JP4453362B2 - 拡散接合装置及び拡散接合方法 - Google Patents
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Description
また、被接合部材を通電加熱により直接加熱することができる。これにより、ヒータ等による間接加熱に比して急速加熱が可能となり、処理時間の短縮化を図ることができ、生産性が大幅に向上する。
(1)被接合部材を接合する前に、予め被接合部材の表面に気体のグロー放電によるイオンボンバード処理を施すようになっているため、表面の不純物、酸化膜等が除去される。これにより、被接合部材に清浄度の高い表面が出現し、拡散接合による被接合部材の接合性を高めることができる。
(2)イオンボンバード処理用電源を一対のプレスラムの双方に同時に又はいずれか一方に択一的に接続するスイッチにより、被接合部材が互いに同種材料、異種材料のいずれであっても適切なイオンボンバード処理を施すことができる。
(3)被接合部材に対する加熱方式として通電加熱を採用したことにより、ヒータ等による間接加熱に比して急速加熱が可能となり、処理時間の短縮化を図ることができ、生産性が大幅に向上する。また、通電加熱と輻射加熱を併用することにより、被接合部材の中心部と表層部とを均一に加熱し、かつ急速加熱することができ、被接合部材の接合性及び生産性の向上を同時に実現することができる。
12 加熱室、13 炉体、15a 上部プレスラム
15b 下部プレスラム、16 昇降装置、17 絶縁シール部材
18a,18b 端子、19a,19b 端子
21a,21b 絶縁部材、22 ガス導入管
23 排気管、24 減圧ポンプ、25 アース
27 ヒータ、E1 イオンボンバード処理用電源
E2 通電加熱用電源、SW スイッチ
Claims (6)
- 二つの被接合部材を拡散接合する拡散接合装置であって、
内部に加熱室を形成する炉体と、
該炉体の内部にそれぞれ突出し、その先端に前記二つの被接合部材をそれぞれ保持し該二つの被接合部材を重ね合わせて押圧する一対のプレスラムと、
前記被接合部材を加熱する加熱手段と、
前記プレスラムにより前記被接合部材を押圧する前に当該被接合部材の表面に気体のグロー放電によるイオンボンバード処理を施すイオンボンバード処理手段と、を備え、
前記イオンボンバード処理手段は、前記一対のプレスラムに接続されたイオンボンバード処理用電源を有し、該イオンボンバード処理用電源は、前記加熱室内が不活性ガス雰囲気にされた状態で、前記一対のプレスラムを介して前記二つの被接合部材にバイアス電圧を印加することで、前記イオンボンバード処理を施すように構成され、
前記加熱手段は、前記一対のプレスラムに接続された通電加熱用電源を備え、該通電加熱用電源は、前記一対のプレスラムにより前記二つの被接合部材を押圧した状態で、当該一対のプレスラムを介して当該二つの被接合部材に通電して当該被接合部材を通電加熱するように構成されている、ことを特徴とする拡散接合装置。 - 前記イオンボンバード処理手段は、前記加熱室内を所定の減圧雰囲気にする減圧ポンプと、前記加熱室内に不活性ガスを導入するガス導入手段と、前記炉体を接地するアースと、を備えることを特徴とする請求項1に記載の拡散接合装置。
- 前記イオンボンバード処理手段は、前記イオンボンバード処理用電源を前記一対のプレスラムの双方に同時に接続する機能と、前記イオンボンバード処理用電源を前記一対のプレスラムのうちいずれか一方に択一的に接続する機能とを有するスイッチを備え、
前記二つの被接合部材に対して同時に又は順にイオンボンバード処理を施すように構成されている、ことを特徴とする請求項1または2に記載の拡散接合装置。 - 前記炉体と前記一対のプレスラムとの間に、これらを互いに電気的に絶縁し、かつ、前記加熱室内への外気の混入をシールする絶縁シール部材が介装されている、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の拡散接合装置。
- 前記加熱手段は、さらに前記加熱室内に設置された輻射加熱式のヒータを備えている、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の拡散接合装置。
- 加熱室内で二つの被接合部材をそれぞれ一対のプレスラムの先端に保持した状態で、該二つの被接合部材の表面に気体のグロー放電によるイオンボンバード処理を施す第1のステップと、
該第1のステップの後、前記一対のプレスラムにより、前記二つの被接合部材を重ね合わせ押圧するとともに加熱して拡散接合する第2のステップと、を有し、
前記第1のステップでは、前記加熱室内を不活性ガス雰囲気にした状態で、前記一対のプレスラムに接続されるイオンボンバード処理用電源が、前記一対のプレスラムを介して前記二つの被接合部材にバイアス電圧を印加することで、前記イオンボンバード処理を施し、
前記第2のステップでは、前記一対のプレスラムにより前記被接合部材を押圧した状態で、前記一対のプレスラムに接続される通電加熱用電源が、当該一対のプレスラムを介して前記二つの被接合部材に通電して当該二つの被接合部材を通電加熱する、ことを特徴とする拡散接合方法。
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