JP4516811B2 - ディスク加工装置 - Google Patents
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Description
6 砥石
7 砥石
8 ディスクホルダ
9b ディスク下面
9t ディスク上面
20 ローダ
24 第1空気ノズル
Claims (2)
- 先端にホルダ(8)を備えた回転スピンドル(5)及び工具(6,7)を備えた加工ステージ(2)と、円板状ワークの第1の面(9t)を保持して当該ワークを前記加工ステージに搬送するローダ(20)とを備え、前記加工ステージで前記回転スピンドル及び工具を回転させて、前記ホルダに保持されたワークを加工するディスク加工装置において、前記加工ステージのホルダに保持されたワークの前記第1の面に向けて空気を噴射するノズル(24)を備え、ワークを加工したあと前記工具が退避し、前記スピンドルを加工時より速い速度で回転させながら、前記ノズルから空気を噴射してワークを乾燥することを特徴とする、ディスク加工装置。
- 前記ローダのディスク搬送路の途中に、ワークの第2の面(9b)に向けて空気を噴射する第2のノズル(25)を備え、ワークの搬送途中で前記第2のノズルから空気を噴射して前記第2の面を乾燥する、請求項1記載のディスク加工装置。
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JP2004267118A JP4516811B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | ディスク加工装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH05114132A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクのテープ加工方法およびテープ加工装置 |
JPH11198012A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-27 | Ngk Insulators Ltd | ガラスディスクのチャンファー加工方法 |
JP2001216634A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-10 | Hirata Corp | ディスク洗浄・乾燥装置 |
JP2004106080A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-08 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 基板の乾式化学機械研磨方法および乾式化学機械研磨装置 |
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Patent Citations (4)
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