JP4526065B2 - 研削砥石の砥粒面洗浄装置 - Google Patents
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Description
前記高圧の研削液を間欠的に噴出させる装置は、前記離隔位置にある前記円板状砥石の 環状砥粒面に向けて所定の圧力と流量で高圧の研削液を常時噴出させる研削液吐出ノズルと、前記離隔位置の前記環状砥粒面と研削液吐出ノズルとの間に配置された円板の周上にほぼ等分した複数の位置に開口部を設けた穴付きバルブプレートと、穴付きバルブプレートを回転させる駆動装置とを有し、かつ前記円板状砥石の1回転あたり 1.1又は 0.9回の微振動を発生させるように噴出させることを特徴とする研削砥石の砥粒面洗浄装置によって上述の本発明の課題を解決した。
〔本発明の最良の実施形態の効果〕
3:円板状砥石 4:円板状砥石の環状砥粒面 5:台金
6:離隔位置の環状砥粒面 7:高圧の研削液
9:離隔位置 11:研削液吐出ノズル
12:穴付きバルブプレート 15:駆動モータ(駆動装置)
Claims (3)
- カップ砥石を含む円板状砥石の環状砥粒面を、シリコンウエハーを含む円板状被加工物に当接させ被加工物を研削する研削装置において、前記被加工物を研削加工する前記円板状砥石の環状砥粒面の研削加工位置から離隔した離隔位置にある環状砥粒面に向けて、高圧の研削液を間欠的に噴出させ、前記円板状砥石に微振動を発生させるようにし、前記円板状砥石の環状砥粒面で被加工物を研削しながら前記離隔位置にある前記円板状砥石の環状砥粒面を研削液で洗浄するようにし、
前記高圧の研削液を間欠的に噴出させる装置は、前記離隔位置にある前記円板状砥石の環状砥粒面に向けて所定の圧力と流量で高圧の研削液を常時噴出させる研削液吐出ノズルと、前記離隔位置の前記環状砥粒面と研削液吐出ノズルとの間に配置された円板の周上にほぼ等分した複数の位置に開口部を設けた穴付きバルブプレートと、穴付きバルブプレートを回転させる駆動装置とを有し、かつ前記円板状砥石の1回転あたり 1.1又は 0.9回の微振動を発生させるように噴出させることを特徴とする研削砥石の砥粒面洗浄装置。 - 前記離隔位置の環状砥粒面と前記研削液吐出ノズル先端との距離はほぼ10mm、研削液吐出ノズルの所定の圧力はほぼ6MPaの圧力、所定の流量は6 L/minで、かつ前記円板状砥石は 1800rpmで回転され、前記穴付きバルブプレートは3個の開口部を設けかつ 1980r pm で回転され、前記円板状砥石の1回転あたり 1.1回の微振動を発生させるようにに噴出させることを特徴とする請求項1記載の研削砥石の砥粒面洗浄装置。
- 前記離隔位置にある円板状砥石の環状砥粒面から外方に突出する環状砥石フランジを設けその下面に、又は前記離隔位置にある円板状砥石の取付基盤から外方に突出する環状基盤フランジを設けその下面に、あるいわ前記離隔位置にある円板状砥石の台金から外方に突出する環状台金フランジを設けその下面に、高圧の研削液を間欠的に噴出させ、かつ前記円板状砥石に1回転あたり 0.9回の微振動を発生させるように噴出させ、各フランジ下面に当たる研削液を飛散させて、前記円板状砥石の環状砥粒面で被加工物を研削しながら前記離隔位置にある円板状砥石の環状砥粒面を間接的に研削液で洗浄するようにしたことを特徴とする請求項1記載の研削砥石の砥粒面洗浄装置。
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