JP4455027B2 - パターン描画装置 - Google Patents
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Description
Proceedings of SPIE, Vol.4186, 第16〜21頁、
101、201 DMD
102、202 ミラー
103a、103b、103c、103d、203a、203b レンズ
104a、104b、204 投影光学系
105、205 マイクロレンズアレイ
106a、106b、206 ピンホール板
108、208 縮小投影光学系
109、209 基板
110 石英板
111 クロム膜
113 ペリクル
114 クロム膜111に形成された穴
210 ピンホール板206の投影領域
211 露光された領域
L11、L12、L13、L14、L15、L21、L22、L23、L24 紫外光
Claims (2)
- 紫外光発生部と、二次元配列状の微小ミラーと、マイクロレンズアレイと、前記二次元配列状の微小ミラーからの光を前記マイクロレンズアレイに投影する第1の投影光学系と、前記マイクロレンズアレイによる紫外光の集光点近傍に配置した第1のピンホール板と、前記第1のピンホール板からの光を描画対象の基板に投影する縮小投影光学系とを含むパターン描画装置において、
前記第1のピンホール板と前記縮小投影光学系との間に配置した第2のピンホール板と、前記第1のピンホール板と前記第2のピンホール板との間に配置した第2の投影光学系とをさらに有し、
前記第2のピンホール板の厚さは、前記第1のピンホール板の厚さよりも大きいことを特徴とするパターン描画装置。 - 前記第2のピンホール板における穴が前記第1のピンホール板の穴よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のパターン描画装置。
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JP2003399101A JP4455027B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | パターン描画装置 |
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