JP4425583B2 - 基板処理装置、温度計測手段およびicの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理装置、特に、被処理物を処理室に収容してヒータによって加熱した状態で処理を施す熱処理装置に関し、例えば、半導体集積回路装置(以下、ICという。)が作り込まれる半導体ウエハ(以下、ウエハという。)に酸化処理や拡散処理、イオン打ち込み後のキャリア活性化や平坦化のためのリフローやアニールおよび熱CVD反応による成膜処理等(以下、熱処理という。)に使用される熱処理装置(furnace )に利用して有効なものに関する。
【0002】
【従来の技術】
ICの製造方法におけるウエハの熱処理には、バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置(以下、ホットウオール形熱処理装置という。)が、広く使用されている。従来のホットウオール形熱処理装置としては、ウエハが搬入される処理室を形成するインナチューブおよびこのインナチューブを取り囲むアウタチューブから構成され縦形に設置されたプロセスチューブと、プロセスチューブの外部に敷設されてプロセスチューブ内を加熱するヒータとを備えており、複数枚のウエハがボートによって長く整列されて保持された状態でインナチューブ内に下端の炉口から搬入(ボートローディング)され、ヒータによって処理室内が加熱されることにより、ウエハに熱処理が施されるように構成されているものがある。このようなホットウオール形熱処理装置においては、プロセスチューブとボートとの間にプロファイル熱電対(以下、熱電対という。)を配置してウエハ近傍の温度を計測し、この計測結果に基づいてヒータをフィードバック制御することにより、熱処理を適正に制御することが行われている(特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−124988号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の熱処理装置に使用される熱電対の一対の導線の両端に配置される接合部は電気溶接によって形成されるために、接合部は球体形状になり、その直径は導線の断面の直径の数倍になる。このような熱電対においては、一対の導線の検温部(熱接点)が接合部の熱容量に熱的影響を受けるために、温度計測精度が低下するという問題点がある。
【0005】
本発明の目的は、処理室の温度を精度よく計測することができる基板処理装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記した課題を解決するための手段は、ヒータまたは処理室の温度を測定する熱電対の一対の導線が、熱起電力特性が前記熱電対の一対の導線のいずれか一方と同等または近似である接合部材にそれぞれ接合されていることを特徴とする。
【0007】
前記した手段によれば、接合部材の熱起電力特性が熱電対の一対の導線のそれと同等または近似していることにより、接合部材は一対の導線の検温部の近傍にある部分の熱的影響を低減することができるので、検温対象の現在の実際の温度を応答性よく計測することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【0009】
本実施の形態において、図1に示されているように、本発明に係る基板処理装置は、ICの製造方法における熱処理工程を実施するホットウオール形熱処理装置(バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置)10として構成されている。
【0010】
図1に示されたホットウオール形熱処理装置10は、中心線が垂直になるように縦に配されて固定的に支持された縦形のプロセスチューブ11を備えている。プロセスチューブ11はインナチューブ12とアウタチューブ13とから構成されており、インナチューブ12は石英ガラスまたは炭化シリコン(SiC)が使用されて円筒形状に一体成形されており、アウタチューブ13は石英ガラスが使用されて円筒形状に一体成形されている。インナチューブ12は上下両端が開口した円筒形状に形成されており、インナチューブ12の筒中空部はボートによって長く整列した状態に保持された複数枚のウエハが搬入される処理室14を形成している。インナチューブ12の内径は取り扱うウエハの最大外径(例えば、直径300mm)よりも大きくなるように設定されている。
【0011】
アウタチューブ13は内径がインナチューブ12の外径よりも大きく上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されており、インナチューブ12にその外側を取り囲むように同心円に被せられている。インナチューブ12とアウタチューブ13との間の下端部は多段の円筒形状に構築されたマニホールド16によって気密封止されており、マニホールド16の下端開口はウエハを出し入れするための炉口15を構成している。マニホールド16はインナチューブ12およびアウタチューブ13の交換等のためにインナチューブ12およびアウタチューブ13にそれぞれ着脱自在に取り付けられている。マニホールド16がホットウオール形熱処理装置の筐体2に支持されることにより、プロセスチューブ11は垂直に据え付けられた状態になっている。
【0012】
マニホールド16の側壁の上部には排気管17が接続されており、排気管17は排気装置(図示せず)に接続されてプロセスチューブ11の内部を排気し得るようになっている。排気管17はインナチューブ12とアウタチューブ13との間に形成された隙間に連通した状態になっており、インナチューブ12とアウタチューブ13との隙間によって排気路18が、横断面形状が一定幅の円形リング形状に構成されている。排気管17がマニホールド16に接続されているため、排気管17は円筒形状の中空体を形成されて垂直に延在した排気路18の最下端部に配置された状態になっている。
【0013】
また、マニホールド16の下方にはガス導入管19が炉口15に連通するように接続されており、ガス導入管19には原料ガス供給装置やキャリアガス供給装置およびパージガス供給装置(いずれも図示せず)が接続されている。ガス導入管19によって炉口15に導入されたガスはインナチューブ12の処理室14を流通して排気路18を通って排気管17によって外部へ排気される。
【0014】
マニホールド16には下端開口を閉塞するシールキャップ20が垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ20はマニホールド16の外径と略等しい円盤形状に構築されており、プロセスチューブ11の外部に垂直に設備されたボートエレベータ(図示せず)によって垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ20の中心線上にはボート21が垂直に立脚されて支持されるようになっている。
【0015】
ボート21は上下で一対の端板22、23と、両端板22と23との間に架設されて垂直に配設された三本の保持部材24とを備えており、三本の保持部材24には多数条の保持溝25が長手方向に等間隔に配されて互いに対向して開口するように刻設されている。ボート21は三本の保持部材24の保持溝25間にウエハ1の周辺部をそれぞれ挿入されることにより、複数枚のウエハ1を水平にかつ互いに中心を揃えた状態に整列させて保持するようになっている。ボート21とシールキャップ20との間には内部に断熱材(図示せず)が封入された断熱キャップ部26が配置されており、断熱キャップ部26はボート21をシールキャップ20の上面から持ち上げた状態に支持することにより、ボート21の下端を炉口15の位置から適当な距離だけ離間させるように構成されている。
【0016】
図1に示されているように、プロセスチューブ11の外側は断熱槽31によって全体的に被覆されており、断熱槽31の内側にはプロセスチューブ11の内部を加熱するヒータ32が、アウタチューブ13の周囲を包囲するように同心円に設備されている。断熱槽31はステンレス鋼等の薄板から円筒形状に形成されたケースの内部にガラスウール等の断熱材が封入されて、プロセスチューブ11の外径よりも大径で長さが同程度の円筒形状に形成されており、ホットウオール形熱処理装置の筐体2に支持されることによって垂直に据え付けられている。ヒータ32はニクロム線等の線形の電気抵抗体によって形成されて、断熱槽31の内周面に螺旋状に巻装されている。ヒータ32は上側から順に、第一ヒータ部32a、第二ヒータ部32b、第三ヒータ部32c、第四ヒータ部32dおよび第五ヒータ部32eに五分割されており、これらヒータ部32a〜32eは温度コントローラ33によって互いに連携および独立してシーケンス制御されるように構成されている。
【0017】
図1に示されているように、マニホールド16の側壁の下部には保護管34がボート21に干渉しないようにシールキャップ20に対し水平に延び、断熱キャップ部26と干渉しない位置で直角に立ち上がって貫通されて固定されており、ボート21の処理室14への搬入時には、保護管34はインナチューブ12の内周面とボート21の外周面との間に位置する状態になっている。保護管34には五本の熱電対35a、35b、35c、35dおよび35eが纏めて封入されている。五本の熱電対35a、35b、35c、35dおよび35eは温度コントローラ33にそれぞれ接続されており、各熱電対35a〜35eは温度計測結果を温度コントローラ33に受信器37および電気配線38を介してそれぞれ送信するようになっている。温度コントローラ33は各熱電対35a〜35eからの計測温度に基づいて各ヒータ部32a〜32eをフィードバック制御するようになっている。すなわち、温度コントローラ33は各ヒータ部32a〜32eの目標温度と各熱電対35a〜35eの計測温度との誤差を求めて、誤差がある場合には誤差を解消させるフィードバック制御を実行するようになっている。
【0018】
五本の熱電対35a〜35eの検温部側端部36a〜36eの高さは五箇所のヒータ部32a〜32eの高さにそれぞれ対応するように設定されており、検温部側端部36a〜36eには接合部材40a〜40eがそれぞれ固定されている。次に、熱電対の接合部材および一対の導線の構造を図2により説明する。なお、図2(a)は最上段のヒータ部32aに対応する熱電対35aを示している。
【0019】
図2(b)に示されているように、熱電対35aの熱電対の一対の導線のうち一方の導線(以下、第一導線という。)41は白金線が使用されて直径が0.5mmの円形断面の線材に形成されており、他方の導線(以下、第二導線という。)は白金・ロジウム線が使用されて直径が0.5mmの円形断面の線材に形成されている。接合部材40は第一導線41と同一の材質である白金が使用されて円板形状に形成されている。接合部材40の直径は厚さの二倍以上であって、第一導線41および第二導線42の直径よりも充分に大きく(例えば、十倍以上)に設定されている。接合部材40の一方の主面には第一導線41の一端が中心上に、第二導線42が周辺部に電気溶接によってそれぞれ接合されている。図2(a)に示されているように、保護管34の内部におけるヒータ部32aに対向する位置において、接合部材40aは第一導線41および第二導線42が接合された主面と反対側の主面がヒータ部32a側を向くように配置されている。
【0020】
次に、前記構成に係るホットウオール形熱処理装置を使用したICの製造方法の熱処理工程を説明する。
【0021】
図1に示されているように、複数枚のウエハ1を整列保持したボート21はシールキャップ20の上にウエハ1群が並んだ方向が垂直になる状態で載置され、ボートエレベータによって差し上げられて炉口15から処理室14に搬入(ボートローディング)されて行き、シールキャップ20に支持されたままの状態で処理室14に存置される。
【0022】
プロセスチューブ11の内部が排気管17によって排気されるとともに、プロセスチューブ11の内部がヒータ32の各ヒータ部32a〜32eによって温度コントローラ33のシーケンス制御の目標温度(例えば、600〜1200℃)に加熱される。この際、ヒータ32の各ヒータ部32a〜32eの加熱によるプロセスチューブ11の内部の実際の上昇温度と、各ヒータ部32a〜32eのシーケンス制御の目標温度との誤差は、各熱電対35a〜35eの測温結果に基づくフィードバック制御によってそれぞれ補正される。
【0023】
ここで、熱電対は二つの異なる材質の導線によって形成された閉回路において両端の接合部に温度差が生じると熱起電力が発生するゼーベック効果を利用した温度計測手段であり、熱電対の一方の端部(以下、基準部という。)の温度が既知である状態で、他方の端部(以下、検温部という。)を検温対象の温度に馴染ませ、この時に発生する熱起電力によって基準部と検温部との温度差を求め、この温度差の値に基準部の温度を加算することにより、検温部の温度を求めるようになっている。そして、検温部が検温対象の温度に馴染んでいる場合には、求めた検温部の温度を検温対象の温度として扱うことができるが、検温部が検温対象の温度状態に馴染んでいない場合には、求めた検温部の温度を検温対象の温度として扱うことはできない。特に、検温対象の温度状態が変化している状態で、検温部がその変化に迅速に馴染まない場合には、正確な温度を計測することはできない。検温部が検温対象の温度に馴染むとは、検温部と検温対象との間における熱の移動が安定している状態を指すが、その安定する状態に至るまでの過程において、検温部と検温対象との伝熱に寄与する面積とその熱容量との影響は大きい。以下、これについて説明する。
一般に、熱の移動は輻射、対流および伝導の三通りの伝熱形態による。ここで、他の条件が同じであれば、いずれの伝熱形態においても、伝熱に寄与する面積と移動熱量とは比例する。このことは、熱電対の測温において、検温部の検温対象との間の伝熱に寄与する面積が大きくなれば、検温部に移動する熱量が増大することを意味している。また、検温部に一定の熱量が与えられている場合には、温度変化速度が検温部の熱容量に反比例する関係がある。このことは、検温部の熱容量が小さくなるほど、温度変化速度が速くなることを意味している。以上のことにより、検温部が検温対象の温度状態に速く馴染むようにするには、検温対象との伝熱に寄与する面積を大きくすることや、熱容量を小さくすることが有効である。つまり、検温部の検温対象との伝熱に寄与する面積に対する検温部の熱量の比(以下、熱容量/面積という。)が小さいほど、熱電対の応答が速いことになる。また、熱容量は体積に比例することから、検温部の検温対象との伝熱に寄与する面積に対する検温部の体積の比(以下、体積/面積という。)についても同様のことが言える。
さらに、検温部の体積/面積は、その形状に依存性がある。図3(a)に示された球状の検温部39の場合には、検温部39の体積/面積は、中空部の無い立体の中で最も小さい。図3(b)は球体の体積/面積(表面積)のグラフを示している。このグラフによれば、面積を増加させると、体積/面積は大きくなり、極限で無限大となる。そして、検温部39の検温対象との伝熱に寄与する面積を球体の表面積と仮定すると、検温部39の寸法を小さくし、面積を小さくするほど、熱電対の応答性が向上することになる。
ここまでは検温部について述べて来たが、検温部には一対の導線が接合されているために、検温部は一対の導線から熱的な影響を受けている。一対の導線の検温部の近傍にある部分は検温部と同じ温度環境下にあると看做せるが、検温部と一対の導線の形状や寸法が異なる場合には、検温部と同じような応答を示すとは限らない。図3(a)に示された熱電対の検温部39は一対の導線41、42の一端部同士を電気溶接によって形成された球体であるために、球体の検温部39の直径は導線41、42の直径の数倍になる。但し、電気溶接によって形成されるために、導線の直径よりも極端に大きい直径を有する球体の検温部を形成することは困難である。故に、図3(a)に示された熱電対においては、一対の導線41、42の検温部39の近傍にある部分の熱容量は検温部39に対して無視できない大きさになる傾向がある。したがって、図3(a)に示された熱電対の検温部39は一対の導線41、42から無視できないほどの熱的影響を受けてしまい、結果として、図3(a)に示された熱電対は正確な温度検出が困難になる。
【0024】
これに対して、本実施の形態に係る各熱電対35a〜35eにおいては、図2(b)に示されているように、第一導線41および第二導線42が第一導線41と同質の材料によって円板形状に形成された接合部材40a〜40eに接合されていることにより、一対の導線からの熱的影響を殆ど受けないために、各熱電対35a〜35eは温度を正確に計測することができる。
以下、本実施の形態に係る熱電対においての導線からの熱的影響について説明する。図2(b)に示されているように、円板形状に形成された接合部材40には半径および厚さの寸法要素がある。図4は厚さを不変とした上で面積を変化させた場合の接合部材の体積/面積のグラフを示している。この場合においても、体積/面積は面積を増加させるに従って大きくなる。しかし、球体であれば極限において無限大となるところ、円板形状に形成された接合部材では極限において厚さの半値に収束する。ここで、接合部材の検温対象との伝熱に寄与する面積を接合部材の表面積と仮定すると、接合部材の厚み以外の寸法を変化させて表面積を小さくするほど検温対象の温度状態に馴染み易くなり、他方、表面積を次第に大きくしていっても検温対象の温度状態への馴染み易さは変わらなくなる。ここで、図2(b)に示されているように、接合部材40に形成された検温部39は第一導線41および第二導線42から熱的な影響を受ける。他方、検温部39は接合部材40に形成されているので、検温部39は接合部材40からも熱的な影響を受ける。ここで、接合部材の検温対象との伝熱に寄与する面積を接合部材の表面積と仮定する場合には、接合部材の厚み以外の寸法を大きくして表面積と体積とを大きくすることにより、接合部材40の熱容量は第一導線41および第二導線42の検温部の近傍にある部分の熱容量を無視できる程度まで大きく増加することができ、したがって、接合部材40およびそれに形成された検温部39に対して、第一導線41および第二導線42の検温部の近傍にある部分が与える熱的影響を低減することができる。そして、この接合部材40においては厚み以外の寸法を大きくして表面積と体積とを大きくしても検温対象の温度状態に対する馴染み易さへの影響は小さい。したがって、本実施の形態に係る熱電対35a〜35eにおいては、検温対象の温度を正確に計測することができる。
【0025】
以上の通り、本実施の形態においては、各熱電対35a〜35eは各検温対象である各ヒータ部32a〜32eの温度変化を正確に計測するので、各熱電対35a〜35eの測温結果に基づいて各ヒータ部32a〜32eをフィードバック制御する温度コントローラ33は、ウエハ1の現在の実際の温度に基づいて各ヒータ部32a〜32eを良好な応答性をもってフィードバック制御することになる。
【0026】
以上の温度制御によって処理室14の全体が予め設定された処理温度に安定すると、処理ガスが処理室14へガス導入管19から導入される。処理室14に導入された処理ガスは処理室14を上昇した後にインナチューブ12の上端開口から排気路18へ流れ込み、排気路18を通じて排気管17から排気される。処理ガスは処理室14を流れる際に、ウエハ1群に接触することによりウエハ1の表面に熱処理を施す。
【0027】
熱処理がウエハ1群に実施されて予め設定された熱処理時間が経過すると、ヒータ部32a〜32eの加熱作用が温度コントローラ33のシーケンス制御によって停止されて、プロセスチューブ11の内部の温度が予め設定されたスタンバイ温度(例えば、処理温度よりも150℃〜300℃低い温度)に降下されて行く。この際においても、ヒータ32の各ヒータ部32a〜32eによるプロセスチューブ11の内部の実際の下降温度と、各ヒータ部32a〜32eのシーケンス制御の目標温度との誤差は、各熱電対35a〜35eの測温結果に基づくフィードバック制御によってそれぞれ補正される。ここでも、各熱電対35a〜35eは温度変化を正確に計測するため、温度コントローラ33はウエハ1の現在の実際の温度に基づいて各ヒータ部32a〜32eを良好な応答性をもってフィードバック制御する。
【0028】
そして、予め設定されたスタンバイ温度になるか、または、予め設定された降温時間が経過すると、シールキャップ20が下降されて炉口15が開口されるとともに、ボート21に保持された状態でウエハ1群が炉口15からプロセスチューブ11の外部に搬出(ボートアンローディング)される。
【0029】
以上の作用が繰り返されることにより、ホットウオール形熱処理装置による熱処理がウエハ1にバッチ処理されて行く。
【0030】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【0031】
1) 熱起電力特性が熱電対の一対の導線の一方と同等または近似した接合部材に熱電対の一対の導線を接合することにより、熱電対は温度変化を正確に計測することができるため、熱電対の測温結果に基づいてヒータをフィードバック制御する温度コントローラはウエハの現在の実際の温度に基づいてヒータを良好な応答性をもってフィードバック制御することができ、その結果、ホットウオール形熱処理装置は熱処理を適正に実行することができる。
【0032】
2) 接合部材を一方の導線と同質の材料によって形成することにより、従来の熱電対と同質の材料によって熱電対の性能を向上させることができるので、熱電対の寿命等において従来の熱電対と同等の性能や信頼性を期待することができ、また、使用雰囲気についても従来と同様の条件を適用することができる。
【0033】
3) 接合部材への一対の導線を電気溶接によって接合することにより、従来の熱電対と同等の接合強度を得ることができる。
【0034】
図5は本発明の他の実施の形態である枚葉式ホットウオール形熱処理装置を示す正面断面図、図6は平面断面図である。
【0035】
本実施の形態においては、本発明に係る基板処理装置は、ICの製造方法における熱処理工程を実施する枚葉式ホットウオール形熱処理装置として構成されている。
【0036】
図5および図6に示されているように、枚葉式ホットウオール形熱処理装置50はウエハ1を収容可能な平面視が長方形の処理室52を構成したプロセスチューブ51を備えており、プロセスチューブ51は石英ガラスまたは炭化シリコンが使用されて高さの低い直方体形状に形成されて、筐体(図示せず)に水平に支持されている。プロセスチューブ51の四枚の側壁のうち互いに正対する一対の側壁は開口されており、両開口には炉口フランジ53と炉端フランジ54とがそれぞれ固定されている。炉口フランジ53にはウエハ1を処理室52に搬入搬出するための炉口55が開設されており、炉口55はゲートバルブ56によって開閉されるようになっている。炉口フランジ53には処理ガスを導入するためのガス導入管57が炉口55に連通するように接続されており、炉端フランジ54には処理室52を排気するための排気管58が接続されている。炉端フランジ54はキャップ54aによって閉塞されている。つまり、ガス導入管57から供給された処理ガスは処理室52を流れて、排気管58によって排気されるようになっている。処理室52の底面にはウエハ置き台59が載置されており、ウエハ置き台59はウエハ1を一枚ずつ水平に保持するように構成されている。プロセスチューブ51の外側にはヒータ60が処理室52を均一または所定の温度分布に加熱するように敷設されており、ヒータ60は温度コントローラ61によってシーケンス制御およびフィードバック制御されるようになっている。
【0037】
図6に示されているように、炉端フランジ54のキャップ54aには三本の保護管62a、62b、62cが水平面で隣合うように並べられてそれぞれ水平方向に挿入されて固定されており、三本の保護管62a、62b、62cの挿入側先端部はウエハ置き台59に保持されたウエハ1の真下において、ウエハ1の周辺部の三箇所にそれぞれ位置するようになっている。両端の保護管62a、62bには二本の熱電対63a、63bが一本宛それぞれ封入されており、中央の保護管62cには三本の熱電対63c、63d、63eが纏めて封入されている。五本の熱電対63a、63b、63c、63d、63eは温度コントローラ61にそれぞれ接続されており、各熱電対63a、63b、63c、63d、63eは温度計測結果を温度コントローラ61にそれぞれ送信するようになっている。温度コントローラ61は各熱電対63a、63b、63c、63d、63eからの計測温度に基づいてヒータ60をフィードバック制御するようになっている。すなわち、温度コントローラ61はヒータ60の目標温度と各熱電対63a、63b、63c、63d、63eの計測温度との誤差を求めて、誤差がある場合には誤差を解消させるフィードバック制御を実行するようになっている。
【0038】
図6に示されているように、三本の保護管62a、62b、62cには五つの接合部材65a、65b、65c、65d、65eが、ウエハ1の中心とその中心を起点とする十字形のウエハ1の周辺部における四つの交差点とにそれぞれ対向するように配置されており、五つの接合部材65a、65b、65c、65d、65eには五本の熱電対63a、63b、63c、63d、63eの検温部側端部64a、64b、64c、64d、64eがそれぞれ固定されている。熱電対と接合部材との関係や固定構造は前記実施の形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【0039】
次に、前記構成に係る枚葉式ホットウオール形熱処理装置を使用した場合の本発明の一実施の形態であるICの製造方法の熱処理工程を説明する。
【0040】
被処理物であるウエハ1はウエハ移載装置(図示せず)によってハンドリングされて処理室52へ炉口55から搬入され、図5および図6に示されているように、ウエハ置き台59の上に載置される。
【0041】
炉口55がゲートバルブ56によって閉じられた後に、処理室52が排気管58によって排気されるとともに、ヒータ60によって温度コントローラ61のシーケンス制御の目標温度(例えば、600〜1200℃)に加熱される。この際、ヒータ60の加熱による処理室52の内部の実際の上昇温度とヒータ60のシーケンス制御の目標温度との誤差は、各熱電対63a、63b、63c、63d、63eの測温結果に基づくフィードバック制御によってそれぞれ補正される。
【0042】
本実施の形態においても、各接合部材65a〜65eの熱起電力特性が第一導線のそれと同等または近似していることにより、各接合部材65a〜65eの温度はウエハ1の温度変化に良好な応答性をもって追従する。したがって、各熱電対63a〜63eは各接合部材65a〜65eの温度変化を良好な応答性をもって追従することによって、ウエハ1の温度変化を良好な応答性をもって追従して計測することになる。つまり、各熱電対63a〜63eの測温結果に基づいてヒータ60をフィードバック制御する温度コントローラ61は、ウエハ1の現在の実際の温度に基づいてヒータ60を良好な応答性をもってフィードバック制御することになる。
【0043】
以上の温度制御によって処理室52の全体が予め設定された処理温度に安定すると、処理ガスが処理室52へガス導入管57から導入される。処理室52に導入された処理ガスは処理室52を流下した後に排気管58から排気される。処理ガスは処理室52を流れる際に、ウエハ1群に接触することによりウエハ1の表面に熱処理を施す。
【0044】
熱処理がウエハ1群に実施されて予め設定された熱処理時間が経過すると、ヒータ60の加熱作用が温度コントローラ61のシーケンス制御によって停止されて、処理室52の温度が予め設定されたスタンバイ温度(例えば、処理温度よりも150℃〜300℃低い温度)に降温されて行く。
【0045】
そして、予め設定されたスタンバイ温度になるか、または、予め設定された降温時間が経過すると、炉口55がゲートバルブ56によって開口され、ウエハ1がウエハ置き台59からウエハ移載装置によってピックアップされ処理室52の外部に搬出される。
【0046】
以上の作用が繰り返されることにより、枚葉式ホットウオール形熱処理装置50による熱処理がウエハ1に枚葉処理されて行く。本実施の形態における効果は、前記実施の形態と同様である。
【0047】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【0048】
例えば、接合部材は円板形状に形成するに限らず、多角形の平板形状等に形成してもよい。特に、検温対象と熱電対の間の熱移動が専ら輻射による場合には、接合部材の形状を調整して形態係数を大きくすることにより、熱移動量を大きくすることができるので、熱電対の応答性を向上させるためには有効である。さらに、接合部材の検温対象と伝熱に寄与する面にサンドブラスト等を施して表面に凹凸を設けることにより、表面積を増大してもよい。
【0049】
接合部材の厚さを極薄く設定した場合には、導線の電気溶接に際して、無視できない厚さの不均一が発生したり、孔が開いたりすることもあり得るが、厚めの接合部材に導線を電気溶接した後に、接合部材をプレス加工や切削加工等によって薄く仕上げる方法により、これらの発生を未然に防止することができる。
【0050】
熱電対の一方の導線と接合部材との接合手段としては、電気溶接を使用するに限らず、圧接法や接着法等を使用してもよい。
【0051】
熱電対の一対の導線の検温部(熱接点)側を接合部材に接合するに限らず、基準部側をも接合部材に接合してもよい。
【0052】
熱電対は処理室のウエハの近傍に配置するに限らず、インナチューブとアウタチューブとの間やプロセスチューブとヒータとの間に配置してもよい。また、熱電対はヒータを貫通してヒータ内に挿入してもよい。さらに、断熱材を貫通して、ヒータの外周部に位置するように挿入してもよい。
【0053】
熱処理は酸化処理や拡散処理および拡散だけでなくイオン打ち込み後のキャリア活性化や平坦化のためのリフローおよびアニール処理等に限らず、成膜処理等の熱処理であってもよい。
【0054】
被処理物はウエハに限らず、ホトマスクやプリント配線基板、液晶パネル、光ディスクおよび磁気ディスク等であってもよい。
【0055】
本発明は、バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置および枚葉式ホットウオール形熱処理装置に限らず、バッチ式横形ホットウオール形熱処理装置や縦形および横形ホットウオール形減圧CVD装置等の熱処理装置全般並びに基板処理装置全般に適用することができる。
【0056】
【発明の効果】
本発明によれば、ヒータによる現在の実際の温度を適正に計測することによって温度制御を適正に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態であるバッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置を示す正面断面図である。
【図2】(a)は図1のa部の詳細図であり、(b)は熱電対の検温側端部を示す斜視図である。
【図3】体積/面積を説明するための図であり、(a)は球体の検温部と導線との接合を示す斜視図、(b)は面積を変化させた場合の球体の体積/面積を示すグラフである。
【図4】本実施の形態に係る熱電対における体積/面積を説明するためグラフであり、厚さを不変として上で面積を変化させた場合の体積/面積を示している。
【図5】本発明の他の実施の形態である枚葉式ホットウオール形熱処理装置を示す正面断面図である。
【図6】その平面断面図である。
【符号の説明】
1…ウエハ(基板)、2…筐体、10…ホットウオール形熱処理装置(バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置)、11…プロセスチューブ、12…インナチューブ、13…アウタチューブ、14…処理室、15…炉口、16…マニホールド、17…排気管、18…排気路、19…ガス導入管、20…シールキャップ、21…ボート、22、23…端板、24…保持部材、25…保持溝、26…断熱キャップ部、31…断熱槽、32…ヒータ、32a〜32e…ヒータ部、33…温度コントローラ、34…保護管、35a〜35e…熱電対、36a〜36e…検温部側端部、37…受信器、38…電気配線、39…検温部、40、40a〜40e…接合部材、41…第一導線、42…第二導線、50…枚葉式ホットウオール形熱処理装置(熱処理装置、半導体製造)、51…プロセスチューブ、52…処理室、53…炉口フランジ、54…炉端フランジ、54a…キャップ、55…炉口、56…ゲートバルブ、57…ガス導入管、58…排気管、59…ウエハ置き台、60…ヒータ、61…温度コントローラ、62a、62b、62c…保護管、63a〜63e…熱電対、64a〜64e…検温部側端部、65a〜65e…接合部材。
Claims (3)
- 基板を熱処理する処理室と、該処理室を加熱するヒータと、該ヒータまたは前記処理室の温度を測定する温度計測手段とを備え、
該温度計測手段は、二つの異なる材質の一対の導線が、熱起電力特性が前記一対の導線のいずれか一方と同等または近似の材質で形成され、円板形状ないし多角形の平板形状で形成されている接合部材の主面にそれぞれ接合されており、
前記接合部材は、表面積を増大するよう検温対象となる表面に凹凸が設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を熱処理する処理室と、該処理室を加熱するヒータとを備える基板処理装置に用いられる前記ヒータまたは前記処理室の温度を測定する温度計測手段であって、
二つの異なる材質の一対の導線が、熱起電力特性が前記一対の導線のいずれか一方と同等または近似の材質で形成され、円板形状ないし多角形の平板形状で形成されている接合部材の主面にそれぞれ接合されており、
前記接合部材は、表面積を増大するよう検温対象となる表面に凹凸が設けられていることを特徴とする温度計測手段。 - 処理室へ基板を搬入する工程と、
前記処理室をヒータで加熱し、二つの異なる材質の一対の導線が、熱起電力特性が前記一対の導線のいずれか一方と同等または近似の材質で形成され、円板形状ないし多角形の平板形状で形成されている接合部材の主面にそれぞれ接合されており、前記接合部材は、表面積を増大するよう検温対象となる表面に凹凸が設けられている温度計測手段にて、前記ヒータまたは前記処理室の温度を測定しつつ基板を熱処理する工程と、
を有するICの製造方法。
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- 2003-07-09 JP JP2003194558A patent/JP4425583B2/ja not_active Expired - Lifetime
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