JP4428074B2 - アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法及びその製造装置 - Google Patents
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また、最初の前段エッチング槽の電導度よりも2槽目以降の前段エッチング槽の電導度を高くすることにより、電流印加によるエッチング液の発熱を抑制することができ、電圧ロスを無くし、電流印加の効率を良くすることができる。
また、エッチング液のアルミニウム濃度を調整することにより、トンネル状のピット内に発生するアルミニウムイオンの濃度勾配を利用してエッチングピットの長さを均一に揃えることができるという作用を有する。ピット内のエッチング液の電導度が変わったことによって生じるピット内の電位差を利用してエッチングピットの長さを揃えることができるからである。
なお、アルミニウム濃度は11g/l以下が好ましく、さらに好ましい値は6g/l以
下であるが、アルミニウム濃度が3g/lより低くなると、電極箔の静電容量は著しく高くなるが折曲げ強度が低下するので好ましくない。
本発明のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法は、アルミニウム箔を前処理した後、ピットを生成させる前段エッチング工程と、このピットをアルミ電解コンデンサの使用電圧に適した径まで拡大する後段エッチング工程とからなる。
純度99.98%、厚み100μmのアルミニウム箔を5%リン酸水溶液で1分間浸漬して前処理を行った。
前記実施例1において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度を980mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液を1100mS/cmと1250mS/cmになるように金属アルミニウムを溶解させてそれぞれ調整して用いた以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度を980mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液を1100mS/cmと1320mS/cmになるように金属アルミニウムを溶解させてそれぞれ調整して用いた以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度を980mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液を1200mS/cmと1250mS/cmになるように金属アルミニウムを溶解させてそれぞれ調整して用いた以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度を980mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液を1250mS/cmと1320mS/cmになるように金属アルミニウムを溶解させてそれぞれ調整して用いた以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度を980mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液を1250mS/cmと980mS/cmになるように金属アルミニウムを溶解させてそれぞれ調整して用いた以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、前段エッチング工程の各エッチング液の液温度をそれぞれ80℃、78℃、76℃、電導度をそれぞれ1000mS/cm、1100mS/cm、1200mS/cm、アルミニウム濃度をそれぞれ14g/l、8g/l、5.4g/lとした以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、前段エッチング工程の各エッチング液の液温度をそれぞれ80℃、77℃、74℃、電導度をそれぞれ1000mS/cm、1100mS/cm、1200mS/cm、アルミニウム濃度をそれぞれ14g/l、7.3g/l、3.1g/lとした以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、前段エッチング工程の各電流密度を0.4A/cm2、0.5A/cm2、0.6A/cm2の順にしてエッチングした以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例1において、前段エッチング工程の各エッチング液の電導度を1000mS/cmにしたものを用いた以外は前記実施例1と同様にしてエッチング箔を作製した。
図2に示すように、前記実施の形態1において、第2の前段エッチング槽を4槽用いた以外は前記実施の形態1と同様である。
純度99.98%、厚み100μmのアルミニウム箔を5%リン酸水溶液で1分間浸漬して前処理を行った。
前記実施例10において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度として1070mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液の電導度を順次1200mS/cm、1200mS/cm、1300mS/cm、1300mS/cmになるようにした以外は前記実施例10と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例10において、第1の前段エッチングのエッチング液の電導度として1070mS/cm、第2の前段エッチングのエッチング液の電導度を順次1300mS/cm、1300mS/cm、1400mS/cm、1400mS/cmになるようにした以外は前記実施例10と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例10において、前段エッチング工程の各電流密度を順に0.3A/cm2、0.35A/cm2、0.4A/cm2、0.45A/cm2、0.5A/cm2にしてエッチングした以外は前記実施例10と同様にしてエッチング箔を作製した。
前記実施例10において、前段エッチング工程の各エッチング液の電導度を1080mS/cmにしたものを用いた以外は前記実施例10と同様にしてエッチング箔を作製した。
前段エッチング工程のエッチング液の電導度を前記実施の形態のようにすることにより、ピットの長さを揃えやすくすることができる。このような方法はアルミニウム箔と陰極板の間の液抵抗を利用するものであり、図3に液抵抗を説明するための模式図(実際の縮尺とは異なる)を示す。同図において、エッチング液15を介して、一対の陰極板16とアルミニウム箔11との間に直流電流を印加することによりピット36が形成される。このときのアルミニウム箔11の表面と陰極板16の距離をA、ピット36の長さをB、ピット径をCで示す。
図5のエッチング装置において図4(b)に示した陰極板を用い、図1において第1の前段エッチング槽12の下部から液面部へ向かってアルミニウム箔11が進行する際に用いた陰極板17は設けない構造を有するエッチング装置を本実施例とする。このようなエッチング装置により請求項1〜19に記載の発明が実現できる。
図4(d)に示した陰極板を用いた以外は、実施例15と同様にしたエッチング装置を本実施例とする。本実施例では、B1の場所で比較的高い電流密度でエッチングを行うことができる。
12 第1の前段エッチング槽
13,14 第2の前段エッチング槽
15 エッチング液
16,17 陰極板
18 走行ローラ
19 槽内ローラ
20 出口ローラ
21 直流電源
Claims (1)
- アルミニウム箔に直流電流を印加してピットを生成させる前段エッチング工程と、前記ピットを拡大する後段エッチング工程とを備えたアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法であって、
前記前段エッチング工程には、2〜6%の塩酸に蓚酸、硫酸、リン酸からなる酸またはこれらの塩の少なくとも1つとアルミニウムとを添加した塩酸水溶液からなるエッチング液が入った2槽以上の前段エッチング槽を設け、これらの前段エッチング槽のうち、2槽目以降の前段エッチング槽内のエッチング液として、最初の前段エッチング槽内のエッチング液に添加するアルミニウムのみを減少させて最初の前段エッチング槽内のエッチング液よりも電導度を高めたものを用いると共に、それぞれの前記前段エッチング槽内には相対向する2枚の陰極板を配設し、2枚の前記陰極板の距離を液面部においては接近させ、前記液面部から下部方向に向かって徐々に引き離し、陽極となる前記アルミニウム箔を2枚の前記陰極板の間を前記液面部から下部側に走行させるアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
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