JP4476773B2 - 電子ビーム制御方法および電子ビーム描画装置 - Google Patents
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Description
6 偏向制御装置
31 ブランキング偏向器
32 CP選択偏向器
33 主偏向器
34 副偏向器
Claims (5)
- 電子ビームが試料に照射されないようにブランキング電極により電子ビームの軌道を制御し、
複数のパターン開口が形成されたアパーチャマスク上のいずれかのパターン開口を電子ビームが通過するように、複数の電極部からなるキャラクタビーム電極によりパターン開口の選択を行い、
前記複数の電極部のそれぞれが行う電子ビームの偏向動作の同期誤差が所定の許容値以下か否かを判定し、
前記ブランキング電極を駆動させた状態で、前記キャラクタビーム電極にて前記複数のパターン開口を順次選択して、試料に電子ビームが照射されるか否かを判定し、
前記ビーム照射判定部により試料に電子ビームが照射されると判定されると、前記許容値を小さくすることを特徴とする電子ビーム制御方法。 - 試料に電子ビームが照射されると判定されると、前記複数の電極部それぞれの偏向感度を用いて偏向量を換算し、該偏向量の同期誤差が前記許容値以下か否かを判定することを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム制御方法。
- 電子ビームを、レジストを塗布したダミー試料からそらした状態で、前記キャラクタビーム電極にて前記複数のパターン開口を順次選択して、前記ダミー試料に電子ビームが照射されるか否かを判定し、その後に前記ダミー試料を現像処理して、電子ビームの照射の有無を検出することを特徴とする請求項1または2に記載の電子ビーム制御方法。
- 試料または試料を載置するステージに照射された電子ビームの反射電子、散乱電子または2次電子を検出するか、または前記ステージ上に配置されたファラデーカップにより電子ビームを検出することにより、試料に電子ビームが照射されたか否かを判定することを特徴とする請求項1または2に記載の電子ビーム制御方法。
- 電子ビームが試料に照射されないように電子ビームの軌道を制御するブランキング電極と、
複数の電極部からなり、複数のパターン開口が形成されたアパーチャマスク上のいずれかのパターン開口を電子ビームが通過するようにパターン開口の選択を行うキャラクタビーム電極と、
前記ブランキング電極および前記キャラクタビーム電極に供給する電圧または電流を制御する偏向制御部と、を備え、
前記偏向制御部は、
前記複数の電極部のそれぞれによる電子ビームの偏向動作の同期誤差が所定の許容値以下か否かを判定する同期誤差判定部と、
前記ブランキング電極を駆動させた状態で、前記キャラクタビーム電極にて前記複数のパターン開口を順次選択して、試料に電子ビームが照射されるか否かを判定するビーム照射判定部と、
前記ビーム照射判定部により試料に電子ビームが照射されると判定されると、前記許容値を小さくする許容値制御部と、を有することを特徴とする電子ビーム描画装置。
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