JP4449231B2 - ドライエッチング方法 - Google Patents
ドライエッチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4449231B2 JP4449231B2 JP2001049909A JP2001049909A JP4449231B2 JP 4449231 B2 JP4449231 B2 JP 4449231B2 JP 2001049909 A JP2001049909 A JP 2001049909A JP 2001049909 A JP2001049909 A JP 2001049909A JP 4449231 B2 JP4449231 B2 JP 4449231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- substrate
- plate
- dry etching
- reaction gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁波を用いて処理室内のガスを励起して発生させたプラズマを利用し基板をプラズマ処理するドライエッチング方法に関するものであり、より詳細には、半導体や液晶等の電子デバイスの製造に利用される基板のドライエッチング処理をおこなうドライエッチング方法にするものである。
【0002】
【従来の技術】
図4に従来のプラズマ処理装置の概略構成図を示す。図4において、真空処理室1内の残留ガスを真空排気手段2を用いて排気した状態で、次にバルブ8を閉から開にし図示していないガスタンクから反応ガスを、ガス導入経路3とガス溜まり部4を通過させガス導入プレート5の表面上に設けた複数のガス吹出し口10を経て、真空処理室1内の基板ステージ6上にシャワー状に反応ガスを導入する。この状態で、電極の機能も持つ基板ステージ6内に高周波電力を印加し発生した電磁波により真空処理室1内の反応ガスを励起し、基板ステージ6に載置した基板7にプラズマ処理を行う。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記の従来のプラズマ処理方法および装置において、プラズマ処理を行う場合、基板上の薄膜を基板全面にわたり均一なプラズマ処理加工をするには、加工途中に処理条件を切り換えながら処理する場合が多い。一般に従来のプラズマ処理装置におけるこの種の切り換えでは、反応ガスの流量や電極に印加する高周波の出力等の条件を変化させることで対応していた。
【0004】
しかし、反応ガスの流量や電極に印加する高周波の出力等の条件を変化させるだけでは基板上の薄膜を基板全面にわたり均一な加工をすることができない場合があった。
【0005】
本発明は、上記従来の問題点を解決し、基板上の薄膜を基板全面にわたり均一な加工をすることができるドライエッチング方法を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明は、真空処理室内にガス導入プレートから反応ガスを吹出し前記真空処理室内の基板ステージに高周波電力を印加することで前記真空処理室内にプラズマを発生させ、前記基板ステージに載置された基板をドライエッチング処理する方法において、前記ガス導入プレートは、前記プレートの中央部と周辺部とに区分けされ、前記プレートの中央部と周辺部は前記反応ガスを独立に導入可能な状態にあり、第1ステップとして前記プレート全面から前記反応ガスを導入することでドライエッチング処理を行い、その後、第2ステップとして前記ドライエッチング処理を続けたまま、前記プレートの中央部からの前記反応ガスの導入を停止し、前記プレートの周辺部からのみ前記反応ガスの導入を行うことを特徴とする。
【0009】
この発明により、基板上の薄膜を基板全面にわたり均一な加工をすることが可能になる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のプラズマ処理装置の実施の形態について、図1〜図3を参照して説明する。なお、従来のプラズマ処理装置と同一の部分については同一の符号をつけ説明を省略する。
【0011】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1のプラズマ処理装置の概略構成図である。図1において、真空処理室1内の残留ガスを真空排気手段2を用いて排気した状態で、バルブ15および16を閉から開にし、図示していないガスタンクから反応ガスを、ガス導入経路11および12、隔壁9により隔てられたガス溜まり部13および14を通過させ、複数のガス吹出し口10を設けたガス導入プレート5の面の全面(区域1)から、真空処理室1内の基板ステージ6上にシャワー状に反応ガスを導入する。この状態で、基板ステージ6に高周波電力を印加し発生した電磁波により真空処理室1内の反応ガスを励起し、基板ステージ6上に載置された基板7にドライエッチング処理(プラズマ処理)を行い、基板7に所望の加工量のエッチング加工を施す。所定時間経過後、基板ステージ6の高周波電力印加と、反応ガスの導入を停止し、基板7のドライエッチング処理を終了する。
【0012】
ここで、このドライエッチング処理後の基板7のエッチング加工量が不均一であった場合、例えば基板7の中心付近のエッチング加工量が多く周辺部のエッチング加工量が小さい場合には、基板7の周辺部のエッチング加工量を中心部に比べて大きくする必要がある。
【0013】
この様な場合には、まず未処理の基板7を基板ステージ6上に配置し、真空処理室1内の残留ガスを真空排気手段2を用いて排気した状態で、バルブ15および16を閉から開にし、図示していないガスタンクから反応ガスを、ガス導入経路11および12、隔壁9により隔てられたガス溜まり部13および14を通過させ、複数のガス吹出し口10を設けたガス導入プレート5の面の全面(区域1)から、真空処理室1内の基板ステージ6上にシャワー状に反応ガスを導入する(ステップS1)。この状態で、基板ステージ6に高周波電力を印加し発生した電磁波により真空処理室1内の反応ガスを励起し、基板ステージ6上に載置された基板7にドライエッチング処理(プラズマ処理)を開始する(ステップS2)。このドライエッチング処理中にバルブ16を開のままバルブ15を閉にする。これにより、ガス溜まり部13には反応ガスが供給されずガス導入プレート5の中心付近から反応ガスは吹出さない。一方ガス溜まり部14には反応ガスが供給され続けるためガス導入プレート5の面の周辺付近(区域2)から反応ガスは吹出しつづける(ステップS3)。つまり、ガス導入プレート5の複数に分割した領域の一部から反応ガスを吹出させる。この状態で所定の時間基板7のエッチング加工を行った後、基板ステージ6の高周波電力印加と、反応ガスの導入を停止し基板7のドライエッチング処理を終了する(ステップS4)。このステップS3では、基板7の中心部に比べて周辺部により多くの励起した反応ガスを接触させることになり、この結果、基板7の中心部に比べて周辺部のエッチング加工量を多くすることが出来る。その後、ドライエッチング処理済基板と未処理基板を交換し(ステップS4)、ステップ1に戻り同様の手順で基板のドライエッチング処理を行う。
【0014】
なお、ガス導入プレート5の複数に分割した領域の分割数や分割形状は本実施の形態1に限定されるものではなく、基板のエッチング加工量に応じ任意の分割数、形状であれば良い。
【0015】
(実施の形態2)
図2は、本発明の実施の形態2のプラズマ処理装置の概略構成図である。実施の形態1と異なるのは、ガス導入プレート5に設けたガス吹出し口を開閉することが可能な切替プレート21と、切替プレート21を駆動するシリンダ(駆動手段)23と、を設けたことである。
【0016】
図2において、実施の形態1と同様に基板7の周辺部のエッチング加工量を中心部に比べて大きくする必要がある場合には、まず最初にシリンダ(駆動手段)23を上方に駆動し切替プレート21とガス導入プレート5の接触を解除しておく。次に実施の形態1と同様に、真空処理室1内の残留ガスを真空排気手段2を用いて排気した状態でバルブ8を開き、真空処理室1内の基板ステージ6上にシャワー状に反応ガスを導入する。そして一定時間経過後、シリンダ23を下方に駆動し切替プレート21とガス導入プレート5を接触させ、切替プレート21とガス導入プレート5の接触部から反応ガスが吹出さないようにする。この時より切替プレート21とガス導入プレート5の接触部の密着性を高めるため切替プレート21の接触面にOリング22を配置している。
【0017】
これにより、ガス導入プレート5の中心付近から反応ガスは吹出さず、周辺部からのみ反応ガスが吹出すため、基板7の中心部に比べて周辺部のエッチング加工量を多くすることが出来る。
【0018】
なお、本実施の形態2では、切替プレートは単独であるが、複数の切替プレートを用いても良い。また、切替プレートの動作は本実施例に限定されるものではなく、切替プレート動作方向、動作回数等、エッチング加工の特徴に合わせて任意に設定できる。
【0019】
さらに、本実施の形態のガスの流れの制御に加えて、ガスの流量や電極に印加する高周波の出力等の条件の変化をおこないエッチング加工を行っても良い。
【0020】
また、基板上の多層膜を1回のプラズマ処理にてエッチング加工する場合にも、反応ガスの種類、流量、および電極に印加する高周波の出力等を変化するのに加えて、上記ガスの流れの制御を行うと、均一なエッチング処理を行うことができる。
【0021】
【発明の効果】
本発明のプラズマ処理装置によれば、ガス導入プレートの複数に分割した領域から個別にガスを吹出すことが可能なガス切替手段を設けることで、基板のプラズマ処理中に、ガスの流れを切り替えることが可能になり、基板上の薄膜を基板全面にわたり均一なエッチング加工をすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1を示す概略構成図
【図2】本発明の実施の形態2を示す概略構成図
【図3】本発明の実施の形態の手順を示すステップ図
【図4】従来のプラズマ処理装置を示す概略構成図
【符号の説明】
1 真空処理室
5 ガス導入プレート
6 基板ステージ(電極)
7 基板
9 隔壁
10 ガス吹出し口
11 ガス導入経路
12 ガス導入経路
13 ガス溜まり部
14 ガス溜まり部
15 バルブ
16 バルブ
21 切替プレート
23 駆動するシリンダ(駆動手段)
Claims (1)
- 真空処理室内にガス導入プレートから反応ガスを吹出し前記真空処理室内の基板ステージに高周波電力を印加することで前記真空処理室内にプラズマを発生させ、前記基板ステージに載置された基板をドライエッチング処理する方法において、
前記ガス導入プレートは、前記プレートの中央部と周辺部とに区分けされ、前記プレートの中央部と周辺部は前記反応ガスを独立に導入可能な状態にあり、
第1ステップとして前記プレート全面から前記反応ガスを導入することでドライエッチング処理を行い、その後、第2ステップとして前記ドライエッチング処理を続けたまま、前記プレートの中央部からの前記反応ガスの導入を停止し、前記プレートの周辺部からのみ前記反応ガスの導入を行うこと
を特徴とするドライエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001049909A JP4449231B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | ドライエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001049909A JP4449231B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | ドライエッチング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002252216A JP2002252216A (ja) | 2002-09-06 |
JP4449231B2 true JP4449231B2 (ja) | 2010-04-14 |
Family
ID=18910944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001049909A Expired - Fee Related JP4449231B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | ドライエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4449231B2 (ja) |
-
2001
- 2001-02-26 JP JP2001049909A patent/JP4449231B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002252216A (ja) | 2002-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001127045A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
CN112609170A (zh) | 原子层沉积设备与制程方法 | |
TWI831956B (zh) | 清潔處理方法及電漿處理裝置 | |
JP2018195817A (ja) | プラズマ処理装置の洗浄方法 | |
JP4449231B2 (ja) | ドライエッチング方法 | |
KR100867174B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 반도체 장치의 제조 장치, 제어프로그램 및 컴퓨터 기억 매체 | |
US11721522B2 (en) | Plasma processing method and plasma processing apparatus | |
JPH07325279A (ja) | 減圧処理装置及び方法 | |
JP2001023961A (ja) | ドライエッチング装置とドライエッチング方法 | |
JP3592878B2 (ja) | プラズマクリーニング方法 | |
US20230073489A1 (en) | Method and apparatus for treating substrate | |
JPH0526331B2 (ja) | ||
JP2003133290A (ja) | レジスト剥離装置、レジスト剥離方法、半導体装置の製造方法 | |
CN214400708U (zh) | 原子层沉积设备 | |
JPH11144891A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2000332002A (ja) | 半導体処理装置及びその使用方法 | |
KR100419033B1 (ko) | 고밀도 플라즈마에 의한 건식 식각 장치 및 방법 | |
JP5058478B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、プラズマ処理方法、半導体装置の製造装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP4127370B2 (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP2001085412A (ja) | 真空処理方法 | |
CN113496888A (zh) | 基片处理方法和基片处理装置 | |
CN116364540A (zh) | 基板处理设备和基板处理方法 | |
JPH03245526A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20070050551A (ko) | 반도체 제조장비용 애싱 챔버의 공정가스 분사장치 | |
JP2003086578A (ja) | 枚葉式インライン真空処理装置の運転方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070913 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20071012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090428 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090623 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100105 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100118 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130205 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |