JP4513661B2 - 液体噴射ヘッド - Google Patents
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Description
圧電振動子からなる圧力発生源の作動によってノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル形成基板は、結晶粒の平均粒径がノズル開口の内径に対して22%以下の金属基板により作製されることを特徴とする。
なお、「22%以下」については、0%を含まないものとする。
図1(a)は記録ヘッドの要部断面図、(b)は一部を省略したノズルプレートの平面図、図2はポンチ単体の斜視図、図3(a)〜(b)はポンチ加工による下孔形成工程を説明する図、図4(a)〜(b)は膨隆部除去工程を説明した図、図5は膨隆部除去工程における研磨加工を説明する模式図をそれぞれ示す。
Claims (3)
- ノズル開口が開設されたノズル形成基板を備え、
圧電振動子からなる圧力発生源の作動によってノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル形成基板は、結晶粒の平均粒径がノズル開口の内径に対して22%以下の金属基板により作製されることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記ノズル形成基板は、金属基板の裏面側からポンチを押し込むことによって金属基板に下孔を形成し、この金属基板の表面側に膨出した膨隆部を研削して除去することで、下孔を板厚方向に貫通させてノズル開口を開設することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記金属基板は、ステンレス鋼製であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
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