JP4460082B2 - 液晶表示装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタ(以下、TFTという)をスイッチング素子として備えたアクティブマトリクス型の液晶表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
アクティブマトリクス型の液晶表示装置は、高画質のフラットパネル・ディスプレイとして注目されている。この液晶表示装置は、アレイ基板上に形成された複数のゲートバスラインと、ゲートバスラインに直交して複数設けられたデータバスラインとを有している。そして、ゲートバスラインとデータバスラインとで画定されるマトリクス状の領域に画素が形成されている。各画素にはTFT及び画素電極が形成されている。また、アレイ基板に対向して対向基板が設けられており、対向基板には共通電極及びカラーフィルタが形成されている。アレイ基板と対向基板との間は所定のセルギャップで液晶が封入されており、液晶層を挟む両基板の電極間に電圧を印加して液晶を駆動するようになっている。
【0003】
図12及び図13を用いて従来の液晶表示装置の構造について簡単に説明する。図12は、液晶表示装置のアレイ基板を液晶層側から見た基板面を示している。また。図13は、図12のA−A’線で切断したTFTの断面を示している。図12及び図13に示すように、透明ガラス基板であるアレイ基板121上には図中上下方向に延びる複数のデータバスライン101(図12では1本のみ示している)が形成されている。また基板121上には、図中左右方向に延びる複数のゲートバスライン103(図12では1本のみ示している)が形成されている。これらデータバスライン101とゲートバスライン103とで画定されて画素領域が形成される。各データバスライン101とゲートバスライン103との交差位置近傍にTFTが形成されている。TFTのドレイン電極117は、図中左側に示されたデータバスライン101から引き出されて、その端部がゲートバスライン103上に形成されたチャネル保護膜105上の一端辺側に位置するように形成されている。
【0004】
一方、ソース電極119はチャネル保護膜105上の他端辺側に位置するように形成されている。このような構成においてチャネル保護膜105直下のゲートバスライン103領域が当該TFTのゲート電極として機能するようになっている。ゲートバスライン103上にはゲート絶縁膜123が形成され、その上にチャネルを構成する例えばアモルファスシリコン(a−Si)層からなる動作半導体層106が形成されている。動作半導体層106とドレイン電極117、ソース電極119との間にはn+a−Si層からなるオーミックコンタクト層129が形成されている。このように図12及び図13に示すTFT構造は、ゲート電極がゲートバスライン103から引き出されて形成されておらず、直線状に配線されたゲートバスライン103の一部をゲート電極として用いる構成になっている。また、パッシベーション膜133を介してソース電極119上層にはITO層(インジウム・ティン・オキサイド)を用いた透明電極からなる画素電極113が形成されている。画素電極113は、パッシベーション膜133に開口されたコンタクトホール107において、仲介金属層140を介してソース電極119と電気的に接続されている。
【0005】
また、液晶表示装置のアレイ基板121上のゲートバスライン103に駆動信号を供給するため、TAB(Tape Automated Bonding)実装によりドライバICをFPC(Flexible Printed Circuit)に搭載したTCP(Tape Carrier Package)が用いられている。TCPのドライバICの配線端子は、一般に、異方性導電粒子を含む接着剤(Anisotropic Conductive Film;以下、ACFという)を用いてアレイ基板121上のゲートバスライン103の入力端子に電気的に接続される。このTAB実装方式の利点の一つとして修理、補修(リペア)の容易性が挙げられる。例えば、TAB実装後の試験でアレイ基板121上の部品以外の部品に起因する不具合(例えば、ドライバICの不良やFPC上での断線等)が発見された場合には、ACFを剥離してアレイ基板121からTCPを分離し、別のTCPを接続することにより比較的容易にリペアを行うことができる。
【0006】
ところで、アレイ基板121上のバスラインは、信号の波形鈍りを避けるために金属層で形成される。そして、ACF層を介してTCPの配線端子と接続されるバスライン端子部は、腐食や接続抵抗等の問題を回避するため一般にその最上層にはITO層が形成される。ITO層は、その下層の絶縁層に設けられたコンタクト窓を介してバスライン金属層と電気的に接続される。バスラインの電気抵抗を極力抑えるため、コンタクト窓はACFが及ぶ範囲内に配置させる必要がある。
【0007】
また、液晶表示パネルの高精細化、大型化に伴って、バスラインには低抵抗の金属を用いる必要が生じている。低抵抗金属の一例として例えばアルミニウム(Al)またはAl合金が挙げられる。ところが、AlまたはAl合金をバスラインの金属層として用いると、バスライン金属層とITO層の間で高抵抗、腐食、あるいは電食の問題が発生する。これを回避するため、AlまたはAl合金のバスライン金属層とITO層の間に、ITO層との間で高抵抗、腐食、あるいは電食の問題を生じない金属層、例えばチタン(Ti)を仲介金属層として介在させる方法が提案されている(例えば、本願と同一出願人による特願平10−147761号)。
【0008】
バスライン金属層とITO層とを直接接触させる場合は、コンタクト窓を形成するエッチング工程でバスライン金属表面がわずかに削りとられてクリーニングされるため、それらの密着強度は比較的強い。ところが仲介金属層を用いる場合には、仲介金属層のためのパターン形成後、連続してITO層を成膜するため、このようなクリーニングを兼ねる工程がなく、金属表面の汚れによって密着強度が低下する場合がある。その結果、ACFによるTAB実装方式の利点であるリペアの容易性が低下し、リペア工程でTCP等を取り外す際に仲介金属層上のITO層が剥離してしまうという問題が生じている。このような問題を回避するためには、ITO層とバスライン金属層との間のコンタクト窓をACFが及ぶ範囲の外に配置するか、クリーニング工程を追加することが考えられる。しかし、近年の液晶表示パネルにおける大型化、高精細化の要求に伴いバスラインの抵抗を低くすることは必須条件となってきているが、配線抵抗が高くなってしまう前述の対策はこの条件を阻害することになる。また、クリーニング工程を追加することは製造コスト高、タクト増を招くため好ましくない。
【0009】
図14乃至図17を用いて、従来の液晶表示装置のアレイ基板121上のゲートバスライン103端子部の構造について説明する。図14(a)は、アレイ基板121上の複数のゲートバスライン103端部の平面を示している。図14(b)は、図14(a)のA−A’線で切断したゲートバスライン103端子部に設けられたコンタクト窓108の縦断面を示し、図14(c)は、B−B’線で切断したコンタクト窓108の横断面を示している。また、図15は、TCP端部とアレイ基板121とがACFで接続された状態のコンタクト窓108近傍の断面を示している。図16は、TCP端部をアレイ基板121から引き剥がした状態のコンタクト窓108近傍の断面を示している。また、図17は、より現実に近い状態で図示したゲートバスライン103端部の形状を示している。
【0010】
複数のゲートバスライン103に駆動信号を供給するドライバIC(図示せず)がTAB実装されたTCPのFPC152に形成された金属配線層は、アレイ基板121端辺121eから距離D1だけ内方に入った図14(a)中の左右に延びる破線にFPC152端辺が一致するように配置されてACFによりアレイ基板121に接続されている。ゲートバスライン抵抗をできるだけ小さくするため、図14(a)に示すように、ゲートバスライン103金属層とITO層135とが接続されるコンタクト窓108はACFによる接着領域内に配置されている。
【0011】
この例ではゲートバスライン103の金属層は、AlまたはAl合金が用いられている。また、ITO層135とゲートバスライン103の金属層との間にはTiを用いた仲介金属層140が形成されている。図15に示すように、仲介金属140の端部は、アライメントのためのマージンをとってコンタクト窓108の開口端部より保護膜133上に距離D2だけ拡がって形成されている。同様に、ITO層135は、仲介金属140の周囲端部より距離D3だけ拡がって形成されている。
【0012】
ゲートバスライン103端子部をより現実の形状に近づけて表示している図17を用いてコンタクト窓108近傍の形状をより詳細に説明する。図17(a)は1本のゲートバスライン103の端子部の平面形状を示している。図17(b)は、図17(a)のA−A’線で切断したコンタクト窓108の断面を示している。図17(c)は、図17(a)のコンタクト窓108を拡大して示しており、コンタクト窓108や仲介金属層の具体的寸法を表示している。また、図17(d)は、図17(b)に示したコンタクト窓108端部を拡大して示している。
【0013】
図17(c)に示すように、コンタクト窓108はコンタクト抵抗をできるだけ下げるためゲートバスライン幅とほぼ同じ幅に形成されている。より具体的には、コンタクト窓108は、幅80μmのゲートバスライン103の配線方向に長辺を有する長方形形状にパターニングされており、長辺の長さは約100μm、短辺の長さは約58μmである。また、仲介金属層140のTiパターンはコンタクト窓108の外郭と一致させると段差形状が複雑になってしまうため、コンタクト窓108の開口周囲よりフォトリソグラフィおよびエッチングに関するアライメントのマージンとして8μm(図15に示した距離D2)だけ大きく設計されている。また同様に、ITO層135は、仲介金属140の周囲端部より距離D3=3μmだけ拡がって形成されている。
【0014】
また、図17(b)を参照しつつ、ゲートバスライン103の膜厚は200nm以下、ゲート絶縁膜123の膜厚は40nm以下、パッシベーション膜133は300nm以下、ソース/ドレイン電極の形成と同時に形成される仲介金属層140の厚さは100nm以下、そして、ITO層135の厚さは70nm以下に形成されている。
【0015】
さて、図15に戻り、アレイ基板121のゲートバスライン103端子部にはACF156を介してTCPが接続されている。図15においては、TCPを構成するFPC152の表面に形成された金属配線層154がACF156を介してITO層135と電気的に接続されている。この状態から、ゲートバスライン103端子部に貼り付けられたTCPをリペアのため引き剥がすと、図16に示すようにITO層135と仲介金属(Ti)層140との界面S1で剥離が発生する。これはITO層135と仲介金属層140との密着強度が弱いために生じ、ITO層135の大部分135’がACFと共にTCP側に引き剥がされてしまう。このようにITO層135が剥離した状態で、リペアのため別のTCPをゲートバスライン103の端子部に接続しようとすると、仲介金属層140が直接ACF156の導電性粒子に接することになり、TAB実装側の金属配線層154とアレイ基板121上のゲートバスライン103との接続抵抗の増大が引き起こされて、結果として表示品質や信頼性の劣化を招いてしまう。
【0016】
図18は、さらに他の従来の液晶表示装置のゲートバスライン103の端子部を示している。図18(a)は、アレイ基板121上の複数のゲートバスライン103端部の平面を示している。図18(b)は、図18(a)のA−A’線で切断したゲートバスライン103端子部に設けられたコンタクト窓108を含む断面を示している。複数のゲートバスライン103に駆動信号を供給するドライバIC(図示せず)がTAB実装されたTCPのFPC152端辺は、アレイ基板121端辺121eから距離D4だけアレイ基板121内方に入った図18(a)中左右に延びる破線に位置してACFにより接続されている。図18に示すように、ゲートバスライン103の金属層とITO層135とのコンタクト窓108はACFによる接着領域外に配置されている。このようにITO層135とゲートバスライン103の金属層とのコンタクト窓108はACF156の及ぶ範囲外にあるため実装工程のリペア作業によるITO層135の剥がれは原理的に発生しない。
【0017】
しかし、TCP端子からゲートバスライン103の金属層との間にITO層135だけによる高抵抗領域(距離D5の領域)が存在する。ACF156の張り付け公差等を考慮すると、確実にACF156の及ぶ範囲からコンタクト窓108を隔離するにはD5=0.5mm〜数mmにする必要がある。このため例えばITO層135のシート抵抗が約50Ω/□であるとし、ゲートバスライン幅が50μmであるとすると500Ω以上の抵抗になってしまう。この高抵抗によりゲートバスライン103を流れるゲート信号の波形は鈍ってしまいゲートバスライン103上の複数の画素の輝度が変動してしまうという影響が生じる。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、ACFが及ぶ範囲内にITO層135と仲介金属層140とのコンタクト窓108を配置した場合には、実装リペア作業中にITO層135の剥離が発生して、画像の表示品位の劣化や表示装置の信頼性の低下が生じてしまう。一方、ITO層135と仲介金属層140とのコンタクト窓108をACFが及ぶ範囲外に配置した場合には、ITO層135の高抵抗が付加されて、画像の表示品位の劣化が生じてしまうという問題が生じる。
【0019】
本発明の目的は、ACFの及ぶ範囲内にITO層と仲介金属層とのコンタクト窓を配置した場合であっても実装リペア作業によるITO剥がれが発生し難い端子構造を有する液晶表示装置を提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、バスラインを構成する金属層と、金属層上に形成された絶縁膜と、バスラインの端子部に絶縁膜を開口して設けられたコンタクト窓と、コンタクト窓を介して金属層と電気的に接続される仲介金属層と、仲介金属層と電気的に接続されたITO層とを有し、バスラインからの信号に基づいてスイッチング素子により液晶を駆動して画像を表示させる液晶表示装置において、ITO層は、仲介金属層との密着強度を補強するための、コンタクト窓周囲の絶縁膜と密着する密着強度補強領域を有していることを特徴とする液晶表示装置によって達成される。
【0021】
また、上記目的は、バスラインを構成する金属層と、金属層上に形成された絶縁膜と、バスラインの端子部に絶縁膜を開口して設けられたコンタクト窓と、コンタクト窓を介して金属層と電気的に接続される仲介金属層と、仲介金属層と電気的に接続されたITO層とを有し、バスラインからの信号に基づいてスイッチング素子により液晶を駆動して画像を表示させる液晶表示装置において、ITO層は、コンタクト窓内で金属層と密着する密着強度補強領域を有していることを特徴とする液晶表示装置によって達成される。
【0022】
さらに上記目的は、ガラス基板と、ガラス基板上に形成されたバスラインを構成する金属層と、金属層上に形成された絶縁膜と、バスラインの端子部に絶縁膜を開口して設けられたコンタクト窓と、コンタクト窓を介して金属層と電気的に接続される仲介金属層と、仲介金属層と電気的に接続されたITO層とを有し、バスラインからの信号に基づいてスイッチング素子により液晶を駆動して画像を表示させる液晶表示装置において、ITO層は、コンタクト窓内でガラス基板と密着する密着強度補強領域を有していることを特徴とする液晶表示装置によって達成される。
【0023】
本発明の液晶表示装置において、コンタクト窓周囲の所定範囲内の基準面積のうち、仲介金属層と接触しないITO層の面積は、仲介金属層と接触するITO層の面積の10%以上であることが望ましい。また、仲介金属層の表面積は5000μm2以下であることが望ましい。さらに、仲介金属層の最小幅は、20μm以下であることが望ましい。
【0024】
本発明の液晶表示装置において、コンタクト窓は少なくとも2個以上であってもかまわない。その場合のコンタクト窓によるコンタクト抵抗値は、バスライン抵抗値の10%以下であることが望ましい。また、本発明の液晶表示装置において、金属層は低抵抗金属で形成され、絶縁膜はSiNxで形成され、仲介金属層は高融点金属で形成されていることを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態による液晶表示装置を図1を用いて説明する。図1は本実施の形態の液晶表示装置のアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示している。図1(a)は、アレイ基板21上のゲートバスライン3端部の平面を示している。図1(b)は、図1(a)のB−B’線で切断したゲートバスライン3端子部に設けられたコンタクト窓8の断面を示している。なお、本実施の形態による液晶表示装置はゲートバスラインの端子部の構造に特徴を有しており、その他の構成については図12及び図13を用いて説明した液晶表示装置と同様であるので説明は省略する。
【0026】
複数のゲートバスライン3に駆動信号を供給するドライバIC(図示せず)がTAB実装されたTCP(図示せず)端辺は、アレイ基板21端辺21eから距離D6だけ内方に入った図1(a)中の左右に延びる破線に一致するように配置されてACFによりアレイ基板21に接続されている。ゲートバスライン抵抗をできるだけ小さくするため、図1(a)に示すように、ゲートバスライン3金属層とITO層35とが接続されるコンタクト窓8はACFによる接着領域内に配置されている。
【0027】
本例ではゲートバスライン3の金属層として、AlまたはAl合金が用いられている。また、ITO層35とゲートバスライン3の金属層との間にはTiを用いた仲介金属層40が形成されている。図1(b)に示すように、仲介金属層40の端部は、アライメントのためのマージンをとってコンタクト窓8の開口端部よりパッシベーション膜33上に拡がって形成されている。同様に、ITO層35は、仲介金属層40の周囲端部より所定距離だけ拡がってパッシベーション膜33と接触する接触部S2を有している。
【0028】
本実施の形態の特徴的な点は、仲介金属層40とITO層35とのコンタクトをとるためのコンタクト窓8が、ゲートバスライン3の幅に対してフォトリソグラフィおよびエッチングに関するアライメントのマージンより大きな幅を持って配置されていることにある。そのため、コンタクト窓8の周囲のシリコン窒化膜(SiNx)からなるパッシベーション膜33上には、ITO層35との比較的広い接触領域が存在している。このITO層35とパッシベーション膜33との接触部S2の密着強度は仲介金属層40とITO層35の接触部S1の密着強度より強い。このITO層とパッシベーション膜33との接触部S2は、実装リペア工程でTCPのFPCを引き剥がす際の引っ張り力により、ITO層35と仲介金属層40との金属層界面である接触部S1でITO層35が剥離してしまうのを引き止める作用をする。つまり、接触部S2は、ITO層35と仲介金属層40との金属層界面S1の密着強度を補強するように機能する。このように本実施の形態によるITO層35は、仲介金属層40との密着強度を補強するため、コンタクト窓8周囲のパッシベーション膜33と密着する密着強度補強領域(S1)を有していることを特徴としている。
【0029】
次に、図1に示す構造を形成する工程を簡単に説明する。まず、ガラス基板21全面に金属層(例えばAl)を成膜してパターニングしゲートバスライン3を形成する。次に、絶縁膜(例えばSiNx)を成膜してゲート絶縁膜23を形成する。次いで、TFTの動作半導体層となるアモルファスシリコン(a−Si)層を形成する。次に、シリコン窒化膜(SiNx)を成膜して、例えばゲートバスライン3をマスクとして背面露光を行いシリコン窒化膜をパターニングしてチャネル保護膜を形成する。次に、動作半導体層とソース/ドレイン電極とのコンタクトをとるためのn+Siからなるオーミックコンタクト層と、ソース/ドレイン電極およびデータバスラインとなる金属層(例えばAl)を成膜した後パターニングする。次いで、パッシベーション膜(例えばSiNx)33を成膜し、後に形成する画素電極のITO層35とソース電極とを接続させるコンタクト窓の形成と共に、ゲートバスライン3の端子部でITO層35と仲介金属層40及びゲートバスライン3を接続させるためのコンタクト窓8をエッチングにより形成する。次に、金属層(例えばTi)を成膜してパターニングしITO膜35とゲートバスライン3との間に積層される仲介金属層40を形成する。次に、ITOを成膜してパターニングし、画素電極及びゲートバスライン上のITO層35を形成する。このとき仲介金属層40の外周囲には、ITO膜35とパッシベーション膜33とが図1の接触部S2で密着されている。これにより比較的密着強度の弱いITO膜35と仲介金属層40との接触部S1の密着強度を補強することができる。
【0030】
次に、本発明の第2の実施の形態による液晶表示装置を図2を用いて説明する。図2は本実施の形態の液晶表示装置のアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示している。図2(a)は、アレイ基板21上のゲートバスライン3端部の平面を示している。図2(b)は、図2(a)のB−B’線で切断したゲートバスライン3端子部に設けられたコンタクト窓8の断面を示している。なお、第1の実施の形態による液晶表示装置のゲートバスラインの端子部の構造と同一の機能作用を有する構成要素には同一の番号を付してその説明は省略する。
【0031】
本実施の形態による端子部は、仲介金属層40がコンタクト窓8内にのみ存在し、コンタクト窓8内の仲介金属層40が存在しない領域が有為の面積を持って存在している点に特徴を有している。このため、コンタクト窓8周囲と仲介金属層40との間の領域にはゲートバスライン3の金属層が露出しており、ITO層35が直接ゲートバスライン35金属層と接触する接触部S3が存在している。。このITO層35とゲートバスライン3の金属層との接触部S3の密着強度は、ゲートバスライン3の金属層の露出部がエッチング工程でその表面を薄く削り取られてクリーニングされているために仲介金属層40とITO層35の接触部S1の密着強度より強い。
【0032】
また、ITO層35は、第1の実施の形態よりさらに広い領域でパッシベーション膜33と接触する接触部S2を有している。このITO層35とゲートバスライン3金属層との接触部S3およびITO層35とパッシベーション膜33との接触部S2は、実装リペア工程でTCPを引き剥がそうとする際の引っ張り力により、ITO層35が仲介金属層40との金属層界面S1で剥離してしまうのを引き止めるように作用し、ITO層35と仲介金属層40との金属層海面S1の密着強度を補強するように機能する。
【0033】
また、この構造は、第1の実施の形態と同一の製造工程で形成されるが、仲介金属層40はコンタクト窓8よりわずかに小さく形成されており、ITO層35とパッシベーション膜33との接触部S2の接触領域の占める面積を第1の実施の形態のそれより大きくすることができるという利点を有している。
【0034】
加えて、この構造では仲介金属層40がコンタクト窓8の内側にあるため凹凸が少なく平面度が高い。その結果、実装工程のリペア中のACF剥ぎ取り作業による擦りの力を受ける度合いも小さくなり、剥がれに対してより耐性が増す。
【0035】
次に、本発明の第3の実施の形態による液晶表示装置を図3を用いて説明する。図3は本実施の形態の液晶表示装置のアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示している。図3(a)は、アレイ基板21上のゲートバスライン3端部の平面を示している。図3(b)は、図3(a)のB−B’線で切断したゲートバスライン3端子部に設けられたコンタクト窓8の断面を示している。なお、第1の実施の形態による液晶表示装置のゲートバスラインの端子部の構造と同一の機能作用を有する構成要素には同一の番号を付してその説明は省略する。
【0036】
本実施の形態による端子部は、ゲートバスライン3の金属層とITO層35とのコンタクトをとるためのコンタクト窓8内にゲートバスライン3の金属層およびゲートバスライン3の金属層とITO層35との間を仲介する仲介金属層40が存在しない領域が有為の面積を持って存在している。しかも、コンタクト窓8内のゲートバスライン3の金属層はコンタクト窓8の外の領域との接続を保っておりITO層35とゲートバスライン3の金属層は電気的に接続されている。この結果、仲介金属層40の周囲には、仲介金属層40とほぼ同等の面積のITO層35とガラス基板21との接触部S3が存在しており、既述の理由でITO層35と金仲介金属層40との属層界面S1の密着強度が補強される。
【0037】
加えて、この構造では仲介金属層40がコンタクト窓8の内側にあるため凹凸が少なく平面度が高い。その結果、実装工程のリペア中のACF剥ぎ取り作業による擦りの力を受ける度合いも小さくなり、剥がれに対してより耐性を増すことができる。このとき、ゲートバスライン3金属層とITO層35との間を仲介する仲介金属層40はコンタクト窓8の外に及んでいる必要はないがITO層35とゲートバスライン3金属層の間の抵抗を少しでも下げるためにはコンタクト窓8内のゲートバスライン3金属層をできるだけ覆っていることが望ましい。しかしながら、仲介金属層40がコンタクト窓8の外側に及ぶような構造であったとしても、凹凸が少ないという利点はなくなるが密着強度を補強する構造であることに変わりはない。
【0038】
以上の説明から明らかなように、第1乃至第3の実施の形態による液晶表示装置の端子構造は、密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の周囲に密着強度が比較的強い層構成を持つ領域を配置することで全体としての密着強度を向上させるようにしている。この効果は、密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の面積に対して、密着強度が比較的強い層構成を持つ領域の面積の割合が大きいほど高い。具体例を図4を用いて説明する。図4はアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示している。図4(a)は、アレイ基板21上のゲートバスライン3端部の平面を示し、図4(b)はゲートバスライン3端子部に設けられたコンタクト窓8の断面を示している。図4は図1に示した構成の変形例を示している。図4に示すように、密着強度の強い領域である接触部S2の面積が密着強度の弱い領域である接触部S1の10%以上であることが望ましい。つまり、コンタクト窓8周囲の所定範囲(図中、コンタクト窓8の端部から距離Lで囲まれる範囲)内の基準面積のうち、仲介金属層40と接触しないITO層35の面積は、仲介金属層40と接触するITO層35の面積の10%以上であることが望ましい。ここで、距離Lは、コンタクト窓周端部からゲートバスライン3の幅方向の端部までの距離としている。
【0039】
また、密着強度が比較的強い層構成を持つ領域によるITO層35の剥離抑止の効果は、当該層構成の領域からの距離が大きくなるほど小さくなると考えらる。従って、密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の面積はできるだけ小さい方が好ましい。具体的には図5に示すように、密着強度の弱い領域の面積は5000μm2以下に抑えることが望ましい。但し、図6に示すように、密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の形状が、例えば細長い長方形をしているような場合には短辺がある程度短ければ、長辺の長さには依存せずに密着強度の増強を図ることができる。具体的には、密着強度の弱い領域の最も細い部分の幅(図6のWS1)が20μm以下であることが望ましい。
【0040】
ゲートバスライン3の金属層とITO層35とのコンタクト窓8の面積はできるだけ小さい方が望ましいが、その一方でコンタクト窓8の面積を小さくするとコンタクト抵抗が増大するという問題が発生する。ゲートバスライン3の抵抗は基本的に低くする必要があり、抵抗の増大は信号波形を鈍らせるため表示品質の劣化を招くことになる。
【0041】
そこで本実施の形態を適用する際には、図7乃至図11に具体的に示すように、コンタクト窓8の数を複数にして全体としてのコンタクト面積を増やすという手法が有効である。
【0042】
図7は、アレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示している。図7(a)は、アレイ基板21上のゲートバスライン3端部の平面を示している。図7(b)は、図7(a)のB−B’線で切断したゲートバスライン3端子部に設けられたコンタクト窓8の断面を示している。図7に示すように、マトリクス状に複数のコンタクト窓8が1本のゲートバスライン3上に形成されている。こうすることにより全体としてのコンタクト面積を増やすことができる。このとき、それぞれのコンタクト窓8には密着強度の強い膜構成からなる領域を適当な面積以上配置することが肝要である。図4乃至図6を用いて説明した各条件は複数のコンタクト窓8のそれぞれについて適用される。また、具体的にはゲートバスライン3の設計抵抗値に対して付加される抵抗はゲートバスライン抵抗の10%以内であることが望ましい。
【0043】
図8に示すように、複数のコンタクト窓8を形成した場合でも、個々のコンタクト窓8に対して密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の周囲に密着強度が比較的強い層構成を持つ領域を配置することで全体としての密着強度を向上させることができる。個々のコンタクト窓8について、密着強度の強い領域である接触部S2の面積が密着強度の弱い領域である接触部S1の10%以上であることが望ましい。つまり、個々のコンタクト窓8周囲の所定範囲内の基準面積のうち、仲介金属層40と接触しないITO層35の面積は、仲介金属層40と接触するITO層35の面積の10%以上であることが望ましい。
【0044】
また、複数のコンタクト窓8を配置した場合であっても、密着強度が比較的強い層構成を持つ領域による剥離抑止の効果は、当該層構成の領域からの距離が大きくなるほど小さくなると考えらる。従って、密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の面積はできるだけ小さい方が好ましい。具体的には図9に示すように、複数のコンタクト窓8のそれぞれについて、密着強度の弱い領域の面積は5000μm2以下に抑えることが望ましい。
【0045】
また、複数のコンタクト窓8が図10に示すように整列して形成されている場合、すなわち個々のコンタクト窓8において、密着強度が比較的弱い層構成を持つ領域の形状が、例えば細長い長方形形状であるような場合には、短辺がある程度短ければ長辺の長さに依存せずに密着強度の増強を図ることができる。具体的には、個々のコンタクト窓8の密着強度の弱い領域の最も細い部分の幅(図10のWS1)が20μm以下であることが望ましい。
【0046】
このように、コンタクト抵抗を低減させるために複数のコンタクト窓8を設ける場合でも、以上説明したような条件を満たすことが重要であるが、以上の条件を満足し得るコンタクト窓8のパターンを図11を用いて簡単に説明する。図11(a)は、正方形形状のコンタクト窓8がゲートバスライン3に沿って1列に複数配置されているパターンを示している。図11(b)は、長辺がゲートバスライン3に沿った長方形形状のコンタクト窓8がゲートバスライン3の幅内に3列に並んで配置されたパターンを示している。図11(c)は、図11(b)に示すコンタクト窓8より長い長辺を有する長方形形状の1つのコンタクト窓8が配置されたパターンを示している。図11(d)は、長辺がゲートバスライン3上に斜めに形成された四角形形状の複数のコンタクト窓8が並ん配置されたパターンを示している。これらいずれのパターンもコンタクト抵抗を低減させ、且つACFの引き剥がし時のITO層35の剥離を防止する効果を奏する。
【0047】
本発明は、上記実施の形態に限らず種々の変形が可能である。
【0048】
例えば、上記実施の形態では、アレイ基板上のゲートバスラインの端子部に着目して説明したが、本発明はそれに限られず、データバスラインの端子部や、他の電気的なコンタクトを必要とする端子部のコンタクト窓においても適用可能である。
【0049】
また、上記実施の形態では、ゲートバスライン3を形成する金属層にAl又はAl合金を用いたが、本発明はこれに限られず、Al以外の低抵抗金属、例えばCu(銅)及びそれらの合金を用いることが可能である。また、上記実施の形態では、仲介金属層40の形成材料としてTiを用いたが、本発明はこれに限られず、Ti以外のいわゆる高融点金属、例えば、W(タングステン)、Cr(クロム)、Mo(モリブデン)及びそれらの合金、さらにそれらのシリサイド、ナイトライドを用いることももちろん可能である。
【0050】
また、上記実施の形態では、TAB実装によるTCPをACFにてアレイ基板と接続する例で説明したが、本発明はもちろんこれに限られず、例えば、ドライバICをアレイ基板上に実装するいわゆるCOG(Chip On Glass)方式の実装にも適用することができる。例えば、ICチップの入出力端子と接続するアレイ基板上の端子、及びドライバICに信号を供給するFPCと接続するアレイ基板上の端子等でのACF引き剥がしにおけるITO層剥離の防止に適用することができる。
【0051】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、ACFの及ぶ範囲内にITO層と仲介金属層とのコンタクト窓を配置した場合であっても実装リペア作業によるITO剥がれが発生し難い端子構造を有する液晶表示装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による液晶表示装置のアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態による液晶表示装置のアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示す図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態による液晶表示装置のアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造を示す図である。
【図4】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図5】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図6】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図7】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図8】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図9】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図10】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図11】本発明の第1乃至第3の実施の形態のいずれかのアレイ基板21上のゲートバスライン3の端子部の構造の具体例を示す図である。
【図12】液晶表示装置におけるTFTの構造を説明する図である。
【図13】液晶表示装置におけるTFTの構造を説明する図である。
【図14】従来のゲートバスラインの端子部の構造を説明する図である。
【図15】従来のゲートバスラインの端子部の構造を説明する図である。
【図16】従来のゲートバスラインの端子部でのITO層の剥離を説明する図である。
【図17】従来のゲートバスラインの端子部の構造を説明する図である。
【図18】従来のゲートバスラインの端子部の構造を説明する図である。
【符号の説明】
3、103 ゲートバスライン
21、121 基板
23、123 ゲート絶縁膜
33、133 パッシベーション膜
8、108 コンタクト窓
40、140 仲介金属層
35、107 ITO層
101 データバスライン
105 チャネル保護膜
117 ドレイン電極
119 ソース電極
Claims (7)
- ガラス基板と、前記ガラス基板上に形成されたバスラインを構成する金属層と、前記金属層上に形成された絶縁膜と、前記バスラインの端子部に前記絶縁膜を開口して設けられたコンタクト窓と、前記コンタクト窓を介して前記金属層と電気的に接続される仲介金属層と、前記仲介金属層の上層に形成され、前記仲介金属層と電気的に接続されたITO層とを有し、前記バスラインからの信号に基づいてスイッチング素子により液晶を駆動して画像を表示させる液晶表示装置において、
前記ITO層は、前記コンタクト窓内で前記ガラス基板と密着する密着強度補強領域を有していることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記コンタクト窓周囲の前記コンタクト窓周端部から前記バスラインの幅方向の端部までの距離で囲まれる範囲内の面積のうち、前記仲介金属層と接触しない前記ITO層の面積は、前記仲介金属層と接触する前記ITO層の面積の10%以上であることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1又は2に記載の液晶表示装置において、
前記仲介金属層の表面積が5000μm2以下であることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記仲介金属層の最小幅は、20μm以下であることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記コンタクト窓が少なくとも2個以上からなることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記コンタクト窓によるコンタクト抵抗値は、バスライン抵抗値の10%以下であることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記金属層はAl又はAl合金、Cu又はCu合金のいずれかで形成され、前記絶縁膜はSiNxで形成され、前記仲介金属層はTi、W、Cr、Mo及びそれらの合金、さらにそれらのシリサイド、ナイトライドのいずれかで形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
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