JP4525550B2 - ハロゲンランプ - Google Patents

Description

本発明は、放射される光を被処理物に照射することによって被処理物を加熱するためのハロゲンランプに関する。

一端封止型のハロゲンランプは、照明用、半導体ウェハの加熱用などの用途に使用する各種装置用の光源として、幅広く利用されている。照明用分野では、舞台照明、コンサートホール用の照明などに用いられる吊り下げ灯具用の光源や道路照明用の光源として、幅広く利用されている。一方、半導体製造工程において、成膜等様々なプロセスに加熱処理が採用され、半導体製造工程における歩留まりや品質の向上には、急速に半導体ウエハ等の被処理物の温度を上昇させたり下降させたりする急速熱処理（ＲＴＰ：Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）が望ましいことから、ＲＴＰ用途においてハロゲンランプが利用されている。

図４は、従来のハロゲンランプを示す正面図であり、図５は、図４に示すハロゲンランプを反射鏡に組み込んだ状態を示す断面図である。
図４に示すように、ハロゲンランプ３０は、一端に一対の金属箔３９ａおよび３９ｂが埋設された封止部３２が形成され、他端に排気管残部３３が形成された石英ガラス製のバルブ３１と、バルブ３１内の発光空間においてバルブ３１の軸線に沿って配置されたフィラメント３４と、一端がフィラメント３４の封止部３２側の端部に接続され、他端が金属箔３９ｂに接続された第１の内部リード３５と、一端がフィラメント３４の排気管残部３３側の端部に接続されるとともに、排気管残部３３に差し込まれて保持され、他端が金属箔３９ａに接続された第２の内部リード３６と、フィラメント３４を挟んで対向する、フィラメント３４を保持するための一対のサポータ３７ａおよび３７ｂと、第１の内部リード３５、第２の内部リード３６、サポータ３７ａおよびサポータ３７ｂ間の絶縁を確保するとともに、これらが溶着によって保持された１片の絶縁部材３８と、内部の空洞にバルブ３１の封止部３２が挿入されてバルブ３１と一体に固定されたベース４０と、ベース部４０から外方に突出する給電用の給電端子４１とを備えている。

図５に示すように、ハロゲンランプ３０は、排気管残部３３が前方に位置する状態で、凹面反射鏡４２内に配置されており、ハロゲンランプ３０におけるベース部４０が、凹面反射鏡４２に一体的に形成された筒状の首部４３に挿入され、ハロゲンランプ３０と凹面反射鏡４２とが接着剤により一体的に固定されている。凹面反射鏡４２は、前方側の開口に前面ガラス４４が嵌め込まれ、内部の空間が密閉された状態となっている。
特開２００５−７１６８９号

近年、前記のハロゲンランプ３０は、周囲を覆っている凹面反射鏡４２の小型化が強く求められ、これに伴い、ハロゲンランプ３０自体の小型化も求められている。しかしながら、凹面反射鏡４２を小型化した場合、凹面反射鏡４２の内部空間の体積が減少することにより、凹面反射鏡４２の内部空間の温度が上昇し易くなり、また、ハロゲンランプ３０を小型化した場合、熱源であるフィラメント３４と絶縁部材３８との離間距離が小さくなる。これにより、ハロゲンランプ３０を垂直点灯したとき、絶縁部材３８が溶融して、絶縁部材３８の両端が封止部３２側へ向けて垂れ下がり、フィラメント３４を保持しているサポータ３７ａおよび３７ｂが封止部３２側へ変位することによって、フィラメント３４にサポータ３７ａおよび３７ｂを介して応力が加わることになる。そして、フィラメント３４は、排気管残部３３側の端部に接続された第２の内部リード３６の一端が、排気管残部３３に差し込まれて保持されることによって、バルブ３１に固定されていることから、前記の応力がフィラメント３４に加わった場合、変形し、最悪の場合、断線するおそれがある。

さらに、振動が発生する環境下において前記のハロゲンランプ３０を点灯させた場合、溶融した状態の絶縁部材３８に対して振動が加わることによって、絶縁部材３８の変形が促進されるため、フィラメント３４が変形したり、断線するおそれがさらに大きくなると考えられる。特に、振動が生じ易い用途、具体的には、前記した舞台照明およびコンサートホール用の照明などの吊り下げ灯具用の光源や道路照明用の光源として、ハロゲンランプ３０を使用した場合、フィラメント３４が変形する或いは断線する、という不具合が頻発すると考えられる。

以上から、本発明は、ハロゲンランプを垂直点灯したとき、フィラメントが変形したり、断線する、という不具合が生じることを防止することを目的とする。

本発明者らは、前記の問題を解決するため、以下に示す３つの手段を検討した。すなわち、（１）絶縁部材３８が溶融した場合に、サポータ３７ａおよび３７ｂが封止部３２側へ向けて変位することを防止すること、および、耐振動性を高めるため、図４に示すハロゲンランプにおいて、サポータ３７ａおよび３７ｂの全長を延ばし、サポータ３７ａおよび３７ｂの基端部を封止部３２内部に埋設させる手段、（２）絶縁部材３８を熱源であるフィラメント３４から遠ざけることにより、絶縁部材３８の溶融を防止する手段、（３）サポータ３７ａおよび３７ｂが封止部３２側へ向けて変位すること、および、耐振動性を高めるため、図６に示すように、絶縁部材３８をバルブ３１の内部空間において排気管残部３３の近傍にも配置し、上下両方向においてサポータ３７ａおよび３７ｂを固定する手段、である。

しかし、前記（１）ないし（３）の手段は、以下に示すような問題点があるため、採用することは困難であった。前記（１）の手段によれば、封止部３２内に多数の線材が埋設されることから、作業が煩雑であり、さらに、封止部３２において石英ガラスと第１の内部リード３５および第２の内部リード３６との密着性が悪化することにより、封止部３２の耐圧性が低下するため、封止部３２が点灯時に破損して気密性が損なわれるおそれがあった。前記（２）および（３）の手段によれば、バルブ３１の全長が大きくなるため、ハロゲンランプ３０を小型化する、という前提条件を満たすことができなかった。
そこで、本発明者らは、封止部３２の耐圧性を損なわず、かつ、バルブ３１の全長を大きくすることなく前記した課題を解決するため、検討を積重ねたところ、本発明を完成した。

すなわち、請求項１の発明は、一端に金属箔が埋設された封止部が形成されたガラスバルブと、このガラスバルブ内の発光空間において、ガラスバルブの軸線に沿って配置されたフィラメントと、一端が前記フィラメントに接続され、他端が前記金属箔に接続された内部リードと、一端が前記フィラメントに接続され、前記フィラメントを保持するサポータと、前記内部リードおよび前記サポータが保持された絶縁部材とを備えたハロゲンランプにおいて、前記フィラメントと前記封止部の間の空間に、２以上の前記絶縁部材が隣接して配置されていることを特徴とする。

なお、「隣接して配置されている」とは、別体からなる複数の絶縁部材が隣接する場合において、一の絶縁部材が他の絶縁部材と接することなく完全に離間した状態、或いは、一の絶縁部材が、一部分において他の絶縁部材と、例えば溶着などにより接合して接合部を形成している状態の何れも含むものとする。

さらに、請求項２の発明は、前記サポータが、前記内部リードに比して前記絶縁部材の中央側に保持されていることを特徴とする。「絶縁部材の中央側」とは、絶縁部材において、バルブ或いはフィラメントの軸線方向に対して直交する方向における中央側を意味するものとする。

請求項１の発明のハロゲンランプによれば、フィラメントと封止部の間の空間において、２以上の絶縁部材が隣接して配置されていることから、フィラメント側に位置する絶縁部材が熱源であるフィラメントから放射される赤外線により加熱溶融して白濁することにより、封止部側に位置する絶縁部材へ向けて放射される赤外線がフィラメント側に位置する絶縁部材によって遮蔽されるため、封止部側に位置する絶縁部材がフィラメント側に位置する絶縁部材に比して低温状態となる。この場合において、ハロゲンランプを小型化しても、絶縁部材の封止部側への垂下りが抑制され、サポータを介してフィラメントへ加わる応力が緩和される結果、フィラメントが変形し或いは断線することを確実に防止することができる。

請求項２の発明のハロゲンランプによれば、前記サポータが、前記内部リードに比して前記絶縁部材の中央側に保持されていることにより、さらに確実にフィラメントが変形し或いは断線することを防止することができる。

そして、請求項１および請求項２の発明のハロゲンランプによれば、振動が生じ易い環境で点灯した場合でも、フィラメントが変形する或いは断線する、という不具合を確実に防止することができる。

〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態のハロゲンランプを説明するための図である。図１（ａ）は正面図を示し、図１（ｂ）は側面図を示す。
ハロゲンランプ１は、バルブ１１、フィラメント１２、第１の内部リード１３、第２の内部リード１４、第１のサポータ１５、第２のサポータ１６、第１の絶縁部材１７、第２の絶縁部材１８、ベース１９および給電端子２０を備え、垂直点灯方式である。ハロゲンランプ１は、図５に示す凹面反射鏡４２に取付けた状態で使用するものである。

バルブ１１は、例えば石英ガラスからなり、一端に第１の金属箔１１２ａおよび第２の金属箔１１２ｂが離間して埋設された封止部１１３が形成され、他端に排気管残部１１１が形成され、封止部１１３が他の部分に比して縮径した形状を有する。バルブ１１内の発光空間Ｓには、例えば窒素ガスなどの不活性ガスとともに、ハロゲンサイクルを行なうためのハロゲンガスが封入されている。垂直点灯のとき、例えば排気管残部１１１が上方側に位置し、封止部１１３が下方側に位置することになる。

フィラメント１２は、タングステン素線を一次コイルに巻き、さらに一次コイルを巻回して二次コイル状に形成されたダブルコイルであり、バルブ１１内の発光空間Ｓにおいて、バルブ１１の軸線に沿って配置されている。但し、フィラメント１２は、ダブルコイルに限らず、タングステン素線を一次コイルに巻いたシングルコイルであっても良い。

第１の内部リード１３は、一端が、フィラメント１２のバルブ１１における排気管残部１１１側の端部に接続され、バルブ１１内の発光空間Ｓをバルブ１１の軸線と平行に伸び、他端近傍において湾曲して、他端が封止部１１３に埋設されて第１の金属箔１１２ａに接続されている。また、第１の内部リード１３の一端は、バルブ１１の排気管残部１１１内に差し込まれて保持されており、フィラメント１２が傾かないようになっている。第２の内部リード１４は、一端が、フィラメント１２のバルブ１１における封止部１１３側の端部に接続され、他端が第２の金属箔１１２ｂに接続されている。第１の内部リード１３および第２の内部リード１４は、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８に、例えば溶着によって固定されている。

第１のサポータ１５および第２のサポータ１６は、フィラメント１２を挟んで対向して配置され、フィラメント１２の軸線方向の中間部にそれぞれ取付けられ、フィラメント１２の軸線がバルブ１１の軸線に一致するようフィラメント１２を保持している。第１のサポータ１５および第２のサポータ１６の基端部が、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８に、例えば溶着によって固定されている。

バルブ１１内の発光空間Ｓにおいて、第１の絶縁部材１７と第２の絶縁部材１８は、フィラメント１２と封止部１１３間の空間に隣接して配置されている。第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８は、各々の長手方向が、バルブ１１或いはフィラメント１２の軸線方向と直交している。

第１の絶縁部材１７は、例えば石英ガラスからなる２つの柱状のガラス片からなり、各々のガラス片の間に、第１の内部リード１３、第２の内部リード１４、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６を、それぞれが接触しないように挟んだ状態で、各々のガラス片を溶融させて形成され、これらの部材がバルブ１１内の発光空間Ｓにおいて保持されている。第２の絶縁部材１８の構成は、第１の絶縁部材１７と同様である。第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８が絶縁材料からなることにより、第１の内部リード１３、第２の内部リード１４、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６間の絶縁が確保される。

第１の絶縁部材１７と第２の絶縁部材１８とは、バルブ１１内の発光空間Ｓにおいて、１ｍｍ〜３ｍｍの空間を介して離間して配置されている。なお、本発明のハロゲンランプの製造時において、第１の絶縁部材１７と第２の絶縁部材１８は、第１の絶縁部材１７となるべき２つのガラス片（ガラス片Ａ、Ｂともいう）と、第２の絶縁部材となるべき２つのガラス片（ガラス片Ｃ、Ｄともいう）とを、ほぼ同時に溶融させて形成するため、ガラス片ＡおよびＢとガラス片ＣおよびＤとの間の離間距離が小さい場合、第１の絶縁部材１７と第２の絶縁部材１８との一部が溶着されて接合部が形成されることがある。このような状態であっても、後述する、第１の絶縁部材１７の変形量が小さくなる効果が得られるものと考えられる。

ベース１９は、例えばアルミナなどの絶縁材料からなり、一方の面にバルブ１１の封止部１１３を差し込むための有底孔を有する。この有底孔に、バルブ１１の封止部１１３が差し込まれることによって、ハロゲンランプ１とベース１９とが一体化される。ベース１９の他方の面からは、ハロゲンランプ１に給電するための給電端子２０が突出している。

以上のような第１の実施形態のハロゲンランプによれば、第１の内部リード１３、第２の内部リード１４、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６が、２つの絶縁部材（第１の絶縁部材１７、第２の絶縁部材１８）によって保持され、第１の絶縁部材１７と第２の絶縁部材１８とは、フィラメント１２と封止部１１３との間の空間において、隣接して配置されている。これにより、小型化したハロゲンランプ、すなわち、フィラメント１２と第１の絶縁部材１７とが近接したハロゲンランプを垂直点灯させたとき、第２の絶縁部材１８が第１の絶縁部材１７に比して低温状態となり、また、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８が封止部１１３側へ垂下りにくい、という効果がある。この点は、後述する第１の実験の結果から明らかである。その結果、フィラメント１２に対して第１のサポータ１５および第２のサポータ１６を介して封止部１１３方向へ伝わる応力が緩和され、フィラメント１２の変形および断線を防止することができる、と考えられる。第２の絶縁部材１８が第１の絶縁部材１７よりも低温状態となる理由は、フィラメント１２から放射される赤外線によって第１の絶縁部材１７が溶融することにより白濁し、白濁した第１の絶縁部材１７によって第２の絶縁部材１８に向かう赤外線が遮られるためである、と考えられる。

ここで、第１の実施形態のハロゲンランプによれば、原則として第２の絶縁部材１８は第１の絶縁部材１７に比して低温状態となるが、例外として、凹面反射鏡４２の冷却状態およびその他の事情により、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８の温度が等しくなる場合があり得る。このような場合であっても、第１の絶縁部材１７の封止部１１３側への垂下りを抑制することができ、この点は後述する第２の実験によって確認されている。
また、第１の実施形態のハロゲンランプによれば、第１の絶縁部材１７の溶融変形が抑制されることから、耐振動性も向上すると考えられ、この点は後述する第３の実験の結果から明らかである。

〔第２の実施形態〕
図２は、本発明の第２の実施形態のハロゲンランプを説明するための図である。図２（ａ）は正面図を示し、図２（ｂ）は側面図を示す。図１と同一符号を付した部分は、図１と同一部分或いは対応する部分を示す。
第２の実施形態のハロゲンランプ２は、第１の内部リード１３および第２の内部リード１４が、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８の端部側に溶着されて保持され、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６が、第１の内部リード１３および第２の内部リード１４に比して、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８の中央側に溶着されて保持されている点が、第１の実施形態のハロゲンランプ１と相違する。

第２の実施形態のハロゲンランプ２によれば、後述の第１ないし第３の実験の結果に示すとおり、第１の実施形態のハロゲンランプに比して、第１の絶縁部材１７の変形量が小さくなるため、ハロゲンランプを小型化した場合において、フィラメント１２が変形し或いは断線することをさらに確実に防止することができる。その理由は、以下に示すとおりである。

すなわち、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６は、その重量が大きく、また、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８によってのみ支持され、封止部１１３には支持されていない。従って、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６が第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８の端部側に支持されている場合、ランプを垂直点灯させたとき、フィラメント１２側に位置している第１の絶縁部材１７が溶融するとともに端部側が垂れ下がる可能性を完全には排除できない。然るに、図２に示す構造のように、第１のサポータ１５および第２のサポータ１６が第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８の中央側に支持されていれば、第１の絶縁部材１７の中央側が若干垂れ下がるとしても、封止部１１３に固定された第１の内部リード１３および第２の内部リード１４によって第１の絶縁部材１７の両端が確実に固定されているため、第１の絶縁部材１７の垂れ下がりは少なくなるものと考えられる。

以下に、本発明の効果を確認するために行なった第１ないし第３の実験について説明する。
〔第１の実験〕
以下に示す仕様にて、第１の実施形態および第２の実施形態のハロゲンランプを、それぞれ作製した。
バルブ１１は、石英ガラス製であり、最大外径が２７ｍｍ、全長が１５０ｍｍである。バルブ１１の内部には、窒素ガスが０．０８ＭＰａ、ハロゲン化合物が０．０８ｋＰａＰａ封入されている。
フィラメント１２は、線径が０．３８ｍｍのタングステン素線を一次コイルに巻き、この一次コイルを巻回してダブルコイルとし、ダブルコイルの外径が９ｍｍ、全長が２０ｍｍである。
第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８は、それぞれ、２つの石英ガラス片を溶着することによって形成されている。絶縁部材１７および絶縁部材１８は、それぞれ、外径が３ｍｍ、全長が２０ｍｍ、体積が１４１ｍｍ^３である。第１の絶縁部材１７と第２の絶縁部材１８の離間距離は１．５ｍｍである。

比較例として、前記実施例のハロゲンランプと同じ仕様にて、図４に示す従来のハロゲンランプを作製した。絶縁部材３８は、外径が４．２ｍｍ、全長が２０ｍｍ、体積が２８２ｍｍ^３である。

〔第１の実験〕
第１の実施形態のハロゲンランプ、第２の実施形態のハロゲンランプおよび比較例のハロゲンランプをそれぞれ垂直点灯させ、垂直振動発生機構によってハロゲンランプに垂直振動を与えた。具体的には、１００Ｖ−５ＫＷでハロゲンランプを垂直点灯させ、ハロゲンランプには、震度３Ｇ、周波数５〜６０Ｈｚの垂直振動を加えた。このような条件でハロゲンランプを５００時間点灯後、第１の絶縁部材１７の垂下り量Ｔを測定した。なお、第１の絶縁部材１７の垂下り量は図３に示すＴとする。
第１の実験は、ハロゲンランプを大気中で垂直点灯させるとともに垂直振動を加え、第１の絶縁部材１７の垂下り量Ｔを測定することを目的としている。第１の実験の結果を表１に示す。

表１によれば、以下の事実が判明した。図４に示す比較例のハロゲンランプは、絶縁部材３８の温度が１３００℃となり、絶縁部材３８の封止部１１３方向への垂下り量Ｔは１．４ｍｍであった。これに対し、第１の実施形態のハロゲンランプは、第２の絶縁部材１８の温度が１２１５℃となって、第１の絶縁部材１７の温度（１３００℃）に比して低温状態となった。そして、第１の絶縁部材１７の封止部１１３方向への垂下り量Ｔは０．２ｍｍであり、第２の絶縁部材１８は垂下らず、比較例のハロゲンランプに比して優れていた。第２の実施形態のハロゲンランプは、第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８が垂下ることがなく、第１の実施形態のハロゲンランプに比して、さらに優れていた。

〔第２の実験〕
第１の実施形態のハロゲンランプ、第２の実施形態のハロゲンランプおよび比較例のハロゲンランプをそれぞれ１２本ずつ計３６本作製し、それぞれ電気炉内に配置し、表２に示す電気炉内の温度条件下において、表２に示す点灯条件（ランプ電力およびランプ電圧）にて２０００時間連続点灯させた後の第１の絶縁部材１７の変形量を測定した。すなわち、第２の実験は、第１および第２の実施形態のハロゲンランプにおける第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８に温度差が生じない場合を想定して、ハロゲンランプの周辺温度を一定とすることによって、第１の絶縁部材１７の垂下り量を測定することが目的である。第２の実験の結果を表２に示す。

表２によれば、以下の事実が判明した。図４に示す比較例のハロゲンランプは、何れの点灯条件においても、電気炉内の温度が１１００℃以上になると絶縁部材３８が封止部３２方向に垂れ下がった。第１の実施形態のハロゲンランプは、１００Ｖ−１ＫＷ、１００Ｖ−２ＫＷ、１００Ｖ−５ＫＷの全ての条件において、比較例のハロゲンランプに比して第１の絶縁部材１７の垂下り量が著しく小さくなったことから、比較例のハロゲンランプに比して優れていた。第２の実施形態のハロゲンランプは、何れの温度条件および点灯条件においても、第１の絶縁部材１７が垂下ることはなく、第１の実施形態のハロゲンランプに比して優れていた。

〔第３の実験〕
第１の実施形態のハロゲンランプ、第２の実施形態のハロゲンランプおよび比較例のハロゲンランプをそれぞれ電気炉内に配置し、ハロゲンランプを垂直点灯させた状態で垂直振動発生機構によってハロゲンランプに垂直振動を与えた。具体的には、電気炉内の温度を１１００℃とし、表３に示す点灯条件でハロゲンランプを垂直点灯させ、震度３Ｇ、周波数５〜６０Ｈｚの垂直振動を加えた。このような条件でハロゲンランプを２０００時間連続点灯後、第１の絶縁部材１７の垂下り量Ｔを測定した。すなわち、第３の実験は、ハロゲンランプの周辺温度を一定とし、第１および第２の実施形態のハロゲンランプにおける第１の絶縁部材１７および第２の絶縁部材１８に温度差を生じさせない条件下にて、これらのハロゲンランプに振動を加え、第１の絶縁部材１７の垂下り量Ｔを測定することが目的である。第３の実験の結果を表３に示す。

表３によれば、以下の事実が判明した。図４に示す比較例のハロゲンランプは、何れの点灯条件においても、絶縁部材３８が封止部３２方向に垂下った。第１の実施形態のハロゲンランプは、１００Ｖ−５ＫＷの条件で点灯させた場合にのみ第１の絶縁部材１７が垂下り、その他の点灯条件では第１の絶縁部材１７が垂下らなかったことから、比較例のハロゲンランプに比して優れていた。第２の実施形態のハロゲンランプは、何れの点灯条件においても、第１の絶縁部材１７が垂下らなかったことから、第１の実施形態のハロゲンランプに比して、さらに優れていた。

本発明の第１の実施形態のハロゲンランプを説明する図である。 本発明の第２の実施形態のハロゲンランプを説明する図である。 本発明の効果を確認するために行なった実験について説明する図である。 従来のハロゲンランプを示す正面図である。 図４に示すハロゲンランプを反射鏡に組み込んだ状態を示す断面図である。 本発明に至る前段階で考えられたハロゲンランプを示す正面図である。

符号の説明

１ ハロゲンランプ
２ ハロゲンランプ
１１ バルブ
１１１ 排気管残部
１１２ａ 金属箔
１１２ｂ 金属箔
１１３ 封止部
１２ フィラメント
１３ 第１の内部リード
１４ 第２の内部リード
１５ 第１のサポータ
１６ 第２のサポータ
１７ 第１の絶縁部材
１８ 第２の絶縁部材
１９ ベース
２０ 給電端子
３０ ハロゲンランプ
３１ バルブ
３２ 封止部
３３ 排気管残部
３４ フィラメント
３５ 第１の内部リード
３６ 第２の内部リード
３７ａ サポータ
３７ｂ サポータ
３８ 絶縁部材
３９ａ 金属箔
３９ｂ 金属箔
４０ ベース
４１ 給電端子
４２ 凹面反射鏡
４３ 首部
４４ 前面ガラス

Claims (2)

1. 一端に金属箔が埋設された封止部が形成されたガラスバルブと、このガラスバルブ内の発光空間において、ガラスバルブの軸線に沿って配置されたフィラメントと、一端が前記フィラメントに接続され、他端が前記金属箔に接続された内部リードと、一端が前記フィラメントに接続され、前記フィラメントを保持するサポータと、前記内部リードおよび前記サポータが固定された絶縁部材とを備えたハロゲンランプにおいて、
   前記フィラメントと前記封止部の間の空間に、２以上の前記絶縁部材が離間した状態で隣接して配置されていることを特徴とするハロゲンランプ。
2. 前記サポータの基端部が、前記内部リードに比して前記絶縁部材の中央側に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のハロゲンランプ。

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