JP4455229B2 - 画像表示装置 - Google Patents
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Description
図1から図3は、本発明の画像表示装置の構成を示す概略図の一例である。図1に示すように、リアプレート101は、透明なガラス基板の内側に形成された上配線102、下配線103、電子放出部が形成された電子放出部材である表面伝導型電子放出素子(電子源)120を有し、フェースプレート201は透明なガラス基板の内側に塗布された蛍光体膜202とアノード電極膜であるメタルバック膜203とゲッタ膜204を有し、支持枠105はリアプレート101にフリットガラス106で接続されている。イオンポンプ209はリアプレート101の排気口107にフリットガラス106で接続されており、支持枠105とフェースプレート201をインジウム205等の金属を用いて真空中で加熱封着し、真空容器である外囲器が構成される。
以下、画像表示装置全体について説明する。図3において、容器外端子(不図示)から変調信号入力を下配線103を通じ、走査信号入力を上配線102を通じ電圧印加し、高圧端子Hv(不図示)で高圧を印加して画像を表示するものである。イオンポンプ209は排気口107で真空容器と接続されており、イオンポンプ電源(不図示)で駆動することにより放出ガスの排気を行う。同図において、120は電子源である表面伝導型電子放出素子であり、102、103は表面伝導型放出素子の一対の素子電極と接続された上配線(Y方向配線)及び下配線(X方向配線)である。
尚、ここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、或いは重なり合った状態(島状も含む) の膜を指しており、微粒子の直径は0.1nmから数百nmであり、好ましくは、1nmから20nmである。
材を示す。
尚、カラー表示の画像表示装置の場合は表面伝導型電子放出素子104と蛍光体膜202の画素(不図示)を一対一に対応させるため、フェースプレート201とリアプレート101の位置合わせを行い真空封着する。その後、室温程度まで冷却する。次に、再び上ホットプレート706と下ホットプレート707を夫々上下に逃がし、密封容器をロード室602に搬送し、搬出入口601より外に取り出す。
画像表示装置において、イオンポンプ209の磁石208が電子放出素子(電子源)120と電子線が当たる蛍光体膜202からは離れた位置に設置した画像表示装置を図1を用い、該画像表示装置としての真空容器の作成方法について、図2から図7を使って説明する。
次に、前記リアプレート101を洗浄し、DDS(ジメチルジエトキシシラン:信越化学社製)のエチルアルコール希釈溶液で、スプレー法にて散布し、120℃で加熱乾燥した。導電性薄膜405として水85%、イソプロピルアルコール15%からなる水溶液に、パラジウム−プロリン錯体0.15Wt%を溶解し、有機パラジウム含有液を、インクジェット塗布装置で塗布した後、350℃で10分間の加熱処理をして、PdO(酸化パラジウム)からなる微粒子膜を形成し、φ60μmの導電性薄膜104とした。
この状態で加熱を止め、自然冷却し室温まで温度を下げ封着を完了した。
イオンポンプを図2(a)で示したように、イオンポンプ筐体112を直接リアプレート101にフリットガラス106を用いて接着を行った。それ以外は、実施例1と同様に画像表示装置、およびイオンポンプを作りこんだ。
磁石とヨークの端と電子源までの距離をとるために、通常より大きな支持枠105と
フェースプレート201基板を用いた。
イオンポンプを図2(b)で示したようにイオンポンプの中心軸を開口部107の中心軸と画像領域から反対側の方向にずらした。こうすることにより、支持枠105とフェースプレート201基板も実施例1と同様のものを用いることができた。それ以外は、実施例1と同様に画像表示装置、およびイオンポンプを作りこんだ。磁石の外側には鉄製で厚さ2mmのヨーク211を設置し磁力線ができるだけヨーク内を通るようにした。磁石とヨークは電子放出素子(電子源)120の直下にはないようにした。本実施例では磁石の端から至近の電子源まで10mm離して配置した。
実施例1の画像表示装置に参考例1と同様にヨーク211を設置した以外は、実施例1と同様に画像表示装置、およびイオンポンプを作りこんだ。
102 上配線
103 下配線
104、405 導電性薄膜
105 支持枠
106 フリットガラス
107 開口部
108 アノード電極
109 カソード電極
110 アノード接続端子
111 カソード接続端子
112 イオンポンプ筐体
113 Ti電極
120 表面伝導型電子放出素子
150 画像表示領域
151 垂線
201 フェースプレート
202 1001 蛍光体膜
203 メタルバック膜
204 ゲッタ膜
205 インジウム
206 スペーサ
208 磁石
209 イオンポンプ
210 イオンポンプのかさあげ部材
211 ヨーク
220 連通路
401 層間絶縁層
402 403 素子電極
404 電子放出部
501 1006 真空容器
502 Оリング
503 基板ステージ
504 静電チャック
505 レギュラーポンプ
506 電源
507 コンダクタンスバルブ
508 マスフローコントローラ
509 溝
510 ITO膜
601 搬出入口
602 ロード室
603 真空処理室
604 搬送冶具
605 ゲートバルブ
606 排気手段1
607 排気手段2
701 支持柱
702 ゲッタ配線
703 蓋状冶具
704 ゲッタ配線端子
705 ゲッタブラシ状接触電極
706 上ホットプレート
707 下ホットプレート
Claims (6)
- 複数の電子放出素子が配列された電子源基板と、この電子源基板と対向して配置され、蛍光膜とアノード電極膜を有する画像形成基板とを有して構成される真空容器を備える画像表示装置において、
イオンポンプが、前記電子源基板または前記画像形成基板に形成された開口部に接続されており、
前記イオンポンプの中心軸が前記開口部の中心軸よりも前記画像表示装置の画像表示領域から離れて位置し、
前記イオンポンプの磁場形成手段を、前記電子源基板または前記画像形成基板に対して垂直に投影した際に形成される影が、前記画像表示領域の外に存在することを特徴とする画像表示装置。 - 前記影と画像表示領域が、1mm以上離れていることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。
- 前記開口部と前記イオンポンプの筐体が連通路を介して接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の画像表示装置。
- 前記連通路は、前記イオンポンプが接続される前記電子源基板または前記画像形成基板の表面を一つの壁面とすることを特徴とする請求項3記載の画像表示装置。
- 前記磁場形成手段が永久磁石または電磁石であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の画像表示装置。
- 前記磁場形成手段にはヨークが備えられており、前記ヨークを前記電子源基板または前記画像形成基板に対して垂直に投影した際に形成される影が、前記画像表示領域の外に存在することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の画像表示装置。
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