JP4515207B2 - 型の製造方法とその型を用いて製造された部品 - Google Patents
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Description
2 埋め込み酸化膜層
3 支持層
4 マスク
5 元型
6 基板
7 電極
8 電鋳物
9 電鋳部品
10 シリコン基板
12 電極
13 電極
100、100a 凸形状
101、102、103、104 型
Claims (9)
- 第一の型の形状を転写して部品や第二の型を得る成形加工に用いる型の製造方法において、
シリコンからなる基板の表面にマスクを形成する工程と、
前記マスクを加工用マスク材として用い、前記基板に少なくとも一つ以上の凸部を形成する凸部形成工程と、
前記凸部の表面側と、前記基板とは別体の基体とを接着あるいは接合する一体化工程と、前記基板の前記凸部だけが前記基体に残留するよう前記基板を除去する除去工程を含み、
前記凸部形成工程において、イオン衝撃を利用したドライエッチング法を用い、前記凸部の断面形状の幅が、前記基板の前記マスクが形成された面から深さ方向に対して狭くなることを特徴とする型の製造方法。 - 前記凸部形成工程と前記一体化工程との間に、前記マスクを除去するマスク除去工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の型の製造方法。
- 前記一体化工程において、前記基体の前記凸部と接着あるいは接合する面の少なくとも一部に金属を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の型の製造方法。
- 前記一体化工程において、前記基体の前記マスクと接着あるいは接合する面の少なくとも一部に金属を形成したことを特徴とする請求項1に記載の型の製造方法。
- 前記一体化工程において、前記基体の少なくとも一部に金属が形成されており、前記凸部が前記基体の表面が露出されている部分と接着あるいは接合されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずか一項に記載の型の製造方法。
- 前記基板が単結晶シリコン基板であり、前記除去工程において、前記基体と一体化された前記凸部の高さを前記基板の加工深さよりも小さくし、かつ、前記凸部の高さを揃えることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の型の製造方法。
- 前記基板が、シリコンからなる支持層、二酸化珪素からなる埋め込み酸化膜層、シリコンからなる活性層で構成されるSOI基板であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の型の製造方法。
- 前記基体が金属からなることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の型の製造方法。
- 前記基体が樹脂からなることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の型の製造方法。
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