JP4493638B2 - 真空処理方法 - Google Patents
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このようなダスト発生に対しては、従来いくつかの対処法が考えられていた。
fc=(1/2)・ε・(V/d)2 …(1)
f=μN=μ(Mg+fc) …(2)
と表すことができる。
f≒μfc …(3)
と近似できる。静電チャックプレートの種類にもよるが、静電吸着力は3000g/cm2 を超えるものもあるので、この近似は妥当といえる。
一般に、摩擦力fを小さくするためにはグリス状の潤滑剤が用いられており、摩擦が生じる摺動面へ塗布することで、摩擦係数μが小さくされている。
実際に、セラミック製ヒーター付き静電チャックプレートを用い、真空雰囲気(1.3×10-4Pa)中で静電チャックプレートを250℃に昇温させ、静電チャックプレート中の電極に±300Vの電圧を印加し、基板を吸着させた。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の真空処理方法であって、前記基板を静電吸着して加熱する際、前記処理室内を大気圧の前記潤滑ガス雰囲気にすることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の真空処理方法であって、前記基板が所定温度に昇温した後、前記処理室内を真空排気して前記第2の圧力に低下させることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の真空処理方法であって、前記潤滑ガスは希ガス又は窒素ガスであることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の真空処理方法であって、前記真空処理は、前記第2の圧力にされた後、静電吸着された前記基板表面にスパッタリング法によって薄膜を形成する処理であり、前記潤滑ガスには、希ガスであるスパッタリングガスを用いることを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の真空処理方法であって、前記基板は、前記処理室内を真空排気した後、真空雰囲気を維持しながら前記処理室内に搬入することを特徴とする。
また、潤滑ガスの導入孔を処理室1に設けず、潤滑ガスが静電チャックプレート2の表面から吹き出すように構成してもよい。このような構成すると、潤滑ガスの消費量を少なくすることができる。
Claims (6)
- 処理室内に設けられた静電チャックプレート上に基板を静電吸着させて前記基板を真空処理する真空処理方法であって、
昇温された前記静電チャックプレート上に処理対象の基板を配置し、
100Paよりも圧力が低い予備真空状態の前記処理室内に、前記処理室に接続されたガスボンベから潤滑ガスを導入し、前記処理室内を昇圧させ、100Pa以上の第1の圧力下で、前記静電チャックプレートによって前記基板を静電吸着し、前記静電チャックプレートからの熱伝導によって前記基板を加熱した後、前記処理室の内部を真空排気して圧力を低下させ、前記第1の圧力よりも低い第2の圧力にした状態で前記基板を真空処理する真空処理方法。 - 前記基板を静電吸着して加熱する際、前記処理室内を大気圧の前記潤滑ガス雰囲気にする請求項1記載の真空処理方法。
- 前記基板が所定温度に昇温した後、前記処理室内を真空排気して前記第2の圧力に低下させる請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の真空処理方法。
- 前記潤滑ガスは希ガス又は窒素ガスである請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の真空処理方法。
- 前記真空処理は、前記第2の圧力にされた後、静電吸着された前記基板表面にスパッタリング法によって薄膜を形成する処理であり、前記潤滑ガスには、希ガスであるスパッタリングガスを用いる請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の真空処理方法。
- 前記基板は、前記処理室内を真空排気した後、真空雰囲気を維持しながら前記処理室内に搬入する請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の真空処理方法。
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2006
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