JP4395584B2 - ガスサンプル分析用の飛行時間型質量分析計用のイオン源 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量分析計での分析のために、ガスサンプルをイオン化する手段に関する。
【0002】
【従来の技術】
質量分析計は、ガスサンプルを電子流と衝突させ、こうして得られたイオンに運動を付与し、その軌道または速度に従ってイオンを識別することによって、ガスサンプルを分析する。
【0003】
質量分析計の測定感度および分解能を高めるためには、ガスサンプルを強くイオン化することが有益である。
【0004】
飛行時間型質量分析計においては、イオン源により生成されたイオンは、フライトチューブの入口に送り出され、そこで一定速度に保持される。イオンの性質は、フライトチューブからの出口で検出される、分析すべきガスサンプルのイオンのそれぞれのタイプに対応する飛行時間から推定される。これには、あらかじめ加速したイオンのパケットをフライトチューブ入口へ送り出すこと、およびイオンパケットの出発時間とフライトチューブの他端における種々のイオンの到着時間とをマーク付けすることが必要である。
【0005】
したがって、できるだけ持続時間が短く、最大数のイオンを含む、イオンパケットを生成することが有利である。これは、パルスモードイオン源によって達成される。
【0006】
質量分析計に通常用いられるイオン源は、電子源と、イオン流を調整するための少なくとも1つの電極の作用を受けるイオンが形成されるガスイオン化領域に向けて送られる適切な電子流を生成するように、電子流を調整する少なくとも1つの電極とを含む電子銃を含む。電子流は、一般に質量分析計のフライトチューブの方向に垂直な方向で、ガスイオン化領域に向けて送られる。その結果、全体のサイズが大きくなり、一体化が困難になる。比較的少量のイオンが生成され、そのために装置の感度が制限される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が対処する課題は、よりコンパクトでより感度が高く、質量分析計の他の構成部品と容易に一体化できる、質量分析計用の新しいイオン源構造を構成することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記およびその他の目的を達成するために、質量分析計で使用するための本発明によるイオン源は、電子源と、イオン流を調整するための少なくとも1つの電極の作用を受けるイオンを形成するガスイオン化領域に向けて送られる適切な電子流を生成するように、電子流を調整する少なくとも1つの電極とを有する電子銃を含み、電子流を調整する電極の下流側の電子流中に少なくとも1つのマイクロチャネルウエハが配置され、それによって、比較的少数の電子を含むパルス1次電子ビームから、多数の電子を含むパルス2次電子ビームが生成される。
【0009】
マイクロチャネルウエハは、電子流を増大し、続いて起こるガスサンプルのイオン化を強める。これによって、装置の感度および分解能が著しく高まる。
【0010】
2次電子ビームの時間特性を保持し空間特性を向上させるために、2次電子ビームを拡散させる追加電極を、マイクロチャネルウエハが占める領域の下流側に有利に配置することができる。
【0011】
これによってガスサンプルのイオン化がさらに増強され、したがってこのイオン源を組み込んだ装置の感度が高まる。
【0012】
ガスイオン化領域は、好ましくは、2次電子ビームを通過させ、イオンを反発することによって電子を保持する上流側の反発電極と、イオンを引き寄せる下流側の加速電極との間にある。
【0013】
この特徴のために、イオン源は、飛行時間型質量分析計のフライトチューブの入口に、フライトチューブの軸と一直線に並べて置くことができる。これにより、イオン源をよりよく一体化することができ、装置はよりコンパクトになる。
【0014】
2次電子ビームが、時間特性を保持し高密度に留まり、それによりイオンパケットのすべてのイオンが、実質的に同時にフライトチューブに入るようにするために、イオン化領域は、マイクロチャネルウエハに近接していることが好ましい。
【0015】
電子源は、通常の方法で、適切な温度に熱せられ熱放出によって電子流を生成するフィラメントでよい。1次電子ビームは、次に偏向電極によってパルス変調される。
【0016】
別法として、電子源は、パルス変調1次電子ビームを生成するマイクロポイントを備えた電界放出陰極とすると有利である。
【0017】
本発明は、上述のようなイオン源を一体化した飛行時間型分析計の製作において具体的に応用される。
【0018】
本発明の他の目的、特徴、および利点は、添付の図面を参照して行う、本発明の特定の実施形態についての以下の説明から明らかになる。
【0019】
【発明の実施の形態】
図1を参照すると、飛行時間型質量分析計は、電子銃1、その後にイオン銃2、さらに後にフライトチューブ3を含み、フライトチューブの出口はイオン検出器4に通じている。
【0020】
電子銃は電子源5を含む。図に示した電子源5は、加熱生成器6から電力を供給され、イオンの熱放出に十分な高温に熱せられる、タングステンフィラメントなどのフィラメントである。電子源5から放出された電子は、電子流を調整する少なくとも1つの電極7、たとえば加速電極71、および少なくとも1つの集束電極72の作用を受ける。
【0021】
熱放出フィラメントの形の電子源5の場合、偏向電極73が、送出される電子流8のパルスモード変調を可能にする。
【0022】
代替電子源5は、導電基板を含むマイクロポイント型電界放出陰極であって、導電基板上に基板と正にバイアスされたグリッドとの間の絶縁層キャビティに収容された導電マイクロポイントが形成される。上述の種類のマイクロポイント型電界放出陰極は、偏向電極73を必要とせずに、電子の流出それ自体を変調できる。
【0023】
本発明は、電子流を調整する電極7の下流側の電子流8中に、少なくとも1つのマイクロチャネルウエハを提供する。図1は、ウエハ間電極11によって互いに隔てられた、第1マイクロチャネルウエハ9、および第2マイクロチャネルウエハ10を示している。マイクロチャネルウエハ9および10は、比較的少数の電子を含むパルス1次電子ビーム8から、多数の電子を含むパルス2次電子ビーム12を生成し、ゲインは100から数千になる。
【0024】
実際には、マイクロチャネルウエハ9および10のゲインに応じて、1次電子ビームは、1μAから10μA程度の電流に相当することが可能であり、2次電子ビームは、数ミリアンペアの電流に相当することが可能である。
【0025】
1次電子ビーム8および2次電子ビーム12は、たとえば、持続時間が1ナノ秒程度のパルスで構成することが可能である。
【0026】
マイクロチャネルウエハの構造および動作原理を、図2および図3を参照しながら説明する。図2に示すように、マイクロチャネルウエハ9は、一般に、0.5mm程度の厚さEを有し、近接して並列する非常に多数のガラス毛管、たとえば管13からなる平板な部材である。ガラス毛管は、非常に小さな直径を有し、ウエハ9の全体平面に垂直な軸に沿って配向されている。毛管は、約12ミクロンの直径eを有することができ、向かい合う両端でウエハ9の主表面上に通じることができる。ウエハ9の主表面は、金属被覆されて、入力電極14および出力電極15を構成し、そこに電位差VDが印加される(図3を参照)。出力電極15の電位は、入力電極14の電位よりも高い。毛管13の内壁は、適切な抵抗を有するように処理され、独立した2次電子増倍管を形成する。1次電子ビーム8の電子が管13に入ると、管13の壁に衝突し、少なくとも1つの他の電子を分離することができ、それが入力電極14と出力電極15との間の電界により加速される。このようにして分離された電子は、それ自体が管13の反対側の壁に衝突することができ、他の電子が分離されてそれ自体が加速され、これにより動いている電子の数が次第に倍増し、多数の電子を含む2次電子ビーム12が生成される。
【0027】
再び図1を参照すると、2次電子ビーム12は、イオン銃2内部のイオン化領域16まで伝播する。イオン化領域16で、電子は分析すべきガスサンプルの原子に衝突し、ガスサンプルをイオンに変換する。ガスイオン化領域16は、2次電子ビームを通過させ、イオンを反発することによって電子を保持する上流側の反発電極17と、イオンを引き寄せる下流側の加速電極18との間にある。
【0028】
このようにして得られたイオン流19は、フライトチューブ3の入口20に向けて送られ、次にフライトチューブ3の全長に沿って移動し、出口21を通ってフライトチューブから出て、イオン検出器4に入る。従って、図1に示すように、イオン源は、飛行時間型質量分析計のフライトチューブ3の入口と一直線に並ぶ。
【0029】
イオン検出器4は、ターゲット電極24に衝突する増幅された電子流を生成する、マイクロチャネルウエハ22および23を含むことができる。ターゲット電極24によって集められた電気パルスを検出することにより、測定が行われる。
【0030】
図1は、電子銃のマイクロチャネルウエハ9および10が占める領域の下流側にある、2次電子ビーム12を拡散させ、その時間特性を保持し空間特性を向上させるための、追加電極25を示している。これにより、イオン化領域16におけるイオン化が強められる。
【0031】
イオン化領域16は、マイクロチャネルウエハ10に近接していることが好ましく、マイクロチャネルウエハ10から短い距離、たとえば約1mmから2mmだけ離れている。
【0032】
本発明は、明示的に記載された実施形態に制限されるものではなく、当業者に明白であろうそれらの変形形態および一般化を包含する。
【図面の簡単な説明】
【図1】飛行時間型質量分析計の図である。
【図2】電子流を増幅するためのマイクロチャネルウエハの部分切断透視図である。
【図3】図3は、電子流の増幅の原理を図示する、図2に示したマイクロチャネルウエハの1チャネルの縦断面図である。
【符号の説明】
1 電子銃
3 フライトチューブ
4 イオン検出器
5 電子源
7、17、18、25、73 電極
8 1次電子ビーム
9、10 マイクロチャネルウエハ
12 2次電子ビーム
16 ガスイオン化領域
19 イオン流
Claims (8)
- 質量分析計用のイオン源であって、該イオン源が、電子源(5)と、イオン流を調整するための少なくとも1つの電極(17、18)の作用を受けるイオンが形成されるガスイオン化領域(16)に向けて送られる適切な電子流を生成するように、電子流を調整する少なくとも1つの電極(7)とを有する電子銃(1)を含み、電子流を調整するための電極(7)の下流側の電子流(8)中に、少なくとも1つのマイクロチャネルウエハ(9、10)が配置され、それによって、比較的少数の電子を含むパルス1次電子ビーム(8)から、多数の電子を含むパルス2次電子ビーム(12)が生成されることを特徴とするイオン源。
- マイクロチャネルウエハ(9、10)が占める領域の下流側に、2次電子ビーム(12)の時間特性を保持し空間特性を向上させるために、2次電子ビームを拡散させる追加電極(25)を含むことを特徴とする請求項1に記載のイオン源。
- ガスイオン化領域(16)が、2次電子ビーム(12)を通過させ、イオンを反発することによって電子を保持する上流側の反発電極(17)と、イオンを引き寄せる下流側の加速電極(18)との間にあることを特徴とする請求項1または2に記載のイオン源。
- イオン源が、飛行時間型質量分析計のフライトチューブ(3)の入口と一直線に並んでいることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のイオン源。
- ガスイオン化領域(16)が、マイクロチャネルウエハ(9、10)に近接していることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のイオン源。
- 電子源(5)が、適切な温度に加熱され熱放出によって電子流を生成するフィラメントであり、1次電子ビーム(8)が偏向電極(73)によってパルス変調されることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のイオン源。
- 電子源(5)が、パルス変調1次電子ビームを発生するマイクロポイント型電界放出陰極であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のイオン源。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載のイオン源を含むことを特徴とする飛行時間型質量分析計。
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