JP4508071B2 - フレキシブル配線基板とその製造方法 - Google Patents
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Description
以下に、本発明よる実施例1〜3について図1を用いて説明する。図1は、本発明のフレキシブル配線基板の製造方法の一実施例を示すために、各工程でのフレキシブル配線基板を示した断面図である。
比較のために、従来施術によりフレキシブル配線基板を製造した。従来技術による従来例1〜3について図2を用いて説明する。
2 絶縁フィルムが変質した表面変質層
3 メタライズ層
4 金属層
5 フォトレジスト
6 めっき
Claims (3)
- 絶縁フィルムの少なくとも片側の面にスパッタリング法により形成されたメタライズ層と、該メタライズ層の上に形成された金属層とを有するフレキシブル配線基板用材料を用いて、エッチング法によって前記メタライズ層および前記金属層を所定の配線パターンに形成し、前記金属層の下から前記メタライズ層が露出した状態において、前記配線パターンの間に露出した絶縁フィルムの表面変質層を除去し、その後、該表面変質層の上に残るメタライズ層であって、前記金属層の下から露出している部分を除去することを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方法。
- 絶縁フィルムの少なくとも片側の面にスパッタリング法により形成されたメタライズ層と、該メタライズ層の上に形成された金属層とからなる所定の配線パターンを有するフレキシブル配線基板であって、前記金属層の下から前記メタライズ層がはみ出ておらず、かつ、前記スパッタリング法による絶縁フィルムの表面変質層が、前記配線パターンの間に、平面視で前記配線パターンから所定の幅だけ出ていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
- 平面視で前記配線パターンより出る前記表面変質層の幅は、5μm以下であることを特徴とする請求項2に記載のフレキシブル配線基板。
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JP2005191525A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-07-14 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | プリント配線基板、その製造法および回路装置 |
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