JP4414327B2 - 回折格子パッチ構造、リソグラフィ装置及び試験方法 - Google Patents
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Description
マスクの概念についてはリソグラフィにおいては良く知られており、バイナリ、交番移相及び減衰移相などのマスク・タイプ、及び様々なハイブリッド・マスク・タイプが知られている。このようなマスクを放射ビーム中に配置することにより、マスクに衝突する放射をマスク上のパターンに従って選択的に透過させ(透過型マスクの場合)、或いは選択的に反射させている(反射型マスクの場合)。マスクの場合、支持構造は、通常、入射する放射ビーム中の所望の位置に確実にマスクを保持することができ、且つ、必要に応じてマスクをビームに対して確実に移動させることができるマスク・テーブルである。
粘弾性制御層及び反射型表面を有するマトリックス処理可能表面は、このようなデバイスの例の1つである。このような装置の基礎をなしている基本原理は、(たとえば)反射型表面の処理領域が入射光を回折光として反射し、一方、未処理領域が入射光を非回折光として反射することである。適切なフィルタを使用することにより、非回折光を反射ビームからフィルタ除去し、回折光のみを残すことができるため、この方法により、マトリックス処理可能表面の処理パターンに従ってビームがパターン化される。この方法に対応する方法で回折格子光バルブ(GLV)のアレイを使用することも可能であり、GLVの各々は、入射光を回折光として反射する回折格子を形成するべく、互いに対して変形可能な(たとえば電位を印加することによって)複数の反射型リボンを備えることができる。プログラム可能ミラー・アレイの他の代替実施例には、マトリックスに配列された極めて微小な(場合によっては微視的な)ミラーが使用されている。これらの微小ミラーの各々は、適切な局部電界を印加することによって、或いは圧電駆動手段を使用することによって、1つの軸の周りに個々に傾斜させることができる。たとえば、入射する放射ビームを反射する方向が、処理済みミラーと未処理ミラーとでそれぞれ異なるように微小ミラーをマトリックス処理することが可能であり、この方法により、マトリックス処理可能ミラーの処理パターンに従って反射ビームがパターン化される。必要なマトリックス処理は、適切な電子手段を使用して実行される。上で説明したいずれの状況においても、パターン化構造は、1つ又は複数のプログラム可能ミラー・アレイを備えることができる。上で参照したミラー・アレイに関する詳細な情報については、たとえば、米国特許第5,296,891号及び第5,523,193号、並びにPCT特許出願WO98/38597号及びWO98/33096号を参照されたい。これらの文書は、いずれも参照により本明細書に援用する。プログラム可能ミラー・アレイの場合、支持構造は、たとえば、必要に応じて固定若しくは移動させることができるフレーム若しくはテーブルとして具体化することができる。
参照により本明細書に援用する米国特許第5,229,872号に、このような構造の例の1つが記載されている。この場合の支持構造も、プログラム可能ミラー・アレイの場合と同様、たとえば、必要に応じて固定若しくは移動させることができるフレーム若しくはテーブルとして具体化することができる。
マスク・テーブルMTは、基本的に静止状態に維持され、マスク画像全体が目標部分Cに1回の照射(すなわち単一「フラッシュ」)で投影される。次に、基板テーブルWTがx及び/又はy方向に動かされ、異なる目標部分CがビームPBによって照射される。
所与の目標部分Cが単一「フラッシュ」に露光されない点を除き、基本的にステップ・モードと同じシナリオが適用される。走査モードでは、マスク・テーブルMTを所与の方向(いわゆる「走査方向」、たとえばy方向)に速度vで移動させることができるため、投影ビームPBでマスク画像を走査することができ、同時に基板テーブルWTが同じ方向又は逆方向に、速度V=Mvで移動する。MはレンズPLの倍率である(通常、M=1/4若しくはM=1/5)。この方法によれば、解像度を犠牲にすることなく、比較的大きい目標部分Cを露光することができる。
プログラム可能パターン化構造を保持するべくマスク・テーブルMTが基本的に静止状態に維持され、投影ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、基板テーブルWTが移動若しくは走査される。このモードでは、通常、パルス放射源が使用され、走査中、基板テーブルWTが移動する毎に、或いは連続する放射パルスと放射パルスの間に、必要に応じてプログラム可能パターン化構造が更新される。この動作モードは、上で参照したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどのプログラム可能パターン化構造を利用しているマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
23、27、61、67、92 モジュール(回折格子モジュール)
25 光ビーム
26 二次ビーム
29、69 センサ(検出器)
31、65 レンズ
33、35 測定及び調整ユニット
37 リンク
38 プロセッサ・ユニット
39 光ビーム(二次ビーム)を遮断する物質部分(クロム層)
41 オーバラップ部分
43、43A、43B、43C、43D、45、45A、45B、45C、45D、75A、75A*、75B、75B*、77A、77B、93、95、97、99 回折格子パッチ
63、SO 放射源
71 調整装置
73、111 測定ビーム
91 モジュール上の一部
98、103、105、101 回折格子パッチの配向
107 モジュール上の一部の輪郭
109 感光装置の平面(検出器の表面)
731、732 回折格子パッチを通って移動する回折次数(ビーム)
733 ビーム731の回折パターン(縞パターン)
734 ビーム732の回折パターン(縞パターン)
AM 調整構造
BD ビーム引渡しシステム
C 目標部分
CO 集光光学系(コンデンサ)
IF 測定構造
IL 照明システム(イルミネータ)
IN インテグレータ
M1、M2 マスク位置合せマーク
MA マスク
MT 第1の対物テーブル(マスク・テーブル)
P1、P2 基板位置合せマーク
PB ビーム
PL 投影システム(レンズ)
RS 放射システム
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (28)
- レンズの第1の側に配置された、第1の回折格子パッチ及び第2の回折格子パッチを備えた第1のセットの回折格子パッチと、
前記レンズの前記第1の側に対して光学的に実質的に反対側の第2の側に配置された、第3の回折格子パッチ及び第4の回折格子パッチを備えた第2のセットの回折格子パッチとを備えた構造であって、
前記第1及び第2の回折格子パッチが第1の距離を隔てて配置され、また、前記第3及び第4の回折格子パッチが第2の距離を隔てて配置され、
前記第1及び第2のセットのうちの少なくとも一方のセットをもう一方のセットに対して移動させることができ、
前記構造の第1の構成では、前記第1と第3の回折格子パッチが、前記第1の回折格子パッチから放射された光が前記第3の回折格子パッチを通過するように光学的に整列し、
前記構造の第2の構成では、前記第2と第4の回折格子パッチが、前記第2の回折格子パッチから放射された光が前記第4の回折格子パッチを通過するように光学的に整列し、
前記第1の距離と前記第2の距離が、前記第1の構成と第2の構成が同時に発生することを防ぐように選択される構造。 - 前記構造の第1の構成のセットに、前記第1と第3の回折格子パッチが光学的に整列するすべての構成が包含され、
前記構造の第2の構成のセットに、前記第2と第4の回折格子パッチが光学的に整列するすべての構成が包含され、
前記第1の構成のセットと第2の構成のセットが同時に存在しない、請求項1に記載の構造。 - 前記構造の前記第1の構成及び第2の構成において、前記第1のセットが少なくとも実質的に前記レンズの前記第1の側の焦点面内に位置し、前記第2のセットが少なくとも実質的に前記レンズの前記第2の側の焦点面内に位置する、請求項1に記載の構造。
- 前記第1の回折格子パッチが、衝突する放射ビームに応答して、所定の回折パターンからなる光を放出するべく構成され、
前記第2の回折格子パッチが、前記衝突する放射ビームに応答して、他の回折パターンからなる光を放出するべく構成された、請求項1に記載の構造。 - 前記構造が、(1)前記第1の回折格子パッチによって放出され、前記第3の回折格子パッチを通過する光、及び(2)前記第2の回折格子パッチによって放出され、前記第4の回折格子パッチを通過する光のうちの少なくともいずれかに基づいて前記レンズの光学特性を測定するべく構成されたセンサをさらに備えた、請求項4に記載の構造。
- 前記第1のセットの回折格子パッチが、前記第1と第2の回折格子パッチとの対の各々の間の第1の平均パッチ間距離を特徴とする第1の複数の回折格子パッチを備え、
前記第2のセットの回折格子パッチが、前記第3と第4の回折格子パッチとの対の各々の間の第2の平均パッチ間距離を特徴とする第2の複数の回折格子パッチを備え、
前記第1と第2の平均パッチ間距離の比率が前記レンズの縮小係数とは実質的に異なる、請求項1に記載の構造。 - 複数の前記第1の回折格子パッチの各々が第1のサイズを有し、
複数の前記第2の回折格子パッチの各々が第2のサイズを有し、
前記第1のサイズと前記第2のサイズの比率が前記レンズの縮小係数と実質的に同じである、請求項6に記載の構造。 - 前記第1の回折格子パッチのサイズと前記第3の回折格子パッチのサイズの比率が前記レンズの縮小係数と実質的に同じであり、
(1)前記第1の回折格子パッチから前記第2の回折格子パッチまでの距離と、(2)前記第3の回折格子パッチから前記第4の回折格子パッチまでの距離の比率が前記レンズの縮小係数とは実質的に異なる、請求項1に記載の構造。 - 前記第1と第3の回折格子パッチが光学的に整列すると、前記第1の回折格子パッチの影響を受けた光が前記第3の回折格子に衝突する、請求項1に記載の構造。
- 前記第1と第3の回折格子パッチが光学的に整列すると、前記第1の回折格子パッチの影響を受けた光が前記レンズによって導かれ、前記第3の回折格子に衝突する、請求項1に記載の構造。
- 前記第1と第2の回折格子パッチが、最も狭い前記第1及び第2の回折格子パッチの幅以上の距離で分離された、請求項1に記載の構造。
- レンズの第1の側に配置された、少なくとも第1の回折格子パッチを備えた第1のセットの回折格子パッチと、
前記レンズの前記第1の側に対して光学的に実質的に反対側の第2の側に配置された第2のセットの回折格子パッチであって、前記第1の回折格子パッチに対応する第2の回折格子パッチと、第3の回折格子パッチとを備えた第2のセットの回折格子パッチと、
前記第2のセットの回折格子パッチの前記レンズとは反対側に配置された、前記第2のセットを通過する測定ビームを検出するべく構成された検出器とを備えた構造であって、
前記第1の回折格子パッチが第1のサイズ及び第1のピッチを有し、
前記第3の回折格子パッチが第2のサイズ及び第2のピッチを有し、前記第2のサイズ及び前記第2のピッチのうちの少なくともいずれか一方が、それぞれ前記第1のサイズ及び前記第1のピッチとは異なっており、
前記検出器が、第2の回折格子パッチを通過する第1の測定ビームを検出し、前記第3の回折格子パッチを通過する第2の測定ビームを検出し、
前記第2と第3の回折格子パッチが、前記第1の測定ビームによって前記検出器に生成される測定スポットと、前記第2の測定ビームによって前記検出器に生成される測定スポットとがオーバラップしないように配置されている構造。 - 前記第1及び前記第2の回折格子パッチのうちの少なくとも一方が、値が1/10と1/50の間の範囲のせん断比率に対応する回折格子ピッチ、及び値が(25ミクロン*25ミクロン)と(250ミクロン*250ミクロン)の間の範囲のサイズに対応する回折格子ピッチのうちの少なくともいずれかを有する、請求項12に記載の構造。
- レンズの第1の側に配置された、第1の配向を有する第1の回折格子パッチ及び第2の配向を有する第2の回折格子パッチを備えた第1のセットの回折格子パッチと、
前記レンズの前記第1の側に対して光学的に実質的に反対側の第2の側に配置された、前記第1の回折格子パッチに対応する第3の回折格子パッチ及び前記第2の配向を有する第4の回折格子パッチを備えた第2のセットの回折格子パッチと、
前記第2のセットの回折格子パッチの前記レンズとは反対側に配置された、前記第3の回折格子パッチを通過する第1の測定ビーム及び前記第4の回折格子パッチを通過する第2の測定ビームを検出するべく構成された検出器とを備えた構造であって、
前記第1及び第2の回折格子パッチが第1の距離を隔てて配置され、また、前記第3及び第4の回折格子パッチが第2の距離を隔てて配置され、
前記第1及び第2のセットの回折格子パッチのうちの少なくとも一方がもう一方に対して移動させることができ、
前記構造の第1の構成では、前記第1と第3の回折格子パッチが、前記第1の回折格子パッチから放射された光が前記第3の回折格子パッチを通過するように光学的に整列し、
前記構造の第2の構成では、前記第2と第4の回折格子パッチが、前記第2の回折格子パッチから放射された光が前記第4の回折格子パッチを通過するように光学的に整列し、
前記第1の距離と前記第2の距離が、前記第1の構成と第2の構成が同時に発生することを防ぐように選択される構造。 - 放射ビームを提供するべく構成された放射システムと、
第1の回折格子パッチ及び第2の回折格子パッチを備えた、前記放射ビームに影響を及ぼすべく構成された第1のセットの回折格子パッチと、
第3の回折格子パッチ及び第4の回折格子パッチを備えた第2のセットの回折格子パッチと、
影響を受けたビームを前記第2のセットの少なくとも一部に投射するべく構成された投影システムとを備えたリソグラフィ装置であって、
前記第1及び第2の回折格子パッチが第1の距離を隔てて配置され、また、前記第3及び第4の回折格子パッチが第2の距離を隔てて配置され、
前記装置が、前記第1及び第2のセットのうちの少なくとも一方を他方に対して移動させるべく構成され、
前記装置の第1の構成では、前記第1と第3の回折格子パッチが、前記第1の回折格子パッチから放射された光が前記第3の回折格子パッチを通過するように光学的に前記放射ビームに対して整列し、
前記装置の第2の構成では、前記第2と第4の回折格子パッチが、前記第2の回折格子パッチから放射された光が前記第4の回折格子パッチを通過するように光学的に前記放射ビームに対して整列し、
前記第1の距離と前記第2の距離が、前記第1の構成と第2の構成が同時に発生することを防ぐように選択されるリソグラフィ装置。 - 前記装置の第1の構成のセットに、前記第1と第3の回折格子パッチが光学的に整列するすべての構成が包含され、
前記装置の第2の構成のセットに、前記第2と第4の回折格子パッチが光学的に整列するすべての構成が包含され、
前記第1の構成のセットと第2の構成のセットが同時に存在しない、請求項15に記載のリソグラフィ装置。 - 前記装置の前記第1の構成及び第2の構成において、前記第1のセットが少なくとも実質的に前記投影システムの第1の側の焦点面内に位置し、前記第2のセットが少なくとも実質的に前記投影システムの第2の側の焦点面内に位置する、請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1の回折格子パッチが、前記投影システムによって所定の回折パターンからなる光を放出するべく構成され、
前記第2の回折格子パッチが、前記投影システムによって他の回折パターンからなる光を放出するべく構成された、請求項15に記載のリソグラフィ装置。 - 前記装置が、(1)前記第1の回折格子パッチによって放出され、前記第3の回折格子パッチを通過する光、及び(2)前記第2の回折格子パッチによって放出され、前記第4の回折格子パッチを通過する光のうちの少なくともいずれかに基づいて前記投影システムの光学特性を測定するべく構成されたセンサをさらに備えた、請求項18に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1のセットの回折格子パッチが、前記第1と第2の回折格子パッチとの対の各々の間の第1の平均パッチ間距離を特徴とする第1の複数の回折格子パッチを備え、
前記第2のセットの回折格子パッチが、前記第3と第4の回折格子パッチとの対の各々の間の第2の平均パッチ間距離を特徴とする第2の複数の回折格子パッチを備え、
前記第1と第2の平均パッチ間距離の比率が前記投影システムの縮小係数とは実質的に異なる、請求項15に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1のセットの前記回折格子パッチの各々が第1のサイズを有し、
前記第2のセットの前記回折格子パッチの各々が第2のサイズを有し、
前記第1のサイズと前記第2のサイズの比率が前記投影システムの縮小係数と実質的に同じである、請求項15に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1の回折格子パッチのサイズと前記第3の回折格子パッチのサイズの比率が前記投影システムの縮小係数と実質的に同じであり、
(1)前記第1の回折格子パッチから前記第2の回折格子パッチまでの距離と、(2)前記第3の回折格子パッチから前記第4の回折格子パッチまでの距離の比率が前記投影システムの縮小係数とは実質的に異なる、請求項15に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1と第3の回折格子パッチが光学的に整列すると、前記第1の回折格子パッチの影響を受けた光が前記第3の回折格子に衝突する、請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1と第3の回折格子パッチが光学的に整列すると、前記第1の回折格子パッチの影響を受けた光が前記投影システムによって導かれ、前記第3の回折格子に衝突する、請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 試験方法であって、
レンズの第1の側に、第1の距離を隔てて配置される第1の回折格子パッチ及び第2の回折格子パッチを備えた第1のセットの回折格子パッチを配置する段階と、
前記レンズの前記第1の側に対して光学的に実質的に反対側の第2の側に、第2の距離を隔てて配置される第3の回折格子パッチ及び第4の回折格子パッチを備えた第2のセットの回折格子パッチを配置する段階と、
前記第1と第3の回折格子パッチが、前記第1の回折格子パッチから放射された光が前記第3の回折格子パッチを通過するように光学的に整列された第1の構成にするべく、前記第1及び第2のセットのうちの少なくとも一方のセットをもう一方のセットに対して移動させる段階と、
前記第1のセットと第2のセットが前記第1の構成にある間、前記レンズの第1の光学特性に関連する情報を得る段階と、
前記第2と第4の回折格子パッチが、前記第2の回折格子パッチから放射された光が前記第4の回折格子パッチを通過するように光学的に整列された第2の構成にするべく、前記第1及び第2のセットのうちの少なくとも一方のセットをもう一方のセットに対して移動させる段階と、
前記第1のセットと第2のセットが前記第2の構成にある間、前記レンズの前記第1の光学特性とは異なる第2の光学特性に関連する情報を得る段階とを含み、
前記第1の距離と前記第2の距離が、前記第1の構成と第2の構成が同時に発生することを防ぐように選択される方法。 - 前記レンズの第1の光学特性に関連する前記情報が、前記第3の回折格子パッチを通過するある回折次数の光に基づき、
前記レンズの第2の光学特性に関連する前記情報が、前記第4の回折格子パッチを通過する他の回折次数の光に基づく、請求項25に記載の試験方法。 - 前記方法が、パターン化された放射ビームを、基板の、少なくとも一部が放射線感応材料の層で被覆された目標部分に投射するべく、前記レンズを使用する段階をさらに含む、請求項25に記載の試験方法。
- 前記レンズがリソグラフィ装置の投影システムのエレメントである、請求項25に記載の試験方法。
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