JP4403487B2 - 電極を備える振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極を備える振動子の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
自動車の車体回転速度フィードバック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに、振動型ジャイロスコープを使用することが検討されている。こうしたシステムにおいては、操舵輪の方向自身は、ハンドルの回転角度によって検出する。これと同時に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジャイロスコープによって検出する。そして、操舵輪の方向と実際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差に基づいて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによって、安定した車体制御を実現する。
【0003】
振動型ジャイロスコープを利用した角速度センサーにおいては、水晶振動子が使用されている。水晶振動子では、水晶の圧電軸の性質上、振動アームの一対の主面(表面および裏面)だけでなく、側面上にも電極を配置する必要がある。例えば振動アームの表面および裏面に駆動用の信号電極を形成した場合には、この振動アームの両側面上に接地電極を形成し、信号電極と駆動電極との間に電圧を印加する必要がある。このためには、側面上の電極をパターニングすることが望まれる。
【0004】
しかし、水晶振動子の側面上の金属膜をパターニングすることは難しいため、通常は振動子の表面上および裏面上の金属膜をパターニングすることによって電極パターンを形成し、側面上の金属膜は特にパターニングせずに一様電極とすることが多い。
【0005】
本出願人は、振動子の側面上の金属膜をパターニングして電極を成形する方法を特許文献1において開示した。この方法では、水晶振動子の側面にブリッジを設け、このブリッジを割断する。この割断部位には電極膜は形成されず、水晶が露出する。従って、割断部位のパターンを選択することによって、振動子側面上の電極をパターニングすることができる。
【特許文献1】
特開2001−264066号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、振動型ジャイロスコープを小型の電子機器、例えば携帯電話に内蔵することを検討している。しかし、このためには振動子の寸法を著しく小さくする必要があり、振動子の寸法は例えば数mm程度となる。この大きさになると、従来の振動子では問題にならなかった静電結合が生じ、ノイズの原因になる。この際に、前述の特許文献1記載の方法では、割断部位の寸法精度をある程度以上向上させることは困難であり、このために振動子が小型化するとノイズ振動成分が増加することがわかった。また、割断部位の寸法それ自体も小さくなるので、割断部位の製造が困難になってきた。
【0007】
本発明の課題は、振動子の側面に電極ギャップを持つパターンの電極を形成する方法であって、振動子を小型化しても高精度で電極パターンを形成するための方法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電極を備える振動子の製造方法に関する。
【0009】
そして、電極を備える振動子の製造方法であって、
一対の主面と一対の側面とを有する振動子用基板であって、一対の側面にそれぞれ突起が形成されている振動子用基板を準備する工程;
振動子用基板の一対の主面および一対の側面に導電性膜を形成するのに際して、突起上にも導電性膜を形成する導電性膜形成工程;
導電性膜上にレジスト膜を形成するのに際して、突起上の導電性膜上にもレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程;
開口を有するマスクを一対の主面上にそれぞれ設置し、各開口から側面上のレジスト膜に照射光を露光してこのレジスト膜をパターニングするのに際して、照射光を突起上のレジスト膜にも照射するパターニング工程;および
各側面上の導電性膜をエッチングで除去することによって主面上の電極間のギャップを側面に形成する電極成形工程
を有することを特徴とする。
【0010】
本発明者は、開口を有するマスクを基板主面上に設置し、マスク開口から基板側面上のレジスト膜を露光してレジスト膜をパターニングし、このパターンを側面上の導電性膜に転写してパターニングすることを想到した。この方法によれば、振動子を小型化しても高精度で、側面上に電極ギャップを形成することが可能である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。まず基板を準備する。基板はウエハー状であってよい。基板の材質は限定されないが、圧電単結晶が好ましく、水晶、ニオブ酸リチウム単結晶、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等からなる圧電単結晶が特に好ましい。基板はZ板、X板のいずれであってもよい。
【0012】
基板の表面をエッチングすることによって、表面の加工変質層を除去できる。次いで、基板を洗浄することによって、パーティクルを減らす。この際の洗浄液としては、アルカリ系洗剤、超純水、イソプロピルアルコール(ELグレード)などがある。
【0013】
次いで基板を成形し、図1(a)に示すような振動子の外形輪郭を成形する。本例では、基板1は、一対の主面1a、1bと、外側側面1c、1dを有する。基板1には所定パターンの開口2A、2Bが形成されている。1e、1fは、開口2B、2Aに面する側面である。
【0014】
こうした振動子の成形方法は特に限定されず、例えばウエットエッチング、レーザーアブレーション加工法、機械加工法を例示できる。
【0015】
次いで、図1(b)に示すように、基板1の表面1a、裏面1b、側面1c〜1fを導電性膜3によって被覆する。この時点で、基板1の外側側面1c、1d上は、全面にわたって導電性膜3によって被覆されており、導電性膜3はパターニングされていない(図1(c)参照)。
【0016】
導電性膜の材質は特に限定されず、振動子用の電極用材料を利用できる。好ましくは導電性膜が金属膜である。金属膜の材質としては、金、タングステン、モリブデン、またはこれらの合金を例示できる。導電性膜の下地膜として、金、クロム、チタンおよびこれらの合金からなる群より選ばれた金属からなる下地層を形成することもできる。こうした下地層は、2層以上設けることができる。特に好ましくは、下地膜の少なくとも振動子と接触する部分がクロムまたはチタンからなる。
【0017】
また、導電性膜の形成方法も限定されず、メッキ法、スパッタリング法、蒸着法、化学的気相成長法を例示できる。
【0018】
次いで、図2(a)に示すように、導電性膜3上にレジスト膜4を設け、被覆する。レジスト膜4は、導電性膜3上にレジストを塗布することによって形成できる。
【0019】
次いで、基板1の主面1a、1b上の各レジスト膜を露光し、パターニングする。好ましくは、図2(b)に示すように、所定パターンの開口5aの形成されたマスク5を基板1の表面1a側に設置する。開口6aの形成されたマスク6を基板1の裏面1b側に設置する。そして、矢印Aのように表面1a側から露光し、また矢印Bのように裏面1b側から露光する。露光時にはコンタクトアライナーを使用することができる。
【0020】
この露光終了の時点において、いったんレジスト膜を現像した場合には、図3(a)に示すように、レジスト膜4Aに、対応するパターンが形成される。このレジスト膜4Aは、所定の平面的パターンの開口7A、7Bを有する。主面1の側面1c〜1f上のレジスト膜4Aには開口は設けられていない。この現像済のレジスト膜4Aを有する基板1を、下記の側面パターニングに供することができる。
【0021】
あるいは、現像を行うことなく、次の側面露光工程に入ってもよい。図3(b)、(c)では、この例を説明する。図3(b)に示すように、表面1a上にマスク8Aを設置し、裏面1b上にマスク8Bを設置する。マスク8Aの開口8aの直下には、側面1c、1d上のレジスト膜4が位置するようにする。このレジスト膜4は、現像済のレジスト膜4Aであってもよい。この平面的パターンは図3(c)に示す。マスク8Bの開口8aの直下には、側面1c、1d上のレジスト膜4が位置するようにする。この状態で、矢印Cのように表面1a側から露光し、また矢印Dのように裏面1b側から露光する。露光時にはコンタクトアライナーを使用することができる。
【0022】
次いで、マスクを取り除き、レジスト膜4の露光部分を現像し、除去する。この結果、図4(a)、(b)に示すように、レジスト膜4Bには、側面1c、1d上において、現像によって生成した開口9が形成される。
【0023】
本発明者は、前記露光強度を十分に大きくすることによって、側面1c、1d上のレジスト膜4を十分に露光し、現像時に除去して開口9を形成可能であることを発見した。
【0024】
この後は、通常法により、導電性膜3のエッチングが可能であり,、このエッチングは高精度で実現できる。従って、本発明によって、振動子の側面上の高精度のパターニングを提供可能である。
【0025】
例えば、導電性膜3をエッチングし、図5(a)に示すように、導電性膜3Aに開口10A、10B、10Cを形成する。次いで図5(b)に示すようにレジスト膜を除去し、導電性膜からなる電極パターン3Aを残す。この基板1の側面1c、1dには、図5(c)に示すように所定パターンの開口10Cが形成されており、これによって電極パターン3Aがパターニングされている。本例の開口10Cは電極ギャップである。
【0026】
エッチングの具体的方法は限定されず、ドライエッチング、ウエットエッチングでよいが、ウエットエッチングが好ましい。導電性膜、例えば金属メッキ被膜のエッチング方法それ自体は公知である。例えば、金用エッチャントとしては、よう素とよう化カリウムの水溶液が好ましく、クロム用エッチャントとしては、硝酸第二セリウムアンモニウムと過塩素酸の水溶液が好ましい。
【0027】
好適な実施形態においては、基板の厚さt(図6参照)が 0.5mm以下である。これによって、レジスト膜の露光による除去を促進できる。
【0028】
本発明においては、側面上の導電性膜をエッチングすることによって電極間ギャップを形成する。
【0029】
また、好適な実施形態においては、側面上のレジスト膜の厚さh(図6参照)が10μm以下であり、これによってレジスト膜の露光による除去を促進できる。ただし、レジスト膜が薄すぎると、エッチング時の導電性膜の保護が不十分になる傾向があるので、この観点からは、2μm以上が好ましい。
【0030】
好適な実施形態においては、主面上のレジスト膜を露光(図2の矢印A、B)するときの照射光量に対する、側面上のレジスト膜を露光(図3(b)、図6の矢印C、D)するときの照射光量の比率が1.5倍以上であり、特に好ましくは4倍以上である。側面上のレジスト膜を十分に露光するのに必要な光量は、表面や裏面上のレジスト膜の露光に十分な光量よりも大きいので、前記比率を大きくすることで側面上のレジスト膜の露光を十分に行うことが好ましい。
【0031】
好適な実施形態においては、例えば図3、図6に示すように、基板の表面1a上および裏面1b上にそれぞれマスク8A、8Bを設置し、各マスクの各開口8aから側面上のレジスト膜を露光する。これによって、側面上のレジスト膜の全長にわたって露光し易くなる。なぜなら、側面上のレジスト膜4Aのうち、マスク8Aに近い部分4aは主として矢印Cのように露光でき、マスク8Bに近い部分4bは主として矢印Dのように露光できるので、側面上のレジスト膜の全面にわたって均一に露光し易いからである。
【0032】
本発明においては、図6に示すように、基板1の側面1c、1d上に細長い突起1gを設ける。導電性膜3、レジスト膜4にも突起3c、4cが転写される。この場合には、側面上のレジスト膜4のうち、マスク8Aに近い部分4aは矢印Cのように露光される。この照射光Cは突起4cで遮蔽される。側面上のレジスト膜4のうち、マスク8Bに近い部分4bは矢印Dのように露光される。この照射光Dは突起4cで遮蔽される。この結果、側面上のレジスト膜の露光が一層促進され易い。
【0033】
前記のような基板側面の突起1gは、例えば水晶基板のウエットエッチングによって形成可能である。
【0034】
【実施例】
図1〜図6を参照しつつ説明した方法に従って、電極パターン付きの振動子を作製した。
【0035】
(基板1の輪郭の成形)
縦横各2インチ×厚さ0.1mmの水晶基板を希フッ酸にてエッチング洗浄した後、スピンドライヤーにて乾燥し、清浄な水晶基板を製作した。次に、スパッタ装置を用いて水晶基板の表裏両面に0.01μm 厚さのCrを下地層として成膜し、次いで0.2 μm 厚さのAu膜を成膜した。次に、Au膜の成膜面上にスピンコーターによりフォトレジストを塗布してレジスト膜を形成した。表裏面の高精度アライメントが可能な露光装置と、水晶外形エッチング加工パターンを描画したフォトマスクとを用い、水晶基板の表裏両面に振動子の外形エッチング加工用のレジストパターンを露光し、現像した。このレジストパターンをマスクとし、硝酸セリウムアンモニウムと塩酸と過塩素酸の混合液にて、水晶基板上に成膜したAuとCrの膜をエッチング除去し、水晶振動子の外形加工用エッチングマスクパターンを形成した。本基板を、70℃に加熱した40%フッ化水素アンモニウム溶液に10時間浸漬し、水晶基板をエッチング加工して振動子用基板1を得た(図1(a))。
【0036】
(導電性膜3の成膜工程)
次に、スパッタ装置を用いて、水晶基板1の表面1a、裏面1b、側面1c〜1f上に、0.03μm 厚さのCrを下地層として成膜し、その上に0.2 μm 厚さの電極用Au膜を成膜し、導電性膜3を得た(図1(b)参照)。
【0037】
(レジスト膜の成膜)
次に、スプレー式レジストコーターを用い、水晶基板1の表裏面及び側面、更にはエッジ部にフォトレジストを塗布し、レジスト膜4を形成した(図2(a))。このとき表裏面におけるレジスト厚さは、エッジ部の保護に適した5μmに設定した。
【0038】
(表面および裏面上の電極のパターニング)
次に、表裏面の高精度アライメントが可能な露光装置と、電極配線パターンを描画したフォトマスク5、6を用い、水晶基板1の表面1aおよび裏面1bに所望の電極配線パターンを露光した。このとき露光量は電極配線パターンの転写精度を向上させるため400mJに設定した(図2(b))。
【0039】
(側面上の電極のパターニング)
次に、水晶基板1の側面1c、1dのみが露光できるような開口8aを有する一組の側面電極パターン用フォトマスク8A、8Bを設置した(図3(b)、図3(c)参照)。基板1の側面1c、1dに所望のパターンを表裏両面から順に露光した。このときの露光量は、側面に塗布したフォトレジストが十分に感光可能な露光量とする必要があるため、表裏面のレジスト膜の露光量より5倍大きい2000mJに設定した。次にレジスト現像液に5分間浸漬し、前工程で露光した振動子表面、裏面、側面のレジストを現像除去した(図4参照)。
【0040】
(導電性膜のエッチング)
次に、電極金属であるAuとCrをエッチング除去するため、硝酸第二セリウムアンモニウムと塩酸と過塩素酸の混合液に30秒浸漬した。この結果、図7に示すような側面電極パターンが形成された水晶振動子を得た(図5(b)、図5(c)参照)。
【0041】
次いで、側面に塗布したフォトレジストを露光するときの露光量を4000mJに設定し、上記と同様の実験を行った。この結果、図8に示すような側面電極パターンが形成された水晶振動子を得た(図5(b)、図5(c)参照)。図7の例と比べて、電極間ギャップの輪郭が一層鮮明になっている。前記露光量が6000mJのときにもほぼ同様の結果を得た。ただし、前記露光量が10000mJになると、サイドエッチングが大きくなり、電極間ギャップの精度が低下する傾向が見られた。
【0042】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、振動子の少なくとも側面に所定パターンの電極を形成する方法であって、振動子を小型化しても高精度で電極パターンを形成するための方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、基板1を模式的に示す断面図であり、(b)は、基板1上に形成された導電性膜3を示す断面図であり、(c)は、基板1の側面1c(1d)上に形成された導電性膜3を示す側面図である。
【図2】(a)は、基板1上に形成された導電性膜3およびレジスト膜4を示す断面図であり、(b)は、基板1上に表面および裏面電極パターニング用のマスク5、6を設置した状態を示す断面図である。
【図3】(a)は、マスク5、6によりパターニングされたレジスト膜4Aの形状を示す断面図であり、(b)は、基板1上に側面電極パターニング用のマスク8A、8Bを設置した状態を示す断面図であり、(c)は、基板1の側面付近の平面図である。
【図4】(a)は、現像後のレジスト膜4Bを示す断面図であり、(b)は、振動子の側面上のレジスト膜4Bおよびレジスト膜の開口9を示す側面図である。
【図5】(a)は、レジスト膜4Bを用いてエッチングされた導電性膜3Aを示す断面図であり、(b)は、レジスト膜4Aが除去された電極3A付きの基板1を示す断面図であり、(c)は、(b)の振動子の側面図である。
【図6】側面1c、1d側に突起1gを有する振動子にマスク8A、8Bを設置した状態を示す拡大断面図である。
【図7】本発明の実施例(露光量2000mJ)によって形成された振動子側面の電極パターンを示す光学顕微鏡写真である。
【図8】本発明の実施例(露光量6000mJ)によって形成された振動子側面の電極パターンを示す光学顕微鏡写真である。
【符号の説明】
1 基板 1a 表面(主面) 1b 裏面(主面) 1c、1d 外側側面 1e、1f 開口に面する側面 2A、2B 基板1の開口 3 導電性膜 4 レジスト膜(未露光) 4A 表面および裏面電極パターンに対応するレジスト膜4B 表面、裏面および側面電極パターンに対応するレジスト膜 5、6 表面および裏面電極パターニング用ののマスク 5a、6a表面および裏面電極パターンに対応するマスク開口 7A、7B 表面および裏面電極パターンに対応するレジスト膜開口 8A、8B 側面パターニング用マスク 9 側面電極パターンに対応するレジスト膜開口 10A、10B 表面および裏面電極パターンに対応する導電性膜開口 10C 側面電極パターンに対応する導電性膜開口 A 表面のレジスト膜露光 B 裏面のレジスト膜露光 C、D 側面のレジスト膜露光
Claims (4)
- 電極を備える振動子の製造方法であって、
一対の主面と一対の側面とを有する振動子用基板であって、前記一対の側面にそれぞれ突起が形成されている振動子用基板を準備する工程;
前記振動子用基板の一対の前記主面および一対の前記側面に導電性膜を形成するのに際して、前記突起上にも前記導電性膜を形成する導電性膜形成工程;
前記導電性膜上にレジスト膜を形成するのに際して、前記突起上の前記導電性膜上にもレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程;
開口を有するマスクを前記一対の主面上にそれぞれ設置し、前記各開口から前記側面上の前記レジスト膜に照射光を露光してこのレジスト膜をパターニングするのに際して、前記照射光を前記突起上の前記レジスト膜にも照射するパターニング工程;および
前記各側面上の前記導電性膜をエッチングで除去することによって前記主面上の電極間のギャップを前記側面に形成する電極成形工程
を有することを特徴とする、振動子の製造方法。 - 前記基板の厚さが0.5mm以下であることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記レジスト膜の厚さが10μm以下であることを特徴とする、請求項1または2記載の方法。
- 前記主面上のレジスト膜を露光するときの照射光量に対する前記側面上の前記レジスト膜を露光するときの照射光量の比率が1.5倍以上であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の方法。
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