JP4505202B2 - 炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 - Google Patents
炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4505202B2 JP4505202B2 JP2003325856A JP2003325856A JP4505202B2 JP 4505202 B2 JP4505202 B2 JP 4505202B2 JP 2003325856 A JP2003325856 A JP 2003325856A JP 2003325856 A JP2003325856 A JP 2003325856A JP 4505202 B2 JP4505202 B2 JP 4505202B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- single crystal
- crucible
- growth
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 201
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 155
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 146
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 106
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 104
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 102
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 102
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 claims description 38
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 claims description 38
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 13
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 97
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 15
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 11
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 10
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000007770 graphite material Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N [C].[Si] Chemical compound [C].[Si] HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Description
(1)黒鉛からなる成長ルツボに低温部と高温部を設け、該成長ルツボの低温部に炭化珪素(SiC)単結晶からなる種結晶基板を設置し、高温部に炭化珪素原料を設置して、炭化珪素原料から昇華した昇華ガスを種結晶基板上に析出させて炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶の製造方法において、成長ルツボを外ルツボ内に設置し、成長ルツボと外ルツボの間に外部から珪素原料を継続的に供給し、該珪素原料を成長ルツボと外ルツボの間で蒸発させながら炭化珪素単結晶を成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法である。
(2)外部から固体の珪素原料を供給することを特徴とする上記(1)に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(3)固体の珪素原料が、直径0.2〜5mmの粉体であることを特徴とする上記(2)に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(4)珪素原料を0.5〜20mg/秒の速度で供給することを特徴とする上記(1)ないし(3)のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(5)成長ルツボと外ルツボの間の珪素原料が投入される場所の温度を1900℃以上とすることを特徴とする上記(1)ないし(4)のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(6)成長ルツボを取り囲む雰囲気ガスの圧力を、1.33×102〜4.0×104Paとすることを特徴とする上記(1)ないし(5)のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(7)成長ルツボを取り囲む雰囲気ガスの圧力を、6.65×103〜2.0×104Paとすることを特徴とする上記(6)に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(8)炭化珪素単結晶の成長速度を1mm/時間以上とすることを特徴とする上記(6)または(7)に記載の炭化珪素単結晶の製造方法である。
(9)黒鉛からなる成長ルツボに低温部と高温部を設け、該成長ルツボの低温部に炭化珪素単結晶からなる種結晶基板を設置し、高温部に炭化珪素原料を設置して、炭化珪素原料から昇華した昇華ガスを種結晶基板上に析出させて炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶の製造装置において、成長ルツボが外ルツボ内に設置され、成長ルツボと外ルツボの間に外部から固体の珪素原料を継続的に供給する供給手段が設けられ、前記外ルツボの外側に、前記外ルツボにおいて珪素原料を蒸発させて珪素ガスを発生させ、前記成長ルツボにおいて炭化珪素原料から昇華ガスを発生させるとともに珪素ガスを黒鉛の壁を透過させて内部へ拡散させるように前記外ルツボおよび成長ルツボを加熱する加熱装置が設けられたことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造装置である。
(10)定量供給装置により、固体の珪素原料を0.5〜20mg/秒の速度で供給する供給手段が設けられていることを特徴とする上記(9)に記載の炭化珪素単結晶の製造装置である。
本発明が、炭化珪素単結晶の結晶欠陥の発生を抑制する機構については、以下のように推定される。炭化珪素原料からの昇華ガス内では、炭化珪素(SiC)の他に未反応のSiやSi2C、SiC2等のガス成分が、ある平衡蒸気圧に達していると考えられる。しかし、黒鉛製の成長ルツボは、2000℃近い高温ではガスに対する気密性は無いため、成長ルツボの内外で蒸気圧に差があれば内部のガスはルツボの黒鉛壁を容易に透過する。通常の昇華法にあっては、成長ルツボの外部における昇華ガスの蒸気圧はほぼ0であるため、成長ルツボ内部の昇華ガスは外部に漏れ出し、その蒸気圧は平衡蒸気圧より低下する傾向にある。
本比較例1では、図1に示す装置を用いて炭化珪素単結晶の成長を実施した。温度条件等を一致させるため、ルツボや種結晶は実施例1と同一のものを用い、温度や圧力の設定も実施例1と同様にした。ただし、温度を成長温度に維持した後、アルゴン雰囲気を2.7×104Paまで減圧した後にも、外部からの珪素原料の供給は行わなかった。結晶成長時間も実施例1と同様に5時間とした。
2 成長ルツボ
3 蓋板
4 シード台
5 炭化珪素種結晶基板
6 成長した炭化珪素単結晶
7 高周波誘導コイル
8 断熱材
9 測温穴
10 放射温度計
11 炭化珪素原料
21 原料容器
22 珪素原料
23 押し出し式定量供給装置
24 振動機
31 導入管
51 成長チャンバー
52 排気装置
53 ガス導入ライン
54 ガス精製機
55 マスフローコントローラー
Claims (11)
- 黒鉛からなる成長ルツボに低温部と高温部を設け、該成長ルツボの低温部に炭化珪素(SiC)単結晶からなる種結晶基板を設置し、高温部に炭化珪素原料を設置して、炭化珪素原料から昇華した昇華ガスを種結晶基板上に析出させて炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶の製造方法において、成長ルツボを外ルツボ内に設置し、成長ルツボと外ルツボの間に外部から珪素原料を継続的に供給し、該珪素原料を成長ルツボと外ルツボの間で蒸発させながら炭化珪素単結晶を成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
- 外部から固体の珪素原料を供給することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 固体の珪素原料が、直径0.2〜5mmの粉体であることを特徴とする請求項2に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 珪素原料を0.5〜20mg/秒の速度で供給することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 成長ルツボと外ルツボの間の珪素原料が投入される場所の温度を1900℃以上とすることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 成長ルツボを取り囲む雰囲気ガスの圧力を、1.33×10 2 〜4.0×10 4 Paとすることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 成長ルツボを取り囲む雰囲気ガスの圧力を、6.65×10 3 〜2.0×10 4 Paとすることを特徴とする請求項6に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 炭化珪素単結晶の成長速度を1mm/時間以上とすることを特徴とする請求項6または7に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 黒鉛からなる成長ルツボに低温部と高温部を設け、該成長ルツボの低温部に炭化珪素単結晶からなる種結晶基板を設置し、高温部に炭化珪素原料を設置して、炭化珪素原料から昇華した昇華ガスを種結晶基板上に析出させて炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶の製造装置において、成長ルツボが外ルツボ内に設置され、成長ルツボと外ルツボの間に外部から固体の珪素原料を継続的に供給する供給手段が設けられ、
前記外ルツボの外側に、前記外ルツボにおいて珪素原料を蒸発させて珪素ガスを発生させ、前記成長ルツボにおいて炭化珪素原料から昇華ガスを発生させるとともに珪素ガスを黒鉛の壁を透過させて内部へ拡散させるように前記外ルツボおよび成長ルツボを加熱する加熱装置が設けられたことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造装置。 - 定量供給装置により、固体の珪素原料を0.5〜20mg/秒の速度で供給する供給手段が設けられていることを特徴とする請求項9に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。
- 成長ルツボの種結晶基板を装着するシード台と蓋板との間に、空間が設けられていることを特徴とする請求項9または10に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003325856A JP4505202B2 (ja) | 2002-09-19 | 2003-09-18 | 炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002272384 | 2002-09-19 | ||
JP2003325856A JP4505202B2 (ja) | 2002-09-19 | 2003-09-18 | 炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004131376A JP2004131376A (ja) | 2004-04-30 |
JP4505202B2 true JP4505202B2 (ja) | 2010-07-21 |
Family
ID=32301708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003325856A Expired - Lifetime JP4505202B2 (ja) | 2002-09-19 | 2003-09-18 | 炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4505202B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4733485B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-07-27 | 昭和電工株式会社 | 炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法、炭化珪素単結晶成長用種結晶、炭化珪素単結晶の製造方法、および炭化珪素単結晶 |
JP2008120615A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Bridgestone Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP5210732B2 (ja) * | 2008-07-01 | 2013-06-12 | 昭和電工株式会社 | 炭化珪素単結晶成長用容器構造 |
KR101882317B1 (ko) * | 2011-12-26 | 2018-07-27 | 엘지이노텍 주식회사 | 단결정 성장 장치 및 단결정 성장 방법 |
JP6376027B2 (ja) * | 2015-04-08 | 2018-08-22 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素単結晶の製造装置 |
JPWO2020179796A1 (ja) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | ||
CN115467028A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-12-13 | 江苏星特亮科技有限公司 | 一种单晶生长装置 |
CN116575122B (zh) * | 2023-07-13 | 2023-10-03 | 宁波合盛新材料有限公司 | N型碳化硅晶体、制备方法及生长装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06298600A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Nippon Steel Corp | SiC単結晶の成長方法 |
WO2001048277A1 (fr) * | 1999-12-27 | 2001-07-05 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Procede et appareil utiles pour produire un monocristal de carbure de silicium |
JP2001226198A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-21 | Denso Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法及び製造装置 |
JP2002012500A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-15 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶の製造方法、製造装置および炭化珪素単結晶 |
-
2003
- 2003-09-18 JP JP2003325856A patent/JP4505202B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06298600A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Nippon Steel Corp | SiC単結晶の成長方法 |
WO2001048277A1 (fr) * | 1999-12-27 | 2001-07-05 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Procede et appareil utiles pour produire un monocristal de carbure de silicium |
JP2001226198A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-21 | Denso Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法及び製造装置 |
JP2002012500A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-15 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶の製造方法、製造装置および炭化珪素単結晶 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004131376A (ja) | 2004-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11761117B2 (en) | SiC single crystal sublimation growth apparatus | |
JP4733485B2 (ja) | 炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法、炭化珪素単結晶成長用種結晶、炭化珪素単結晶の製造方法、および炭化珪素単結晶 | |
CN101553604B (zh) | 碳化硅单晶的制造方法 | |
US6336971B1 (en) | Method and apparatus for producing silicon carbide single crystal | |
EP1471168A1 (en) | Device and method for producing single crystals by vapour deposition | |
JP4122548B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4199921B2 (ja) | 炭化珪素単結晶を製造する方法および装置 | |
US20020104478A1 (en) | Silicon carbide single crystal and process for producing the same | |
JP2006111478A (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット、炭化珪素単結晶ウェハ及びその製造方法 | |
US6797060B2 (en) | Method and apparatus for producing silicon carbide single crystal | |
RU2094547C1 (ru) | Сублимационный способ выращивания монокристаллов карбида кремния и источник карбида кремния для осуществления способа | |
JP4819069B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
US7371281B2 (en) | Silicon carbide single crystal and method and apparatus for producing the same | |
JP4505202B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 | |
JP4833780B2 (ja) | 蓋付き黒鉛坩堝及び炭化珪素単結晶成長装置 | |
EP1132505B1 (en) | Method for producing single-crystal silicon carbide | |
EP1158077B1 (en) | Method and apparatus for producing single crystal of silicon carbide | |
JP2002274994A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法及びその装置並びに炭化珪素単結晶インゴット | |
JP2006503781A (ja) | 単結晶炭化ケイ素の形成 | |
WO2008023635A1 (fr) | SiC À CRISTAL UNIQUE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION | |
US20020071803A1 (en) | Method of producing silicon carbide power | |
JPH1179896A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP2008273819A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法および該製造方法により得られる炭化珪素単結晶 | |
KR20160069095A (ko) | 역 승화 단결정 성장장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080702 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100420 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4505202 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160430 Year of fee payment: 6 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |