JP4474721B2 - 有機又は無機発光素子 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばカラーディスプレイ等の表示素子として用いられる自発光型の発光素子、及びその用途に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、とくにマルチメディア指向の製品等においては、人間と機械とのインターフェースの重要性が高まってきている。その機械をより快適に効率よく操作するには、機械の側から充分な量の情報を簡潔に瞬時に取り出す必要があり、そのため、ディスプレイを初めとする様々な表示素子の研究が行われている。
【０００３】
この表示素子は、機械の小型化に伴い小型化、薄型化に対する要求が日々、強くなっている。以下、主な表示素子の具体例について説明する。
【０００４】
液晶ディスプレイは、代表的な表示素子の一つとして今日、種々の製品のインターフェースに用いられており、ラップトップ型情報処理機器を始め、小型テレビ、時計、電卓等々、日常生活製品に多く用いられている。
【０００５】
この液晶ディスプレイは、液晶が低電圧駆動、低消費電力であるという特徴を生かして、小型から大容量表示デバイスに至るまで、専らかなめのインターフェースとして、研究されてきた。
【０００６】
しかし、この液晶ディスプレイは、受光型なのでバックライトが欠かせず、そのバックライトの駆動には液晶のそれより大きな電力を必要とする。したがって、蓄電池等が内臓されているとはいえ給電に限界があり、稼動時間が短くなるなど、使用上の制限が出る問題がある。
【０００７】
さらに、この液晶ディスプレイについては、特有の問題点を指摘することができる。
【０００８】
まず、視野角が狭いために大型ディスプレイ等の大型表示には適していないこと、また液晶ディスプレイは液晶分子の配向状態による表示であるので、その視野角の中においても、角度によってはコントラストが変化してしまうこと、が問題である。
【０００９】
一方、駆動方式からみると、液晶ディスプレイのアクティブマトリクス方式は、動画を扱うのに十分な応答速度を示す反面、ＴＦＴ駆動回路を用いるので、画素欠陥により画面サイズを大型化することが困難であり、またコストダウンを計る上からも得策ではない。
【００１０】
また、もう一つの駆動方式である単純マトリクス方式は、上記とは裏腹にコストは低いし、画面サイズの大型化も比較的容易であるが、動画を扱うのに十分な応答速度が出せない、という問題がある。
【００１１】
このような液晶素子に対して、以下に述べるプラズマ表示素子や無機電界発光素子、有機電界発光素子などは、自発光型に属する表示素子である。
【００１２】
まず、プラズマ表示素子は低圧ガス中でのプラズマ発光を表示に利用したもので、大型化、大容量化に適している。しかし、薄型化やコスト面で問題を抱えており、さらに駆動に高電圧の交流バイアスを必要とし、携帯用デバイスには適していない。
【００１３】
また、無機電界発光素子は、緑色発光ディスプレイ等が商品化されたが、プラズマ表示素子と同様、交流バイアス駆動で数百Ｖを必要としたため、ユーザーに受け入れられなかった。
【００１４】
もっとも、その後の技術的進歩の結果、今日ではカラーディスプレイ表示に必要なＲＧＢ三原色の発光に成功しているが、構成に無機材料が欠かせないので、分子設計等による発光波長などの制御は無理であり、フルカラー化には困難が伴うと予想される。
【００１５】
一方、有機電界発光素子は、有機化合物による電界発光を利用するもので、この現象は既に今から約３０数年前に発見されている。すなわち、１９６０年代前半に、強く蛍光を発生するアントラセン単結晶へキャリアを注入すると、特異な発光現象（ルミネセンスの誘起による）の生じるのが観測された。それ以来、有機電界発光素子は長期間にわたって研究の対象にされてきたが、何分にも低揮度、単色で、しかも単結晶を用いるため、主に有機材料へのキャリア注入の点に技術的重点が置かれ、基礎的研究段階の域を出なかった。
【００１６】
それが、１９８０年代も半ばを過ぎる頃になると、事情が変わってくる。１９８７年にＥａｓｔｍａｎ Ｋｏｄａｋ社のＴａｎｇらが当時としては画期的な有機薄膜電界発光素子を発表した。これは、アモルファス発光層を有する積層構造体で、低電圧駆動、高輝度発光が可能である。この積層構造体の発明がきっかけとなって有機電界発光素子の研究開発は一段と弾みがつき、ＲＧＢ三原色の発光、安定性、輝度上昇、積層構造、及び製造方法と研究が多方面で盛んに行われるようになり、今日に至っている。
【００１７】
なお、そのほかにも、有機材料の特長である分子設計等を利用して次々とディスプレイ用の新規材料が開発され、直流低電圧駆動、薄型、自発光性など、それなりに優れた特徴を有する有機電界発光素子が相次いで出現し、そのカラーディスプレイへの応用研究も盛んに行われつつある。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
以上、代表的な表示素子の長所、短所、あるいは開発の歴史について述べてきたが、本発明はこれらの表示素子のうち、有機電界発光素子と無機電界発光素子の改良に係わるものなので、以下、それらの発光素子が今日抱えている、各方面からとくに改善の要ありと指摘されている問題点について説明する。
【００１９】
コントラスト（特性）は、ディスプレイの主たる性能の一つであるが、前述した有機電界発光素子や無機電界発光素子などの自発光型表示素子ではメタルバック（金属陰極による外光の反射）等の影響により、充分なコントラストが得られていない。とくに有機電界発光素子のコントラストは、せいぜい２００：１程度であり、これを上回る充分なコントラストを有する表示素子の開発が各方面から要求されている。
【００２０】
また、有機電界発光素子の発光効率も未だ不十分である。その原因の一つとして、電極から有機層へのキャリアの注入効率が小さいことが挙げられる。
【００２１】
さらに、有機電界発光素子の開発上の大きな障害は、陽極材料がＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ2及びそれらの関連物質にほぼ限定されていて、ホール注入材料が、陽極材料とのエネルギーマッチングに大きく制約されていることである。
【００２２】
本発明は上記事情を改善するためになされたもので、その目的は、高輝度を維持しながらコントラストを向上させた発光素子（有機電界発光素子、無機電界発光素子など）を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、発光領域を含む層が陽極と陰極との間に設けられ、前記陽極の可視光透過率が３５％〜７５％である有機又は無機発光素子であって、
前記陽極が、ＩＴＯ層と、前記発光領域を含む層の側に設けられた、Ｌｉをドープし てなるＮｉＯ：Ｌｉ又はＬｉＮｉＯ2層との積層体によって形成されている、
有機又は無機発光素子に係るものである。
【００２４】
ただし、前記発光領域を含む前記層とは、後述するようにしかるべき機能を備えた有機化合物層及び／又は無機化合物層で構成されるものであり、前記可視光とは、通常３８０〜７８０ｎｍの波長を有する電磁波のことを言う。
【００２５】
本発明者の検討によれば、前記陽極の可視光透過率を３５〜７５％、好ましくは４０〜７０％の範囲に特定すると、言い換えれば、この陽極を光学的に特定の「半透明」な状態に構成しておくと、発光素子は、有機電界発光素子に限らず無機電界発光素子も高輝度を維持しながら、コントラストを確実に向上させることができる。即ち、陽極の光透過率を上記範囲に設定すれば、素子へ入射する外光の入射量とこの入射光の金属陰極での反射光の透過量も減らせるため、コントラストが向上し、かつ、上記光透過率の範囲との材料的にみて広範囲の中からホール注入層とのエネルギーレベルのマッチングのとれた陽極材料を選べ、これによって光透過率が低下してもキャリア注入量（発光量）を増やし、高輝度を保持することができる。反対に、上記光透過率範囲を外れると、上記の効果が発揮されない。
【００２６】
【発明の実施の形態】
そして、特に、有機電界発光素子の場合は、陽極を上記した３５〜７５％の光透過率としたので、陽極の仕事関数を３．０〜７．０ｅＶの範囲内に任意に規定でき、陽極材料としてホール注入層とエネルギーマッチングがとれるもの（すなわち、両者間のエネルギーマッチングの最適化をはかること）によって、ホールの注入効率を向上させ、発光効率を高めることができる。
【００２７】
しかも、こうすれば陽極材料は選択幅が広がり、ホール注入材料に対する制約が解消されるとともに、ホール注入材料についても、陽極材料に対する制約が解消され、両者ともこれまでに比べてより広範囲な材料を用いることが可能である。
【００２８】
以下、本発明を好ましい実施の形態に基いて更に具体的に説明する。
【００２９】
本発明において、高輝度の維持及びコントラストの向上の効果を発揮させるには、前記陽極を可視光域（通常、波長が３８０〜７８０ｎｍのもの）全体にわたって、３５〜７５％の透過率に維持することが重要である。
【００３０】
この目的達成のためには、陽極の構成材料として、周期表のIIIＡ族、IVＡ族、ＶＡ族、VIIＡ族、VIIIＡ族、ＩＢ族、モリブデン及びタングステンから選ばれた１種又は２種以上の金属、又はその化合物を用いることが好ましい。
【００３１】
上記金属の具体例としては、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｅ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ及びＷなどがある。
【００３２】
また、前記金属化合物としては、酸化物、窒化物又は酸窒化物が好ましい。これらの具体例を挙げると、ＬｉＮｉＯ2、ＰｔＲｈＯx、ＴｉＮｂＯx、ＷＲｅＯx、ＮｉＯ、ＲｕＯx、ＩｒＯx、ＰｔＯx、ＲｈＯx、ＰｄＯx、ＲｅＯx、ＷＯx、ＮｉＮＯ、ＬｉＮｉＮＯ、ＲｕＮＯ、ＩｒＮＯ、ＰｔＮＯ、ＲｈＮＯ、ＲｅＮＯ、ＷＮＯ、ＴｉＮＯ、ＴｉＮおよびＺｒＮなどがある。
【００３３】
また、陽極の物理化学的特性を向上させるために、陽極材にドーパントを添加するとよい。そのドーパントを添加した陽極材の主な例を挙げると、ＲXＮｉＯ（Ｒ＝Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃs、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ）、ＲxＷＯ3（Ｒ＝Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃs、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ）、ＴｉＮｂxＯyなどがある。
【００３４】
ただし、上記陽極材料の組成は、必ずしも化学量論組成である必要はなく、不定比であってもよい。
【００３５】
さらに、陽極材料の結晶相については単相、複数相のどちらでもよい。
【００３６】
もちろん、陽極層のモルフォロジーについては、特に限定しない。平滑度が高くて一様な膜、たとえばアモルファス、微結晶、エピタキシャル膜、単結晶膜もしくは、これらに類似したものが望ましい。
【００３７】
また、ホールの注入効率を上げるために、陽極材料はｐ型の電気伝導特性を有していることが好ましい。
【００３８】
陽極は単層でも複数層でもよい。とくにＩＴＯ等の透明電極と積層構造にする場合は、組成と層厚とを最適化することによって、前記光透過率と、後述する仕事関数と、電気抵抗率とを、他の特性を損なうことなく所望にコントロールすることができる。
【００３９】
前記相及び層に関して好ましい陽極の構造例を挙げると、既述した金属又は金属酸化物を含む相と、亜鉛、インジウム又はスズを含む相とが単層化又は積層化された構造が好ましい。
【００４０】
また、本発明においては、前記陽極が前記半透明の条件を備えるだけでなく、その仕事関数が３．０〜７．０ｅＶに規定されていることが好ましい。
【００４１】
これらの条件を満足すると、ホール注入層と陽極間のエネルギーマッチングの最適化を行うことができ、ホールの注入効率を向上させ、発光効率を高めることができるばかりでなく、ホール注入層と陽極とを相互に拘束する制約を解消でき、それぞれより広範囲の材料系を用いることが可能である。
【００４２】
なお、本発明における発光素子の陽極を製造するには、この分野で公知の製膜法、たとえばスパッタッリング、電子ビーム蒸着、イオンプレーティング、レーザアブレーションなどの手法によればよい。
【００４３】
既述したように、これまでは外部光の取出し効率を上げる目的で、陽極にはもっぱらＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ2及びこれらの関連物質と、限られた材料が用いられ、可視光透過率を８０％以上と所謂「透明電極」にするのが通例であった。その結果、ホール注入材料及び陽極材料は、互いにエネルギーマッチングに強く制約され、選択使用幅がごく狭いものであった。この問題を、前記陽極に係わる特定条件の確立によって解決したのが、本発明に他ならない。
【００４４】
次に、本発明の発光素子が実際にどのような構造をもつのか、具体的に好ましい例を、適宜、図面を参照しながら説明する。
【００４５】
まず、本発明の発光素子の好ましい実際的な基本構造は、透明基板の上に、陽極と、発光領域を含む有機又は無機層と、陰極とが順次積層されているものである。
【００４６】
更に、前記有機層は目的に応じてその層構成に種々の変形が可能であり、たとえば前記陽極側にホール輸送層、前記陰極側に電子輸送層を夫々、設けることができる。
【００４７】
また、前記陽極と前記ホール輸送層との間にホール注入層を設けることができる。
【００４８】
さらにまた、前記ホール輸送層と前記電子輸送層との間に発光層を設けることができる。
【００４９】
図１に、本発明の発光素子の一例を示す。これは有機電界発光素子と呼ばれるもので、ここでは上述した層構造にさらに若干の工夫がこらされたものを示す。すなわち、図１（Ａ）の発光素子は透明基板１の上に陽極２、ホール注入層３、ホール輸送層４、発光層５、電子輸送層６、電子注入層７、バッファ層８及び陰極９が真空蒸着等により順に積層されたものである。
【００５０】
それに対して、図１（Ｂ）に示す発光素子は、図１（Ａ）に示した発光素子と各層がちょうど逆に構成されたものである。
【００５１】
また、図２に示す発光素子は、いわゆる無機電界発光素子と呼ばれるものであって、透明基板１の上に陽極２、発光層５、及び陰極９が順次、積層されたものである。
【００５２】
前述した、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、バッファー層及び陰極の材料については、この種の分野で公知の材料が使え、とくに限定はない。
【００５３】
たとえば、ホール輸送層の構成には、ベンジジン誘導体、スチリルアミン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、トリフェニル（又はアリール）アミン誘導体、及びヒドラゾン誘導体などが用いられる。中でも、図３に示すα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）などはよく用いられるホール輸送材料である。
【００５４】
また、電子輸送層の構成には、ペリレン誘導体、ビススチリル誘導体、ピラジン誘導体などが用いられる。たとえば、図４に示すＡｌｑ3（8-hydroxy quinoline alminum）などは、好ましい電子輸送材料である。
【００５５】
また、ホール注入層の構成には、たとえば図５に示すｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4"-tris(3-methylphenylphenylamino)triphenylamine）などは好ましいホール注入材料である。
【００５６】
発光層の発光スペクトル制御のためには、他の有機材料の共蒸着を行ってもよく、たとえばペリレン誘導体、クマリン誘導体、ベンジシン誘導体などがある。もちろん、ピラン誘導体等の材料を含む有機膜であってもよい。
【００５７】
陰極材料としては、効率よく電子を他層へ注入するために、材料の真空準位からの仕事関数の小さな金属を用いるのが好ましく、たとえば、Ｉｎ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉなどを他の金属との合金として、安定性を高めて使用するのがよい。
【００５８】
バッファ層については、効率よく電子を他層へ注入するために、たとえば陰極材料と電子注入材料との層間にＬｉ2Ｏ、ＬｉＦ、ＳｒＯ、ＣａＦ2などのなどのアルカリ金属酸化物、アルカリ金属弗化物、アルカリ土類酸化物、アルカリ土類弗化物を介在させるとよい。
【００５９】
なお、本発明の発光素子を駆動するときは、大気中の酸素等による影響を排除し、安定性を高めるために、あらかじめ例えばゲルマニウム酸化物などで封止を行ったり、あるいは周囲空間を真空に引いた状態にしておくことが望ましい。
【００６０】
本発明の発光素子は、ディスプレイ、コンピュータ、テレビジョン受像機、ビルボード、スタジオ用スクリーン、ファクシミリ、携帯電話、携帯端末、乗り物又は音響機器に用いて好適である。
【００６１】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明する。
【００６２】
例１
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１２０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで２５％、仕事関数は５．５１ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６３】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３８．７ｍＡ／ｃｍ2、輝度は４４０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４４ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１８０：１だった。
【００６４】
例２
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１００ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで３０％、仕事関数は５．５２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６５】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３８．７ｍＡ／ｃｍ2、輝度は５２８ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２２０：１だった。
【００６６】
例３
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約８０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで３５％、仕事関数は５．５ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６７】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２．０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３８．８ｍＡ／ｃｍ2、輝度は６２０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４６ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２５０：１だった。
【００６８】
例４
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約７０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで４０％、仕事関数は５．４７ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６９】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４１．０ｍＡ／ｃｍ2、輝度は８００ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４９ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３２０：１だった。
【００７０】
例５
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約６０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで４３％、仕事関数は５．４５ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７１】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４１．５ｍＡ／ｃｍ2、輝度は８８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５０ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３５０：１だった。
【００７２】
例６
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約５５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで４６％、仕事関数は５．４０ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７３】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４２．１ｍＡ／ｃｍ2、輝度は９７０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３８０：１だった。
【００７４】
例７
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約４０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで５０％、仕事関数は５．３８ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７５】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４１．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１０３０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５９ｃｄ／ｍ2で、コントラストは４００：１だった。
【００７６】
例８
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約３０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで５８％、仕事関数は５．３２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７７】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４０．０ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１１１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．６８ｃｄ／ｍ2で、コントラストは４２０：１だった。
【００７８】
例９
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約２２ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで６３％、仕事関数は５．３１ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７９】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３９．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１２００ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．９２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは４１０：１だった。
【００８０】
例１０
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１８ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで７０％、仕事関数は５．２７ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８１】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３７．２ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１０５０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．１０ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３４０：１だった。
【００８２】
例１１
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで７５％、仕事関数は５．２７ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８３】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３４．８ｍＡ／ｃｍ2、輝度は９８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．４９ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２９０：１だった。
【００８４】
例１２
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで８０％、仕事関数は５．１０ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８５】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３２．２ｍＡ／ｃｍ2、輝度は８８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．７８ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２３０：１だった。
【００８６】
例１３
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで９０％、仕事関数は４．８０ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極として、Ａｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８７】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は２１．９ｍＡ／ｃｍ2、輝度は５５６ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．９２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１４０：１だった。
【００８８】
以上、例１〜例１２及び例１３における、有機電界発光素子の陽極の光透過率（光の波長は５２０ｎｍ）に対する６Ｖ駆動時のコントラスト及び輝度の関係を図６に示す。この図から明らかなように、陽極の光透過率が３５％以上７５％以下において２５０：１以上のコントラストが達成された。更に、陽極の光透過率が４０以上７０％以下において３００：１以上のコントラストが達成された。更にまた、陽極の光透過率５０％以上７０％以下においては３００：１以上のコントラストと１０００ｃｄ／ｍ2以上の輝度が同時に達成された。
【００８９】
例１４
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ：Ｌｉ（Ｌｉ濃度は約１ｍｏｌ％、膜厚約２５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで６０％、仕事関数は５．３２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉＦを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００９０】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は６３．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は２７２０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．８６ｃｄ／ｍ2で、コントラストは９５０：１だった。
【００９１】
例１５
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＬｉＮｉＯ2（膜厚約２５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで６０％、仕事関数は５．３２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉＦを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００９２】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は１１９ｍＡ／ｃｍ2、輝度は３１１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．９５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１０５０：１だった。
【００９３】
例１６
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉＦを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００９４】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は５８．２ｍＡ／ｃｍ2、輝度は２２１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．９５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは５６０：１だった。
【００９５】
例１７
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陰極としてＡｌ−Ｌｉを約２００ｎｍ（Ｌｉ濃度約１ｍｏｌ％）、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ、真空蒸着法によりした。次に、ＳｉＯ2で２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外を真空蒸着によりマスクした。更に、陽極としてＲｕＯ2（膜厚約６ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより製膜し、有機電界発光素子を作製した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍの光で５８％、仕事関数は５．１８ｅＶだった。
【００９６】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３４．４ｍＡ／ｃｍ2、輝度は７８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３２０：１だった。
【００９７】
例１８
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陰極としてＡｌ−Ｌｉを約２００ｎｍ（Ｌｉ濃度約１ｍｏｌ％）、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ、真空蒸着法によりした。次に、ＳｉＯ2で２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外を真空蒸着によりマスクした。更に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより製膜し、有機電界発光素子を作製した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍの光で９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。
【００９８】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は２０．５ｍＡ／ｃｍ2、輝度は５２０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．５１ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１５０：１だった。
【００９９】
例１９
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）と、ＮｉＯ：Ｌｉ（Ｌｉ濃度は約１ｍｏｌ％、膜厚約２０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍで６８％、仕事関数は５．２９ｅＶだった。
この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔注入層としてｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4"-tris[N−(3-methylphenylphenylamino]triphenylamine）を真空蒸着法により真空下で２５ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【０１００】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３４,０．５６）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧１０Ｖ時の電流密度は１４．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は７１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．８２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２５０：１だった。
【０１０１】
例２０
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍで９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔注入層としてｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4"-tris［N−(3-methylphenylphenylamino］triphenylamine）を真空蒸着法により真空下で２５ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【０１０２】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３４,０．５６）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧１０Ｖ時の電流密度は１１．０ｍＡ／ｃｍ2、輝度は４９８ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．８４ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１３０：１だった。
【０１０３】
例２１
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＬｉＮｉＯ2（膜厚約４０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍで４８％、仕事関数は５．４０ｅＶだった。この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした発光素子作製用のＩＴＯ基板を作製した。この上に発光中心の蛍光体がＣａＣａ2Ｓ4：Ｃｅからなる無機ＥＬ素子を作製した。これを５Ｖ、６０Ｈｚで駆動したところ、最高輝度は１５ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは６：１だった。
【０１０４】
例２２
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍの光で９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした発光素子作製用のＩＴＯ基板を作製した。この上に発光中心の蛍光体がＣａＣａ2Ｓ4：Ｃｅからなる無機ＥＬ素子を作製した。これを５Ｖ、６０Ｈｚで駆動したところ、最高輝度は８ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．９２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２：１だった。この無機ＥＬ素子を前記例２１のそれと比較すると、輝度、コントラストとも低く、後者の方が効率良く発光していることは明らかであった。
【０１０５】
また、以上の例１〜２２で得られた陽極の可視光（波長５２０ｎｍ）透過率、仕事関数及びコントラストの結果を表１に示す。
【０１０６】
また、例１〜１３において得られた光透過率（５２０ｎｍ）に対する輝度及びコントラストの関係を図６に示し、例１〜１３において得られた光透過スペクトルの結果を図７に示し、更に例９及び例１３における直流駆動時の電圧−輝度特性の関係を図８に示す。
【表１】
【０１０７】
以上説明したように、本発明の発光素子（例３〜１１、１４、１５、１７、１９、２１）はその陽極が光透過率３５〜７５％に規定されているので、高輝度を維持しながら、コントラストを確実に向上させることができ、更に陽極の仕事関数が３．０〜７．０ｅＶに規定されていると、発光素子のホール注入効率が改善され、発光効率が向上するだけでなく、ホール注入層と陽極の両層間のエネルギーマッチングの最適化を計ることによって、陽極、ホール注入層の材料の選択の幅が広がり、広範囲の材料を用いることができる。
【０１０８】
【発明の作用効果】
本発明は上述した如く、前記陽極の可視光透過率を３５〜７５％の範囲に特定されているので、発光素子は有機電界発光素子に限らず無機電界発光素子も高輝度を維持しながら、コントラストを確実に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による有機電界発光素子の構成を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態による無機電界発光素子の構成を示す模式的な断面図である。
【図３】有機電界発光素子のホール輸送層に用いられるα−ＮＰＤの構造式を示す図である。
【図４】同、発光素子の電子輸送層に用いられるＡｌｑ3の構造式を示す図である。
【図５】同、ホール注入層に用いられるｍ−ＭＴＤＡＴＡの構造式を示す図である。
【図６】発光素子の陽極の光透過率に対する輝度及びコントラストの関係を示す線図である。
【図７】発光素子の光透過スペクトルを示す線図である。
【図８】発光素子の直流駆動時の電圧−輝度特性を示す線図である。
【符号の説明】
１…ガラス基板、２…陽極、３…ホール注入層、４…ホール輸送層、
５…発光層、６…電子輸送層、７…電子注入層、８…バッファ層、９…陰極
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばカラーディスプレイ等の表示素子として用いられる自発光型の発光素子、及びその用途に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、とくにマルチメディア指向の製品等においては、人間と機械とのインターフェースの重要性が高まってきている。その機械をより快適に効率よく操作するには、機械の側から充分な量の情報を簡潔に瞬時に取り出す必要があり、そのため、ディスプレイを初めとする様々な表示素子の研究が行われている。
【０００３】
この表示素子は、機械の小型化に伴い小型化、薄型化に対する要求が日々、強くなっている。以下、主な表示素子の具体例について説明する。
【０００４】
液晶ディスプレイは、代表的な表示素子の一つとして今日、種々の製品のインターフェースに用いられており、ラップトップ型情報処理機器を始め、小型テレビ、時計、電卓等々、日常生活製品に多く用いられている。
【０００５】
この液晶ディスプレイは、液晶が低電圧駆動、低消費電力であるという特徴を生かして、小型から大容量表示デバイスに至るまで、専らかなめのインターフェースとして、研究されてきた。
【０００６】
しかし、この液晶ディスプレイは、受光型なのでバックライトが欠かせず、そのバックライトの駆動には液晶のそれより大きな電力を必要とする。したがって、蓄電池等が内臓されているとはいえ給電に限界があり、稼動時間が短くなるなど、使用上の制限が出る問題がある。
【０００７】
さらに、この液晶ディスプレイについては、特有の問題点を指摘することができる。
【０００８】
まず、視野角が狭いために大型ディスプレイ等の大型表示には適していないこと、また液晶ディスプレイは液晶分子の配向状態による表示であるので、その視野角の中においても、角度によってはコントラストが変化してしまうこと、が問題である。
【０００９】
一方、駆動方式からみると、液晶ディスプレイのアクティブマトリクス方式は、動画を扱うのに十分な応答速度を示す反面、ＴＦＴ駆動回路を用いるので、画素欠陥により画面サイズを大型化することが困難であり、またコストダウンを計る上からも得策ではない。
【００１０】
また、もう一つの駆動方式である単純マトリクス方式は、上記とは裏腹にコストは低いし、画面サイズの大型化も比較的容易であるが、動画を扱うのに十分な応答速度が出せない、という問題がある。
【００１１】
このような液晶素子に対して、以下に述べるプラズマ表示素子や無機電界発光素子、有機電界発光素子などは、自発光型に属する表示素子である。
【００１２】
まず、プラズマ表示素子は低圧ガス中でのプラズマ発光を表示に利用したもので、大型化、大容量化に適している。しかし、薄型化やコスト面で問題を抱えており、さらに駆動に高電圧の交流バイアスを必要とし、携帯用デバイスには適していない。
【００１３】
また、無機電界発光素子は、緑色発光ディスプレイ等が商品化されたが、プラズマ表示素子と同様、交流バイアス駆動で数百Ｖを必要としたため、ユーザーに受け入れられなかった。
【００１４】
もっとも、その後の技術的進歩の結果、今日ではカラーディスプレイ表示に必要なＲＧＢ三原色の発光に成功しているが、構成に無機材料が欠かせないので、分子設計等による発光波長などの制御は無理であり、フルカラー化には困難が伴うと予想される。
【００１５】
一方、有機電界発光素子は、有機化合物による電界発光を利用するもので、この現象は既に今から約３０数年前に発見されている。すなわち、１９６０年代前半に、強く蛍光を発生するアントラセン単結晶へキャリアを注入すると、特異な発光現象（ルミネセンスの誘起による）の生じるのが観測された。それ以来、有機電界発光素子は長期間にわたって研究の対象にされてきたが、何分にも低揮度、単色で、しかも単結晶を用いるため、主に有機材料へのキャリア注入の点に技術的重点が置かれ、基礎的研究段階の域を出なかった。
【００１６】
それが、１９８０年代も半ばを過ぎる頃になると、事情が変わってくる。１９８７年にＥａｓｔｍａｎ Ｋｏｄａｋ社のＴａｎｇらが当時としては画期的な有機薄膜電界発光素子を発表した。これは、アモルファス発光層を有する積層構造体で、低電圧駆動、高輝度発光が可能である。この積層構造体の発明がきっかけとなって有機電界発光素子の研究開発は一段と弾みがつき、ＲＧＢ三原色の発光、安定性、輝度上昇、積層構造、及び製造方法と研究が多方面で盛んに行われるようになり、今日に至っている。
【００１７】
なお、そのほかにも、有機材料の特長である分子設計等を利用して次々とディスプレイ用の新規材料が開発され、直流低電圧駆動、薄型、自発光性など、それなりに優れた特徴を有する有機電界発光素子が相次いで出現し、そのカラーディスプレイへの応用研究も盛んに行われつつある。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
以上、代表的な表示素子の長所、短所、あるいは開発の歴史について述べてきたが、本発明はこれらの表示素子のうち、有機電界発光素子と無機電界発光素子の改良に係わるものなので、以下、それらの発光素子が今日抱えている、各方面からとくに改善の要ありと指摘されている問題点について説明する。
【００１９】
コントラスト（特性）は、ディスプレイの主たる性能の一つであるが、前述した有機電界発光素子や無機電界発光素子などの自発光型表示素子ではメタルバック（金属陰極による外光の反射）等の影響により、充分なコントラストが得られていない。とくに有機電界発光素子のコントラストは、せいぜい２００：１程度であり、これを上回る充分なコントラストを有する表示素子の開発が各方面から要求されている。
【００２０】
また、有機電界発光素子の発光効率も未だ不十分である。その原因の一つとして、電極から有機層へのキャリアの注入効率が小さいことが挙げられる。
【００２１】
さらに、有機電界発光素子の開発上の大きな障害は、陽極材料がＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ2及びそれらの関連物質にほぼ限定されていて、ホール注入材料が、陽極材料とのエネルギーマッチングに大きく制約されていることである。
【００２２】
本発明は上記事情を改善するためになされたもので、その目的は、高輝度を維持しながらコントラストを向上させた発光素子（有機電界発光素子、無機電界発光素子など）を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、発光領域を含む層が陽極と陰極との間に設けられ、前記陽極の可視光透過率が３５％〜７５％である有機又は無機発光素子であって、
前記陽極が、ＩＴＯ層と、前記発光領域を含む層の側に設けられた、Ｌｉをドープし てなるＮｉＯ：Ｌｉ又はＬｉＮｉＯ2層との積層体によって形成されている、
有機又は無機発光素子に係るものである。
【００２４】
ただし、前記発光領域を含む前記層とは、後述するようにしかるべき機能を備えた有機化合物層及び／又は無機化合物層で構成されるものであり、前記可視光とは、通常３８０〜７８０ｎｍの波長を有する電磁波のことを言う。
【００２５】
本発明者の検討によれば、前記陽極の可視光透過率を３５〜７５％、好ましくは４０〜７０％の範囲に特定すると、言い換えれば、この陽極を光学的に特定の「半透明」な状態に構成しておくと、発光素子は、有機電界発光素子に限らず無機電界発光素子も高輝度を維持しながら、コントラストを確実に向上させることができる。即ち、陽極の光透過率を上記範囲に設定すれば、素子へ入射する外光の入射量とこの入射光の金属陰極での反射光の透過量も減らせるため、コントラストが向上し、かつ、上記光透過率の範囲との材料的にみて広範囲の中からホール注入層とのエネルギーレベルのマッチングのとれた陽極材料を選べ、これによって光透過率が低下してもキャリア注入量（発光量）を増やし、高輝度を保持することができる。反対に、上記光透過率範囲を外れると、上記の効果が発揮されない。
【００２６】
【発明の実施の形態】
そして、特に、有機電界発光素子の場合は、陽極を上記した３５〜７５％の光透過率としたので、陽極の仕事関数を３．０〜７．０ｅＶの範囲内に任意に規定でき、陽極材料としてホール注入層とエネルギーマッチングがとれるもの（すなわち、両者間のエネルギーマッチングの最適化をはかること）によって、ホールの注入効率を向上させ、発光効率を高めることができる。
【００２７】
しかも、こうすれば陽極材料は選択幅が広がり、ホール注入材料に対する制約が解消されるとともに、ホール注入材料についても、陽極材料に対する制約が解消され、両者ともこれまでに比べてより広範囲な材料を用いることが可能である。
【００２８】
以下、本発明を好ましい実施の形態に基いて更に具体的に説明する。
【００２９】
本発明において、高輝度の維持及びコントラストの向上の効果を発揮させるには、前記陽極を可視光域（通常、波長が３８０〜７８０ｎｍのもの）全体にわたって、３５〜７５％の透過率に維持することが重要である。
【００３０】
この目的達成のためには、陽極の構成材料として、周期表のIIIＡ族、IVＡ族、ＶＡ族、VIIＡ族、VIIIＡ族、ＩＢ族、モリブデン及びタングステンから選ばれた１種又は２種以上の金属、又はその化合物を用いることが好ましい。
【００３１】
上記金属の具体例としては、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｅ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ及びＷなどがある。
【００３２】
また、前記金属化合物としては、酸化物、窒化物又は酸窒化物が好ましい。これらの具体例を挙げると、ＬｉＮｉＯ2、ＰｔＲｈＯx、ＴｉＮｂＯx、ＷＲｅＯx、ＮｉＯ、ＲｕＯx、ＩｒＯx、ＰｔＯx、ＲｈＯx、ＰｄＯx、ＲｅＯx、ＷＯx、ＮｉＮＯ、ＬｉＮｉＮＯ、ＲｕＮＯ、ＩｒＮＯ、ＰｔＮＯ、ＲｈＮＯ、ＲｅＮＯ、ＷＮＯ、ＴｉＮＯ、ＴｉＮおよびＺｒＮなどがある。
【００３３】
また、陽極の物理化学的特性を向上させるために、陽極材にドーパントを添加するとよい。そのドーパントを添加した陽極材の主な例を挙げると、ＲXＮｉＯ（Ｒ＝Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃs、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ）、ＲxＷＯ3（Ｒ＝Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃs、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ）、ＴｉＮｂxＯyなどがある。
【００３４】
ただし、上記陽極材料の組成は、必ずしも化学量論組成である必要はなく、不定比であってもよい。
【００３５】
さらに、陽極材料の結晶相については単相、複数相のどちらでもよい。
【００３６】
もちろん、陽極層のモルフォロジーについては、特に限定しない。平滑度が高くて一様な膜、たとえばアモルファス、微結晶、エピタキシャル膜、単結晶膜もしくは、これらに類似したものが望ましい。
【００３７】
また、ホールの注入効率を上げるために、陽極材料はｐ型の電気伝導特性を有していることが好ましい。
【００３８】
陽極は単層でも複数層でもよい。とくにＩＴＯ等の透明電極と積層構造にする場合は、組成と層厚とを最適化することによって、前記光透過率と、後述する仕事関数と、電気抵抗率とを、他の特性を損なうことなく所望にコントロールすることができる。
【００３９】
前記相及び層に関して好ましい陽極の構造例を挙げると、既述した金属又は金属酸化物を含む相と、亜鉛、インジウム又はスズを含む相とが単層化又は積層化された構造が好ましい。
【００４０】
また、本発明においては、前記陽極が前記半透明の条件を備えるだけでなく、その仕事関数が３．０〜７．０ｅＶに規定されていることが好ましい。
【００４１】
これらの条件を満足すると、ホール注入層と陽極間のエネルギーマッチングの最適化を行うことができ、ホールの注入効率を向上させ、発光効率を高めることができるばかりでなく、ホール注入層と陽極とを相互に拘束する制約を解消でき、それぞれより広範囲の材料系を用いることが可能である。
【００４２】
なお、本発明における発光素子の陽極を製造するには、この分野で公知の製膜法、たとえばスパッタッリング、電子ビーム蒸着、イオンプレーティング、レーザアブレーションなどの手法によればよい。
【００４３】
既述したように、これまでは外部光の取出し効率を上げる目的で、陽極にはもっぱらＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ2及びこれらの関連物質と、限られた材料が用いられ、可視光透過率を８０％以上と所謂「透明電極」にするのが通例であった。その結果、ホール注入材料及び陽極材料は、互いにエネルギーマッチングに強く制約され、選択使用幅がごく狭いものであった。この問題を、前記陽極に係わる特定条件の確立によって解決したのが、本発明に他ならない。
【００４４】
次に、本発明の発光素子が実際にどのような構造をもつのか、具体的に好ましい例を、適宜、図面を参照しながら説明する。
【００４５】
まず、本発明の発光素子の好ましい実際的な基本構造は、透明基板の上に、陽極と、発光領域を含む有機又は無機層と、陰極とが順次積層されているものである。
【００４６】
更に、前記有機層は目的に応じてその層構成に種々の変形が可能であり、たとえば前記陽極側にホール輸送層、前記陰極側に電子輸送層を夫々、設けることができる。
【００４７】
また、前記陽極と前記ホール輸送層との間にホール注入層を設けることができる。
【００４８】
さらにまた、前記ホール輸送層と前記電子輸送層との間に発光層を設けることができる。
【００４９】
図１に、本発明の発光素子の一例を示す。これは有機電界発光素子と呼ばれるもので、ここでは上述した層構造にさらに若干の工夫がこらされたものを示す。すなわち、図１（Ａ）の発光素子は透明基板１の上に陽極２、ホール注入層３、ホール輸送層４、発光層５、電子輸送層６、電子注入層７、バッファ層８及び陰極９が真空蒸着等により順に積層されたものである。
【００５０】
それに対して、図１（Ｂ）に示す発光素子は、図１（Ａ）に示した発光素子と各層がちょうど逆に構成されたものである。
【００５１】
また、図２に示す発光素子は、いわゆる無機電界発光素子と呼ばれるものであって、透明基板１の上に陽極２、発光層５、及び陰極９が順次、積層されたものである。
【００５２】
前述した、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、バッファー層及び陰極の材料については、この種の分野で公知の材料が使え、とくに限定はない。
【００５３】
たとえば、ホール輸送層の構成には、ベンジジン誘導体、スチリルアミン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、トリフェニル（又はアリール）アミン誘導体、及びヒドラゾン誘導体などが用いられる。中でも、図３に示すα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）などはよく用いられるホール輸送材料である。
【００５４】
また、電子輸送層の構成には、ペリレン誘導体、ビススチリル誘導体、ピラジン誘導体などが用いられる。たとえば、図４に示すＡｌｑ3（8-hydroxy quinoline alminum）などは、好ましい電子輸送材料である。
【００５５】
また、ホール注入層の構成には、たとえば図５に示すｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4"-tris(3-methylphenylphenylamino)triphenylamine）などは好ましいホール注入材料である。
【００５６】
発光層の発光スペクトル制御のためには、他の有機材料の共蒸着を行ってもよく、たとえばペリレン誘導体、クマリン誘導体、ベンジシン誘導体などがある。もちろん、ピラン誘導体等の材料を含む有機膜であってもよい。
【００５７】
陰極材料としては、効率よく電子を他層へ注入するために、材料の真空準位からの仕事関数の小さな金属を用いるのが好ましく、たとえば、Ｉｎ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉなどを他の金属との合金として、安定性を高めて使用するのがよい。
【００５８】
バッファ層については、効率よく電子を他層へ注入するために、たとえば陰極材料と電子注入材料との層間にＬｉ2Ｏ、ＬｉＦ、ＳｒＯ、ＣａＦ2などのなどのアルカリ金属酸化物、アルカリ金属弗化物、アルカリ土類酸化物、アルカリ土類弗化物を介在させるとよい。
【００５９】
なお、本発明の発光素子を駆動するときは、大気中の酸素等による影響を排除し、安定性を高めるために、あらかじめ例えばゲルマニウム酸化物などで封止を行ったり、あるいは周囲空間を真空に引いた状態にしておくことが望ましい。
【００６０】
本発明の発光素子は、ディスプレイ、コンピュータ、テレビジョン受像機、ビルボード、スタジオ用スクリーン、ファクシミリ、携帯電話、携帯端末、乗り物又は音響機器に用いて好適である。
【００６１】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明する。
【００６２】
例１
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１２０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで２５％、仕事関数は５．５１ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６３】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３８．７ｍＡ／ｃｍ2、輝度は４４０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４４ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１８０：１だった。
【００６４】
例２
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１００ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで３０％、仕事関数は５．５２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６５】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３８．７ｍＡ／ｃｍ2、輝度は５２８ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２２０：１だった。
【００６６】
例３
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約８０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで３５％、仕事関数は５．５ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６７】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２．０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３８．８ｍＡ／ｃｍ2、輝度は６２０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４６ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２５０：１だった。
【００６８】
例４
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約７０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで４０％、仕事関数は５．４７ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００６９】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４１．０ｍＡ／ｃｍ2、輝度は８００ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４９ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３２０：１だった。
【００７０】
例５
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約６０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで４３％、仕事関数は５．４５ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７１】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４１．５ｍＡ／ｃｍ2、輝度は８８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５０ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３５０：１だった。
【００７２】
例６
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約５５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで４６％、仕事関数は５．４０ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７３】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４２．１ｍＡ／ｃｍ2、輝度は９７０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３８０：１だった。
【００７４】
例７
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約４０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで５０％、仕事関数は５．３８ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７５】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４１．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１０３０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５９ｃｄ／ｍ2で、コントラストは４００：１だった。
【００７６】
例８
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約３０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで５８％、仕事関数は５．３２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７７】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は４０．０ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１１１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．６８ｃｄ／ｍ2で、コントラストは４２０：１だった。
【００７８】
例９
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約２２ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで６３％、仕事関数は５．３１ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００７９】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３９．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１２００ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．９２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは４１０：１だった。
【００８０】
例１０
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１８ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで７０％、仕事関数は５．２７ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８１】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３７．２ｍＡ／ｃｍ2、輝度は１０５０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．１０ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３４０：１だった。
【００８２】
例１１
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで７５％、仕事関数は５．２７ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８３】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３４．８ｍＡ／ｃｍ2、輝度は９８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．４９ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２９０：１だった。
【００８４】
例１２
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ（膜厚約１０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで８０％、仕事関数は５．１０ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８５】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３２．２ｍＡ／ｃｍ2、輝度は８８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．７８ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２３０：１だった。
【００８６】
例１３
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで９０％、仕事関数は４．８０ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極として、Ａｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００８７】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は２１．９ｍＡ／ｃｍ2、輝度は５５６ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．９２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１４０：１だった。
【００８８】
以上、例１〜例１２及び例１３における、有機電界発光素子の陽極の光透過率（光の波長は５２０ｎｍ）に対する６Ｖ駆動時のコントラスト及び輝度の関係を図６に示す。この図から明らかなように、陽極の光透過率が３５％以上７５％以下において２５０：１以上のコントラストが達成された。更に、陽極の光透過率が４０以上７０％以下において３００：１以上のコントラストが達成された。更にまた、陽極の光透過率５０％以上７０％以下においては３００：１以上のコントラストと１０００ｃｄ／ｍ2以上の輝度が同時に達成された。
【００８９】
例１４
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＮｉＯ：Ｌｉ（Ｌｉ濃度は約１ｍｏｌ％、膜厚約２５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで６０％、仕事関数は５．３２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉＦを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００９０】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は６３．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は２７２０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．８６ｃｄ／ｍ2で、コントラストは９５０：１だった。
【００９１】
例１５
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＬｉＮｉＯ2（膜厚約２５ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで６０％、仕事関数は５．３２ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉＦを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００９２】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は１１９ｍＡ／ｃｍ2、輝度は３１１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．９５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１０５０：１だった。
【００９３】
例１６
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は５２０ｎｍで９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。この積層体上に、ＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を真空蒸着法により真空下で５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉＦを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【００９４】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は５８．２ｍＡ／ｃｍ2、輝度は２２１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．９５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは５６０：１だった。
【００９５】
例１７
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陰極としてＡｌ−Ｌｉを約２００ｎｍ（Ｌｉ濃度約１ｍｏｌ％）、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ、真空蒸着法によりした。次に、ＳｉＯ2で２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外を真空蒸着によりマスクした。更に、陽極としてＲｕＯ2（膜厚約６ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより製膜し、有機電界発光素子を作製した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍの光で５８％、仕事関数は５．１８ｅＶだった。
【００９６】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は３４．４ｍＡ／ｃｍ2、輝度は７８０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．４５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは３２０：１だった。
【００９７】
例１８
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陰極としてＡｌ−Ｌｉを約２００ｎｍ（Ｌｉ濃度約１ｍｏｌ％）、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ、真空蒸着法によりした。次に、ＳｉＯ2で２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外を真空蒸着によりマスクした。更に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより製膜し、有機電界発光素子を作製した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍの光で９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。
【００９８】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３２,０．５５）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧６Ｖ時の電流密度は２０．５ｍＡ／ｃｍ2、輝度は５２０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．５１ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１５０：１だった。
【００９９】
例１９
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）と、ＮｉＯ：Ｌｉ（Ｌｉ濃度は約１ｍｏｌ％、膜厚約２０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍで６８％、仕事関数は５．２９ｅＶだった。
この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔注入層としてｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4"-tris[N−(3-methylphenylphenylamino]triphenylamine）を真空蒸着法により真空下で２５ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【０１００】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３４,０．５６）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧１０Ｖ時の電流密度は１４．６ｍＡ／ｃｍ2、輝度は７１０ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．８２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２５０：１だった。
【０１０１】
例２０
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍで９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした有機電界発光素子作製用のセルを作製した。次に、正孔注入層としてｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4"-tris［N−(3-methylphenylphenylamino］triphenylamine）を真空蒸着法により真空下で２５ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、正孔輸送層としてα−ＮＰＤ（α−naphtyl phenyl diamine）を５０ｎｍ蒸着（蒸着速度０．２ｎｍ／ｓ）し、電子輸送性発光層としてＡｌｑ3（８−hydroxy quinorine alminum）を５０ｎｍ蒸着し、バッファー層としてＬｉ2Ｏを０．５ｎｍ蒸着し、陰極としてＡｌを約２００ｎｍ蒸着して、有機電界発光素子を作製した。
【０１０２】
この有機電界発光素子の特性を測定したところ、最大発光波長は５２０ｎｍ、ＣＩＥ色度座標上での座標は（０．３４,０．５６）であり、良好な緑色発光を呈した。駆動電圧１０Ｖ時の電流密度は１１．０ｍＡ／ｃｍ2、輝度は４９８ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．８４ｃｄ／ｍ2で、コントラストは１３０：１だった。
【０１０３】
例２１
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）とＬｉＮｉＯ2（膜厚約４０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍで４８％、仕事関数は５．４０ｅＶだった。この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした発光素子作製用のＩＴＯ基板を作製した。この上に発光中心の蛍光体がＣａＣａ2Ｓ4：Ｃｅからなる無機ＥＬ素子を作製した。これを５Ｖ、６０Ｈｚで駆動したところ、最高輝度は１５ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は２．５５ｃｄ／ｍ2で、コントラストは６：１だった。
【０１０４】
例２２
３０ｍｍ×３０ｍｍのガラス基板上に、陽極としてＩＴＯ（膜厚約１５０ｎｍ）をＲＦスパッタリングにより積層した。この陽極の光透過率は波長５２０ｎｍの光で９０％、仕事関数は４．８ｅＶだった。この積層体上にＳｉＯ2蒸着により２ｍｍ×２ｍｍの発光領域以外をマスクした発光素子作製用のＩＴＯ基板を作製した。この上に発光中心の蛍光体がＣａＣａ2Ｓ4：Ｃｅからなる無機ＥＬ素子を作製した。これを５Ｖ、６０Ｈｚで駆動したところ、最高輝度は８ｃｄ／ｍ2であった。３００ｌX照射時の非発光輝度は３．９２ｃｄ／ｍ2で、コントラストは２：１だった。この無機ＥＬ素子を前記例２１のそれと比較すると、輝度、コントラストとも低く、後者の方が効率良く発光していることは明らかであった。
【０１０５】
また、以上の例１〜２２で得られた陽極の可視光（波長５２０ｎｍ）透過率、仕事関数及びコントラストの結果を表１に示す。
【０１０６】
また、例１〜１３において得られた光透過率（５２０ｎｍ）に対する輝度及びコントラストの関係を図６に示し、例１〜１３において得られた光透過スペクトルの結果を図７に示し、更に例９及び例１３における直流駆動時の電圧−輝度特性の関係を図８に示す。
【表１】
以上説明したように、本発明の発光素子（例３〜１１、１４、１５、１７、１９、２１）はその陽極が光透過率３５〜７５％に規定されているので、高輝度を維持しながら、コントラストを確実に向上させることができ、更に陽極の仕事関数が３．０〜７．０ｅＶに規定されていると、発光素子のホール注入効率が改善され、発光効率が向上するだけでなく、ホール注入層と陽極の両層間のエネルギーマッチングの最適化を計ることによって、陽極、ホール注入層の材料の選択の幅が広がり、広範囲の材料を用いることができる。
【０１０８】
【発明の作用効果】
本発明は上述した如く、前記陽極の可視光透過率を３５〜７５％の範囲に特定されているので、発光素子は有機電界発光素子に限らず無機電界発光素子も高輝度を維持しながら、コントラストを確実に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による有機電界発光素子の構成を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態による無機電界発光素子の構成を示す模式的な断面図である。
【図３】有機電界発光素子のホール輸送層に用いられるα−ＮＰＤの構造式を示す図である。
【図４】同、発光素子の電子輸送層に用いられるＡｌｑ3の構造式を示す図である。
【図５】同、ホール注入層に用いられるｍ−ＭＴＤＡＴＡの構造式を示す図である。
【図６】発光素子の陽極の光透過率に対する輝度及びコントラストの関係を示す線図である。
【図７】発光素子の光透過スペクトルを示す線図である。
【図８】発光素子の直流駆動時の電圧−輝度特性を示す線図である。
【符号の説明】
１…ガラス基板、２…陽極、３…ホール注入層、４…ホール輸送層、
５…発光層、６…電子輸送層、７…電子注入層、８…バッファ層、９…陰極
Claims (8)
- 発光領域を含む層が陽極と陰極との間に設けられ、前記陽極の可視光透過率が３５〜７５％である有機又は無機発光素子であって、
前記陽極が、ＩＴＯ層と、前記発光領域を含む層の側に設けられた、Ｌｉをドープし てなるＮｉＯ：Ｌｉ又はＬｉＮｉＯ2層との積層体によって形成されている、
有機又は無機発光素子。 - 前記可視光が、３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの波長を有する、請求項１に記載の有機又は無機発光素子。
- 前記陽極の仕事関数が３．０〜７．０ｅＶである、請求項１に記載の有機又は無機発光素子。
- 透明基板の上に、前記陽極、前記発光領域を含む有機又は無機層、及び前記陰極が積層されている、請求項１に記載の有機又は無機発光素子。
- 前記有機層が、前記陽極側にホール輸送層、前記陰極側に電子輸送層を夫々有する、請求項４に記載の有機発光素子。
- 前記有機層が、前記陽極と前記ホール輸送層との間にホール注入層を有する、請求項５に記載の有機発光素子。
- 前記有機層が、前記ホール輸送層と前記電子輸送層との間に発光層を有する、請求項５に記載の有機発光素子。
- 請求項１〜７のいずれか１項に記載された有機又は無機発光素子を用いたディスプレイ、コンピュータ、テレビジョン受像機、ビルボード、スタジオ用スクリーン、ファクシミリ、携帯電話、携帯端末、乗り物又は音響機器。
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