JP4461764B2 - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
図中の矢印はウェハの搬送経路を示している。
複数枚のウェハが収容されるウェハカセット60や、ウェハプリアライナ71、ロボットアーム73は、大気中に配置されている。ロボットアーム73の近傍には加熱手段(ランプ)74が配置されている。また、真空ロードチャンバ83、プリアライナチャンバ91及び露光装置100は、真空に保たれている。
ウェハ真空ロードチャンバ83はゲートバルブ89を介してプリアライナチャンバ91に接続している。同チャンバ91内には、プリアライナ93が備えられている。
ウェハ真空ロードチャンバ83は、ゲートバルブ95を介して露光装置100のウェハチャンバ106に接続している。同チャンバ106内には、ウェハステージ131が備えられており、同ステージ131上にはウェハホルダ130が設けられている。
まず、大気中において、ロボットアーム73でカセット60からウェハを一枚取り出し、プリアライナ71に載置し、ウェハプリアライメントを行う。
プリアライメント終了後、プリアライナ71からロボットアーム73でウェハを取り出す。そして、ウェハを加熱手段(ランプ)74の上方に移動させて、ランプ74を照射させてウェハを加熱する。
その後、ゲートバルブ79を開けてウェハをロードロック室77に搬送する。そして、ゲートバルブ79を閉めてロードロック室77の真空引きを行う。ロードロック室77が目的の真空度に達したら、真空ロードチャンバ83側のゲートバルブ81を開いて、真空ロボットアーム85で、ロードロック室77からウェハを取り出して、プリアライナチャンバ91内のプリアライナ93上に載置する。そして、プリアライナ93においてより高精度なプリアライメントを行う。
アライメントの終了後、真空ロボットアーム85で、プリアライナチャンバ91からウェハを取り出し、ゲートバルブ95を開けて露光装置100に搬送する。そして、ウェハをウェハチャンバ106内のウェハステージ131上のウェハホルダ130に載置する。
図3は、本発明の一実施例に係る露光装置の光学系全体における結像関係及び制御系の概要を示す図である。
電子線露光装置100の上部には、光学鏡筒101が配置されている。光学鏡筒101には、真空ポンプ(図示されず)が接続されており、光学鏡筒101内を真空排気している。
図1は、本発明の一実施例に係るウェハ搬送機構を示す平面図である。
図2は、ロボットアームがウェハを保持している状態を拡大して示す図である。図2(A)は、平面図であり、図2(B)は、側面図である。
複数枚のウェハが収容されるウェハカセット(容器)20、プリアライナ21、ロボットアーム23は、大気中に配置されている。ロボットアーム23の近傍には加熱手段(ランプ)24が配置されている。また、真空ロードチャンバ33、プリアライナチャンバ41及び露光装置100は、真空に保たれている。
ウェハ真空ロードチャンバ33は、ゲートバルブ39を介してプリアライナチャンバ41に接続している。同チャンバ41内には、プリアライナ43が備えられている。
ウェハ真空ロードチャンバ33は、ゲートバルブ45を介して露光装置100のウェハチャンバ106に接続している。同チャンバ106内には、ウェハステージ131が備えられており、同ステージ131上にはウェハホルダ130が設けられている。
なお、制御装置25及び温度センサ26は、図1及び図2(A)では省略されている。
まず、大気中において、図2(A)に示すように、ロボットアーム23でカセット20からウェハWを一枚取り出し、プリアライナ21に載置する。そして、プリアライナ21においてウェハWのプリアライメントを行う。
まず、真空排気時の気体の断熱膨張によるウェハWの温度変化から、ウェハWに照射すべき熱量の総量を予め求めておく。また、ランプ24の照射時間とウェハWに吸収される熱量との関係について予め測定を行い、測定データを制御装置25にもたせておく。
次に、照射すべき熱量の総量とランプ24の出力等から、ランプ24の照射時間(通常値)を事前に設定する。そして、温度センサ26から送られた熱量測定値と上記の測定データとを比較して、ランプ24の照射時間を調整する。具体的には、熱量測定値が、通常値を設定した際のランプ24の出力と同じに維持されている場合には、照射時間を通常値のままにしてランプ24を照射する。また、熱量測定値が通常値を設定した際のランプ24の出力より低下している場合には、上記の測定データに基づいて、熱量の不足分が補える分だけランプ24の照射時間を延長する。
アライメントの終了後、真空ロボットアーム35で、プリアライナチャンバ41からウェハWを取り出し、ゲートバルブ45を開けて露光装置100に搬送する。そして、ウェハをウェハチャンバ106内のウェハステージ131上のウェハホルダ130に載置する。
20 ウェハカセット(容器)
21 プリアライナ
23 ロボットアーム
24 ランプ
25 制御装置
26 温度センサ
27 ロードロック室
29 ゲートバルブ
33 真空ロードチャンバ
35 真空ロボットアーム
39 ゲートバルブ
41 プリアライナチャンバ
43 プリアライナ
45 ゲートバルブ
W ウェハ
M マスク
100 電子線露光装置
101 光学鏡筒
103 電子銃
104 コンデンサレンズ
105 電子線偏向器
106 ウェハチャンバ
110 チャック
111 マスクステージ
112 駆動装置
113 レーザ干渉計
114 ドライバ
115 制御装置
116 マウントボディ
124 プロジェクションレンズ
125 偏向器
130 チャック
131 ウェハステージ
132 駆動装置
133 レーザ干渉計
134 ドライバ
Claims (2)
- 真空下において感応基板上にエネルギー線を選択的に照射してパターンを形成する露光方法であって、
ウェハを真空領域に搬送する際の断熱冷却による該ウェハの温度変化を予測し、
予測した温度変化分に相当する熱量を、ランプの照射熱によって前記ウェハに与えて補償する際に、該ランプの照射熱をモニターしておき、
ロボットアームに前記ウェハを載置した状態で前記ロボットアームを前記ランプの上方に移動させて、前記ランプの照射熱を前記ウェハに照射し、
前記ランプの照射熱の変化を、前記ウェハ直下に位置する、前記ロボットアーム下面に配置されたセンサにより検知し、
前記センサの出力を前記ランプにフィードバックさせて、
前記ウェハへの温度補償状態を一定に保つことを特徴とする露光方法。 - 真空下において感応基板上にエネルギー線を選択的に照射してパターンを形成する露光装置であって、
ウェハを真空領域に搬送する際の断熱冷却による該ウェハの温度変化分の熱量を、該ウェハに照射するランプと、
前記ランプの照射する熱量の変化をモニターするセンサと、
前記センサの測定した前記ランプの照射熱の変化を、前記ランプにフィードバックさせて、前記ウェハへの温度補償状態を一定に保つ手段と、
ロボットアームに前記ウェハを載置した状態で前記ロボットアームを前記ランプの上方に移動させて、前記ランプの照射熱を前記ウェハに照射する手段と、
を具備し、
前記ウェハ直下に位置する、前記ロボットアーム下面に前記センサが配置されていることを特徴とする露光装置。
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