JP4462260B2 - 電子部品及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、スクリーン印刷法を用いた電子部品及びその製造方法に関するものである。

従来の電子部品の製造方法の例として、積層コンデンサの製造方法を以下に説明する。積層コンデンサを作製する際には、まず、キャリアシート上に誘電体ペーストをドクターブレード法等により塗布して、セラミックグリーンシートを形成する。そして、このセラミックグリーンシート上に、内部電極となるべき導電性ペーストを所定パターンで印刷する。さらに、導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートをキャリアシートから剥離したものを複数準備し、これらを積層して積層体を得る。その後、この積層体をチップ状に切断して複数個のグリーンチップとする。最後に、個々のグリーンチップを焼成した後、それらに外部電極を形成して、積層コンデンサの作製が完了する。

ここで、セラミックグリーンシートは、ドクターブレード法によってある程度均一な厚さで形成することができるものの、内部電極は、スクリーン印刷法によって形成するため、特開平８−６９９４９号公報等において指摘されているスキージの膨潤により、印刷時に導電性ペーストの厚さが変化してしまう。すなわち、印刷時に、ゴム等で構成されるスキージが導電性ペーストに含まれる有機溶剤によって次第に膨潤し、印刷当初に設定したペースト厚さが次第に変化してしまう。

そのため、このようなペースト厚さの変化に対応するために、従来は、導電性ペーストを印刷する際の設定厚さを、そのバラツキ分だけ厚くすることで、電子部品のショート不良等の不具合を回避していた。
特開平８−６９９４９号公報

以上で説明した積層コンデンサを含む多くの電子部品は、近年の電子機器の軽薄短小化の進行に伴ってより一層の小型化が要求されている。特に、積層コンデンサにおいては、高容量化の観点から、内部電極と誘電体層を双方ともに可能な限り薄くし（薄層化）、且つそれらを可能な限り多く積層する（多層化）ことが求められている。

しかしながら、上述した従来の電子部品の製造方法において、単に導電性ペーストの塗布厚さを薄くした場合には、上述した印刷時のペースト厚さの変化により、厚みばらつき、かすれ、にじみ等の不具合が生じてしまう。これらの不具合は、作製される電子部品の変形、ショート不良、耐電圧不良（ＩＲ劣化）、クラック、シート間のデラミネーション等の原因となり、歩留まりが低下してしまう。

そこで、本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、印刷時におけるペースト厚さの変化が抑えられた電子部品及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る電子部品の製造方法は、スキージを用いてシート上にペーストをスクリーン印刷する印刷工程を有する電子部品の製造方法であって、印刷工程の前に、スキージを有機溶剤に浸漬して膨潤させる浸漬工程をさらに有する。

この電子部品の製造方法においては、浸漬工程においてスキージを有機溶剤で膨潤させた後、そのスキージを用いた印刷工程においてスクリーン印刷をおこなう。すなわち、印刷の開始時にはスキージがすでに膨潤しているため、印刷時にスキージがさらに膨潤してしまう事態が抑制されている。従って、この電子部品の製造方法によれば、スキージの膨潤が低減されて、印刷時におけるペースト厚さの変化が抑えられる。

また、浸漬工程の際、所定の容器に入った有機溶剤にスキージを浸漬して、スキージを膨潤させる態様でもよい。この場合、有機溶剤を入れる容器を適切に選択することで、所望の膨潤条件でスキージの膨潤をおこなうことができる。

また、スキージの製版と接触する部分が容器の底面と接触しない高さにスキージを保持した状態で、スキージを有機溶剤に浸漬する態様でもよい。この場合、スクリーン印刷の印刷精度に大きく影響するスキージの製版と接触する部分が変形したり欠損したりする事態が回避される。

また、浸漬工程の際、スキージを、印刷工程において使用される傾斜角と同じ角度だけ傾けて有機溶剤に浸漬する態様でもよい。この場合、印刷工程でペーストに浸る部分と同じ部分のスキージが浸漬されるため、印刷工程においても、浸漬工程と同様のスキージの膨潤状態が保たれる。

また、浸漬工程で用いる有機溶剤が、印刷工程で用いるペーストに含まれる有機溶剤と同一である態様でもよい。この場合、浸漬工程で膨潤させたスキージに含まれる有機溶剤が、印刷工程で用いるペーストに混じった場合でも、印刷に悪影響を与えない。

また、浸漬工程として、有機溶剤を含むペーストにスキージを浸漬して、スキージを膨潤させる態様でもよい。この場合、浸漬工程のための有機溶剤を別途準備する必要がなくなる。

また、浸漬工程においてスキージを有機溶剤に１２時間以上浸漬する態様でもよい。この場合、スキージが十分に膨潤され、印刷時におけるペースト厚さの変化が高いレベルで抑えられる。

本発明に係る電子部品は、内部電極層と誘電体層とが交互に積層された電子部品であって、有機溶剤に浸漬して膨潤させたスキージを用いて、誘電体層となるべきシート上に、内部電極層となるべきペーストをスクリーン印刷して作製したものである。

この電子部品においては、有機溶剤に浸漬して膨潤させたスキージを用いて、シート上にペーストをスクリーン印刷して作製されているため、印刷時におけるペースト厚さの変化が有意に抑えられており、内部電極層の厚さの均一化が図られている。従って、この電子部品では、内部電極層の厚さのさらなる薄型化を実現することが可能となっている。

本発明によれば、印刷時におけるペースト厚さの変化が抑えられた電子部品及びその製造方法が提供される。

以下、添付図面を参照して本発明を実施するにあたり最良と思われる形態について詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。本発明の実施形態に係る電子部品として、積層コンデンサを例に説明する。

図１に、本発明の実施形態に係る積層コンデンサ１０の概略断面図を示す。図１に示すように、積層コンデンサ１０は、最外層である２層の表層１１と、表層１１に挟まれた複数層の誘電体層１２と、誘電体層１２のそれぞれの間に介在する内部電極層１４とを有する六面体形状のコンデンサ素体１６を備えている。すなわち、コンデンサ素体１６は、積層構造を有しており、誘電体層１２と内部電極層１４とが交互に積層されている。

ここで、表層１１及び誘電体層１２は、ともにＢａＴｉＯ_３を主成分とする層であり、例えば、各表層１１の厚さはおよそ５０μｍ、各誘電体層１２の厚さはおよそ１〜１０μｍに設計されている。これら表層１１及び誘電体層１２は、後述するグリーンシートを焼成して形成される。内部電極層１４は、Ｎｉを主成分として含有する金属層であり、例えば、その厚さはおよそ１μｍである。

コンデンサ素体１６の端面のうち、コンデンサ素体１６の厚さ方向に延在し、互いに対向する一対の端面１６ａ，１６ｂそれぞれには、その端面１６ａ，１６ｂの全領域を覆うように一対の外部電極１８Ａ，１８Ｂが設けられている。各外部電極１８Ａ，１８Ｂは、例えば、金属の中でも高い導電性を有するＣｕを主成分とする多孔質体である。

そして、複数層の内部電極層１４は、その積層方向に関し、一方の外部電極１８Ａと他方の外部電極１８Ｂとに交互に接続されている。つまり、一方の外部電極１８Ａに接続される内部電極層１４を第１の内部電極層１４Ａとし、他方の外部電極１８Ｂに接続される内部電極層１４を第２の内部電極層１４Ｂとすると、コンデンサ素体１６は、第１の内部電極層１４Ａと第２の内部電極層１４Ｂとが誘電体層１２を介して交互に積層された構造となっている。そのため、一対の外部電極１８Ａ，１８Ｂ間に所定の電圧を印加した場合には、上下で対向する第１の内部電極層１４Ａと第２の内部電極層１４Ｂとの間には電荷が蓄えられる。

次に、上述した積層コンデンサ１０を作製する方法について説明する。ここで、図２は積層コンデンサ１０を作製する手順を示したフロー図である。

積層コンデンサ１０を作製するにあたり、まずＢａＴｉＯ_３系のグリーンシート２０を、以下の手順により準備する。まず、図２のステップ１１として、ＢａＴｉＯ_３粉末と有機バインダ・有機溶剤等とを混合してスラリー化する。そのスラリー化により得られたペーストを、ステップ１２として、例えばＰＥＴフィルム等のキャリアフィルム上にドクターブレード法を用いてシート成形し、厚さ２μｍのグリーンシート２０を複数枚作製する。併せて、グリーンシート２０よりも厚さの厚い、表層１１となるべきグリーンシート２１も準備する。

なお、グリーンシート２０，２１の作製と並行して、内部電極層１４となるべき電極ペースト２２も準備しておく。この電極ペースト２２は、Ｎｉ粉（導体粉）を有機バインダ及び有機溶剤に分散させてペースト状にしたものである。有機バインダには、公知のものを利用可能であり、例えばセルロース系樹脂、エポキシ樹脂、アリール樹脂、アクリル樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、アルキド樹脂、ロジンエステル等のバインダを用いることができる。また有機溶剤も、公知のものを利用可能であり、スクリーン印刷による印刷適正を考慮して、例えば、トルエン、ターピネオール、エチルセルロース、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、テレピン油、α−テレビネオール、エチルセロソルブ、ブチルフタレート等の溶剤を用いることができる。この電極ペースト２２には、共材としてＢａＴｉＯ_３粉末が添加されている。ＢａＴｉＯ_３粉末は、誘電体層１２（及びグリーンシート２０）の主成分であるＢａＴｉＯ_３が同じであるため、電極ペースト２２へのＢａＴｉＯ_３粉末の添加により、電極ペースト２２とグリーンシート２０との間における収縮率及び焼結開始温度の相違が有意に緩和される。

そして、図２のステップ１３の浸漬工程として、グリーンシート２０上に電極ペースト２２をスクリーン印刷する印刷工程（ステップ１４）の前に、スクリーン印刷に用いるスキージ５０の膨潤をおこなう。この浸漬工程では、スキージ５０を、印刷工程で用いる上記電極ペースト２２に含まれる有機溶剤と同じ有機溶剤５８（例えば、ターピネオール）に浸漬して膨潤させる。

スキージ５０は、図３に示すように断面長方形のヘラ状ゴム板であり、このスキージ５０と金属製の取り付け治具５２とでスクリーン印刷機のスキージユニット５４が構成されている。そして、浸漬工程は、より具体的には、スキージ５０を、容器５６の中に高さ２０〜３０ｍｍの位置まで入れた有機溶剤５８に浸漬して、１２時間以上膨潤させる。このとき、スキージ５０を、後述の印刷工程において使用される傾斜角と同じ角度θ（例えば、１５度）だけ鉛直方向から傾けて有機溶剤５８に浸漬する。また、印刷工程において製版と接触するスキージ先端ののエッジ部分５０ａが、容器５６の底面５６ａと接触しないように距離ｄ（例えば、５ｍｍ〜１０ｍｍ）だけ離間させた状態にスキージ５０を保持し、その状態でスキージ５０を有機溶剤５８に浸漬してスキージ５０を膨潤させる。すなわち、スキージ５０のうち、有機溶剤５８に浸漬された部分のスキージ５０が部分的に膨潤される。

続いて、図２のステップ１４の印刷工程として、グリーンシート２０の表面２０ａに、スクリーン印刷法により所定パターンの電極ペースト２２を印刷塗布する。図４は、グリーンシート２０の印刷パターンを示した図である。より詳しく説明すると、準備したグリーンシート２０のうち、半分のシート（以下、第１のグリーンシートと称す。）２０Ａには図４（ａ）に示す第１のペーストパターンＰＡで電極ペースト２２を印刷し、残りの半分のシート（以下、第２のグリーンシートと称す。）２０Ｂには図４（ｂ）に示す第２のペーストパターンＰＢで電極ペースト２２を印刷する。すなわち、第１のペーストパターンＰＡ及び第２のペーストパターンＰＢはいずれも、同一形状を有する複数の矩形状パターンＰ（例えば、２．３ｍｍ×０．５ｍｍ）で構成されており、また、その矩形状パターンＰの長手方向及び短手方向のそれぞれの方向に整列配置されたマトリクス状配置パターンとなっている。ただし、第１のペーストパターンＰＡと第２のペーストパターンＰＢとは、グリーンシート２０A，２０Bの対応位置に設けられたマークＭを基準に、矩形状パターンＰの長手方向に半ピッチだけずれている。なお、図５に示す一点鎖線は、グリーンシート２０を、個々の積層コンデンサに対応する矩形片（例えば、１．２５ｍｍ×０．６ｍｍ）に分割切断する際の切断線を示している。

以上で説明したスクリーン印刷について、図５を用いてより詳しく説明する。スクリーン印刷をおこなう際には、図５（ａ）に示すように、まず、内部電極層のペーストパターンＰＡ，ＰＢと同一パターンの版膜（レジスト）を有するスクリーンメッシュ（製版）６０を準備し、これをグリーンシート２０と平行になるように所定の間隔を空けて配置する。そして、スクリーンメッシュ６０の上方に、上述したスキージユニット５４をスキージ５０が傾斜角θとなるようにセットし、併せて、電極ペースト２２を引き延ばす用ヘラ６２をセットする。

そして、図５（ｂ）に示すように、ヘラ６２によってスクリーンメッシュ６０上の電極ペースト２２の塊が略均一に引き延ばされるように、ヘラ６２とスキージユニット５４とをスクリーンメッシュ６０に沿って同方向に移動させる。このとき、スキージユニット５４のスキージ５０は、印刷時の高さよりも高い位置に保持されており電極ペースト２２には触れない。

次に、図５（ｃ）に示すように、スキージユニット５４を印刷時の高さまで下げると共に、ヘラ６２を電極ペースト２２に触れない高さまで上げる。そして、図５（ｄ）に示すように、スキージユニット５４のスキージ５０によって、スクリーンメッシュ６０が上方から加圧されるように、スキージユニット５４とヘラ６２とをスクリーンメッシュ６０に沿って上述した方向とは反対の方向に移動させる。このとき、スキージ５０により加圧される部分のスクリーンメッシュ６０は、スキージ５０の移動に連動して下向きに凸となるように湾曲し、グリーンシート２０に接触すると共に、スクリーンメッシュ６０上に載った電極ペースト２２がスクリーンメッシュ６０の版膜のない部分から押し出される。その結果、図５（ｅ）に示すように、所定パターンの電極ペースト２２がグリーンシート表面２０ａに形成される。

次に、図２のステップ１５として、第１のグリーンシート２０Ａ及び第２のグリーンシート２０Ｂの両方のグリーンシート２０に塗布された電極ペースト２２を所定条件により乾燥する。電極ペースト２２の乾燥条件としては、例えば、乾燥温度６０℃〜１２０℃、乾燥時間１０分程度が好適である。

そして、図２のステップ１６として、電極ペースト２２が乾燥したグリーンシート２０を複数枚重ねて、積層体２６を形成する。ここで、図６は、積層コンデンサ１０を作製する手順を示した工程図である。上記積層体２６を形成するには、まず電極ペースト２２が上になるようにしてグリーンシート２１上に積層し（図６（ａ）参照）、その後、同様の方法を用いて作製した複数枚のグリーンシート２０を、第１のグリーンシート２０Ａと第２のグリーンシート２０Ｂとが交互に重なるように順次積層する（図６（ｂ）参照）。最後に、積層されたグリーンシート２０上に何も塗布されていないグリーンシート２１を被せると共に、積層方向からプレスして、隣り合うグリーンシート２１、グリーンシート２０及び電極ペースト２２を互いに圧着させる。以上の手順により、グリーンシート２０と電極ペースト２２とが交互に積層された積層体２６が作製される。

さらに、この積層体２６に対して所定の脱バインダ処理をおこなうと共に、１個のコンデンサに対応する矩形片対応領域２４（図４の一点鎖線参照）ごとに切断してチップ化する（図６（ｃ）参照）。

その後、図２のステップ１７として、チップ化した積層体２６を密閉匣鉢（さや）中で例えば、１２００℃程度で２時間焼成することにより、グリーンシート２１、グリーンシート２０及び電極ペースト２２はそれぞれ上述した表層１１、誘電体層１２及び内部電極層１４になり、積層体２６は誘電体層１２と内部電極層１４とが交互に積層されたコンデンサ素体１６になる。さらに、コンデンサ素体１６を水及び研磨媒体を含むバレル内で処理することにより表面研磨をおこなう。なお、この表面研磨は、積層体２６の段階でおこなってもよい。

最後に、図２のステップ１８として、コンデンサ素体１６の端面のうち、積層方向に延在し互いに対向する一対の端面１６ａ，１６ｂを覆うように、外部電極１８Ａ，１８Ｂを形成して、積層コンデンサ１０が完成する（図６（ｄ）参照）。

以上で説明したとおり、上述した積層コンデンサ１０の製造方法においては、内部電極層１４となるべき電極ペースト２２をスクリーン印刷する際には、その印刷工程（図２のステップ１４）に先立ち、スキージ５０を有機溶剤５８に浸漬して膨潤させる浸漬工程（図２のステップ１３）を有する。この浸漬工程において、スキージ５０は十分に膨潤した状態となり、その後の印刷工程において膨潤しにくくなる。

このようにスキージ５０を予め膨潤させておくことで、スキージ５０が乾燥している場合に比べて膨潤しにくい状態になることは、発明者らがおこなった以下のような実験により明らかである。すなわち、発明者らは、浸漬時間に対するスキージ厚さの変化を調べる実験をおこない、図７のグラフに示すような実験結果を得た。図７のグラフの横軸は浸漬時間（ｈｒ）であり、縦軸はスキージ５０の厚さの変化率ΔＴ（％）である。なお、本実験のペーストにはＮＰ−９９２０Ｓ２（溶剤：メンタノールプロピオネート９０％、ジヒドロターピネオール１０％）を用い、スキージにはポリウレタンゴム系スキージ（サイズ：幅４０ｍｍ×長さ２００ｍｍ×厚さ９ｍｍ）を用いた。

このグラフから明らかなように、スキージ５０を有機溶剤に浸漬すると、浸漬時間の経過と共にスキージ５０が次第に膨潤していき、浸漬時間が１２時間を過ぎたところでスキージ５０の膨潤が飽和状態となり、ほとんど膨潤しなくなる。

そのため、印刷工程前の浸漬工程においてスキージ５０を予め膨潤させておくことで、印刷工程におけるスキージ５０の著しい膨潤が避けられる。その結果、印刷時におけるスキージ５０の経時的形状変化が抑えられ、それに伴ってペースト厚さの変化も抑えられる。特に、浸漬工程においてスキージ５０を有機溶剤５８に１２時間以上浸漬しておくことで、スキージ５０の膨潤が飽和状態となり、印刷工程におけるスキージ５０の膨潤をより効果的に抑制することが可能となる。従って、この場合には、印刷時におけるペースト厚さの変化が高いレベルで抑えられ、印刷工程においてより均一なペースト厚さを実現することができる。

以上で詳細に説明したように、上述した積層コンデンサ１０の製造方法においては、浸漬工程（図２のステップ１３）においてスキージ５０を有機溶剤５８で膨潤させた後、そのスキージ５０を用いた印刷工程（図２のステップ１４）においてスクリーン印刷をおこなう。そのため、印刷の開始時にはスキージ５０がすでに膨潤しており、印刷時にスキージ５０がさらに膨潤してしまう事態が抑えられている。従って、この積層コンデンサ１０の製造方法によれば、スキージ５０の膨潤が低減されて印刷時におけるペースト厚さの均一化が図られており、その厚さ変化が抑えられている。なお、このようにして得られた積層コンデンサ１０は、印刷時におけるペースト厚さの変化が有意に抑えられており、内部電極層１４の厚さの均一化が実現されるため、内部電極層１４の厚さのさらなる薄型化を図ることができる。

スクリーン印刷の印刷対象が、上述したグリーンシート２０のように厚さ２μｍ程度の極薄のものの場合、印刷時にスキージ５０が次第に膨潤していくと、初期設定の印刷圧力よりも大きな圧力が印刷対象に負荷されるようになる。その結果、印刷対象が破損してしまう事態等が発生することが考えられる。そこで、上述した製造方法により、印刷時におけるスキージ５０の膨潤を有意に低減することで、そのような印刷圧力の増加が抑制され、印刷対象へのダメージが効果的に抑えられる。

また、浸漬工程の際、容器５６に入った有機溶剤５８にスキージ５０を浸漬して、スキージ５０を膨潤させるため、有機溶剤５８を入れる容器５６を適切に選択することで、所望の膨潤条件（例えば、浸漬深さやスキージ傾き等）でスキージ５０の膨潤をおこなうことができる。

特に、上述した実施形態においては、浸漬工程の際に、スキージ５０を、印刷工程において使用される傾斜角と同じ角度θだけ傾けて有機溶剤に浸漬しているため、印刷工程で電極ペースト２２に浸る部分と同じ部分のスキージ５０が浸漬され、印刷工程においても、浸漬工程と同様のスキージ５０の膨潤状態が保たれる。

電極ペースト２２が揮発性を有するものである場合、スキージ５０の浸漬工程で膨潤させる部分と印刷工程で電極ペースト２２に浸る部分とを同じにしておくことが好ましい。スクリーン印刷に用いるペーストが揮発性を有する場合、ペーストの有機溶剤成分の揮発により、予め膨潤させた部分のスキージ５０が収縮してしまうことがある。ところが、浸漬工程で膨潤させる部分と印刷工程で電極ペーストに浸る部分とが同じ場合には、そのような揮発によるスキージ５０の経時的形状変化についても効果的に抑制され、ペーストの厚さ変化が抑えられる。

さらに、浸漬工程の際、スキージのスクリーンメッシュ６０と接触する部分５０ａが容器５６の底面５６ａと接触しない高さ（エッジ部分５０ａが底面５６ａから距離ｄだけ離れた高さ）にスキージを保持した状態で、スキージを有機溶剤に浸漬するため、スクリーン印刷の印刷精度に大きく影響するエッジ部分（スキージの製版と接触する部分）５０ａが変形したり欠損したりする事態が有意に回避されている。

なお、浸漬工程で用いる有機溶剤５８が、印刷工程で用いる電極ペースト２２に含まれる有機溶剤と同一であるため、浸漬工程で膨潤させたスキージ５０に含まれる有機溶剤が、印刷工程で用いる電極ペースト２２に混じった場合でも、印刷に悪影響を与えない。また、スクリーンメッシュ６０からの版離れ性も改善されるため、その結果、製品チップの歩留まりが向上する。

なお、浸漬工程として、有機溶剤５８を含む電極ペースト２２にスキージ５０を浸漬して、スキージ５０を膨潤させることも可能である。この場合、電極ペースト２２の有機溶剤成分のみがスキージ５０に含浸されるため、上述した効果と同様の効果を得ることができる上、印刷工程で用いる電極ペースト２２を流用することができるため浸漬工程のための有機溶剤５８を別途準備する必要がなくなる点で好適である。

本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記製造方法を適用する電子部品は、積層コンデンサに限らず、スクリーン印刷を用いるものであれば、例えば、積層型の圧電チップ部品やチップバリスタ部品などの電子部品であってもよい。また、スクリーン印刷の例として、内部電極を形成するための導電性ペーストを印刷する場合についてのみ説明したが、内部電極の余白を埋めるための絶縁性ペーストを印刷する場合にも適用することができる。

図１は、本発明の実施形態に係る積層コンデンサの概略断面図である。 図２は、図１に示した積層コンデンサを作製する手順を示したフロー図である。 図３は、図２の浸漬工程におけるスキージの状態を示した図である。 図４は、図１に示した積層コンデンサの作製に用いるグリーンシートの印刷パターンを示した図であり、（ａ）は第１のグリーンシートの印刷パターンを、（ｂ）は第２のグリーンシートの印刷パターンを示した図である。 図５の（ａ）〜（ｅ）は、図２の印刷工程におけるスクリーン印刷の手順を示した工程図である。 図６の（ａ）〜（ｄ）は、図１に示した積層コンデンサを作製する手順を示した工程図である。 図７は、浸漬時間に対するスキージ厚さの変化を調べる実験の実験結果を示したグラフである。

符号の説明

１０…積層コンデンサ、１２…誘電体層、１４，１４Ａ，１４Ｂ…内部電極層、１８…外部電極、２０，２０Ａ，２０Ｂ…グリーンシート、２２…電極ペースト、２６…積層体、５０…スキージ、５６…容器、５８…有機溶剤、６０…スクリーンメッシュ。

Claims (8)

1. スキージを用いてシート上にペーストをスクリーン印刷する印刷工程を有する電子部品の製造方法であって、前記印刷工程の前に、前記スキージを有機溶剤に浸漬して膨潤させる浸漬工程をさらに有する、電子部品の製造方法。
2. 前記浸漬工程の際、所定の容器に入った前記有機溶剤に前記スキージを浸漬して、前記スキージを膨潤させる、請求項１に記載の電子部品の製造方法。
3. 前記スキージの製版と接触する部分が前記容器の底面と接触しない高さに前記スキージを保持した状態で、前記スキージを前記有機溶剤に浸漬する、請求項２に記載の電子部品の製造方法。
4. 前記浸漬工程の際、前記スキージを、前記印刷工程において使用される傾斜角と同じ角度だけ傾けて前記有機溶剤に浸漬する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
5. 前記浸漬工程で用いる前記有機溶剤が、前記印刷工程で用いる前記ペーストに含まれる有機溶剤と同一である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
6. 前記浸漬工程として、前記有機溶剤を含む前記ペーストに前記スキージを浸漬して、前記スキージを膨潤させる、請求項５に記載の電子部品の製造方法。
7. 前記浸漬工程において前記スキージを前記有機溶剤に１２時間以上浸漬する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
8. 内部電極層と誘電体層とが交互に積層された電子部品であって、
   有機溶剤に浸漬して膨潤させたスキージを用いて、前記誘電体層となるべきシート上に、前記内部電極層となるべきペーストをスクリーン印刷して作製した、電子部品。

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