JP4445539B2 - 電界放出型電極、その製造方法及びその製造装置 - Google Patents
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Description
電圧の印加により電子を放出する電子放出膜の表面に水分子を吸着させる加湿処理と、
加湿された前記電子放出膜と、前記電子放出膜に対向するように設けられた電極と、の間にエージング電圧を印加する電圧印加処理と、
を含むことを特徴とする。
上述の第1の観点に係る電界放出型電極の製造方法によって製造される。
電圧の印加により電子を放出する電子放出膜の表面に水分子を吸着させるよう加湿処理し、加湿された前記電子放出膜と、前記電子放出膜に対向するように設けられた電極と、の間にエージング電圧を印加する、ことを特徴とする。
次に、基板11を直流プラズマCVD装置100の陽極111a上に載置する。基板11の載置が完了すると、次に、チャンバ110内を排気系装置を用いて減圧し、続いて、ガス供給用管路116から水素ガスとメタン等の組成中に炭素を含有する化合物のガス(炭素含有化合物)とを導く。
次に、エージングを加湿状態で行う点の効果をみるため、加湿処理を施した上でエージングを行い、更にベーキング処理を施した場合と、加湿処理を省略した上で同じ条件でエージング処理及びベーキング処理を施した場合とを比較する。
次に、エージングを施す処理装置において、電界放出型電極と対向する陽極として親水性の材料を用いる点の効果をみるため、実施例1のように加湿処理を施した上で陽極として蛍光体(ZnO:Zn)を用いた処理装置でエージングを行い、更にベーキング処理を施した場合に対して、疎水性材料である銅板を陽極として用いた処理装置で加湿処理を施した上で、エージングを行い、更にベーキング処理を行った場合を比較する。なお、上述したように実施例1の図24〜図33は、加湿処理を施した上で陽極としてのITOに蛍光体(ZnO:Zn)を被膜したガラス板を処理装置でエージングを行い、更にベーキング処理を施したデータであるため、実施例2では、ITOに蛍光体(ZnO:Zn)を被膜したガラス板の代わりに陽極としての銅板を用いた場合のデータのみを示す。
次に、パルス電圧を印加することの効果をみるため、パルス電圧を印加し加湿状態でエージングを行った場合と、パルスではない直流定電圧を印加し加湿状態でエージングを施した場合と、を比較する。
Claims (15)
- 電圧の印加により電子を放出する電子放出膜の表面に水分子を吸着させる加湿処理と、
加湿された前記電子放出膜と、前記電子放出膜に対向するように設けられた電極と、の間にエージング電圧を印加する電圧印加処理と、
を含むことを特徴とする電界放出型電極の製造方法。 - 前記電極は、少なくとも前記電子放出膜と対向する面が親水性であることを特徴とする請求項1に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記電極の前記電子放出膜と対向する面に蛍光体が塗布されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記電子放出膜を、真空状態で加熱し、水分子を前記電子放出膜上から除去する真空加熱工程を、更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記真空加熱工程は、550℃〜1000℃で行われることを特徴とする請求項4に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記電子放出膜は、グラフェンシートを有するカーボンナノウォールを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記電子放出膜は、前記カーボンナノウォール上に、更に微結晶ダイヤモンド膜を備えることを特徴とする請求項6に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記電子放出膜は、前記微結晶ダイヤモンド膜の上に突出するように形成され、グラファイトからなる突起部を更に備えることを特徴とする請求項6又7に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記エージング電圧はパルス電圧であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記パルス電圧は、デューティ比が0.2%〜5%であることを特徴とする請求項9に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記パルス電圧は、前記電子放出膜の初期時の電子放出密度が0.5mA/cm2〜5mA/cm2となるような電圧であることを特徴とする請求項9に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記パルス電圧の繰り返し周期が250Hz〜1kHzであることを特徴とする請求項9に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 前記電子放出膜は加湿雰囲気に晒すことによって、表面に水分子を吸着させることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の電界放出型電極の製造方法。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の電界放出型電極の製造方法によって製造されることを特徴とする電界放出型電極。
- 電圧の印加により電子を放出する電子放出膜の表面に水分子を吸着させるよう加湿処理し、
加湿された前記電子放出膜と、前記電子放出膜に対向するように設けられた電極と、の間にエージング電圧を印加する、
ことを特徴とする電界放出型電極の製造装置。
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