JP4433823B2 - 光学部材の修正装置及びその修正方法及びそれを用いたペリクルの修正装置 - Google Patents
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Description
均一や貼り付け時に生じた応力歪みによる屈折率不均一による光路長変化は、いわば光学収差に相当する変化を来たし、転写像に歪みを生ずる問題が発生した。この歪みを補正するために、応力補正膜を形成したペリクル膜や、あらかじめ自重たわみ分のみ反らせたペリクル膜や、たわみ量分非球面形状としたペリクル膜等々が提案されている。一方、貼り付け時にマスク基板側へのペリクルフレームに起因する応力影響を低減させるために、粘着材を工夫する提案もなされている。しかし、いずれも貼り付け過程や貼付け後に生じた、貼り付け以前には予測できない光学収差を解決することは不可能である。
2…光学部材
7…光学的歪み量
9…空孔形成
10…フォトマスク基板
12…高密度化形成
20…ペリクル膜(板)
30…屈折率疎部分(低屈折率)
40…屈折率密部分(高屈折率)
50…屈折率中間領域
60…入射波面
70…出射波面
80…修正後波面
90…空孔
100…空孔
110…空孔
120…高密度化層
200A,200B…薄板部分
210A,210B…高屈折率化層
400…修正装置
500…フォトマスク
510…レーザ照射部
520…計測部
530…ステージ部
540…判定部
600…露光装置
610…光源
620…集光光学系
630…マスク搭載部
640…マスクカセット
650…投影光学系
660…露光対象物
Claims (5)
- フォトマスクに光透過性を有する光学部材を備えた露光用原版を修正する光学部材の修正装置において、
光学部材の光学的歪み量を測定する測定手段と、
光学部材の屈折率を変化させるレーザ照射手段と、
光学部材を備えた露光用原版を載置して、該露光用原版の面内及び光学部材の膜厚方向に対して任意の位置に移動可能とするステージ移動手段とからなり、
前記光学部材は、ペリクルフレーム付きペリクル膜のペリクルであること
を特徴とする光学部材の修正装置。 - 前記測定手段は、光学干渉計またはレーザ変位計の光学式非接触手段であることを特徴とする請求項1記載の光学部材の修正装置。
- 前記レーザ照射手段は、フェムト秒レーザ、又はアト秒レーザ、又はゼプト秒レーザ、又はヨクト秒レーザであることを特徴とする請求項1、又は2記載の光学部材の修正装置。
- フォトマスクに光透過性を有する光学部材を備えた露光用原版を修正する光学部材の修正方法であって、
光学部材を備えた露光用原版を載置して、該露光用原版の面内及び光学部材の膜厚方向に対して任意の位置へ移動し、該光学部材の光学的歪み量を測定し、該光学的歪み量に基づいて、レーザ照射により光学部材の屈折率を変化させ、
前記光学部材が、ペリクルであること
を特徴とする光学部材の修正方法。 - 請求項4記載の修正方法により修正された光学部材を備えたことを特徴とするフォトマスク。
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