JP4498032B2 - 発熱体cvd装置及び発熱体cvd法 - Google Patents
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Description
2・・・基体
3・・・基体支持体
4・・・発熱体
5・・・電極
6・・・ガス排気口
7・・・ガス供給手段
7a・・・ガス吹き出し孔
8,20・・・回転伝達手段
9・・・遮蔽部材
9a・・・穴部
10・・・Al基体
11・・・キャリア注入阻止層
12・・・光導電層
13・・・表面保護層
14・・・感光体
18,19・・・回転手段
Claims (4)
- 基体を収容する真空容器と、該真空容器内に原料ガスを供給するガス供給手段と、該ガス供給手段より供給される原料ガスに接触するように配置された発熱体と、前記ガス供給手段と前記発熱体との間に配置され、且つ前記ガス供給手段からの原料ガスを通過させるための穴部を有する遮蔽部材と、を備え、
前記遮蔽部材は円筒状を成し、且つ前記遮蔽部材は、その軸方向に略平行な回転軸を中心に回転することを特徴とする発熱体CVD装置。 - 前記遮蔽部材は前記ガス供給手段の周囲に沿って配置されていることを特徴とする請求項1に記載の発熱体CVD装置。
- 前記遮蔽部材に形成される穴部の開口面積は0.01mm2〜100mm2、その形成密度は1×103個/m2〜1×108個/m2にそれぞれ設定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の発熱体CVD装置。
- 基体及び発熱体を収容する真空容器内にガス供給手段によって原料ガスを供給するとともに、該原料ガスを前記発熱体の発する熱によって分解し、その分解成分を基体上に堆積させて層形成を行う発熱体CVD法において、
前記ガス供給手段と前記発熱体との間に、前記ガス供給手段からの原料ガスを通過させるための穴部を有する円筒状の遮蔽部材を前記ガス供給手段の周囲に沿って配置するとともに、該遮蔽部材を、その軸方向に略並行な回転軸を中心に回転させながら、前記原料ガスの供給及び前記発熱体の発熱を行うことを特徴とする発熱体CVD法。
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