JP4479948B2 - 半導体装置用ソケットおよびソケットへの半導体装置の装着方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置を装着するソケットに関し、特に、ヒートスプレッダー(放熱部)を備えた電力用半導体装置を装着するソケットに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置用ソケットは、半導体装置をバーンインテストするものや、バーンインテスト以外にも、半導体装置の特性を測定したり、あるいはプリント回路基板へのインターフェースを提供するものとして使用されている。
【0003】
ソケットにおいて重要なことは、装着される半導体装置の端子を損傷することなくこれを適切に位置決めし、かつコンタクトと半導体装置のリード端子との間の信頼性の高い電気的接続を実現することである。そのため、ソケットは、半導体装置のパッケージ形状やリード端子の構成に適合するように設計される必要がある。
【0004】
ソケットには、大別して2つのタイプがある。一つは、カバー部材がベース部材に回動可能に取り付けられたクラムシェルタイプと、もう一つは、カバー部材がベース部材に対して直線的な往復動移動を可能にするオープントップタイプである。前者は、カバー部材の操作力が小さいという利点を有する反面、カバー部材が回転運動をするため、半導体装置の装着の自動化が困難であるという欠点がある。これに対して、オープントップタイプはカバー部材の移動が直線的であるため、操作性に優れ、半導体装置の装着を自動化をし易いという利点があり、その観点点からオープントップタイプのソケットの需要が増加している。
【0005】
近年、半導体装置の多様化、高集積化が進み、それに伴いリード端子数も増加している。特に、消費電力の大きい電力用半導体装置の場合、リード端子を通して流される電流が比較的大きいため、発熱により半導体装置そのものが損傷してしまうことがある。また、流れる電流が大きいため、接触抵抗やコンタクトの導体抵抗による電圧降下の影響により正確な電圧の測定が難しい。
【0006】
こうした問題を解決するために、ヒートシンクを有するソケットやケルビンコンタクト型ソケットが提案されている。
【0007】
特開2001−281295号は、ソケット本体にヒートシンクを設け、ヒートシンクを半導体装置に接触させることで半導体装置の冷却または放熱を行うものである。また、特開平6−334072号は、ケルビンコンタクト型ソケットとして、半導体装置の各リード端子に2本のコンタクトを接触させ、一方のコンタクトに電流を流し、他方のコンタクトを高インピーダンス状態にして電圧を検知するものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開2001−281295号に記載されたソケットは、オープントップ構造ではないため半導体装置の着脱の自動化が難しいという課題がある。
【0009】
他方、上記特開平6−334072号に記載されたソケットは、一対のコンタクトが平行にかつ平面的に延在する2接点構造となっているため、リード端子を狭ピッチに配列したリード端子数の多い半導体装置には不適であり、さらにリード端子の平坦部の短い半導体装置ではコンタクトの配置が難しい。また、上記と同様にオープントップ構造ではないため、半導体装置の着脱の自動化が困難である。
【0010】
そこで本発明は、上記従来技術を解決し、電力消費の大きい半導体装置に適したソケットを提供することを目的とする。
さらに本発明の目的は、電力用半導体装置に対して放熱特性に優れかつ半導体装置の着脱の自動化に適したオープントップタイプのソケットを提供する。
さらに本発明の目的は、ヒートシンクを備えたソケットに半導体装置を適切に装着させる装着方法を提供する。
【0011】
【課題を解決するための手段】
第1の発明に係るソケットは、ベース部材と、前記ベース部材に対して接近または離間する方向に移動可能であり、中央部に開口が形成された往復動部材と、前記ベース部材に固定された複数のコンタクトとを有し、前記複数のコンタクトは、互いに独立した第1、第2のコンタクトを1組とするコンタクトを複数組有しする。前記第1、第2のコンタクトは、それぞれ前記ベース部材から突出する端子部と、前記往復動部材の前記開口に対応する位置に配され前記半導体装置の端子と接触可能な接触部とを有し、前記第1のコンタクトの接触部は前記往復動部材の移動に応じて接触位置と退避位置との間を移動され、前記第2のコンタクトの接触部は前記ベース部材近傍に配され、前記半導体装置の各端子が前記複数組の前記第1、第2のコンタクトの前記接触部により電気的に接触される。
【0012】
第2の発明に係るソケットは、ほぼ中央に凹部が形成され該凹部内に半導体装置を載置するための載置部を備えたベース部材と、前記ベース部材に対して接近または離間する方向に移動可能であり、中央部に開口が形成された往復動部材と、前記ベース部材に固定されかつ前記載置部に対応する位置に接触部を備え、該接触部が半導体装置の各端子と電気的に接続可能なコンタクトを複数有する、複数のコンタクトと、前記ベース部材の凹部内に取り付けられたヒートシンク部材とを含み、前記ヒートシンク部材は前記往復動部材の開口を通して前記載置部に配される半導体装置の放熱部と接触可能である。
【0013】
第3の発明に係る半導体装置の装着方法は、ベース部材と、前記ベース部材に対して接近または離間する方向に移動可能であり、中央部に開口が形成された往復動部材と、前記ベース部材に固定され半導体装置の端子と電気的に接続可能な接触部を備えた複数のコンタクトと、前記ベース部材の凹部に移動可能に取り付けられたヒートシンクとを有し、前記往復動部材の移動に応じて前記ヒートシンクおよび前記コンタクトの接触部が移動可能であるソケットにおいて、以下のステップを有する。少なくともパッケージの一面に放熱部を有する半導体装置を用意するステップ、前記往復動部材を前記ベース部材に接近させた位置まで移動させて前記複数のコンタクトの接触部を退避位置へ移動させるとともに前記ヒートシンクを上昇させるステップ、前記往復動部材の前記開口を通して前記半導体装置を前記ヒートシンク上に載置させ前記放熱部を前記ヒートシンクに接触させるステップ、前記往復動部材を前記接近させた位置から離間させた位置への途中で、前記ヒートシンクを前記放熱部から離れるように降下させかつ前記複数のコンタクトの接触部を前記退避位置から前記半導体装置の各リード端子と接触する位置へ移動させるステップ、前記往復動部材を前記ベース部材から離間させた位置まで移動させ、前記複数のコンタクトの接触部が前記半導体装置のリード端子と接触している状態において前記ヒートシンクを上昇させ、前記ヒートシンクを前記放熱部に接触させるステップを含む。
【0014】
本発明によれば、ソケットが互いに独立した第1、第2のコンタクトを組とする複数組のコンタクトを有し、これら各組のコンタクトによって半導体装置の端子と電気的な接続を行うようにしたので、半導体装置の端子とケルビン接続等の2点接触を行うことができる。また、オープントップタイプのソケットにヒートシンク部材を設けたことにより、消費電力の大きな半導体装置に対する放熱効果を改善することができる。
【0015】
【実施の態様】
次に、本発明の実施の態様について図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態に係るソケットを示す平面図、図2は図1のX1−X1線断面図、図3は図1のY1−Y1線断面図、図4はソケットの斜視図、図5は図4に示すソケットからカバーを外した斜視図である。
【0016】
本実施の形態に係るソケットは。オープントップタイプ構造を有し、装着された半導体装置のからの熱を放熱させるためのヒートシンクを備えること、および装着された半導体装置の各リード端子と2点接触(ケルビン接続)を可能とすることを特徴とする。
【0017】
ソケット1は、絶縁性樹脂からなるベース10と、ベース10に対して接近または離間する方向に直線的な往復動が可能なカバー20と、ベース10に固定された導電性金属からなる複数のコンタクト30と、ベース10のほぼ中央に形成された凹部11内に収容されるヒートシンク40と、ヒートシンク40を保持するホルダー50と、ヒートシンク40の位置を可変するためのカム60と、装着される半導体装置を位置決めするアダプター70とを含む。
【0018】
ベース10の凹部11の周囲には、複数のコンタクト30が整列される。コンタクト30は、ベース10の中心側(あるいは内側)に配置されるコンタクト31と、コンタクト31より外側に配置されたコンタクト32との2種類の形状からなるコンタクトを含む。コンタクト31、32は互いに独立に絶縁されており、本実施の形態では、コンタクト31が高インピーダンス状態において電圧を検知するためのセンス側のコンタクトとして機能し、他方、コンタクト32が電流を供給されたパワー側のコンタクトとして機能し、コンタクト31、32が1組(あるいは1対)のコンタクトとして半導体装置の各リード端子と2点接触あるいはケルビン接続を可能とする。
【0019】
コンタクト31、32は、図6に示すように、ベリリウム銅合金などの薄板を打ち抜きすることによって形成される。センス側のコンタクト31は、基部31aと、基部から下方に延びる一対の端子部31bと、基部31aからほぼ直立に延在する細長の延在部31cと、延在部31cの先端に形成されほぼ平坦な面を有する接触部31dと、基部31aから分岐する爪部31eとを有する。
【0020】
パワー側のコンタクト32は、基部32aと、基部から下方に延びる一対の端子部32bと、基部32から湾曲して延在するばね部32cと、ばね部32cの端部に形成された接触部32dと、さらにばね部32cから上方に向けて延在するレバー部32eとを有する。レバー部32eの先端は丸められており、この先端がカバー20の裏面側に形成された傾斜部23に摺動可能となっている。
【0021】
ベース10には、一対のコンタクト31、32を挿入し固定するための複数のスリット状の溝が形成される。一対のコンタクト31、32は、一つのスリット状の溝内に嵌合され、その基部が溝の底部に当接し、一対のコンタクト31、32は溝内において互いに直線状に絶縁されて配置される。また溝の底部には貫通孔が形成され、コンタクト31、32の各端子31a、32aが貫通孔を介してベース10の底面から突出される。
【0022】
コンタクト31の爪部31eがベース10の肩部に係合することで(図2、図3参照)、接触部31dがベース10上に取り付けられたアダプター70の側面に弾性的に付勢され、接触部31dは実質的にベース10に固定された状態で保持される。コンタクト32の接触部32dは、接触部31dと弾性的に接触可能であり、その弾性力はばね部32cによって生成される。カバー20がベース10に接近する方向に押下されるとき、コンタクト32のレバー部32eがその傾斜部23に倣って移動し、これによって、接触部32dは接触部31dと接触可能な原位置から退避位置へ移動される。ここで、退避位置とは、半導体装置がカバーの開口21を通して、アダプター70またはベース10上若しくはヒートシンク40上に載置されるときに、接触部32dがリード端子と干渉しない位置である。接触部32dの移動の軌跡は、ばね部32cの形状に依存し、言い換えればコンタクト32が弾性変形するときの支点の位置による。
【0023】
ヒートシンク40の構成を図7に示す。同図(a)は平面図、同図(b)は側面図、同図(c)は背面図、同図(d)は正面図である。ヒートシンク40はアルミニウム金属の本体41を有し、その表面にはヒートシンク面42が形成される。ヒートシンク面42は本体41の外形より一まわり小さくかつその表面から一段高く突出し、本体41の外周に段差43を形成する。ヒートシンク面42は後述する半導体装置の放熱部(ヒートスプレッダー)と接触される。ヒートシンク40の裏面側には4つの円筒状の溝44が形成される。各溝44内にはそれぞれ弾性部材としてコイルスプリング45が挿入される。ヒートシンク40がベース10の凹部11内に収容されたとき、コイルスプリング45の端部はベース10の凹部11内の底部に接触し、ヒートシンク40を持ち上げるように付勢する。
【0024】
図8にホルダーの構成を示す。同図(a)は平面図、同図(b)はX2−X2線断面図、同図(c)はY2−Y2線断面図である。ホルダー50は、その中央部に矩形状の開口51を形成するフレーム52と、フレーム52の各コーナーから対角線上に延在するカム係合部53とを有する。フレーム52の開口51は、ヒートシンク40の外形よりやや小さめであり、開口51の周囲にはフランジ部51aが形成される。ホルダー50がヒートシンク40上に位置決めして取り付けられるとき、開口51のフランジ部51aがヒートシンク40の段差43と係合し、ホルダー50はスプリング45によって上方に付勢されたヒートシンク40を支持する。
【0025】
ホルダー50のカム係合部53と対応する位置に複数のカム60が取り付けられている。図9(a)はカムの平面図、同図(b)は側面図、同図(c)は正面図である。カム60は、カムとしてのカム駆動面を有するカム本体61と、カム本体61と一体に形成された連結部62とを有する。カム本体61にはその回転中心に軸63が一体に形成され、また連結部62には長穴64が形成される。カム本体61は、回転軸63を介してベース10のカム取付部13(図5参照)に回転自在に軸支される。連結部62の長穴64内にはシャフト65が挿入され、シャフト65の両端はカバー20によって固定される(図3参照)。シャフト65は長穴64内を自由に摺動することができ、シャフト65が上下方向に移動すると、それに応じて連結部62が回転されすなわちカム本体61が回転される。
【0026】
各カム本体61のカム面はホルダー50のカム係合部53(図3の破線示される部分)と接触し、カム60はホルダー50の位置を規制または制御する。つまり、コイルスプリング45の付勢力は、ヒートシンク40及びホルダー50を介してカム本体61によって支持され、カム本体61が回転するとホルダー50およびヒートシンク40の位置が可変される。
【0027】
ベース10の各コーナーには4本のコイルスプリング14が取り付けられる(図5参照)。コイルスプリング14の一端はベース10に固定され、他端はカバー20の裏面の所定の位置に当接され、カバー20は常にベース10から離間する方向に付勢される。さらにベース10には、ソケット1をプリント基板等にネジで固定するための固定部15が設けられる。
【0028】
アダプター70は、図4および図5に示すように、ベース10の凹部11内に着脱可能に取り付けられる位置決め部材である。アダプター70は、中央に矩形状の開口部を有し、かつ開口部の4隅に半導体装置を載置しかつ位置決めするための位置決め部71を有する。位置決め部71は、1対の突起と1対の突起と連続する載置面を有する。アダプター70は、さらに各位置決め部71から上方に延在するガイド部72を含み、各ガイド72には傾斜溝73が形成され、各傾斜溝73は上方から下方に向けて徐々に小さくなっている。ベース10の凹部11を規定する内壁の各コーナーに、位置決め部71およびガイド部72が配置される。
【0029】
アダプター70は、ベース10の凹部11内に着脱自在に取り付けられ、半導体装置の種々のパッケージの形状、リード端子の構造に応じて交換される。そうすることで、単一のソケットで複数の種類の半導体装置に対応することができる。
【0030】
カバー20は、その中央部に矩形状の開口21が形成された絶縁性樹脂からなる往復動部材である(図4参照)。開口21はベース10の凹部11の開口面に対応し、開口21を通して半導体装置を凹部11内に装着することができる。カバー20は、前述したようにコイルスプリング14によってベース10から離間する方向に付勢されている。カバー20の対向する側面に、一対の脚部22が形成される、脚部22はベース10の側面に形成された係合部16(図10参照)と係合し、カバー20がベース10に対して接近若しくは離間する方向に移動されるときにその直線運動を規制し、かつ、ストッパー22aによってカバー20がベース10から抜けることを防止している。また、カバー20の裏面に形成された傾斜部23は、その傾斜面が徐々に大きくなるような曲面であることが望ましく、そうすることでカバー20をベース10に対して押圧するときの初期操作力を低減することができる。
【0031】
次に、本実施の形態に係るソケットの動作について説明する。図15に本ソケットに装着されるべき好ましい半導体装置を示す。半導体装置100は、絶縁樹脂により内部に半導体チップを収容した直方体状のパッケージ101と、パッケージ101の対向する側面から突出する複数のリード端子102と、パッケージ101の下面に放熱用金属面を露出させたヒートスプレッダー103とを有する、フラットパッケージICである。消費電力の大きな電力用ICでは、このようなヒートスプレッダー103を有している。
【0032】
図10ないし図12はソケットの各部の動作を示す断面図であるが、これらの断面図は図3の断面方向と同じ方向の断面図である。図10は、カバー20がスプリング14によってベース10から離間される位置にある状態を示し、図11はカバー20がベース10に対して離間された位置と接近された位置の間の位置にある状態を示し、図12はカバー20をベース10に対してフルストロークせて接近された位置にある状態を示す。
【0033】
半導体装置100を装着するとき、カバー20は、図12に示すようにベース10に対してフルストロークする位置(接近された位置)まで直線移動される。この移動は、好ましくは自動化装置の押圧アームを駆動することによって行われる。カバー20が押下されると、外側のパワー用コンタクト32のレバー部32eが傾斜部23上を摺動する。これによって、コンタクト32は、ばね部32cを支点として弾性変形し、接触部32dが接触部31dと接触した状態から外側の退避位置へと移動される。
【0034】
また、カバー20の移動に伴い、カバー20に固定されたシャフト65が連結部62の長穴64内を摺動し、シャフト65が長穴64の端部と係止すると、連結部62が下向きに押される。これによって、カム60がベース10に対して回転軸63を支点に時計方向に回転される。カム本体61のカム面は、ホルダー50のカム係合部53(図12の破線で示す位置)と弾性的に接触され、カム本体61のカム面の変位はホルダー50に伝達される。従って、カム本体61のカム面の上昇により、コイルスプリング45によって付勢されたヒートシンク40及びホルダー50がこれに追従して上昇し、ヒートシンク面41がアダプター70の位置決め部71の載置面よりも高い位置(スタンドオフ寸法以上)まで突出する。
【0035】
この状態で、半導体装置100をカバー20の開口21を通してベース10の凹部11内に装填する。半導体装置100は、バキュームピックなどによりパッケージの上面を保持されており、カバー20の開口21上から半導体装置100をバキュームピックから自然落下させると、半導体装置100のパッケージ101のコーナー部がガイド部72の傾斜溝73にガイドされながら落下する。そして、パッケージの下面あるいは放熱部103がヒートシンク面41に接触される。このとき、ヒートシンク面41は半導体装置のスタンドオフ寸法以上となっているため、半導体装置のリード端子102がコンタクト31の接触部31dに接触することはない。このため、リード端子102がコンタクト31と干渉したりそれに引っ掛かりすることはなく、リード端子102に変形や損傷を与えることなく半導体装置100をヒートシンク40上に着座させることができる。
【0036】
半導体装置100がヒートシンク面41上に載置された後、カバー20を押下していた力を減じると、弾性変形したコンタクト32及びコイルスプリング14によってカバー20が上昇する。この上昇に伴い、図11に示すように、コンタクト32の接触部32dが退避位置からコンタクト31の接触部31dへ向けて移動を開始し、他方、カム60が反時計方向に回転される。この回転によりカム本体61のカム面が下降し、ホルダー50及びヒートシンク40がコイルスプリング45に抗して下降される。
【0037】
ヒートシンク面41が下降すると半導体装置100も下降し、さらにヒートシンク面41が下降すると、パッケージ101の下面または放熱部103が位置決め部71によって支持され、ヒートシンク面41はパッケージの下面103から離れる。このとき、半導体装置100は、位置決め部71によって位置決め保持された状態となり、この状態でリード端子102の下面がコンタクト31の接触部31dに接触され、少し遅れて、コンタクト32の接触部32dがリード端子102の表面を押圧する(図11参照)。こうして、リード端子102は1対のコンタクト31、32によって一定の接圧でもって電気的に2点接触される。
【0038】
さらにカバー20が上昇すると、カム60がさらに反時計方向に回転し、カム本体61のカム面が再び上昇する。これによって、ホルダー50及びヒートシンク40がコイルスプリング45のばね力によってカム面に追従し、最終的にヒートシンク面41が半導体装置100の下面(ヒートスプレッダー)103に適正な弾性力で接触される(図10参照)。その後、カバー20はスプリング14によりさらに上昇され、脚部22のストッパー22aが係合部16と係止したときカバー20は停止される。
【0039】
ソケットに装着された半導体装置100の各リード端子102は、1対のコンタクト31、32に電気的に接続され、コンタクト32側から電流を供給し、コンタクト31側をハイインピーダンス状態にして電圧を検知することにより、ケルビン接続を行うことができる。
【0040】
ケルビン接続をする上で好ましい接続状態を図13に示す。図13は、リード端子102がコンタクト31、32により電気的に接続された状態を示す拡大図である。リード端子102の先端部102aは、プリント基板等にはんだ実装される部分であるが、この部分は通常水平方向から僅かに傾斜されている。このため、コンタクト31の接触部31dの表面(ほぼ平坦)を先端部102aの傾斜角よりも若干大きく傾斜させる。そして、接触部31dが先端部102aの裏面と接触する位置Aを、コンタクト32の接触部32dが先端部102aの表面と接触する位置Bよりも内側にすることが望ましい。こうすることで、ケルビン接続おいてノイズ等を小さくすることができ、検知される電圧値の精度を向上させることができる。
【0041】
半導体装置100のバーンインテストあるいはその特性の検査・測定が終了した後、半導体装置100は挿入とは逆の手順によりソケットから取り外される。つまり、カバー20をベース10に向けて押下し、コンタクト32を退避させる。このとき、半導体装置100は位置決め部71から持ち上げられ、ヒートシンク面41によって支持された状態にあり、バキュームピック等で半導体装置の表面を吸着し、開口21を通して取り外す。
【0042】
以上のように本実施の形態によるソケットを用いれば、たとえ消費電力の大きなパワー用半導体装置であっても、半導体装置の放熱部またはヒートスプレッダー103からの熱を効率よくヒートシンク40により放熱することができ、半導体装置を熱的破壊から防止することができる。さらに、そのような半導体装置のリードとケルビン接続を可能とすることで、リード端子に必要以上の大きな電力を供給することなく、半導体装置の電圧特性等を正確に検知するが可能である。
【0043】
以上のように本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【0044】
例えば、コンタクト32の形状は上記実施態様の例に限らず、例えば、図14に示すようにばね部33cの形状をより簡易なものとすることも可能である。また、カム60の形状は適宜変更することが可能であり、これによってヒートシンク40の位置、上下動のタイミング、コンタクトとの接触のタイミングの設計に自由度を持たせることができる。
【0045】
さらに本実施の態様では、好ましい半導体装置として4方向からリード端子が突出するフラットパッケージを用いたが、これに限らず2方向からリード端子が突出するものであっても良い。さらに、リード端子の形状も、必ずしも実施の態様に示すものに限定されるものではない。さらに、望ましい半導体装置として電力消費の大きいパワー用半導体装置を例に用いたが、勿論、消費電力がさほど大きくない通常の半導体装置やヒートスプレッダーが取り付けられていない半導体装置にもソケットを用いることができるのはいうまでもない。
【0046】
さらに本実施の形態では、ホルダー50とヒートシンク40とを別体に用いたが、ホルダー50にヒートシンク40を嵌合させたり、あるいは両者を一体(例えばインサートモールド成型)にしたものであっても良い。ヒートシンク40の材質も放熱特性等を考慮して種々の材質が選択可能である。さらに本実施の形態に係るソケットは、アダプター70を用いたが、必ずしもこれを着脱自在なものとして用いる必要なない。例えば、ベースの凹部11内のコーナー部に位置決め部を一体に形成することも可能である。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように第1の発明によれば、第1、第2の互いに独立したコンタクトを複数組用い、これによって半導体装置の端子との接続を行うようにしたので、半導体装置の端子とコンタクトとの電気的な接続の信頼性を高め、かつケルビン接続のような2端子法の接続により電圧の測定精度を向上させることができる。また第2の発明によれば、オープントップタイプのソケットにヒートシンク部材を設けることで、半導体装置の放熱を促進しかつ半導体装置の熱的破壊を防止することができる。特に、半導体装置の裏面側に放熱部を備えた半導体装置に対して有効である。さらに第3の発明によれば、ヒートシンク部材を備えたソケットに対して、ヒートシンク部材の位置を適宜調整することで、半導体装置の端子の変形等を与えることなく、かつ自動化に適したステップで半導体装置の装着を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施の形態に係るソケットの平面図である。
【図2】図2は図1のX1−X1線断面図である。
【図3】図3は図1のY1−Y1線断面図である。
【図4】図4は本実施の形態に係るソケットの斜視図である。
【図5】図5は図4のソケットからカバーを取り外した状態を示す斜視図である。
【図6】図6はコンタクトの平面図である。
【図7】図7はヒートシンクを示し、同図(a)は平面図、同図(b)は側面図、同図(c)は背面図、同図(d)は正面図である。
【図8】図8はホルダーを示し、同図(a)は平面図、同図(b)はそのX2−X2線断面図、同図(c)はY2−Y2線断面図である。
【図9】図9はカムを示し、同図(a)は平面図、同図(b)は側面図、同図(c)は正面図である。
【図10】図10はソケットの動作を説明する断面図である。
【図11】図11はソケットの動作を説明する断面図である。
【図12】図12はソケットの動作を説明する断面図である。
【図13】図13はリード端子とコンタクトとの接触状態を示す拡大図である。
【図14】図14は他のコンタクトの例を示す平面図である。
【図15】図15は半導体装置の正面図である。
【符号の説明】
1:ソケット 10:ベース
11:凹部 20:カバー
21:開口 30:コンタクト
31:センス側のコンタクト 32:パワー側のコンタクト
31d、32d:接触部 32e:レバー部
40:ヒートシンク 41:ヒートシンク面
14、45:コイルスプリング 50:ホルダー
53:カム係合面 60:カム
61:カム本体 62:連結部
63:回転軸 64:長穴
65:シャフト 70:アダプター
71:位置決め部 72:ガイド部
100:半導体装置 101:パッケージ
102:リード端子 103:放熱部(下面)
Claims (29)
- 半導体装置を装着可能なソケットであって、
ベース部材と、
前記ベース部材に対して接近または離間する方向に移動可能であり、中央部に開口が形成された往復動部材と、
前記ベース部材に固定された複数のコンタクトとを有し、
前記複数のコンタクトは、互いに独立した第1、第2のコンタクトを1組とするコンタクトを複数組有し、前記第1、第2のコンタクトは、それぞれ前記ベース部材から突出する端子部と、前記往復動部材の前記開口に対応する位置に配され前記半導体装置の端子と接触可能な接触部とを有し、
前記第1のコンタクトの接触部は前記往復動部材の移動に応じて接触位置と退避位置との間を移動され、前記第2のコンタクトの接触部は前記ベース部材近傍に配され、前記半導体装置の各端子が前記複数組の前記第1、第2のコンタクトの前記接触部により電気的に接触される、ソケット。 - 前記第1のコンタクトは、前記端子部と前記接触部との間にばね部を含み、該ばね部は前記第1のコンタクトの接触部を前記第2のコンタクトの接触部へ向けて付勢する弾性力を生成する、請求項1に記載のソケット。
- 前記第1のコンタクトは、前記往復動部材に形成された傾斜面と係合するレバー部を有し、前記往復動部材が前記ベース部材に接近する方向に移動されるとき、前記第1のコンタクトの接触部が退避位置へ移動され、半導体装置が前記往復動部材の前記開口を介して前記ベース部材上へ載置可能である、請求項1または2に記載のソケット。
- 前記第1のコンタクトの接触部が半導体装置の端子の表面に接触され、前記第2のコンタクトの接触部が端子の裏面に接触される、請求項1ないし3いずれかに記載のソケット。
- 前記第1、第2のコンタクトは、前記ベース部材に形成された凹部を形成する側面の少なくとも1対の対向する側に配され、前記第1、第2のコンタクトは相互の直線状に配され、かつ前記第2のコンタクトは前記第1のコンタクトの内側に配される、請求項1ないし4いずれかに記載のソケット。
- 前記第1、第2のコンタクトは半導体装置の端子とケルビン接続が可能である、請求項1ないし5いずれかに記載のソケット。
- 前記第1のコンタクトの端子部には電流が供給され、前記第2のコンタクトの端子部において電圧の検知を行う、請求項6に記載のソケット。
- 前記半導体装置は、直方体状の本体の少なくとも対向する面から突出するリード端子を備え、該リード端子の先端部は水平方向から傾斜し、該先端部の表面が前記第1のコンタクトの接触部に接触され、前記先端部の裏面が前記第2のコンタクトの接触部に接触される、請求項1または4に記載のソケット。
- 前記第2のコンタクトの接触部は、前記リード端子の先端部が水平方向から傾斜する方向と同じ方向に傾斜しており、前記接触部の傾斜角が前記先端部の傾斜角によりも大きな傾斜角で傾斜し、前記第2のコンタクトの接触部が前記先端部と接触する位置は、前記第1のコンタクトの接触部が前記先端部と接触する位置よりも内側である、請求項8に記載のソケット。
- 前記ベース部材は、半導体装置を位置決めするためのアダプターを含み、前記第2のコンタクトの接触部が前記アダプターによって支持される、請求項1に記載のソケット。
- 半導体装置を装着可能なソケットであって、
ほぼ中央に凹部が形成され該凹部内に半導体装置を載置するための載置部を備えたベース部材と、
前記ベース部材に対して接近または離間する方向に移動可能であり、中央部に開口が形成された往復動部材と、
前記ベース部材に固定されかつ前記載置部に対応する位置に接触部を備え、該接触部が半導体装置の各端子と電気的に接続可能なコンタクトを複数有する、複数のコンタクトと、
前記ベース部材の凹部内に取り付けられたヒートシンク部材とを含み、
前記ヒートシンク部材は前記往復動部材の開口を通して前記載置部に配される半導体装置の放熱部と接触可能であり、
前記複数のコンタクトは、前記往復動部材に形成された傾斜部と係合するレバー部を有し、前記ヒートシンク部材が第1の位置にあるとき、前記複数のコンタクトの接触部は前記レバー部により退避位置へ移動される、ソケット。 - 前記ヒートシンク部材の少なくとも一部は前記凹部内に収容され、該凹部内において移動可能である、請求項11に記載のソケット。
- 前記ソケットは、前記往復動部材の移動に応じて前記ヒートシンク部材を移動させる駆動機構を含み、前記往復動部材が前記ベース部材に対して接近された位置にあるとき、前記ヒートシンク部材は前記駆動機構によって前記載置部より上昇された前記第1の位置に置かれ、前記第1の位置にあるヒートシンク部材上に半導体装置が載置可能である、請求項11に記載のソケット。
- 前記ヒートシンク部材は、アルミニウム金属から構成される、請求項11ないし13いずれか1つに記載のソケット。
- 前記往復動部材が前記ベース部材に対して前記接近された位置から離間された位置の間の位置にあるとき、前記ヒートシンク部材は前記駆動機構によって前記載置部より下降された第2の位置へ置かれ、前記複数のコンタクトの接触部が前記退避位置から原位置に向けた位置へ移動される、請求項11ないし14いずれかに記載のソケット。
- 前記往復動部材が前記ベース部材から離間された位置にあるとき、前記ヒートシンク部材は前記駆動機構により前記第2の位置から上昇された位置に置かれる、請求項11ないし14いずれかに記載のソケット。
- 前記ヒートシンク部材が前記第2の位置にあるとき、前記半導体装置は前記載置部に位置決め載置され、各端子が前記複数のコンタクトの接触部と接触可能である、請求項15に記載のソケット。
- 前記複数のコンタクトの接触部が前記半導体装置の端子と接触した後、前記ヒートシンク部材が前記放熱部と接触可能である、請求項16に記載のソケット。
- 前記駆動機構は、往復動部材の移動に応じて回転されるカムを有し、前記ヒートシンク部材は前記カムによって位置を可変する、請求項11ないし18いずれかに記載のソケット。
- 前記ヒートシンク部材は、前記ベース部材の凹部に収容されたヒートシンクと、該ヒートシンクを上昇させる方向に付勢するばね部材と、前記ばね部材によって付勢されたヒートシンクを保持するホルダーとを有し、前記ホルダーが前記カムによって駆動される、請求項11ないし18いずれかに記載のソケット。
- 前記ベース部材は半導体装置を位置決めするためのアダプターを含み、該アダプターは前記ベース部材の凹部内に取り付けられ前記載置部を提供する、請求項11に記載のソケット。
- 前記カムは、回転軸を介して前記ベース部材に回転自在に取り付けら、さらに前記カムは、前記往復動部材と係合する連結部を含み、前記往復動部材の移動により前記連結部を介して前記カムが前記回転軸を中心に回転される、請求項19または20に記載のソケット。
- 前記複数のコンタクトの各々は、互いに絶縁された1組の第1、第2のコンタクトを含み、第1、第2のコンタクトは半導体装置の端子とそれぞれ電気的に接続可能である、請求項11に記載のソケット。
- 前記第1、第2のコンタクトは前記半導体装置の端子とケルビン接続可能である、請求項21に記載のソケット。
- 前記半導体装置は、直方体状のパッケージと、該パッケージの少なくとも対向する面から突出させた複数のリード端子と、該パッケージの裏面に設けられた放熱部とを有する、請求項11に記載のソケット。
- ベース部材と、前記ベース部材に対して接近または離間する方向に移動可能であり、中央部に開口が形成された往復動部材と、前記ベース部材に固定され半導体装置の端子と電気的に接続可能な接触部を備えた複数のコンタクトと、前記ベース部材の凹部に移動可能に取り付けられたヒートシンクとを有し、前記往復動部材の移動に応じて前記ヒートシンクおよび前記コンタクトの接触部が移動可能であるソケットに半導体装置を装着する方法であって、
少なくともパッケージの一面に放熱部を有する半導体装置を用意し、
前記往復動部材を前記ベース部材に接近させた位置まで移動させて前記複数のコンタクトの接触部を退避位置へ移動させるとともに前記ヒートシンクを上昇させ、
前記往復動部材の前記開口を通して前記半導体装置を前記ヒートシンク上に載置させ前記放熱部を前記ヒートシンクに接触させ、
前記往復動部材を前記接近させた位置から離間させた位置への途中で、前記ヒートシンクを前記放熱部から離れるように降下させかつ前記複数のコンタクトの接触部を前記退避位置から前記半導体装置の各リード端子と接触する位置へ移動させ、
前記往復動部材を前記ベース部材から離間させた位置まで移動させ、前記複数のコンタクトの接触部が前記半導体装置のリード端子と接触している状態において前記ヒートシンクを上昇させ、前記ヒートシンクを前記放熱部に接触させる、ステップを含む半導体装置の装着方法。 - 前記往復動部材が前記ベース部材から離間させた位置にあるとき、前記ヒートシンクは前記放熱部に弾性的に面接触される、請求項26に記載の装着方法。
- 前記複数のコンタクトの各々は、互いに独立した1組の第1、第2のコンタクトを有し、前記第1、第2のコンタクトが前記半導体装置のリード端子とケルビン接続可能である、請求項26に記載の装着方法。
- 前記往復動部材が前記接近された位置にあるとき、前記往復動部材と係合する第1のコンタクトの接触部が前記退避位置にあり、前記往復動部材が前記接近された位置から離間された位置へ戻る位置にあるとき、前記第1のコンタクトの接触部が前記退避位置から原位置へ向けて移動され、前記第1、第2のコンタクトの接触部により前記半導体装置のリード端子を挟持する、請求項26ないし28何れかに記載の装着方法。
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