JP4463864B2 - はんだ付け装置 - Google Patents

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Description

本発明は、はんだ付け装置に関し、例えば、電子回路基板のフローはんだ付けにおいて、水を溶媒とするフラックスが塗布された電子回路基板の水分を除去し、はんだ付けを行うはんだ付け装置に関するものである。
従来の電子回路基板のはんだ付け装置は、フラックスを塗布するフラクサー、塗布されたフラックスの活性作用を発揮させるための加熱装置、はんだ付け面に溶融はんだを付着させるための噴流はんだ槽、はんだ付けされた基板を冷却させるための冷却機から構成されており、この装置の使用により、フローはんだ付けが行われてきた。
ここで使用されているフラックスは、ロジンや活性剤などの固形成分を溶剤に溶解させたものであり、発泡フラクサーやスプレーフラクサーにて電子回路基板のはんだ付け面に塗布する。塗布されたフラックスは、100〜150℃の状態におかれるよう加熱されるにより溶剤が蒸発する。又、この状態において活性剤の作用を発揮させることによって電子回路基板のはんだ付け面部を洗浄することができる。この加熱がなければ、はんだ付け面部の洗浄はなされず、噴流はんだ槽の溶融はんだに接触させても良好なはんだ接合面を得ることができない。
前述のフラックスの溶剤には、イソプロピルアルコールなどのアルコール類が使用されている。しかしながら、アルコールのような溶剤(揮発性有機化合物 Volatile Organic Compounds:VOC)は大気中に放出されると、紫外線などにより分解されラジカルを形成し、光化学スモッグなどの発生原因となることから、VOCの量を減らした、又は、用いないフラックスが開発されている。
図12は、特許文献1に記載されたはんだ付け装置の構成を示した図である。図12に示すように、はんだ付け装置200は、フラクサー1,第1加熱装置2,第2加熱装置3,噴流はんだ槽4,冷却機5が、図示しない電子回路基板を運搬するコンベア8の進行方向Aに沿って順次配設された構成を有する。なお、第2加熱装置3、噴流はんだ漕4及び冷却機5は、一つの装置の中に一体となって収納されている。
図12に示すはんだ付け装置200を利用した水を溶媒とするフラックスに対応したフローはんだ付け方法が、特許文献1には記載されている。はんだ付け装置200では、フラクサー1で電子回路基板に塗布された、水を溶媒とするフラックスの水分の除去方法として、遠赤外線と熱風を併用した第1加熱装置2を利用している。つまり、第1加熱装置2はフラクサー1で電子回路基板に塗布された水分を効率よく除去する役割をしている。
第1加熱装置2を通過した電子回路基板においては、第2加熱装置3によりフラックスの活性作用が発揮させられる。第2加熱装置3を通過した電子回路基板は噴流はんだ槽4において、はんだ付け面に溶融はんだが接触させられ、はんだ付けがなされる。はんだ付け後、電子回路基板は冷却機5にて冷却される。これらの工程を経て、はんだ付けが完了される。
又、図13は特許文献1に記載されたはんだ付け装置の別の構成を示した図である。図13に示すように、はんだ付け装置300は、フラクサー1と第2加熱装置3との間に、真空乾燥装置6を備えた構成を有する。
このはんだ付け装置300を利用した水を溶媒とするフラックスに対応したフローはんだ付け方法について記載されている。このはんだ付け装置300では、フラクサー1で塗布された水を溶媒とするフラックスの水分の除去方法として、真空乾燥装置6を用いている。真空乾燥装置6は、水を溶媒とするフラックスが塗布された図示しない電子回路基板をチャンバー6a内に入れ、減圧下にさらすことで、水の沸点を下げて、水分を除去することを利用したものである。真空乾燥装置6による処理後の電子回路基板においては、第2加熱装置3により、塗布されたフラックスの活性作用が発揮させられる。第2加熱装置3を通過した電子回路基板は噴流はんだ槽4ではんだ付け面に溶融はんだが接触させられ、はんだ付けがなされる。はんだ付け後、電子回路基板は冷却機5にて冷却される。これらの工程を経て、はんだ付けが完了される。
特開2005−203582号公報
しかしながら、上記従来のはんだ付け装置及びはんだ付け方法には、以下のような問題があった。
前述の図12に示している構成では、第1加熱装置2に遠赤外線と熱風を併用したものが利用されている。フラクサー1で水を溶媒とするフラックスを塗布された電子回路基板は、第1加熱装置2内で、水分の乾燥に効果のある熱風によりフラックスに含まれる水分が完全に乾燥除去されるまで加熱される必要がある。
ところがこの場合、電子回路基板に付着している水分を完全に飛ばすために電子回路基板の温度を所望の温度にまで上昇させるには120秒ほどの時間がかかる。
一方で、付着している水分を完全に飛ばそうとして、電子回路基板を長い時間第1加熱装置2に停滞させ過ぎると、電子回路基板上にある弱耐熱部品の温度が耐熱温度以上に上昇してしまい、部品が壊れてしまう恐れがある。
したがって、水を溶媒とするフラックスの水分を完全に除去できるまで電子回路基板を第1加熱装置2に投入し続けることは実際には困難であるということになる。この問題は、最終的には、図12の従来のはんだ付け装置200及びはんだ付け方法の実際の使用によれば、はんだ付け前の電子回路基板にフラックスの水分が残るという課題を生じさせる。
第1加熱装置2で電子回路基板の水分を完全に除去することができなかった場合は、第2加熱装置3で加熱し、電子回路基板を高温の噴流はんだ槽4の溶融はんだに接触させても良好なはんだ接合面を得ることができない。水分が十分に除去できない場合は、第2加熱装置3においてフラックス成分の活性を十分に発揮させることができず、基板表面の酸化物を除去することができないためである。すなわち、電子回路基板に濡れ上がり不足の不良が生じる。
さらに、第2加熱装置3において、水を溶媒とするフラックスの水分を十分に除去できなければ、噴流はんだ槽4での急激な温度上昇により、除去できなかった水分が蒸発し、はんだを飛び散らせることによって、はんだボール不良が生じることになる。
上述の、電子回路基板にフラックスの水分が残ってしまうという課題は特に、電子回路基板のガス抜き孔や部品が挿入された孔と電子部品のリードの隙間に水の膜を張ってしまうなどの現象として見受けられた。
又、前述の図13に示しているはんだ付け装置300の構成では、乾燥装置に真空乾燥装置6を用いている。この真空乾燥装置6は、水が減圧下において沸点が下がることを利用している。この構成を用いた場合には、フラクサー1で水を溶媒とするフラックスを塗布した後、電子回路基板を基板毎に真空乾燥装置6のチャンバー内で減圧する。
ところがこの場合、前工程のフラクサー1による工程と、後工程の第2加熱装置3とのインライン化、すなわちコンベア8上における作業として行うことが困難である。
なぜなら、フラクサー1の工程終了後、電子回路基板を一度、ライン上から取り外し、真空乾燥装置6へ投入後に、減圧作業,減圧保持,常圧へ戻すなどの作業が必要となり、電子回路基板の水分を完全に除去するまでに、最低でも600秒ほどの時間がかかるからである。したがって、図12に示している構成と同様、水を溶媒とするフラックスの水分を完全に除去できるまで電子回路基板を真空乾燥装置6に投入し続けることは実際には困難ということになる。したがって、図12に示している構成と同様、図13の従来のはんだ付け装置及びはんだ付け方法の実際の使用によっても、はんだ付け前の電子回路基板にフラックスの水分が残るという課題を生じさせる。
本発明は、前記従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、はんだ付け前の電子回路基板にフラックスの水分が残らないようにして使用することができる、はんだ付け装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、の本発明は、
電子回路基板を搬送する搬送路と、
前記電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布するフラクサーと、
前記電子回路基板を加熱する第1加熱装置と、
前記第1加熱装置の処理後の前記電子回路基板に付着している水分を取り除く水分除去装置と、
前記電子回路基板を加熱して、前記フラックスが活性化作用を発揮する温度に保つ第2加熱装置と、
前記電子回路基板に溶融はんだを付着させる噴流はんだ槽と、
前記電子回路基板を冷却する冷却機とを備えたはんだ付け装置であって、
前記フラクサー、前記第1加熱装置、前記水分除去装置、前記第2加熱装置、前記噴流はんだ槽、及び前記冷却機は、前記搬送路に沿って順次配設され、
前記水分除去装置は、
前記電子回路基板の電子部品が配置された電子部品配置面に気体を吹き付ける気体吹きつけ部と、
前記はんだ付け面の側から水分を吸引する吸引部とを有し、
前記気体吹きつけ部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第1枠体を含む蓋状の第1治具を有し、
前記吸引部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第2枠体を含む盆状の第2治具を有し、
前記水分除去装置は、前記電子回路基板を、前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態で、前記気体吹きつけ部及び前記吸引部を動作させ、
前記第1治具は、前記電子部品配置面に対向する面に設けられた弾性部材を有し、
前記水分除去装置が、前記電子回路基板を前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態において、前記弾性部材は前記電子部品の上端と接触している、はんだ付け装置である。
また、第の本発明は、
電子回路基板を搬送する搬送路と、
前記電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布するフラクサーと、
前記電子回路基板を加熱する第1加熱装置と、
前記第1加熱装置の処理後の前記電子回路基板に付着している水分を取り除く水分除去装置と、
前記電子回路基板を加熱して、前記フラックスが活性化作用を発揮する温度に保つ第2加熱装置と、
前記電子回路基板に溶融はんだを付着させる噴流はんだ槽と、
前記電子回路基板を冷却する冷却機とを備えたはんだ付け装置であって、
前記フラクサー、前記第1加熱装置、前記水分除去装置、前記第2加熱装置、前記噴流はんだ槽、及び前記冷却機は、前記搬送路に沿って順次配設され、
前記水分除去装置は、
前記電子回路基板の電子部品が配置された電子部品配置面に気体を吹き付ける気体吹きつけ部と、
前記はんだ付け面の側から水分を吸引する吸引部とを有し、
前記気体吹きつけ部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第1枠体を含む蓋状の第1治具を有し、
前記吸引部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第2枠体を含む盆状の第2治具を有し、
前記水分除去装置は、前記電子回路基板を、前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態で、前記気体吹きつけ部及び前記吸引部を動作させ、
前記第1治具は、前記電子部品配置面に対向する面に設けられた第1隔壁を有し、
前記気体吹きつけ部から導入される気体は、前記第1隔壁によって区切られた各部分を通過する、はんだ付け装置である。
また、第の本発明は、
前記第1隔壁は、前記電子回路基板上に配置された前記電子部品又は前記電子回路基板上に設けられた孔の位置、形状及び大きさに対応した形状を有する、上記の本発明のはんだ付け装置である。
また、第の本発明は、
電子回路基板を搬送する搬送路と、
前記電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布するフラクサーと、
前記電子回路基板を加熱する第1加熱装置と、
前記第1加熱装置の処理後の前記電子回路基板に付着している水分を取り除く水分除去装置と、
前記電子回路基板を加熱して、前記フラックスが活性化作用を発揮する温度に保つ第2加熱装置と、
前記電子回路基板に溶融はんだを付着させる噴流はんだ槽と、
前記電子回路基板を冷却する冷却機とを備えたはんだ付け装置であって、
前記フラクサー、前記第1加熱装置、前記水分除去装置、前記第2加熱装置、前記噴流はんだ槽、及び前記冷却機は、前記搬送路に沿って順次配設され、
前記水分除去装置は、
前記電子回路基板の電子部品が配置された電子部品配置面に気体を吹き付ける気体吹きつけ部と、
前記はんだ付け面の側から水分を吸引する吸引部とを有し、
前記気体吹きつけ部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第1枠体を含む蓋状の第1治具を有し、
前記吸引部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第2枠体を含む盆状の第2治具を有し、
前記水分除去装置は、前記電子回路基板を、前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態で、前記気体吹きつけ部及び前記吸引部を動作させ、
前記第2治具は、前記はんだ付け面に対向する面に設けられた第2隔壁を有し、
前記吸引部から導入される水分は、前記第2隔壁によって区切られた各部分を通過し、
前記第2隔壁は、前記電子回路基板上に配置された前記電子部品のリード又は前記電子回路基板上に設けられた孔の位置、形状及び大きさに対応した形状を有する、はんだ付け装置である。
本発明によれば、はんだ付け前の電子回路基板にフラックスの水分が残らないようにして使用することができる、という効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1におけるフローはんだ付け装置の構成を示した図である。ここで、従来例を示す図12,図13において説明した構成部材に対応し実質的に同等の機能を有するものには同一の符号を付して示し、以下の各図においても同様とする。
図1に示すように、本実施の形態1のはんだ付け装置100は、それぞれ独立して配置されたフラクサー1,第1加熱装置2,及び水分除去装置7、並びに、一つの装置の中に一体となって収納された第2加熱装置3,噴流はんだ槽4,及び冷却機5から構成される。
本実施の形態1にて使用するフラクサー1は、スプレーノズルによりフラックスを噴霧するタイプのフラクサーであり、第1加熱装置2は、遠赤外線乾燥装置及び熱風乾燥装置,を有し、遠赤外線と熱風を併用した遠赤外線熱風乾燥装置である。
又、水分除去装置7は、第1加熱装置2で処理した後の電子回路基板9を、その表面と裏面から挟み込むように配置された第1治具10及び第2治具11を有する。
ここで図2(a)は本実施の形態1の電子回路基板に設けられた孔や装着された電子部品に合わせた第1治具と、同様に電子回路基板の孔や電子部品のリードに合わせた第2治具から構成される水分除去装置を説明するための図である。
図2(a)に示すように、第1治具10は、電子回路基板9の縁部を囲むように設けられた蓋状の形状を有し、その内部は、電子回路基板9の表面に設けられた孔や電子回路基板9に装着された電子部品の位置、形状及び大きさに対応した隔壁10eが設けられている。隔壁10e又は第1治具10の縁とで形成された空間内に、電子回路基板9に設けられた孔、又は装着された電子部品が嵌り込む。当該空間の一例として、電子回路基板9に装着された電子部品本体9aに対応した凹部10aを示すが、図示する他の部分も同様の構成を有する。又、凹部10aの天井部分には、開口部10bから、他の凹部にも接続された連通路10cを介して外気を導入可能な孔10dが設けられている。
一方、第2治具11は、電子回路基板9の縁部を囲むように設けられた盆状の形状を有し、その内部は、電子回路基板9の裏面に設けられた孔や当該裏側から露出した電子部品のリードの位置、形状及び大きさに対応した隔壁11eが設けられている。隔壁11e又は第2治具11の縁とで形成された空間内に、電子回路基板9の裏面から露出した孔やリードが嵌り込む。当該空間の一例として、電子回路基板9に装着された電子部品本体9aから伸びるリード9bに対応した凹部11aを示すが、図示する他の部分も同様の構成を有する。又、凹部11aの底面部分には、連通路11cを介して外気や水分を開口部11bから吸引するための孔11dが設けられている。
本実施の形態1に用いた第2加熱装置3は、赤外線乾燥装置及び熱風乾燥装置を有し,赤外線と熱風を併用した赤外線熱風乾燥装置であり、噴流はんだ槽4は、1次噴流ノズルと2次噴流ノズルとから構成されており、内部には溶融はんだが入れられている。又、冷却機5は、プロペラ型の送風機が取り付けられており、噴流はんだ槽4との接触により高温となった電子回路基板9に冷風を吹き付けることにより電子回路基板9を冷却するものである。
以上の構成において、はんだ付け装置100は本発明のはんだ付け装置に相当する。又、コンベア8は本発明の搬送路に相当し、フラクサー1は本発明のフラクサーに相当し、第1加熱装置2は本発明の第1加熱装置に相当し、水分除去装置7は本発明の水分除去装置に相当し、第2加熱装置3は本発明の第2加熱装置に相当し、噴流はんだ漕4は本発明の噴流はんだ漕に相当し、冷却機5は本発明の冷却機に相当する。又、電子回路基板9は本発明の電子回路基板に相当する。
又、水分除去装置7の第1治具10は本発明の気体吹きつけ部の第1枠体を含む第1治具に相当し、第2治具11は本発明の吸引部の第2枠体を含む第2治具に相当する。又、隔壁10eは本発明の第1隔壁に相当し、隔壁11eは本発明の第2隔壁に相当する。
以下、図面を参照しながら本実施の形態1におけるはんだ付け装置の動作を説明するととともに、本発明のはんだ付け方法の一実施の形態であるフローはんだ付け方法を説明する。図1に示すように、フラクサー1,第1加熱装置2,水分除去装置7,第2加熱装置3,噴流はんだ槽4,冷却機5が順次配設されている。各装置間をインライン構成とするコンベア8がフラクサー1から冷却機5へ図中矢印Aの方向に走行しており、電子回路基板9を搬送するようになっている。
コンベア8に搭載された電子回路基板9は矢印Aの方向に搬送され、フラクサー1で電子回路基板9の裏面(本発明のはんだ付け面に相当)からスプレーノズルにより水を溶媒とするフラックスが噴霧される。
フラクサー1を通過後、第1加熱装置2に搬送され、100〜290℃の熱風により電子回路基板9を加熱することにより電子回路基板9のフラックス塗布面の水分を乾燥させる。
第1加熱装置2の通過後、水分除去装置7に投入された電子回路基板9は、コンベア8上で一旦停止させる。そして図2(b)に示している形で、電子回路基板9に設けられた孔や電子回路基板9の第1面側に装着された電子部品に合わせた第1治具10と、電子回路基板9に設けられた孔や電子回路基板9の第2面側で装着された電子部品のリードに合わせた第2治具11により、電子回路基板9の表面(本発明の電子部品配置面に相当)と裏面から電子回路基板9を挟み込む。このとき、第1治具10及び第2治具11は電子回路基板9を搬送するコンベア8ごと電子回路基板9を挟み込む。
この第1治具10と第2治具11により両面が挟み込まれた電子回路基板9においては、凹部10aに嵌り込んだ電子部品本体9a他の、実装された個々の電子部品に対して、水分除去装置7のノズル(図示せず)を介し、第1治具10の開口部10b、連通路10c及び孔10dを経由した加圧気体が吹き付けられる。この吹き付けにより飛散した水分は、第2治具11の孔11d、連通路11c及び開口部11bを経由して減圧手段(図示せず)により吸引される。なお、気体としては任意の種類を用いてよいが、安価に利用できる空気、フラックスと反応しにくい窒素等が望ましい。又、気体の温度は室温でもよいし、50℃〜150℃程度の温風であってもよい。
第1治具10と第2治具11で挟み込まれた電子回路基板9は、第1治具10から、0.1〜2.0MPaの加圧気体が吹き付けられ、加圧気体の吹き付けにより飛散したフラックス及びその水分は、−90〜−80kPaの吸引力で第2治具11より吸引され回収される。このときの水分除去装置7の処置は30秒で完了した。なお、第1治具の、図中矢印Aに沿った両端、すなわち電子回路基板9の前後においては、カーテン部材を設けて、第1治具10からの加圧気体が外部に漏れ出さないようにしてもよい。
図3を参照して、水分除去装置7の動作中における、凹部10a及び凹部11aで形成された空間内に配置された電子部品の状態を説明する。図3に示すように、孔10dから吹き込まれる加圧気体20aの作用により、図中実線及び破線で示すように、電子部品本体9aは当該空間内部で揺動する。同様に、電子回路基板9に設けられた、電子部品9aが挿入された孔9c内においてもリード9bが揺動する。これにより、電子部品が挿入された孔9cと電子部品本体9a又はリード9bとの隙間に残存している水の膜も、孔9cから凹部11aに向かう液滴20bとして吹き飛ばされる。液滴20bは凹部11aの孔11dを通じて、連通路11cから外部へ吸い出される。
水分除去装置7により電子回路基板9に設けられた孔や電子回路基板9に装着された電子部品の隙間にある水分が除去された電子回路基板9は、第2加熱装置3において、電子回路基板9を100〜150℃の熱風で加熱される。水分が除去されているため、フラックスの活性力は十分に発揮され、塗れ上がり不足は生じない。第2加熱装置を搬出した後、電子回路基板9は噴流はんだ槽4に運ばれ、噴流している溶融はんだに接触することで溶融はんだが付着する。ここでも、水分は除去されているため、はんだボール不良は生じない。
溶融はんだが付着した電子回路基板9は、冷却機5に搬送され、ここで冷風が吹き付けられて、溶融状態ではんだ付け部分に付着したはんだを凝固させるとともに、溶融はんだ槽での溶融はんだとの接触により高温となった電子回路基板9を冷却して、はんだ付けが終了する。
このように、本発明の実施の形態1のはんだ付け装置によれば、電子回路基板9に残留した水分を、加圧気体を用いて確実かつ短時間で除去可能な水分除去装置7を設けたことにより、コンベア8上に電子回路基板9を搬送させた状態ではんだ付けの各工程を実施することが可能となる。
(実施の形態2)
上記本発明の実施の形態1によるはんだ付け装置は、第1治具10からの加圧気体の吹き付けによって電子回路基板9に装着されている電子部品を揺動させることで電子回路基板9の孔や電子回路基板9と装着された電子部品の隙間にある水分を取り除くものである。
しかしながら、揺動によって電子部品が影響を受ける場合がある。例えばMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)等の、微細、精密な可動部分を含む電子部品の場合、揺動の影響による損傷、動作不良が想定される。
本実施の形態2によるはんだ付け装置は、そのような、揺動することが好ましくない種類の電子部品にも対応できるようにしたものである。
図4(a)(b)(c)は、本発明の実施の形態2によるはんだ付け装置の水分除去装置7の内部構成を示す図である。ただし図2と同一又は相当部には、同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
本実施の形態2の水分除去装置7は、第1治具10に代えて、第1治具12を備えている。
図4(a)に示すように、第1治具12は、実施の形態1の第1治具10の構成において、加圧気体が噴出する孔10dが設けられた面に金属性のバネ13aを設け、バネ13aの先端にシリコンゴム、天然ゴムその他の軟質材料で作成された保護部13bを備えた構成を有する。
それぞれの保護部13bは、図4(b)に示す第1治具12と第2治具11とが電子回路基板9を両面から挟み込んだ状態において、電子部品の上部に接触するような長さに調整されている。
ここで図4(c)は、第1治具12及び第2治具11内に挟み込まれた電子回路基板9の要部拡大図である。図4(c)に示すように、保護部13bは電子部品本体9aの上部に当接し、かつバネ13aの弾性力を電子部品本体9aに印加する。これにより、電子部品は、第1治具12及び第2治具11に対して静止した位置で保持される。なお、保護部13bは軟質材料で作成されているため、電子部品本体9aの表面を傷つけることはない。
さらに、第1治具12においては、各電子部品が嵌り込む凹部10a′を形成するための隔壁10e′は第1治具10の隔壁10eよりも薄いものとした。これにより凹部10a′は実施の形態1の凹部10aよりも幅広となり、図4(b)(c)に示すように、各電子部品は隔壁10e′他の隣接する壁面に対して十分離れた距離で配置される。
本実施の形態2では、上記の構成に加えて、電子回路基板9の搬送方向における、第1治具12及び第2治具11と電子回路基板9との位置を可変するようにしている。すなわち、図5に示すように、水分除去装置7において、第1治具12及び第2治具11の外側には、それぞれ空気圧又は油圧による駆動力を発生する駆動機構7a及び7cによって図中矢印Bに沿って伸縮するシリンダ7b及び7dが設けられており、第1治具12及び第2治具11はシリンダ7b及び7dの伸縮に応じて、コンベア8に沿って平行移動する。
以上の構成において、第1治具12は本発明の第1治具に相当し、隔壁10e′は本発明の第1隔壁に相当する。又、駆動機構7a及び7c、並びにシリンダ7b及び7dは本発明の装置位置変更部に相当する。
以上のような構成を有する本実施の形態2の動作は、次の通りである。
図6(a)に示すように、第1治具12及び第2治具11を図中矢印C方向、すなわちコンベア8の後退方向に向かってシフトさせる。この場合、電子部品本体9aは第一治具12の保護部13bによって固定されているため第1治具12のシフトに連れて移動する。このとき、電子回路基板9の孔9c内に挿入された電子部品本体9aから伸びるリード9bは位置に偏りを生じ、シフト方向の反対側、すなわち図中右側に空隙9dを生じさせる。電子回路基板9の孔や電子回路基板9と装着された電子部品の隙間にある水分は、当該隙間が空隙9dとして広げられることで、膜の状態が壊れて、一部は第2治具11の凹部11a′に滴下したり、電子回路基板9の表面に移動したりする。
この状態で、実施の形態1と同様に、加圧気体の吹き付け動作を行うと、空隙9dに近傍に吹き込まれる加圧気体によって、空隙9dの水分は容易に電子回路基板9から飛散し、第2治具11の凹部11a′から吸引される。
更に、図6(b)に示すように、第1治具12及び第2治具11を図中矢印D方向、すなわちコンベア8の前進方向に向かってシフトさせる。この場合、電子回路基板9の孔9c内に挿入された電子部品本体9aから伸びるリード9bは位置に偏りを生じ、シフト方向の反対側、すなわち図中左側に空隙9eを生じさせる。この状態で、実施の形態1と同様に、加圧気体の吹き付け動作を行うと、空隙9eに近傍に吹き込まれる加圧気体によって、空隙9eの水分は容易に電子回路基板9から飛散され、第2治具11側に回収される。
以上のように、本実施の形態2のはんだ付け装置においては、第1治具12が電子部品を電子回路基板9に固定させておき、第1治具12及び第2治具11と電子回路基板9との位置を変えながら加圧気体の吹きつけ動作を行うことで、電子部品を揺動させることなく、電子回路基板9の孔や電子回路基板9と装着された電子部品の隙間にある水分を取り除くことが可能となる。
特に図6(a)と図6(b)の動作を繰り返し行うことにより、隙間から場所を変えて回り込む水分を確実に飛散させることができる。
なお、上記実施の形態2の場合、電子部品点数に合わせて配置することから、複数の種類のバネ13a及び保護部13の組み合わせを電子回路基板9の種類に合わせて取り付ける必要があり、段取り換えの度に治具を交換しなければならず、生産性を低下させる恐れがある。
そこで、図7(a)〜(c)に示すように、電子部品を第1治具に対して静止させるためのバネ13a及び保護部13bの代わりに、スポンジ14を付けた第1治具15を用いてもよい。スポンジ14は、天然ゴム、シリコンゴム、ポリウレタン、ポリオレフィン、ポリエチレン等の材料を用いればよく、これにより、バネ13a及び保護部13b双方の構成を単一材料の部材によって実現することができる。なお、これらスポンジ14に用いる材料は、全て保護部13bの材料として用いてもよい。
図7(a)〜(c)に示す構成による水分除去装置7を作成し、はんだ付け装置を構成して、加圧気体を吹き付けた際の電子部品の動きと電子回路基板9に付着している水分の除去状態について観察したところ、完全に水分が除去された。
なお、上記の説明においては、電子部品を第1治具12に対して静止させた状態で、第1治具12及び第2治具11の双方を電子回路基板9に対して移動させる構成としたが、第1治具12のみを電子回路基板9に対して移動させる構成としてもよい。この場合駆動機構7c及びシリンダ7dは省略した構成とすることができる。又、駆動機構7a、7c及びシリンダ7b、7dに代えて、電磁気で駆動するアクチュエータとして第1治具12、第2治具11を移動させる構成としてもよい。又、駆動機構、シリンダを省略して、コンベア8を動かして電子回路基板9を動かすようにしてもよい。
更に、第1治具12及び第2治具11を電子回路基板9に対して静止させた構成としてよい。
図8(a)(b)にそのような構成の一例を示す。ただし図2、図4と同一又は相当部には、同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
図8(a)に示す第1治具16は、実施の形態2の第1治具12の構成において、加圧気体の吹きかけ機構を二重化したものである。具体的には、凹部10aに、孔10dと異なる位置に孔30dを設け、各孔30dは、連通路10cと独立した連通路30cによって連通する。連通路30cと連通路10cとは、三方弁30bに接続され、外部から加圧気体が導入される主経路30aに接続される。三方弁30bは主経路30aから導入される加圧気体を、連通路30c又は連通路10cのいずれか一方に導入されるよう選択的な切換を行う。
このような構成としたことにより、図8(b)に示すように第1治具16及び第2治具11にて電子回路基板9を両面から挟み込み、電子部品本体9a他の電子部品の上部をバネ13a及び保護部13bにより固定した状態において、加圧気体を、孔10d及び孔30dの双方から選択的に吹き込ませることができる。この場合、一方の孔から吹き込まれた加圧気体の流れから死角となった位置に残留する水分を、他方の孔から吹き込まれた加圧気体によって飛散させることでき、図4に示す構成と同様の効果を得ることができる。
なお、連通路30cと10cとで、主経路30aから導入する加圧気体の圧力を違えるようにしてもよい。又、孔10dと孔30dとで、加圧気体の吹き出し角度を違えるようにしてもよい。
(実施の形態3)
前述した実施の形態1や実施の形態2においては、加圧気体を吹き付けるための第1治具10、12、15及び16、並びに第2治具11は、いずれも電子回路基板9に設けられた孔や電子回路基板9に装着された電子部品に合わせて凹部10a、10a′並びに11aを形成するようにしていた。この場合、電子回路基板9が用いられる装置の機種に応じて、設計、実装状態に併せて電子回路基板9に設けられた孔や電子回路基板9に装着された電子部品の位置、形状並びに大きさに併せて治具を作成しなければならないため、治具作成費用、機種切り替えの時間が膨大にかかる、といった事情が考えられる。
本発明の実施の形態3は、上記の事情を考慮して、電子回路基板9が用いられる装置の機種等に依存せず、汎用性を高めたことを特徴とする。
図9は(a)(b)は、本発明の実施の形態3によるはんだ付け装置の水分除去装置7の内部構成を示す図である。ただし図2、図4と同一又は相当部には、同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
本実施の形態3の水分除去装置7は、第1治具10、第2治具11に代えて、第1治具17、第2治具18を備えている。
第1治具17は、隔壁を有さず、電子回路基板9の縁部を覆う蓋状の形状を有する。同様に、第2治具18も、隔壁を有さず、電子回路基板9の縁部を覆う盆状の形状を有する。
又、第1治具17の、電子回路基板9と対向する側には、スポンジ19が全面に設けられている。スポンジ19は実施の形態2のスポンジ14と同一の材料を用いてよいが、多孔質であって、一方の主面は開口部10bに接触し、開口部10bからの加圧気体をまんべんなく透過させ、他方の主面に放出される。
なお、上記の構成において、第1治具17は本発明の第1枠体を含む第1治具に、第2治具18は本発明の第2枠体を含む第2治具にそれぞれ相当する。
以下、動作を説明する。図1に示すように、フラクサー1により水を溶媒とするフラックスを塗布された電子回路基板9はコンベア8で第1加熱装置2へ搬送され、100〜290℃の雰囲気で加熱された後、水分除去装置7へと搬送される。水分除去装置7において、電子回路基板9のコンベア8上での搬送を一旦停止し、第2治具18を装着した後、電子回路基板9のフラックス塗布面を−90〜−80kPaの吸引力で吸着させて、電子部品のリードの方向を一定に保つ。次に、電子回路基板9に加圧気体を吹き付けるための第1治具17を装着させ、スポンジ19にて、各電子部品を固定することにより加圧気体吹き付け時の空気の流れ道を整えて、0.1〜2.0MPaの加圧気体を30秒間吹き付けた。
このとき、図9(b)に示すように、第1治具17と第2治具18とが電子回路基板9を両面から挟み込んだ状態において、スポンジ19が電子部品の上部に接触するような長さに調整されているため、スポンジ19の押し付け作用にて電子部品の位置が固定され、加圧気体吹き付け時の部品の動きも観察されなかった。加圧気体は0.1〜2.0MPaの力で連続的に吹き付けられる。更に、第1治具17と第2治具18とが電子回路基板9を両面から挟み込んだ状態において、図6(a)(b)に示す場合と同様、電子回路基板9の位置をシフトさせた。
これにより、電子回路基板9の孔に張り付いていた水分や孔とリードの間での毛細管現象により浸入していた水分を完全に取り除くことができた。これは、実施の形態2と同様の効果である。
この電子回路基板9に付着していた水分を除去された電子回路基板9は、第2加熱装置3で電子回路基板9を100〜150℃の熱風で加熱することにより、フラックスを活性化させて、電子回路基板9のはんだ付け面の酸化被膜をきれいに除去することができ、噴流はんだ槽4、冷却機5の工程を経て、濡れ上がり不足、はんだボールなどの不良のないはんだ付けができる良好なはんだ付け面を得ることができた。
なお、上記の説明においては、スポンジ19は多孔質材料であって、直接開口部10bからの加圧気体を全面に放出するものとしたが、図10(a)(b)に示すように、スポンジ19の内部に開口部10bと連通する連通路19aを設け、スポンジ19の表面まで分岐して連通させる構成としてもよい。加圧気体の勢いを削ぐことなく電子回路基板9に伝えることができる。
又、図11(a)(b)に示すように、開口部10bをスポンジの表面に渡って複数設けてもよい。加圧気体をまんべんなく電子回路基板9の面上に伝えることができる。
以上のように、本発明の各実施の形態によれば、電子回路基板9の第1加熱装置2により取り除けなかった電子回路基板9のガス抜き孔や部品が挿入された孔と電子部品のリードの隙間にある水分の膜を電子回路基板9表面で上方からの加圧気体の吹き付けと、裏面で下方からの吸引により水分を取り除くことができる。すなわち、電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布した後、第1加熱装置2により電子回路基板9のはんだ付け面の表面に塗布されたフラックスの水分を除去し、さらに第2加熱装置3に投入する前に、水分除去装置7によって電子回路基板9のガス抜き孔,部品が挿入された孔と電子部品のリードにおける隙間の水分を短時間で、かつインラインの構成により完全に除去することができ、その後の第2加熱装置3での加熱においてフラックスの活性化を十分に引き出すことが可能となり、フローはんだ付けを行う際に不良のない良好なはんだ付け面を得ることができる
以上のような本発明は、はんだ付け前の電子回路基板にフラックスの水分が残らないようにして使用することができる効果を有し、例えば、はんだ付け装置として、電子回路基板に塗布された水を溶媒とするフラックスの水分を完全に除去することが可能となり、良好なはんだ付け面を得ることができ、フラックスを用いたフローはんだ付けを行う装置における電子回路基板のはんだ付けに適用することができる。
本発明の実施の形態1におけるはんだ付け装置の構成を示す図 (a)本発明の実施の形態1の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図(b)本発明の実施の形態1の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図 本発明の実施の形態1の水分除去装置の動作を説明する図 (a)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図(b)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図(c)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図 本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図 (a)本発明の実施の形態2の水分除去装置の動作を説明する図(b)本発明の実施の形態2の水分除去装置の動作を説明する図 (a)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図(b)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図(c)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図 (a)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図(b)本発明の実施の形態2の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図 (a)本発明の実施の形態3の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図(b)本発明の実施の形態3の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置を説明する図 (a)本発明の実施の形態3の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図(b)本発明の実施の形態3の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図 (a)本発明の実施の形態3の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図(b)本発明の実施の形態3の第1治具と第2治具から構成される水分除去装置の他の構成例を説明する図 従来のはんだ付け装置の構成を示す図 従来のはんだ付け装置で別の構成を示す図
符号の説明
1 フラクサー
2 第1加熱装置
3 第2加熱装置
4 噴流はんだ槽
5 冷却機
6 真空乾燥装置
7 水分除去装置
7a、7c 駆動機構
7b、7d シリンダ
8 コンベア
9 電子回路基板
9a 電子部品本体
9b リード
10、12、15、17 第1治具
10a、11a 凹部
10b、11b 開口部
10c、11c 連通路
10d、11d 孔
10e、10e′、11e 隔壁
11、18 第2治具
13a バネ
13b 保護部
14 スポンジ
19 スポンジ
A コンベアの進行方向
100 はんだ付け装置

Claims (4)

  1. 電子回路基板を搬送する搬送路と、
    前記電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布するフラクサーと、
    前記電子回路基板を加熱する第1加熱装置と、
    前記第1加熱装置の処理後の前記電子回路基板に付着している水分を取り除く水分除去装置と、
    前記電子回路基板を加熱して、前記フラックスが活性化作用を発揮する温度に保つ第2加熱装置と、
    前記電子回路基板に溶融はんだを付着させる噴流はんだ槽と、
    前記電子回路基板を冷却する冷却機とを備えたはんだ付け装置であって、
    前記フラクサー、前記第1加熱装置、前記水分除去装置、前記第2加熱装置、前記噴流はんだ槽、及び前記冷却機は、前記搬送路に沿って順次配設され、
    前記水分除去装置は、
    前記電子回路基板の電子部品が配置された電子部品配置面に気体を吹き付ける気体吹きつけ部と、
    前記はんだ付け面の側から水分を吸引する吸引部とを有し、
    前記気体吹きつけ部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第1枠体を含む蓋状の第1治具を有し、
    前記吸引部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第2枠体を含む盆状の第2治具を有し、
    前記水分除去装置は、前記電子回路基板を、前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態で、前記気体吹きつけ部及び前記吸引部を動作させ、
    前記第1治具は、前記電子部品配置面に対向する面に設けられた弾性部材を有し、
    前記水分除去装置が、前記電子回路基板を前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態において、前記弾性部材は前記電子部品の上端と接触している、はんだ付け装置。
  2. 電子回路基板を搬送する搬送路と、
    前記電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布するフラクサーと、
    前記電子回路基板を加熱する第1加熱装置と、
    前記第1加熱装置の処理後の前記電子回路基板に付着している水分を取り除く水分除去装置と、
    前記電子回路基板を加熱して、前記フラックスが活性化作用を発揮する温度に保つ第2加熱装置と、
    前記電子回路基板に溶融はんだを付着させる噴流はんだ槽と、
    前記電子回路基板を冷却する冷却機とを備えたはんだ付け装置であって、
    前記フラクサー、前記第1加熱装置、前記水分除去装置、前記第2加熱装置、前記噴流はんだ槽、及び前記冷却機は、前記搬送路に沿って順次配設され、
    前記水分除去装置は、
    前記電子回路基板の電子部品が配置された電子部品配置面に気体を吹き付ける気体吹きつけ部と、
    前記はんだ付け面の側から水分を吸引する吸引部とを有し、
    前記気体吹きつけ部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第1枠体を含む蓋状の第1治具を有し、
    前記吸引部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第2枠体を含む盆状の第2治具を有し、
    前記水分除去装置は、前記電子回路基板を、前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態で、前記気体吹きつけ部及び前記吸引部を動作させ、
    前記第1治具は、前記電子部品配置面に対向する面に設けられた第1隔壁を有し、
    前記気体吹きつけ部から導入される気体は、前記第1隔壁によって区切られた各部分を通過する、はんだ付け装置。
  3. 前記第1隔壁は、前記電子回路基板上に配置された前記電子部品又は前記電子回路基板上に設けられた孔の位置、形状及び大きさに対応した形状を有する、請求項に記載のはんだ付け装置。
  4. 電子回路基板を搬送する搬送路と、
    前記電子回路基板のはんだ付け面に水を溶媒とするフラックスを塗布するフラクサーと、
    前記電子回路基板を加熱する第1加熱装置と、
    前記第1加熱装置の処理後の前記電子回路基板に付着している水分を取り除く水分除去装置と、
    前記電子回路基板を加熱して、前記フラックスが活性化作用を発揮する温度に保つ第2加熱装置と、
    前記電子回路基板に溶融はんだを付着させる噴流はんだ槽と、
    前記電子回路基板を冷却する冷却機とを備えたはんだ付け装置であって、
    前記フラクサー、前記第1加熱装置、前記水分除去装置、前記第2加熱装置、前記噴流はんだ槽、及び前記冷却機は、前記搬送路に沿って順次配設され、
    前記水分除去装置は、
    前記電子回路基板の電子部品が配置された電子部品配置面に気体を吹き付ける気体吹きつけ部と、
    前記はんだ付け面の側から水分を吸引する吸引部とを有し、
    前記気体吹きつけ部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第1枠体を含む蓋状の第1治具を有し、
    前記吸引部は、少なくとも前記電子回路基板の縁部を囲むように設けられた第2枠体を含む盆状の第2治具を有し、
    前記水分除去装置は、前記電子回路基板を、前記第1治具と前記第2治具との間に挟み込んだ状態で、前記気体吹きつけ部及び前記吸引部を動作させ、
    前記第2治具は、前記はんだ付け面に対向する面に設けられた第2隔壁を有し、
    前記吸引部から導入される水分は、前記第2隔壁によって区切られた各部分を通過し、
    前記第2隔壁は、前記電子回路基板上に配置された前記電子部品のリード又は前記電子回路基板上に設けられた孔の位置、形状及び大きさに対応した形状を有する、はんだ付け装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5807221B2 (ja) * 2010-06-28 2015-11-10 アユミ工業株式会社 接合構造体製造方法および加熱溶融処理方法ならびにこれらのシステム
JP2016188782A (ja) * 2015-03-30 2016-11-04 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
CN105555036A (zh) * 2016-02-02 2016-05-04 东莞翔国光电科技有限公司 一种物理法电路板制作工艺
CN111565876B (zh) * 2018-01-15 2022-03-11 本田技研工业株式会社 硬钎焊装置以及方法
JP7239269B2 (ja) * 2018-01-18 2023-03-14 三菱電機株式会社 はんだ付け治具およびはんだ付け装置
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US3497945A (en) * 1966-08-01 1970-03-03 Gen Dynamics Corp Method for solid state welding
JP2002172459A (ja) * 2000-09-26 2002-06-18 Sony Corp はんだ付け装置

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