JP4449614B2 - 波長変換光学系及びレーザ装置 - Google Patents
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Description
基本波を発生するレーザ光源は、Er3+添加光ファイバ増幅器を用いており、主に基準光源部3、EDF部4、励起用光源部5から構成される。基準光源部3の基準光源となるDFBからは波長1547nmのパルス光が出力され、EDF部4により増幅される。EDF部4はEDF1、EDF2、EDF3の3段階のEDFから構成され、それぞれに励起用光源5a、5b、5cから励起光が供給される。EDF3からの出力光が後に説明する波長変換部に入力される。
Claims (6)
- 波長変換素子を用いて、入力される基本波からその高調波を発生させる波長変換光学系であって、波長変換素子としてBBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つを用いている波長変換光学系において、出力される光のパワーをモニタリングする出力光モニタ装置と、当該出力光モニタ装置の出力を受け、出力される光のパワーが一定となるように前記入力される基本波のパワーを操作する出力光調整装置と、当該基本波のパワーをモニタする基本波モニタ装置と、前記基本波モニタ装置で検出された前記基本波のパワーが所定値に達したとき、前記BBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つの、受光角度又は受光位置の少なくとも一方を、所定量だけ調整又はシフトする調整・シフト制御装置を有することを特徴とする波長変換光学系。
- 波長変換素子を用いて、入力される基本波からその高調波を発生させる波長変換光学系であって、波長変換素子としてBBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つを用いている波長変換光学系において、出力される光のパワーをモニタリングする出力光モニタ装置と、当該出力光モニタ装置の出力を受け、出力される光のパワーが一定となるように前記入力される基本波のパワーを操作する出力光調整装置と、前記基本波のパワーをモニタする基本波モニタ装置と、第1の所定使用時間ごとに前記BBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つ(「調整可能結晶という」)の受光角度を所定量調整し、受光角度の所定量の調整を行っても前記基本波出力が所定値からほとんど下げられない状態となったとき、前記調整可能結晶の受光角度を当初の値にもどすと共に、前記調整可能結晶の受光位置を所定量シフトさせる動作を繰り返し行う調整・シフト制御装置を有することを特徴とする波長変換光学系。
- 波長変換素子を用いて、入力される基本波からその高調波を発生させる波長変換光学系であって、波長変換素子としてBBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つを用いている波長変換光学系において、出力される光のパワーをモニタリングする出力光モニタ装置と、当該出力光モニタ装置の出力を受け、出力される光のパワーが一定となるように前記入力される基本波のパワーを操作する出力光調整装置と、前記基本波のパワーをモニタする基本波モニタ装置と、第2の所定使用時間ごとに前記BBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つ(「調整可能結晶という」)の受光位置を所定量シフトさせ、シフト回数が所定値に達したとき、前記調整可能結晶の受光位置を当初の値にもどすと共に、前記調整可能結晶の受光角度を所定量調整させる動作を繰り返し行う調整・シフト制御装置を有することを特徴とする波長変換光学系。
- 請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の波長変換光学系であって、ダイクロイックミラーを使用しているものにおいて、前記ダイクロイックミラーの少なくとも一つの受光位置をシフトするダイクロイックミラーシフト制御装置を有することを特徴とする波長変換光学系。
- 請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の波長変換光学系であって、角度調整、受光位置調整を行った波長変換素子から放出される光を、さらに後段の波長変換素子に、レンズ系を通して集光して入力させ、前記後段の波長変換素子に同時に入力される光との和又は差の周波数を有する光を得る機能を有するものにおいて、前記後段の波長変換素子からの出力光のパワーが最大となるように、角度調整を行った波長変換素子から放出される光、又は前記後段の波長変換素子に同時に入力される光の光軸を調整する光軸調節装置を有することを特徴とする波長変換光学系。
- レーザ光源と、当該レーザ光源からの光、又はそれを光増幅器によって増幅した光を、前記入力される基本波とし、請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の波長変換光学系において形成された高調波を出力とするレーザ装置であって、前記出力光調整装置が、前記レーザ光源から放出される光のパワー、又は前記光増幅器の増幅率を操作するものであることを特徴とするレーザ装置。
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