DE7527890U - Drehdurchfuehrung fuer vakuumrezipienten - Google Patents
Drehdurchfuehrung fuer vakuumrezipientenInfo
- Publication number
- DE7527890U DE7527890U DE7527890U DE7527890U DE7527890U DE 7527890 U DE7527890 U DE 7527890U DE 7527890 U DE7527890 U DE 7527890U DE 7527890 U DE7527890 U DE 7527890U DE 7527890 U DE7527890 U DE 7527890U
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- drive shaft
- rotary feedthrough
- recipient
- feedthrough according
- annular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/16—Vessels
- H01J2237/166—Sealing means
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT unser Zeichen
Berlin und München VPA 75 G 2 ί 4 1 BRD
Die Neuerung bezieht sich auf eine Drehdurchführung zum rotierenden
Antrieb einer in einem Vakuumrezipienten angeordneten Vorrichtung, mit einer über Dichtungselemente in einem Durchbruch des Rezipienten
angeordneten Antriebswelle, welche außerhalb des Rezipienten an eine Antriebseinrichtung angekuppelt ist.
Drehdurchführungen werden beispielsweise in Kathodenzerstäubungsanlagen
verwendet, um die zu beschichtenden Teile im Vakuumrezipienten bewegen zu können, beispielsweise um sie in einen optimalen
Abstand und Winkel zur Kathode zu bringen. Herkömmliche Drehdurchführungen
haben allerdings den Nachteil, daß sie gegenüber dem Gehäuse nicht isoliert sind und auch keine Kühlung der im Rezipienten
zu beschichtenden Teile ermöglichen. Dabei haben die Temperatur und das elektrische Potential im Vakuumrezipienten beim Kathodenzerstäuben
einen erheblichen Einfluß auf die Qualität der erzielbaren Oberflächenschichten.
Aufgabe der Neuerung ist es, eine Drehdurchführung für Vakuumrezipienten
zu schaffen, welche es gestattet, die im Rezipienten befindliehen Teile zu kühlen bzw. zu heizen und sie an ein von der Gefäßwand
unabhängiges elektrisches Potential zu legen. Neuerungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die in einem Lagergehäuse an der
Außenseite des Rezipienten isoliert gelagerte AntriebswelIe zwei
achsparallele Bohrungen besitzt, welche über axial gegeneinander versetzte Radialbohrungen jeweils mit einer die Antriebswelle umgebenden
ringförmigen Kammer in Verbindung stehen, wobei diese ringförmigen Kammern ihrerseits über Gehäusebohrungen an einen
Flüssigkeitskreislauf anschließbar sind.
VPA 9/280/5003
Pr 13 Ram / 28. 8. 1975
7527890 OiOl76
Mit den ringförmigen Kammern wird dsr Flüssigkeitskreislauf zwischen
der rotierenden Antriebswelle und dem feststehenden Lagergehäuse geschlossen. Somit kann ein flüssiges Kühl- bzw. Heizmittel
über die Antriebswelle in den Rezipienten geleitet werden, um die
Temperatur der dort angeordneten Teile konstant auf einem bestimmten Wert zu halten. Innerhalb des Rezipienten wird der Flüssigkeits
kreislauf je nach Bedarf über ein mehr oder weniger langes Heizbzw, Kühlsystem geschlossen. Im einfachsten Fall münden die zwei
Bohrungen der Antriebswelle in einer Kühlkammer, welche durch zwei Platten mit einem zwischenliegenden Dichtring gebildet wird.
Die ringförmigen Kammern zwischen Lagergehäuse und Drehwelle können
beispielsweise als Ringnuten in die Lagerbohrung des Gehäuses oder in den Umfang der Antriebswelle eingearbeitet sein. In einer besonders
vorteilhaften Ausfuhrungsform werden sie durch axial versetzte
Djchtringe zwischen Gehäuse und Antriebswelle gebildet.
Um die Antriebswelle vom Potential des Gehäuses zu trennen, ist sie isoliert gelagert. Zu diesem Zweck kann in einer vorteilhaften
Weiterbildung der Neuerung ein isolierendes Zwischenstück vorgesehen sein, welches die Verbindung zwischen der Antriebseinrichtung
und der Drehwelle herstellt. Die Lagerkräfte werden in diesem Fall zu einem großen Teil von der Antriebseinrichtung bzw. einem zwi-?
schengeschalteten Getriebe aufgenommen; für die Lagerung der eigent liehen Drehwelle kann im Lagergehäuse ein Stützring aus Isolierstoff
vorgesehen sein, über eine Schleifkontakteinrichtung kann
die Antriebswelle an ein beliebiges elektrisches Potential gelegt werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Neuerung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigt
Es zeigt
Fig. 1 eine Vakuumdrehdurchführung im Schnitt, Fig. 2 eine Schleifkontaktanordnung aus Fig. 1.
Die Fig. 1 zeigt die Wand eines Vakuumrezipienten 1 mit einer öffnung
2, durch welche eine Antriebswelle 3 für eine im Inneren des
VPA 9/280/5003
7527890 02.01.76
Rezipienten angeordnete Trägereinrichtung 4 geführt ist. Diese Trägervorrichtung
4 dient beispielsweise zur Halterung von Werkstücken, deren Oberfläche mittels Kathodenzerstäubung eine Beschichtung erhalten
soll. Die Antriebswelle 3 ist in einem Lagergehäuse 5 ger ' 5 führt, welches mit einem angeformten Flansch 6 über der Öffnung
2 des Rezipienten sitzt. Zwischen dem Flansch 6 und der Wand 1 ist
eine Gummidichtung 7 angeordnet.
Die Antriebswelle 3 ist über ein Getriebe 8 an einen Motor 9 angekuppelt.
Sie ist dabei durch ein starres Zwischenstück 10 aus Isolierstoff mit der Getriebewelle 11 verbunden und elektrisch isoliert.
Somit nimmt das Getriebe einen großen Teil der Lagerkräfte /
auf, so daß zur Lagerung der Antriebswelle selbst im Gehäuse 5 ein Stützring 12 aus Isolierstoff genügt. Dieser Stützring 12 ist aus
elastischem Material gefertigt, so daß er nachgibt, wenn die Antriebswelle nicht genau zentriert ist. Die Abdichtung zwischen der
Antriebswelle und dem Gehäuse wird durch Dichtringe 13 und 14 erreicht, welche zu beiden Seiten des Stützrings 12 angeordnet sind.
Sie sind ebenso wie eine zwischenliegende Kammer 15 mit Fett gefüllt; auch der Stützring 12 ist in seinen Ausnehmungen und Bohrungen mit
Dichtungsfett überlagert.
Die Antriebswelle 3 besitzt zwei achsparallele Bohrungen 15 und
16, welche zürn Anschluß an einen Flüssigkeitskreislauf dienen. Sie
münden innerhalb des Rezipienten in einen abgeschlossenen Hohlraum
17, der durch die zwei miteinander verschraubten und abgedichteten
Trägerplatten 4 und 18 gebildet wird. Außerhalb des Rezipienten sind die beiden Bohrungen 15 und 16 über zwei axial versetzte ringförmige
Kammern 19 und 20 an einen Flüssigkeitskreislauf angeschlossen. Diese Ringkammern 19 und 20 werden durch drei axial versetzte
Dichtringe 21, 22 und 23 gebildet. Durch Radialbohrungen 24 und 25 sind die Axialbohrungen 15 und 16 jeweils mit der Ringkammer
19 bzw. 20 verbunden. Zwei im Gehäuse 5 verlaufende Kanäle 26 und 27 stellen über die Anschlußstutzen 28 und 29 die Verbindung der
Ringkammern 19 und 20 zu einem äußeren Flüssigkeitskreislauf her. Die Kühl- bzw. Heizflüssigkeit wird also in Richtung der Linie 30
in den Kanal 26 eingepumpt, verläuft dann über die Kammer 12, die
VPA 9/280/5003
7527890 02.01.76
Radialbohrung 24 und die Axialbohrung 15 in den Hohlraum 17 im Rezipienten
und wird von dort über die Axialbohrung 16, die Radialbohrung 25, die Ringkammer 20 und den Kanal 27 wieder .aus den Rezipienten
geführt. Zwischen dem mit Kühlflüssigkeit gefüllten Dicht
ring 23 und dem fettgefüllten Dichtring 14 ist eine Leckkammer 31 mit einer Leckbohrung 32 angeordnet. Für den Fall, daß der Flüssigkeitskreislauf
undicht v/erden sollte, wird damit verhindert, daß Kühlflüssigkeit in die Fettabdichtung und in das Vakuum eindringen
kann. Die Kühlflüssigkeit tritt in diesem Fall über die Leckbohrung
aus, so daß die Undichtigkeit sofort erkannt wird.
über eine Schleifkontaktanordnung 33 kann die isoliert gelagerte
Antriebswelle an ein beliebiges elektrisches Potential angelegt werden. Diese Schleifkontaktanordnung ist in Fig. 2 gesondert in
perspektivischer Darstellung gezeigt. Sie besteht aus zwei Isolierstoff ringen 34 uni 35, welche übereinander im Gehäuse 5 verschraubt
sind. Der Ring 34 weist eine Nut. 36 als Führung für eine Kohlebürste 37 auf, welche über eine Feder 38 in einer Buchse 39 gelagert
und gegen die Antriebswelle 3 gepreßt wird. Die Buchse 39 ist isoliert
im Lagergehäuse 5 gelagert (nicht dargestellt) und wird in üblicher Weise mit einem elektrischen Anschluß versehen.
Da innerhalb des Rezipienten vielfach Metallschichten aufgestäubt oder aufgedampft werden, besteht die Gefahr, daß sich zwischen der
Antriebswelle 3 und dem Flansch 6 bzw. der Wand 1 eine leitende Schicht ablagert. Um dies zu verhindern, ist ein Schutzring 40 aus
Isolierstoff auf die Antriebswelle 3 aufgesetzt. Ein Labyrinth 41 zwischen diesem Schutzring 40 und dem Flansch 6 verhindert die Bildung
unerwünschter leitender Schichten.
30
9 Schutzansprüche
2 Figuren
2 Figuren
VPA 9/280/5003
7527890 02.01.76
Claims (9)
1. Drehdurchführung zum rotierenden Antrieb einer in einem Vakuumrezipienten
angeordneten Vorrichtung, mit einer über Dichtungselemente in einem Durchbruch des Rezipienten angeordneten Antriebswelle,
welche außerhalb des Rezipienten an eine Antriebseinrichtung angekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die in einem Lagergehäuse (5) an der Außenseite des Rezipienten (1) isoliert gelagerte Antriebswelle (3) zwei achsparallele
Bohrungen (15, 16) besitzt, welche über axial gegeneinander versetzte Radialbohrungen (24, 25) jeweils mit einer die
Antriebswelle (3) umgebenden, ringförmigen Kammer (19, 20) in Verbindung stehen, wobei diese ringförmigen Kammern ihrerseits
über Gehäusebohrungen (26, 27) an einen Flüssrkgkeitskreislauf
(30) anschließbar sind.
2. Drehdurchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die ringförmigen Kammern als Ringnuten in die Lagerbohrung des Lagergehäuses eingearbeitet sind.
3. Drehdurchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmigen Kammern als Ringnuten
in den Umfang der Antriebswelle eingearbeitet sind.
4. Drehdurchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmigen Kammern (19, 20)
durch axial versetzte Dichtringe (21, 22, 23) zwischen dem Lagergehäuse
(5) und der Antriebswelle (3) gebildet sind.
5. Drehdurchführung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß in Anschluß an den den Flüssigkeitskrsislauf zur Vakuumseite hin abdichtenden Dichtring (23)
eine mit einer Leckbohrung (32) -versehene offene Ringkammer (31) vorgesehen ist.
VPA 9/280/5003
7527890 02.01.76
6. Drehdurchführung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle
(3) über ein isolierendes Zwischenstück (10) an die Antriebseinrichtung
(8, 9) angekoppelt ist.
7. Drehdurchführung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Lagerung der
Antriebswelle (3) im Lagergehäuse (5) ein zwischen Dichtringen (13/ 14) angeordneter isolierender Stützring (Ί2) dient.
8. Drehdurchführung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle
(3) über eine Schleifkontaktanordnung (33) an ein elektrisches
Potential anschließbar ist.
9. Drehdurchführung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle
im Bereich des Durchbruchs (2) im Rezipienten mit einem isolierenden Schutzring (40) versehen ist, welcher mit einem auf den
Rezipienten aufgesetzten Gehäuseflansch (6) ein Labyrinth (41) bildet.
VPA 9/280/5003
7527890 02.01.76
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE7527890U DE7527890U (de) | 1975-09-03 | 1975-09-03 | Drehdurchfuehrung fuer vakuumrezipienten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE7527890U DE7527890U (de) | 1975-09-03 | 1975-09-03 | Drehdurchfuehrung fuer vakuumrezipienten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE7527890U true DE7527890U (de) | 1976-01-02 |
Family
ID=31961195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE7527890U Expired DE7527890U (de) | 1975-09-03 | 1975-09-03 | Drehdurchfuehrung fuer vakuumrezipienten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE7527890U (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7074275B2 (en) | 2003-07-15 | 2006-07-11 | Schott Ag | Apparatus for treating workpieces |
DE102012101815A1 (de) * | 2012-03-05 | 2013-09-05 | GAT Gesellschaft für Antriebstechnik mbH | Drehdurchführung |
-
1975
- 1975-09-03 DE DE7527890U patent/DE7527890U/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7074275B2 (en) | 2003-07-15 | 2006-07-11 | Schott Ag | Apparatus for treating workpieces |
DE102012101815A1 (de) * | 2012-03-05 | 2013-09-05 | GAT Gesellschaft für Antriebstechnik mbH | Drehdurchführung |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE909236C (de) | Verfahren zum Schmieren von in hohem Vakuum arbeitenden Lagern | |
EP0268742A1 (de) | Gehäuseeinrichtung mit Druckausgleich | |
DE3145426A1 (de) | Einstufige ferrofluiddichtung | |
EP1780011B1 (de) | Presseur | |
DE2857863C2 (de) | Temperatursteuereinrichtung für die Abdichtung eines Rohrdrehgelenkes | |
DD201567A5 (de) | Haltevorrichtung | |
DE7527890U (de) | Drehdurchfuehrung fuer vakuumrezipienten | |
DE803771C (de) | Verbesserungen von und im Zusammenhang mit Elektrodentraegern fuer elektrolytische Zellen | |
DE3726473A1 (de) | Selbsttaetig schmierstoff od. dgl. abgebende vorrichtung | |
DE2513437C2 (de) | Elektrische Verbindung zwischen einem drehbaren und einem leitenden stationären Körper | |
DE2647149C2 (de) | Sputter-Beschichtungseinrichtung zur Herstellung beschichteter Träger | |
EP0027535B2 (de) | Dichtungsring | |
EP0424599A1 (de) | Drehbare Hochstromverbindung | |
DE102013106168A1 (de) | Cantilever-Magnetron mit einem rotierenden Target | |
CH682888A5 (de) | Rollenkopf für eine Widerstandsnahtschweissmaschine. | |
DE2828412C2 (de) | Durchführung einer Leitung durch einen Wandteil eines Behälters | |
EP0541903B1 (de) | Kathode zum Beschichten eines Substrats | |
CH666697A5 (de) | Vorrichtung zur galvanischen behandlung von druckzylindern. | |
DE3611111A1 (de) | Drehbare anodenroentgenstrahlenquelle | |
DE7534297U (de) | Druckmittelgeraet | |
DE1765435C3 (de) | Rollenkopf für elektrische Widerstand snahtsch weißmaschinen | |
DE19903565A1 (de) | Hydraulische Drehdurchführung | |
DE1283394B (de) | Elektrischer Kondensator mit einem wenigstens an einem Ende offenen, im wesentlichen zylinderfoermigen Koerper aus formfestem dielektrischem Material | |
DE3228367A1 (de) | Vakuumdichte fensteranordnung fuer einen rechteck-hohlleiter | |
DE3230453A1 (de) | Kontaktanordnung zur elektrischen ueberbrueckung der achslager von schienenfahrzeugen |