JP4407254B2 - 形状測定方法 - Google Patents
形状測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4407254B2 JP4407254B2 JP2003392244A JP2003392244A JP4407254B2 JP 4407254 B2 JP4407254 B2 JP 4407254B2 JP 2003392244 A JP2003392244 A JP 2003392244A JP 2003392244 A JP2003392244 A JP 2003392244A JP 4407254 B2 JP4407254 B2 JP 4407254B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- measured
- stylus
- probe
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 91
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 55
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
その超高精度三次元測定機の構成例を図1を参照して説明する。図1において、石定盤1上の水平面に固定されたレンズ等の被測定物2の被測定面2aに、移動体3に取付けられた原子間力プローブ5の先端を接触し追従させて、被測定面2aの表面形状を測定するように構成されている。
A=FcosΦ・sinΦ+μFcosΦ・cosΦ
被測定面2aを下りながら測定する時、スタイラス12には被測定面2aから抗力のX軸方向分力FcosΦ・sinΦと、摩擦力のX軸方向分力がそれぞれ反対の方向に働く。従って、被測定面2aを下りながら測定する時の合成分力Bは
B=FcosΦ・sinΦ−μFcosΦ・cosΦ
となり、その差は、
A−B=2μFcosΦ・cosΦ
となる。
動して下って行く。被測定物の外周部に達すると又距離△lだけX方向に移動し、同じ動
作を繰り返す。
定し、この断面列毎に外周部及び中心部と見なして順次測定をして行く。図10の制御部の構成図では、下り方向に移動していることを判定する判定手段A56で自動的に下り方向のみ測定しているが、図12や図13に示す制御部の構成では、被測定物に関する設計式や形状などの情報で、凸面の被測定物2の場合には中心部から外周部までの下り方向に走査し測定し、凹面の被測定物では外周部から中心部までの下り方向に走査し測定した時のデータを得ている。
て高密度に測定することが出来る。この様に、被測定物2の鉛直方向と直交する二次元(X軸・Y軸)面上を走査し測定しているので、被測定物の全面にわたって高密度に測定することができる。
2a 被測定面
3 移動体
4 レーザ測長光学系
5 プローブ
11 スライド部
12 スタイラス
13 ミラー面
14 板ばね(弾性材)
15 ガイド部
27 誤差信号発生部(相対位置測定手段)
28 サーボ回路(位置調整手段)
29 リニアモータ(位置調整手段)
31 エア軸受
50 入力部
51 出力部
52 記憶部
55 位置測定手段(Z軸方向)
56 判定手段A
57 判定手段B
58 ソフトA・ソフトBを有する記憶部
59 選択手段
Claims (2)
- 水平線に対して第1の傾斜角を有する第1の傾斜面と水平線に対して第2の傾斜角を有する第2の傾斜面とを有し、前記第1の傾斜面の水平線に対する傾斜と前記第2の傾斜面の水平線に対する傾斜とが互いに反対である被測定物の表面にプローブを接触させながら走査することにより前記被測定物の形状を測定する形状測定方法であって、前記プローブの走査は、前記第1の傾斜角と前記第2の傾斜角の内、傾斜角が小さい方の傾斜面を上る走査と、他方の傾斜面を下る走査とを1度の走査で行うことを特徴とする形状測定方法。
- 非測定状態におけるプローブの移動は、前記プローブと前記被測定物とを非接触の状態で行う請求項1記載の形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003392244A JP4407254B2 (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003392244A JP4407254B2 (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 形状測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005156235A JP2005156235A (ja) | 2005-06-16 |
JP4407254B2 true JP4407254B2 (ja) | 2010-02-03 |
Family
ID=34719007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003392244A Expired - Lifetime JP4407254B2 (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4407254B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2395317A1 (en) | 2010-06-14 | 2011-12-14 | FUJIFILM Corporation | Lightwave interference measurement apparatus |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6438251B2 (ja) | 2014-09-19 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | 算出方法、プログラム、情報処理装置及び計測装置 |
JP6436707B2 (ja) | 2014-09-26 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | 算出方法、計測装置、プログラム及び情報処理装置 |
JP7340761B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2023-09-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 測定用プローブ |
-
2003
- 2003-11-21 JP JP2003392244A patent/JP4407254B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2395317A1 (en) | 2010-06-14 | 2011-12-14 | FUJIFILM Corporation | Lightwave interference measurement apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005156235A (ja) | 2005-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2638919C (en) | Multi-beam optical probe and system for dimensional measurement | |
JP3926793B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP2661314B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JPWO2007135857A1 (ja) | 形状測定装置用プローブ及び形状測定装置 | |
JP2011215016A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
KR101330468B1 (ko) | 삼차원 형상 측정장치 | |
JP4407254B2 (ja) | 形状測定方法 | |
JP6135820B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5171108B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP4704932B2 (ja) | 触針式形状測定装置及び方法とこれに適した回転規制エアシリンダ | |
US10955436B2 (en) | Scanning probe microscope | |
JP5464932B2 (ja) | 形状測定方法及び形状測定装置 | |
JP6799815B2 (ja) | 形状測定用プローブ | |
JP4171615B2 (ja) | 形状測定方法 | |
JPH09166607A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
JP5221211B2 (ja) | 形状測定装置 | |
WO2022137600A1 (ja) | 探針の評価方法およびspm | |
US20220397385A1 (en) | Measuring Head for a Tactile Coordinate Measurement Device, Method for Measuring a Work Piece with a Tactile Coordinate Measurement Device and a Coordinate Measurement Device | |
JP4340138B2 (ja) | 非接触式3次元形状測定装置 | |
JP2011215017A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
JP5468721B2 (ja) | 変位量検出器及び形状測定装置 | |
JPH0587556A (ja) | 三次元測定プローブ | |
Rabke | Precision failure analysis and QC inspection | |
JPH0626852A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2006125934A (ja) | 測定用プローブと測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060825 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091020 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091102 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4407254 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131120 Year of fee payment: 4 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |