JP4445500B2 - 半導体装置用基板の製造方法 - Google Patents
半導体装置用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4445500B2 JP4445500B2 JP2006261453A JP2006261453A JP4445500B2 JP 4445500 B2 JP4445500 B2 JP 4445500B2 JP 2006261453 A JP2006261453 A JP 2006261453A JP 2006261453 A JP2006261453 A JP 2006261453A JP 4445500 B2 JP4445500 B2 JP 4445500B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- metallization
- substrate
- sintered body
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
窒化アルミニウム粉末に添加剤としてイットリアを3重量%加え混合、造粒等の処理を行いプレス成形により成形体を作製し、これに1850℃×保持時間4時間×焼結後の除冷温度5℃/minで焼結を行い窒化アルミニウム焼結体を得た(以下、実施例1とする)。また、同様の方法を用い除冷速度を2℃/minで焼結を行ったもの(以下、実施例2とする)、焼結温度1850℃×保持時間1時間×焼結後の除冷温度5℃/minとしたもの(以下、比較例1とする)、焼結温度1850℃×保持時間4時間×焼結後の除冷温度20℃/minとしたもの(以下、比較例2)を作製した。
窒化アルミニウム粉末に添加剤としてイットリアを3重量%加え混合、造粒等の処理を行いプレス成形により成形体を作製し、これに1900℃×保持時間8時間×除冷速度4℃/minで焼成を行い窒化アルミニウム焼結体を得た(以下、実施例3とする)。また、同様の方法を用い、添加剤としてイットリアを5重量%加えたもの(以下、実施例4とする)、イットリアを加えなかったもの(以下、比較例3とする)、15重量%加えたもの(以下、比較例4とする)を作製した。
窒化アルミニウム粉末に添加剤としてイットリアを5重量%加え混合、造粒等の処理を行いプレス成形により成形体を作製し、1800℃×保持時間5時間×除冷速度3℃/minで焼結を行い窒化アルミニウム焼結体を得た(以下、実施例5とする)。また、同様の方法により作製された窒化アルミニウム焼結体のメタライズ層形成面に20μmの研磨加工を施したもの(以下、実施例6とする)を作製した。
窒化アルミニウム粉末に添加剤としてイットリアを加え混合、造粒等の処理を行いプレス成形により成形体を作製し、これに1995℃で焼成を行い、ブラックライトを照射したときの発光面積が90%の窒化アルミニウム焼結体を得た(以下、実施例7とする)。また、同様の方法を用い、発光面積が98%のもの(以下、実施例8とする)、発光面積が70%のもの(以下、比較例5とする)、発光面積が80%のもの(以下、比較例6とする)を作製した。
Claims (3)
- 焼結助剤としての酸化イットリウムを1重量%以上10重量%以下含有する窒化アルミニウム基板を焼結する工程と、
前記窒化アルミニウム基板の基板表面に波長が3650オングストロームかつ紫外線強度が3730μW/cm 2 であるブラックライトを照射し、前記基板表面のうちオレンジ色に発光する発光面積が90%以上となるものを選別する工程と、
この選別された窒化アルミニウム基板にメタライズ層を設ける工程と
を有することを特徴とする半導体装置用基板の製造方法。 - 前記発光面積が98%以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用基板の製造方法。
- 前記窒化アルミニウム基板はY−Al−O系化合物からなる液相成分を有することを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006261453A JP4445500B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 半導体装置用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006261453A JP4445500B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 半導体装置用基板の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28057499A Division JP2001097780A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 窒化アルミニウム焼結体及びそれを用いた半導体装置用基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007084433A JP2007084433A (ja) | 2007-04-05 |
JP4445500B2 true JP4445500B2 (ja) | 2010-04-07 |
Family
ID=37971805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006261453A Expired - Lifetime JP4445500B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 半導体装置用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4445500B2 (ja) |
-
2006
- 2006-09-26 JP JP2006261453A patent/JP4445500B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007084433A (ja) | 2007-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5586752B2 (ja) | 高密度の耐熱金属及び合金のスパッタリングターゲット | |
KR100353387B1 (ko) | 질화알루미늄 소결체 및 그 제조방법 | |
JP5673106B2 (ja) | 窒化珪素基板の製造方法、窒化珪素基板、窒化珪素回路基板および半導体モジュール | |
KR101569421B1 (ko) | 질화규소 기판 및 그 제조 방법, 그리고 그것을 사용한 질화규소 회로기판 및 반도체 모듈 | |
JP5439729B2 (ja) | 窒化珪素基板及びその製造方法並びにそれを使用した窒化珪素回路基板及び半導体モジュール | |
CN112313191B (zh) | 氮化硅烧结体、氮化硅基板及氮化硅电路基板 | |
JP3214890B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製法、並びにそれを用いた焼成用治具 | |
CN112239365A (zh) | 一种一次性烧结多层压电陶瓷片的方法 | |
JP2009215142A (ja) | 窒化珪素基板及びその製造方法並びにそれを使用した窒化珪素回路基板及び半導体モジュール | |
JP4445500B2 (ja) | 半導体装置用基板の製造方法 | |
JP2023126262A (ja) | 窒化珪素基板の製造方法 | |
JP2012111671A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体加工物の製造方法 | |
JP2019511991A (ja) | 銅/セラミック複合材 | |
JP2001097780A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体及びそれを用いた半導体装置用基板 | |
JPWO2020090832A1 (ja) | 窒化ケイ素基板の製造方法および窒化ケイ素基板 | |
KR20200021023A (ko) | 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는 질화알루미늄 기판의 제조방법 | |
JP2006076812A (ja) | アルミニウム−セラミックス複合体及びその製造方法 | |
JP5031147B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JP2022094464A (ja) | 窒化シリコン用グリーンシート、および、その製造方法 | |
JPH11100273A (ja) | 窒化珪素質焼結体、その製造方法及びそれを用いた回路基板 | |
JP2007223899A (ja) | スパッタリング用BaxSr1−xTiO3−yターゲット材の製造方法 | |
JP4868641B2 (ja) | 窒化アルミニウム基板の製造方法 | |
JP2720094B2 (ja) | 窒化アルミニウム質基板の製造方法 | |
JPH07187789A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体および窒化アルミニウム多層回路基板 | |
JPH07257973A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体、その製造方法及び用途 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070815 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4445500 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122 Year of fee payment: 4 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |