JP4485868B2 - 加工物を処理する装置 - Google Patents
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Description
[発明の分野]
本発明は、包括的には加工物を流体で処理する装置、特に中空体をコーティングする装置に関する。
プラスチック、特に透明プラスチックがますます重要になってきており、多くの分野において、好適な材料としてガラスに取って代わりつつある。
したがって、本発明は、既知の装置の欠点をなくすか、少なくとも軽減する加工物処理装置を提供するという目的に基づいている。
図1は、PICVD処理によって複数の処理器101でコーティングされる中空プラスチック体のプラズマコーティング用の装置1を示している。
Claims (23)
- 加工物を処理する装置(1)であって、
少なくとも1つの加工物を受け取る少なくとも1つの処理器(101)と、
該処理器(101)及び少なくとも一つの真空ポンプ(206、212)を載置するロータ(32)と、
少なくとも1つの流体を前記ロータ(32)に供給し、かつ/または少なくとも1つの流体を前記ロータ(32)から排出する流体回転リードスルー(82、182)と、
を備えており、
該流体回転リードスルー(82、182)は、少なくとも部分的に互いに封鎖されたジャーナル(2、102)及びスリーブ(4、104)を有し、前記ジャーナル(2、102)は、前記スリーブ(4、104)内に回転可能に配置されている装置。 - 前記ジャーナル(2、102)は、流体通路(121〜126)を有しており、該流体通路を介して流体が前記ロータ(32)上の前記処理器(101)に供給され、かつ/または流体が前記ロータ(32)上の前記処理器(101)から排出される請求項1に記載の装置。
- 前記ジャーナル(2、102)及び前記スリーブ(4、104)の各々は、経路接続部(134、136)を有しており、該経路接続部は、前記流体通路(121〜136)を介して互いに接続され、それにより、流体が流れることができる先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ジャーナル(2、102)は、ほぼ円柱形であり、前記スリーブ(4、104)は、ほぼ中空円柱形であり、前記ジャーナルは、前記スリーブ内に同心状に配置され、前記流体回転リードスルー(82、182)は、前記ロータの軸(7)に沿って延在する先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記スリーブ(4、104)は、前記ロータ(32)に回り止め状態に固定されて、前記ロータと共に回転する先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ジャーナル(2、102)は、前記ロータ(32)に回り止め状態に固定されて、前記ロータと共に回転する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ジャーナル(2、102)は、軸方向及び半径方向通路部分(23、25)を含む少なくとも1つの通路(21)を有し、前記半径方向通路部分(25)は、前記ジャーナル(2、102)の側面(28)に開口している先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記スリーブ(4、104)または前記ジャーナル(2、102)は、少なくとも1つの環状通路(41〜44)を有しており、前記軸方向通路部分(23)、前記半径方向通路部分(25)及び前記環状通路は、流体通路を形成している請求項7に記載の装置。
- 前記環状通路(41〜44)の第1/第2側部において軸方向にずらして配置された少なくとも第1及び第2シール(30)を備えており、該第1及び第2シール(30)は、リングシールとして構成されている請求項8に記載の装置。
- 前記シール(30)は、オイルで潤滑される請求項9に記載の装置。
- 前記流体回転リードスルー(82、182)内にシーラント経路を備えている先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記環状通路(141〜146)は、全周にわたって延在するように構成され、前記ロータ(32)の回転中、前記ジャーナル及び前記スリーブの経路接続部(124、126、128、130)は、互いに連続的に接続されている請求項8乃至10のいずれか1項に記載の装置。
- 前記スリーブ(4、104)は、星形に分散配置された複数の半径方向経路接続部(511、512)を有し、各処理器(101)に経路接続部が割り当てられている先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 複数の流体通路(21〜24)を備えており、前記ジャーナル(2、102)は、それぞれ軸方向及び半径方向通路部分(23、24;25、26)を含む複数の通路を有し、該半径方向通路部分(25、26)は、前記ジャーナル(2、102)の側面(28)に開口しており、前記軸方向通路部分(23、24)は、前記ジャーナルの軸方向に直交する断面において、前記ジャーナルの軸を中心とするリング上に設けられている先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記処理器(101)は、作動時に、少なくとも1つの排気段階及び少なくとも1つのコーティング段階を進み、前記処理器(101)は、前記排気段階中、第1流体通路(121)を介して第1真空ポンプ(202、204)に接続され、前記コーティング段階中、第2流体通路(125)を介して第2真空ポンプ(212、214、216、218)に接続される先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記スリーブ(4、104)または前記ジャーナル(2、102)は、複数の環状通路(41〜44)を有しており、該環状通路の各々は、流体通路の半径方向通路部分(25、26)の1つに接続されており、前記半径方向通路部分(25、26)の各々及び対応の環状通路は、同一平面上に位置しており、前記さまざまな環状通路(41〜44)は、互いに軸方向にずれている先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- それぞれ少なくとも1つのリングシール(30)が、前記環状通路(41〜44)間に設けられている請求項16に記載の装置。
- 前記流体の供給及び排出は、弁装置(260)によって一時的に制御される先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記流体回転リードスルー(82、182)は、少なくとも1つのガス供給通路(122)及び少なくとも1つの排気通路(121)を有し、流体が前記ガス供給通路(122)を介して前記ロータ上の前記処理器(101)に供給され、流体の排出は、真空ポンプ(206〜218)によって前記排気通路(121)を介して前記処理器(101)を排気することを含む先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記排気通路(121)は、内径が25mm〜250mmであり、前記ガス供給通路(122)は、内径が5mm〜50mmである請求項19に記載の装置。
- 前記流体回転リードスルー(82、182)は、複数のガス供給通路(122、124、126)及び複数の排気通路(121、123、125)を有する先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記加工物の前記処理中には少なくとも時々、前記処理器(101)を真空ポンプ(206〜218)によって排気し、該排気は、多数の段階で行われる先行する請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの加工物を受け取る少なくとも1つの処理器(101)と、該処理器(101)及び少なくとも一つの真空ポンプ(206、212)を載置するロータ(32)と、を有する加工物処理装置用に構成された流体回転リードスルー(82、182)であり、先行する請求項のいずれか1項に記載された、流体の塗布によって中空体のプラズマコーティングを行う装置(1)用に構成された流体回転リードスルー(82、182)であって、
少なくとも部分的に互いに対して封鎖されたジャーナル(2、102)及びスリーブ(4、104)を有し、
前記ジャーナル及び前記スリーブはそれぞれ、経路接続部(134、136)を有し、該経路接続部は少なくとも時々、該流体回転リードスルー(82、182)内の流体通路(121)を介して互いに接続され、それにより、流体が該流体回転リードスルー(82、182)を通って流れることができ、
前記ジャーナル(2、102)は、前記スリーブ(4、104)内に回転可能に配置されている流体回転リードスルー。
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