電圧の印加の際に対地アーク電極電位を±500V以内に保つ請求項1の石英ガラスルツボの製造方法。
- 前記アーク溶融の終了後、ルツボの外表面部分に凝集する不純物金属イオンを除去する請求項1または2の石英ガラスルツボの製造方法。
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