JP4404000B2 - 接合構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
このようになっているので,(4)の際の減圧圧力がボイド形成時の第1圧力より高い圧力であるので,(4)において再びボイドが膨張された際にも,ボイドが破裂するおそれはない。すなわち,周囲へのハンダの飛び散りが防止されているので,ハンダボールの発生が抑制された接合構造体の製造方法となっている。
このようにすれば,第1圧力において,確実に低圧下でハンダが溶融されるとともに,第3圧力は,第1圧力よりは高圧である。従って,鉛フリーハンダを用いた接合において,ハンダボールの発生を抑制しつつ,ボイドを分散し減少させることのできる接合構造体の製造方法となっている。
例えば,図2に示した温度と圧力の変化パターンでは,その変化速度については特に規定するものでなく,他の条件等に応じて適宜設定すればよい。
また例えば,本形態ではハンダ13にインジウムあるいは亜鉛を含むとしたが,酸化物を形成しやすい活性な金属を含むハンダによる接合であれば適用可能である。
13 ハンダ
Claims (2)
- 複数の被接合体をハンダを介して接合する接合構造体の製造方法において,
ハンダとして亜鉛とインジウムとの少なくとも一方を含有する鉛フリーハンダを用い,
前記複数の被接合体をハンダを介して対面させた状態で雰囲気を非酸化ガスで置換し(1),
その雰囲気下で大気圧より低圧の第1圧力に減圧するとともにハンダの融点より高い温度まで昇温し(2),
昇温したまま前記第1圧力より高く大気圧を超えない第2圧力まで非酸化ガスで昇圧し(3),
昇温したまま前記第1圧力より高く前記第2圧力より低い第3圧力まで減圧し(4),
昇温したまま再び非酸化ガスで昇圧して大気圧を超えない圧力とし(5),
ハンダの融点より低い温度まで降温させる(6)ことを特徴とする接合構造体の製造方法。 - 請求項1に記載の接合構造体の製造方法において,
前記第1圧力を500〜2000Paの範囲内とし,前記第3圧力を2000〜5000Paの範囲内とすることを特徴とする接合構造体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005108608A JP4404000B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 接合構造体の製造方法 |
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JP2005108608A JP4404000B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 接合構造体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006281309A JP2006281309A (ja) | 2006-10-19 |
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JP (1) | JP4404000B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020055011A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | 株式会社弘輝 | 接合構造体の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008277394A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Kyocera Corp | 熱電モジュール及びその製造方法 |
JP2017199842A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社光波 | Led光源装置 |
JP2020064937A (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2020055011A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | 株式会社弘輝 | 接合構造体の製造方法 |
KR20210029820A (ko) * | 2018-10-01 | 2021-03-16 | 가부시키가이샤 코키 | 접합 구조체의 제조 방법 |
KR102259122B1 (ko) | 2018-10-01 | 2021-06-01 | 가부시키가이샤 코키 | 접합 구조체의 제조 방법 |
US11446752B2 (en) | 2018-10-01 | 2022-09-20 | Koki Company Limited | Method for producing joined structure |
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Publication number | Publication date |
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JP2006281309A (ja) | 2006-10-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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