JP2015153791A - 気密封止型半導体装置の製造方法および気密封止型半導体装置 - Google Patents

気密封止型半導体装置の製造方法および気密封止型半導体装置 Download PDF

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Abstract

【課題】低温(250℃以下)で気密接合でき、かつ安定した気密性を得ることができる気密封止型半導体装置の製造方法および気密封止型半導体装置を提供する。
【解決手段】平均空孔率が8〜30%の平均空孔率を有し、かつ平均孔径が2〜10μmである発泡金属体を用い、この発泡金属体を加圧加熱することにより基材3とシールリング7を気密接合する。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えば高速の情報通信および高周波計測用に使用される光素子並びに高周波回路等に使用される半導体素子や伝送線路等を保護する気密封止機能を備えた気密封止型半導体装置の製造方法および気密封止型半導体装置に関するものである。
通常、気密封止型半導体装置では、金属またはセラミックス等からなる直方体状のカバーと基材を気密接合して内部に実装される半導体素子や伝送線路等の保護を行う。従来からカバーと基材の気密接合においては、通常AuSnはんだ(Au:80wt%、Sn:20wt%、融点280℃)などの高温はんだが使用されている。一方、基材の上面に密着し、基材と半導体素子の間に介在する基材導体膜と基材の密着性は、250℃を超えると急激に低下する。このため、上記のような高温はんだを用いた場合、基材と基材導体膜の密着性を低下させてしまうという問題がある。
そこで、低温(250℃以下)で接合できる気密接合方法が提案されている。例えば特許文献1のように電子ハウジングの密閉組立方法として、有機溶剤を含むペーストとこのペースト中で懸濁状態の10〜30nmサイズの金属ナノ粒子からなる混合物によりカバーと支持体(基材)を接触させてハウジングを組み立てた後、2.5×10 Pa(0.25MPa)を超える圧力を加えながら、金属ナノ粒子が焼結可能な150〜180℃の温度まで加熱することにより、ハウジングを密閉するものがある。
特図5013−513227号公報
しかしながら、上記のような金属ナノ粒子からなる混合物を用いる場合、ペースト中の金属ナノ粒子のばらつきやペーストの印刷厚みの不均一などにより、接合後の緻密性にもばらつきが生じ、気密性が不安定になるという問題がある。
本発明は、上述のような問題点を解決するためになされたもので、低温で気密接合でき、かつ安定した気密性を得ることができる気密封止型半導体装置の製造方法および気密封止型半導体装置を提供するものである。
本発明は、基材上に搭載された半導体素子をカバーにより気密封止する気密封止型半導体装置の製造方法であって、平均空孔率が8〜30%の平均空孔率を有し、かつ平均孔径が2〜10μmである発泡金属体を用い、この発泡金属体を加圧加熱することにより基材とカバーを気密接合することを特徴とするものである。
本発明は平均空孔率が8〜30%の平均空孔率を有し、かつ平均孔径が2〜10μmである発泡金属体を用いて基材とカバーを気密接合することにより、低温での気密接合ができ、かつ安定した気密性を確保できるという効果を奏する。
本発明の実施の形態の気密封止型半導体装置の製造方法を示す概略図である。 本発明の実施の形態における導体膜剥がれテストの説明図である。 図1におけるA部の断面SEM写真である。 実施例1〜10、比較例1〜10における試験結果の表である。 実施例11〜22、比較例11〜34における試験結果の表である。 実施例23〜30、比較例35〜42における試験結果の表である。 実施例31〜38、比較例43〜54における試験結果の表である。 実施例39〜62、比較例55〜66における試験結果の表である。 比較例67〜72における試験結果の表である。
実施の形態1.
以下、本発明の実施の形態における気密封止型半導体装置の製造方法について説明する。
まず、図1(a)に示すように基材3の上面に密着している基材導体膜11に、接合材2を介して半導体素子1を搭載する。基材3は25mm×20mm×厚さ1mmであり、高周波特性に優れるLTCC(Low Temperature Co−fired Ceramics)が使用される。LTCCは電気伝導性の良いAgを主成分とする金属からなる導体膜と、通常Alを主成分とするセラミックが積層された構造になっており、各層同士が金属のビアで接合されている。そして、基材3の上面にはAgめっきからなる基材表面めっき4が施されている。この基材3は、例えば株式会社村田製作所や京セラ株式会社から購入することができる。なお、基材導体膜11には、電気伝導性の良いAgを主成分とする金属が使用される。また、接合材2には、例えばSnPb共晶はんだ、SnBi共晶はんだのような融点が250℃以下であるはんだが用いられており、半導体素子1と基材導体膜11の接合に伴う熱で基材3と基材導体膜11の密着性が損なわれることはない。
そして、図1(b)に示すようにシールリング7と基材3の基材表面めっき4との間に、発泡金属体8を挿入する。シールリング7は外寸16mm×7mm×厚さ1mm、リング幅1mmであり、材質はFe−Ni−Co合金(Fe:54wt%、Ni:29wt%、Co:17wt%)である。このシールリング7は、例えばNeomaxマテリアル社から購入することができる。また、シールリング7には発泡金属体8との接合表面にNiめっき(図示しない)が施され、さらにその上にAgめっきからなるシールリング表面めっき5が施されている。また、発泡金属体8は外寸16mm×7mm×厚み30〜100μmで、材質がAgである発泡金属体が使用される。この発泡金属体8の平均空孔率は8〜30%、平均孔径は2〜10μmとしている。なお、平均空孔率および平均孔径の算出に用いる空孔率および孔径は、空孔を生じさせるために添加されるウレタン、水素化チタン、炭酸マグネシウムなどの発泡剤の粒径、分布を変えることで調整できる。空孔率、孔径は発泡金属体作製後、JIS K3832などに準拠して測定することが可能であって、例えばポロシメーターによる水銀圧入法やバブルポイント法などが用いられる。また、外形と重量により空孔率を算出する方法を用いることもできる。上記のような平均空孔率、平均孔径を有する発泡金属体8は、例えば三菱マテリアル株式会社から購入することができる。
次に、発泡金属体8を加圧加熱することで基材3とシールリング7を気密接合する。この際、シールリング7の上にシールリング7の反りを吸収するための緩衝材として、0.1〜1.0mm厚のフッ素樹脂シート(図示しない)を載せた後、還元雰囲気下にて加熱温度200〜250℃、加圧力5〜40MPa、加圧時間10minでシールリング7に上から(基材3と反対側から)加圧することにより、シールリング7と基材3を気密接合する。なお、加圧加熱を還元雰囲気下で行うのは、発泡金属体8のAgが酸化されることで融点が下がり(Agの融点961.8℃であるのに対しAgOの融点は280℃である)、耐熱性が損なわれることを防ぐためである。
最後に、図1(c)に示すようにシールリング7と蓋材6とをシームツール10を用いてシーム溶接することにより、カバー12を形成し、半導体素子1を気密封止する。この結果、低温でカバー12のシールリング7と基材3を気密接合でき、かつ安定した気密性を持つ気密封止型半導体装置9を得る。
なお、本実施の形態では、発泡金属体8の材質をAgとして説明したが、これに特定されるものではなく、Au,Cu、Niとしてもよい。
また、基材表面めっき4およびシールリング表面めっき5のめっき種をAgとして説明したが、これに特定されるものではなく、Au、Cuとしてもよい。
また、シールリング7と基材3の気密接合時に緩衝材として用いるフッ素樹脂シートについて、フッ素樹脂の種類は特に限定するものではない。例えばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン(4フッ化))、FEP(テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(4.6フッ化))、ETFE(テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体)、PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)、PCTFE(ポリクロロトリフルオロエチレン(3フッ化))、PVDF(ポリビニリデンフルオライド(2フッ化))などを用いることができる。
本実施の形態では平均空孔率が8〜30%の平均空孔率を有し、かつ平均孔径が2〜10μmである発泡金属体を用いて、この発泡金属体を加圧加熱することにより基材とカバーを気密接合しているので、低温で気密接合でき、かつ安定した気密性を得ることができる。
また、基材とシールリングの気密接合時の加熱温度が250℃以下であるので、気密接合時における熱で基材と基材導体膜の密着性が損なわれることがない。
また、発泡金属体として融点が961.8℃であるAgを用いているので、シーム溶接によって基材とカバーの接合部分が400〜500℃の熱にさらされても溶融せずに気密性を維持できる。
また、緩衝材として0.1〜1.0mm厚のフッ素樹脂シートを用いることにより、シールリング7の反りが吸収されるため、加圧時に片当たりが起こらず基材3が割れることがない。
また、基材とカバーの気密接合に発泡金属体を用いることにより、有機溶剤を用いる場合のように、シーム溶接時に分解ガスが発生することがなく、半導体素子が汚染される虞がない。そして、このような分解ガスによりカバーと基材とで囲まれた空間の圧力が上昇することもなく、基材とカバーの接合部分にクラックが発生する虞もない。
(実施例1〜10)
以下では実施例を用いて具体的に説明する。特に記載がない点は上記実施の形態と同じである。基材3に半導体素子1を搭載した後、シールリング7と基材3との間に平均空孔率5%、8%、10%、20%、30%、35%、平均孔径1μm、2μm、4μm、10μm、12μmである発泡金属体8を挿入する。なお、平均空孔率および平均孔径はサンプルによって多少変動する。そこで、平均空孔率については誤差±0.5%内であれば同じとする。例えば、平均空孔率が4.5%以上5.5%未満であれば図4以降で平均空孔率5%と表している。同様に平均孔径もサンプルによって多少変動するため、誤差±0.5μm内であれば同じとする。例えば、平均孔径が3.5μm以上4.5μm未満であれば図4以降で平均孔径4μmと表している。
次に、シールリング7の上に0.2mm厚のフッ素樹脂シートを載せ、還元雰囲気下にて加熱温度200℃、加圧力5MPa、加圧時間10minでシールリング7と基材3を気密接合する。最後に、シーム溶接によってシールリング7と蓋材6を接合する。
実施例と比較例の比較評価のために次のようなリークテスト、導体膜剥がれテスト、基材割れテストの3つの試験を行う。
(リークテスト)
蓋材6の接合後、ヘリウムで加圧したチャンバにおいて微量リークテストを行う。このリークテストにおける合否判定基準はヘリウムリーク率が1×10−9Pa・m/sec以下である。好ましくは1×10−10Pa・m/sec以下であり、図4以降で◎と表記している。ヘリウムリーク量が1×10−10Pa・m/secよりは大きいが1×10−9Pa・m/sec以下であった場合は合格とし、○と表記している。ヘリウムリーク量が1×10−9Pa・m/secより大きい場合は不合格とし、×と表記している。なお、特許文献1における合否判定基準はヘリウムリーク率が1×10−7atm・cm/sec〜1×10−8atm・cm/secであり、これをPa・m/secに換算すると1×10−8Pa・m/sec〜1×10−Pa・m/secとなる。このため、本実施例の方がオーダーが1桁厳しく、より高い気密性能を合否判定基準としている。その理由は、例えばAuSnはんだ(Au:80wt%、Sn:20wt%、融点280℃)を使用して基材3とカバー12を接合し、同様にリークテストを行った場合、ほぼ全数でヘリウムリーク率が1×10−9Pa・m/sec以下となることから、本発明におけるヘリウムリークテストに合格すれば、AuSnはんだと同等の気密性能を持つことが確認できるためである。
(導体膜剥がれテスト)
上記のリークテスト終了後、蓋材6を剥がして導体膜剥がれテストを行う。これは、図2に示すように剥離ツール13を基材3の表面に接触させて、基材導体膜11の端部から水平に剥離ツールを移動させることで基材3と基材導体膜11の密着強度を測定するものである。合否判定基準は気密接合前の密着強度を1としたときの相対的な密着強度比が0.9以上(密着性の低下が10%以内)であれば合格とし、○と表記している。0.9未満(密着性の低下が10%超)であれば不合格とし、×と表記している。
(基材割れテスト)
上記のリークテスト及び導体膜剥がれテストの後、基材3の断面観察による基材割れテストを行う。これは気密接合時の加圧によって基材3に割れが生じていないか確認するため、基材3のカバー12との接合部分の下になる部分の断面をSEM(Scanning Electron Microscope、走査型電子顕微鏡)にて観察し、基材割れの有無を観察するものである。具体的には、まず、各条件で気密接合されたサンプルをストルアス社製エポフィックス樹脂で樹脂包埋する。エポフィックス樹脂硬化後、研磨紙およびダイヤモンドスプレー粒径1/4μmで鏡面まで仕上げて、研磨面にPtで薄く導電処理を行い、SEMにて基材3の断面を観察して基材割れの有無を確認する。基材割れを確認する理由は、割れがLTCC内部にある導体膜等から形成された電気回路にも影響を与え、割れによって導体膜が寸断されると、実動作時に導通不良を起こす可能性があるためである。合否判定基準は断面観察で割れが全く確認されなければ好ましいとし、◎と表記している。割れが確認されても、それが僅かで内部の導体膜まで進行しておらず、電気回路に影響がない場合は合格とし、○と表記している。割れが内部の導体膜まで進行し、電気回路に影響がある場合は不合格とし、×と表記している。
以上の結果を図4に示す。図4の「材質」は発泡金属体8の発泡金属種、「厚み」は発泡金属体8の厚み、「加圧」は基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力、「温度」は基材3とシールリング7の気密接合時の加熱温度、「緩衝材」は基材3とシールリング7の気密接合における加圧時にシールリング7に載せる緩衝材の材質である。これらは特にことわりのない限り図5以降も同様である。
図4の実施例1〜10に示すように、平均空孔率8〜30%かつ平均孔径2〜10μmであれば、リークテストの結果は◎と好ましく、基材割れテスト、導体膜剥がれテストも合格したことが分かる。
図3に発泡金属体8の平均空孔率が8%、平均孔径が4μmであるときの、図1におけるA部の断面SEM写真を示す。図3(a)は加圧加熱前(発泡金属体8をシールリング7と基材3の間に挿入しただけ)、図3(b)は加圧加熱および上記試験後の代表的な断面SEM写真である。図3(a)では空孔が存在していることを確認できるのに対し、図3(b)では加圧によって発泡金属体8が変形して孔が塞がり、加熱によって固相拡散が進み空孔が埋まって無くなっている様子が分かる。また、図3(b)では発泡金属体8と基材表面めっき4との界面の隙間および発泡金属体8とシールリング表面めっき5との界面の隙間がなく、固相拡散していることが分かる。これは、発泡金属体は容易に変形するため基材3やシールリング7の反り、表面平坦性、平行度にきちんと追随し、さらに発泡金属体8、基材の表面めっき4、シールリング表面めっき5はいずれもAgで同種の金属であるため、それぞれのAgが固相拡散して界面の隙間がなくなったためと考えられる。このように加圧加熱後は発泡金属体8の空孔および界面の隙間が無くなった結果、リークパスとなる孔が無くなり、良好な気密性を確保することができたのではないかと考えられる。
なお、各実施例のサンプルで図1(b)のA部を高倍率(例えば10,000倍)で観察すると、加圧加熱後でも小さな空隙の存在は確認できる。しかし、貫通するようなリークパスにはなっていないため、気密性を確保することができたのではないかと考えられる。
(実施例11〜22)
上記結果を踏まえて、発泡金属体8の平均空孔率を8%、30%、平均孔径を2μm、10μmとし、その厚みを20μm、30μm、100μm,120μmと変える。また、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力を3MPa、10MPa、40MPa、50MPaと変える。これら以外は上記実施の形態と同じである。各試験の結果を図5に示す。
図4の実施例1〜10および図5の実施例11〜14に示すように、平均空孔率8〜30%かつ平均孔径2〜10μmの範囲内であれば、発泡金属体8の厚みは30〜100μmの範囲でリークテストの結果は◎と好ましく、基材割れテスト、導体膜剥がれテストの結果も合格となったことが分かる。
比較例11〜14に示すように、発泡金属体8の厚みが30μmより小さい20μmであった場合、リークテストの結果は◎でなく○となった。これは、薄くなれば変形しやすくなり、基材3やシールリング7の反りや表面平坦性、平行度に対する追随性は良くなるが、一方で厚みと比べて孔径が大きくなりすぎてしまい、加圧加熱しても空孔が残存してしまったためと考えられる。
比較例15〜18に示すように、発泡金属体8の厚みが100μmより大きい120μmであった場合、リークテストの結果は◎でなく○となった。これは厚くなると加圧しても変形しにくくなり、基材3やシールリング7の反りや表面平坦性、平行度にきちんと追随できず、発泡金属体8と基材表面めっき4との界面や発泡金属体8とシールリング表面めっき5との界面に隙間が残ったためと考えられる。
実施例11〜22に示すように、発泡金属体8の厚みが30〜100μmの範囲では、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力が5〜40MPaであれば、リークテストの結果および基材割れテストの結果が好ましく、◎であった。
比較例19〜22、27〜30に示すように、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力が5MPaより小さい3MPaであった場合、加圧力不足によりリークテストの結果は◎でなく○となった。
比較例23〜26、31〜34に示すように、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力が40MPaより大きい50MPaであった場合、加圧によって基材3の一部が割れてしまったが、内部の電気回路に問題はなく、○となった。
(実施例23〜30)
発泡金属体8の平均空孔率を8%、30%、平均孔径を2μm、10μm、厚みを30μm、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力を5MPaとし、基材3とシールリング7の気密接合時の加熱温度を180℃、230℃、250℃、280℃と変える。これら以外は上記実施の形態と同じである。各試験の結果を図6に示す。
図4の実施例1〜10および図6の実施例23〜30に示すように、基材3とシールリング7の気密接合時の加熱温度が200〜250℃であればリークテストの結果は◎と好ましく、基材割れテスト、導体膜剥がれテストの結果も合格となった。
比較例35〜38に示すように、基材3とシールリング7の気密接合時の温度が200℃より低い180℃であった場合、リークテストの結果が◎ではなく○となった。これは、加熱温度が低すぎたために発泡金属体8と、基材表面めっき4およびシールリング表面めっき5との固相拡散が十分に進まなかったためと考えられる。
比較例39〜42に示すように、基材3とシールリング7の気密接合時の温度が250度より高い280℃であった場合、導体膜剥がれテストの結果が×となった。これは、段落0002で述べたとおり、接合時の温度が250℃を超えたことで、基材3と基材導体膜11の密着性が低下したためである。
(実施例31〜38)
発泡金属体8の平均空孔率を8%、30%、平均孔径を2μm、10μm、厚みを30μm、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力を5MPa、加熱温度を200℃とし、加圧時にシールリング7に載せる緩衝材の材質をフッ素樹脂、ポリイミド、アルミと変え、緩衝材の厚みを0.05mm、0.1mm、0.2mm、1.0mmと変える。これら以外は上記実施の形態と同じである。各試験の結果を図7に示す。
図4の実施例1〜10および図7の実施例31〜38に示すように、緩衝材の材質がフッ素樹脂であり、その厚さが0.1〜1.0mmであればリークテストの結果は◎と好ましく、基材割れテスト、導体膜剥がれテストの結果も合格となったことが分かる。
比較例43〜46に示すように、緩衝材の材質がポリイミドとした場合または比較例47〜50に示すようにアルミとした場合ではリークテストの結果が◎でなく○となった。また、一部(比較例43,44、45、47、48)では基材割れが発生している。これは、ポリイミド、アルミはいずれもフッ素樹脂より硬く、片当たりを起こしやすいためであると考えられる。
比較例51〜54に示すように、フッ素樹脂シートの厚みが0.1mmより小さい0.05mmだった場合、リークテストの結果が◎でなく○となった。これは、緩衝材が薄すぎたためにシールリング7の反り、表面平坦性、平行度を十分に吸収できず、加圧時に片当たりを起こしてしまったためと考えられる。
フッ素樹脂シートの厚みが1.0mmより大きい場合、吸収性は高くなるが、緩衝材が使い捨てであることを考慮すると、コスト面、量産性の観点から0.1mmが好適と考えられる。
(実施例39〜62)
発泡金属体8の平均空孔率を8%、30%、平均孔径を2μm、10μm、厚みを30μm、基材3とシールリング7の気密接合時の加圧力を5MPa、加熱温度を200℃、緩衝材の材質をフッ素樹脂、緩衝材厚みを0.2mmとし、基材表面めっき4とシールリング表面めっき5のめっき種(以下、表面めっき種)をAu,Ag,Cuとし、また発泡金属体の材質をAu,Ag,Cu、Niとする。なお、発泡金属種がCu、Niの場合はAgの場合と同様に基材3とシールリング7の気密接合時の加圧加熱を還元雰囲気下で行う。いずれも加熱により酸化膜が形成されると界面での固相拡散を阻害し、かつ酸化膜の除去が困難だからである。一方、Auは酸化しにくいことから発泡金属種がAuの場合は大気中で加圧加熱を行う。これら以外は上記実施の形態と同じである。各試験の結果を図8に示す。
図4の実施例1〜10および図8の実施例39〜62に示すように、表面めっき種と発泡金属種の組み合わせ(以下、((Ag−Ag)のように(表面めっき種―発泡金属種)と表す)は(Au−Au)、(Au−Cu)、(Ag−Ag)、(Ag−Au)、(Cu−Au)、(Cu−Cu)の場合はリークテストの結果が◎と好ましく、基材割れテスト、導体膜剥がれテストの結果も合格となった。上記の組み合わせでリークテストの結果が◎となったのは、同種金属か、状態図より全率固溶であるために容易に拡散しあう組み合わせとなっているためと考えられる。
比較例59〜62および比較例63〜66に示すように、(Ag−Cu)の場合および(Cu−Ag)の場合ではリークテストの結果が◎でなく○となった。これは、AgとCuは状態図より全率固溶ではないために固溶限が小さく拡散しづらい組み合わせとなっているためと考えられる。
比較例55か〜58に示すように、発泡金属種がNiの場合、リークテストの結果が◎ではなく○となっている。これは、NiがAu、Ag、Cuよりも硬いため、基材3およびシールリング7の反り、表面平坦性、平行度に追随できず、加圧時に片当たりを起こしやすいためと考えられる。
また、比較のため、発泡金属体ではないシンターAuを用いる場合を検討する。シンターAuとしてはAuナノ粒子ペースト(ハリマ化成製)を用いる。このシンターAuの溶剤はテルピネオール、Au粒子濃度は90wt%、基材3への印刷方法はスクリーン印刷であり、表面めっき種はAuである。各試験の結果を図9に示す。
比較例67に示すように、加熱温度200℃、加圧力5MPaではペースト内に含まれる溶剤が分解しづらく、一部が有機残渣として内部に残存ずるため、Au粒子同士の拡散が阻害され、リーク箇所が多いためか、リークテストの結果は×となった。また、ペーストを均一な厚みで印刷することが難しく、より片当たりが生じやすいこともリークテストの結果が×となった原因と考えられる。
比較例68、69に示すように、加圧力を10MPa,50MPaと変えても気密性は改善されず、リークテストの結果は×であった。また加圧力50MPaでは基材3が著しく割れてしまい、基材割れテストの結果が×となった。
比較例70に示すように、加熱温度を250℃、加圧力を10MPaでは気密性は改善されず、リークテストの結果は×であった。
比較例71に示すように、加熱温度を250℃、加圧力を50MPaにした場合は、リークテストの結果は○となったが、基材3が著しく割れてしまった。加圧力を50MPaとした場合に基材3が著しく割れてしまったのは、印刷時の均一性の影響のよって片当たりが起こり、局所的に圧力が加わりやすかったためではないかと考えられる。また、シンター材の金属含有率は全印刷領域で同じとは限らず、正確にはばらついている。今回使用したAuナノ粒子ペーストも、仮に均一に印刷できたとしても、金属含有率が印刷箇所によって異なっていれば片当たりが生じやすく、基材割れの原因となる。金属含有率にもよるが、接合材として実用的なシンター材は焼結前と焼結後で体積が50%程度低下する。このように、シンター材は接合後の体積収縮が大きく、印刷時のばらつきの影響が大きい。また、印刷後、大気中に放置していれば、その間に溶剤と金属粒子が分離する可能性もあり、これも基材割れおよびリークの原因となるため、管理項目が多く不利である。
比較例72に示すように、加熱温度を280℃、加圧力を40MPaとした場合は、リークテストと基材割れテストの結果は○となったが、基材3と基材導体膜11の密着性が低下し、導体膜剥がれテストの結果は×となった。
1 半導体素子、2 接合材、3 基材、4 基材表面めっき、5 シールリング表面めっき、6 蓋材、7 シールリング、8 発泡金属体、9 気密封止型半導体装置、10 シームツール、11 基材導体膜、12 カバー、13 剥離ツール

Claims (10)

  1. 基材上に搭載された半導体素子をカバーにより気密封止する気密封止型半導体装置の製造方法であって、
    平均空孔率が8〜30%の平均空孔率を有し、かつ平均孔径が2〜10μmである発泡金属体を用い、前記発泡金属体を加圧加熱することにより前記基材と前記カバーを気密接合することを特徴とする気密封止型半導体装置の製造方法。
  2. 前記発泡金属体の厚みが30〜100μmであることを特徴とする請求項1に記載の気密封止型半導体装置の製造方法。
  3. 前記発泡金属体として、Au、Ag、CuまたはNiを用いていることを特徴とする請求項1または2に記載の気密封止型半導体装置の製造方法。
  4. 前記気密接合時の加熱温度が200〜250℃であることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の気密封止型半導体装置の製造方法。
  5. 前記気密接合時の加圧力が5〜40MPaであることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の気密封止型半導体装置の製造方法。
  6. 前記気密接合時に緩衝材として0.1〜1.0mm厚のフッ素樹脂シートを用いたことを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の気密封止型半導体装置の製造方法。
  7. 基材上に搭載された半導体素子をカバーにより気密封止する気密封止型半導体装置であって、
    前記カバーと前記基材とが平均空孔率が8〜30%の平均空孔率を有し、かつ平均孔径が2〜10μmである発泡金属体を用いて気密接合されていることを特徴とする気密封止型半導体装置。
  8. 前記発泡金属体の厚みが30〜100μmであることを特徴とする請求項7に記載の気密封止型半導体装置。
  9. 前記発泡金属体として、Au、Ag、CuまたはNiを用いていることを特徴とする請求項7または8に記載の気密封止型半導体装置。
  10. ヘリウムリーク量が1×10−10Pa・m/sec以下であることを特徴とする請求項7〜9いずれか1項に記載の気密封止型半導体装置。
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