JP4394749B2 - 軸封装置とこれを用いた弁構造 - Google Patents
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Description
このように、通常の軸封装置は、Oリング等のシール部材により封止機能を高めることを第1の目的としているため、通常はシール部材や流体の封止領域が所定の位置に定められている。この封止装置を内蔵した装置は、内部構造が複雑化している。
このバルブでは、人工筋肉として、ゴム状の薄い高分子膜(エラストマー)を伸縮可能な電極で挟み、この電極間に電圧を加えることにより高分子膜を面方向に伸長(周方向に拡径)させるようにしたEPAM(Electroactive Polymer Artificial Muscle)と呼ばれるものが使われている。
また、封止状態と非封止状態を切り換える際には、動作機構を構成する部品相互の接触や摺動を伴うことになるため、この接触や摺動により動作機構を構成する部品が磨耗したり、摺動する部材が磨耗することがあった。また、シール材自体も、封止領域の相手封止部材と接触・加圧状態のまま移動するため、摺動に伴う磨耗が生ずることになる。Oリングなどの封止部は、全周に亘って磨耗が発生すると接触部分の圧力低下や外傷により流体漏れを起こし易く、この場合、摺動面が粗い、潤滑が不十分などの外的要因により、磨耗がより加速することがあった。また、Oリングの摺動面に局部的な磨耗が生じた場合にも流体漏れが起こりやすくなり、Oリングの摺動面に傷があると磨耗がより加速することもあった。特に、動作機構の運動速度が速かったり、運動が偏心状態で行われたり、摺動する面の面粗さが粗かったり、潤滑が不十分の場合には、シール材がねじれることもあった。
このうち、特に、請求項5、6に係る発明によると、電気的外部刺激を加えたときに当該部位以外の部位が変形することでこの部分に電極を設ける必要がなく、変形部分が自由端部となることで変形量を大きくできる軸封装置である。このため、漏れ流量を大きくとることができ、精度の高い流量制御を発揮できる軸封装置を提供できる。
15 軸封部
20、160 軸封体
13、14 漏れ流路
40 ホルダー
41 上部ホルダー
41c 保持面
45 下部ホルダー
45c 保持面
50、51 外部電極
150 装置本体
160 軸封体
161 基材
162、163 電極
166 基部
167 自由端部
170 ホルダー
本発明の軸封装置は、本体内部に設けた軸封部に、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の軸封体を配設すると共に、軸封部に軸封体の膨縮又は変形による漏れ流体を流す流路を設けたものである。ここで、本発明における膨縮とは、軸封体が体積変化を伴いながら形状を変えることであり、また、変形とは、軸封体が体積変化を伴わずに形状を変えることと定義する。
図において、軸封体250を固定電極250、251で挟み、この固定電極250、251に電場を加えると、図16(a)に示すように、固定電極250、251の相対部には、(1)誘電性ポリオール又は双極子モーメントを有するポリオールが電場により配向することにより、高分子鎖の構造が変化する。このとき、図16(b)に示すように、(2)誘電性エラストマーの相対固定電極251、252による電場のクーロン効果により厚み方向が減少し、それにより、軸封体250が平面方向に拡張する。また、(3)電荷の注入と偏在化により、両極において非対称な体積変化が誘起される。
また、何れの高分子材料を用いた場合でも、漏れ現象には、軸封状態において漏れの発生した状態である、いわゆる微少漏れを包含しており、また、電気的外部刺激を加えるときには、電気信号の値を変化させ、各軸封体の膨縮又は変形量を制御して軸封体の接触圧力の大きさを任意に制御可能に設けている。
図17における軸封装置は、軸封体を電気刺激性高分子材料とした場合であり、軸封体20Aは、同心状の貫通穴21Aを伴った円板状に形成され、適度の厚みを有している。この軸封体20Aの上下面には、電極22A、23Aを設けている。
ホルダー40A、45Aは、軸封体20Aを上下側から保持し、このホルダー40A、45Aの軸封体20Aを保持する面側に電極50A、51Aを有し、この電極50A、51Aから電極22A、23Aを介して軸封体20Aに電圧を印加できるようにしている。
ホルダー40B、45Bは、軸封体20Bを上下側から保持し、このホルダー40B、45Bの軸封体20Bを保持する面側に電極50B、51Bを設けており、この電極50B、51Bから軸封体20Bに電圧を印加する。
ホルダー40C、45Cは、軸封体20Cを上下側から保持し、このホルダー40C、45Cの軸封体20Cを保持する面側に電極50C、51Cを設けており、この電極50C、51Cから軸封体20Cに電圧を印加する。
この軸封装置において、軸封体20Dは、同心状の貫通孔21Dを伴った円板状に形成され、適度の厚みを有している。この軸封体20Dには、この軸封体20Dの上下面の一部を挟んだ状態で電極22D、23Dが設けられている。この電極22D、23Dは、本体外部まで電気的に繋がっており、この電極22D、23Dから軸封体20Dの一部に対して電気的外部刺激が印加又は停止できるようになっている。更に、軸封体20Dは、この電極22D、23Dを介して上下方向からホルダー40D、45Dにより保持されている。
また、この電位差を除くと、軸封体20Dは径方向に対して旧位に変形しながら復帰する。
図21の軸封装置は、軸封体を電気刺激性高分子材料とした場合であり、軸封体30Aは、同心状の貫通穴31Aを伴った円板状に形成され、適度の厚みを有している。この軸封体30Aの上下面には、電極32A、33Aを設けている。
ホルダー40A、45Aは、軸封体30Aとセパレータ35Aを上下側から保持し、保持面側には、電極50A、51Aを有している。
セパレータ35Aは、可じょう性の導電性材料によって電極32Aと電極50Aを導通状態にしている。セパレータ35Aは、コンプライアントな同心状の貫通穴36Aを有し、軸封体30Aの上面側に接着等の手段によって固着する。
以上のように、本発明の軸封装置は、各種の高分子材料を用いて異なる内部構造によって構成でき、これにより、実施の状況に応じて適宜の構成に設けることができる。
図1ないし図3においては、本発明における軸封装置の一例を示している。この例における軸封装置は、軸封体を電気刺激性高分子材料により形成し、この軸封体をホルダーのみによって保持する構造としている。装置本体10は、ハウジング11の内部に軸封部15を設け、この軸封部15に軸封体20を配設すると共に、軸封部15に軸封体20の変形により漏れ流体を漏らすことのできる漏れ流路13、14を設けている。
軸封体20の外周側には当接面24を形成し、この当接面24は、ハウジング11の座面16に当接でき、このとき、軸封状態及び接触面圧力が調整可能な微少漏れ状態にでき、また、離間させたときに軸封を解除して漏れの状態にできる。
上部ホルダー41は、略筒状の筒部41aとこの筒部41aの下部に鍔部41bを有している。この上部ホルダー41には、軸封体20を保持する鍔部41bの下面側の保持面41cから筒部41aの内周面の一部まで軸方向に沿うように外部電極50を形成しており、この外部電極50を装置本体10の外部まで繋げている。外部電極50に電圧を印加すると、この電圧は軸封体20の上面電極22側まで印加できるようになっている。このように、外部電極50は、立体回路により成形部品である上部ホルダー41の表面上にパターニングされる。
また、円柱部45dと45aの段差隙間により、電極51は、上部ホルダー鍔部下部41cにパターニングされた外部電極50との短絡をすることがない。各外部電極50、51に電圧を印加し、軸封体20に電圧が加わったときには、この軸封体20は、周方向に変形して拡径できるようになっている。
また、図2のように、上部ホルダー41の筒部41a内周面の上方側、下部ホルダー45の円柱部45a外周面の上方側には、それぞれ溝部54、55を設けており、この溝部54、55に図示しない配線を接続し、この配線を介して装置本体10の外部より各外部電極50、51に電圧を印加可能に設けている。
また、装着体17とホルダー41を一体に設けても同様の効果を発揮することができる。
図1の状態から図3のようにスイッチ62をオンすると、上部ホルダー41の外部電極50と、下部ホルダー45の外部電極51に異なる極性の電圧が印加され、この電圧は、軸封体20の上下面電極22、23に印加される。これにより、軸封体20は、周方向に拡径するように変形し、この変形により、軸封体20の当接面24が本体10の座面16に加圧接触し、漏れ流路13と14の間の流路を軸封して流体を封止することができる。
この場合、スイッチ62のオフ時における隙間δの量は、装置本体10の固有のものとなるため、この装置固有の漏れ量を発生させることができ、この漏れ量を、一定の流体流量として利用することができる。これにより、この軸封装置を、例えば、電磁弁等にも応用することができる。
また、このような軸封体20のみを可動部分とした内部構造により、ネジ送り機構などの動作機構を設ける必要が無いため、流体を封止・非封止する場合には可逆的な切換動作によって容易に行うことができ、しかも、軸封体20は、可動時にねじれたりすることがないため、傷が付いたり劣化したりするのが防がれ、優れた軸封機能を維持できる。
また、漏れ流路13と14は、何れが1次側、2次側であってもよく、任意の方向に流体を漏らしたり封止したりすることができる。
第1ホルダー91は、略筒状の筒部91aとこの筒部91aの下部に鍔部91bを有した形状に設けている。電極100は、軸封体80を保持する鍔部91bの下面側と筒部91aの内周面の一部に軸方向に沿うように形成して本体70の外部に繋げている。これにより、筒部91aの上方側から電極100に電圧を印加したときに、この電圧を軸封体80の上面82に印加できるようにしている。
また、第4ホルダー94は、略円柱状の円柱部94aとこの円柱部94aの下部に鍔部94bを有した形状に設け、電極103は、鍔部94bの上面側と円柱部94aの外周面の一部に軸方向に沿って形成して本体70の外部に繋げている。第4ホルダーの電極103は、第3ホルダーの電極102と異なる極性になっている。
一体化した軸封体80、85は、ホルダー90とスペーサ95と共に略筒状に設けた装着体78に装着し、この装着体78をOリング79を介してハウジング71内に装着している。
また、装着体78とホルダー91は一体に設けてもよい。
以上のように、この例では、複数の軸封体80、85を設け、電圧の印加を制御することによりこれらの軸封体80、85を変形させて、各軸封体80、85の当接面84、89を漏れ流路73、74、75の間に設けた座面76、77に接離させることにより、漏れ流路を切換可能に設けている。この場合も、前記の例と同様に、印加電圧を制御することにより隙間δ"の量を変えて漏れ流量を調節することができ、更に、軸封体が加圧接触した状態で電圧を調節した場合には、微少漏れ量を制御することもできる。
このホルダー110は、このような鍔部112の形状により、図示しない軸封体が膨縮又は変形したときに、この軸封体をガイドして形状を安定させることができ、また、鍔部112を、ホルダー110に装着した軸封体をハウジング115に挿入する際のガイドとすることができる。
図において、装置本体121は、電圧の印加又は印加の停止により周方向に膨縮又は変形可能な軸封体122を有し、この軸封体122をハウジング123に収納している。ハウジング123は、内部流路が連通するように配管124に取付けられている。また、圧力センサ125は、配管124内部の圧力の変動を電圧として発信し、配管124内の圧力変化を検出可能に設けている。スイッチ回路126は、圧力センサ125と装置本体121の間に設け、この圧力センサ125の圧力の変動に応じて装置本体121への電圧の印加を停止できるようにしている。また、スイッチ回路126には、初期の配管内への圧力封入時において、軸封体122に所定の圧力値に到達する迄の間、暫定的に軸封体封止用の基準電圧値が印加される。
又、ブリーフ後に、圧力が規定値以下に復帰した場合は、スイッチ回路126により、圧力センサ125の電圧が軸封体に122に印加され、軸封体122が収縮・変形状態から膨張・変形状態に変化し、圧力漏れを封止することができる。
図において、装置本体131は、周方向に膨縮又は変形可能な4つの軸封体132、133、134、135をハウジング136内に収納してエア流路を切り換え可能に設けたものであり、ハウジング136には、漏れ流路137、138、139、140、141を形成している。漏れ流路137は、外部からの圧縮エアを装置本体131内に供給可能に設けており、また、漏れ流路138、139は、装置本体131内の圧縮エアを外部に排出可能に設けている。また、漏れ流路140、141は、シリンダ部130aと繋がっており、装置本体131からこのシリンダ部130a内に圧縮エアを供給・排気可能に設けている。
この状態で、漏れ流路137側から圧縮エアを供給すると、この圧縮エアは、漏れ流路140を介してシリンダ部130a内に送り込まれ、図においてピストン130bを左方に移動させる。このピストン130bの移動により、シリンダ部130a内の圧縮エアは、漏れ流路141を介して漏れ流路138より排出される。
この状態で、漏れ流路137側から圧縮エアを供給すると、この圧縮エアは、漏れ流路141を介してシリンダ部130a内に送り込まれ、図においてピストン130bを右方に移動させる。このピストン130bの移動により、シリンダ部130a内の圧縮エアは、漏れ流路140を介して漏れ流路139より排出される。
このように、ピストン・シリンダ駆動機構130において、各軸封体132、133、134、135への電圧の印加を制御して流路を切換えることができ、1つの漏れ流路137から圧縮エアを供給してピストン130bを往復動させることができる。
また、装置本体を薬液に耐えうる材質や内部構造に設けることで、薬液の封止、又は、薬液の流量を制御しながら供給することもできる。これにより、例えば、液晶製造や半導体精密プラント等の一部として軸封装置を設けることができる。この場合、装置のインレット・アウトレット側に接続する管の材質を自由に選択することもでき、適用流体に応じて適宜変更することができる。
この場合の軸封装置は、本体にホルダーを介して環状の軸封体を装入し、この軸封体は、基部をホルダー又は本体に固定して基部の他端側を自由端部とし、軸封体に電気的外部刺激を加えたときに自由端部を軸封部として略真円状に拡縮させて軸封と漏れの何れかの状態にしたものである。
また、軸封体は、高分子材料が電気刺激性高分子材料、又は、イオン伝導高分子材料である場合には、中空円筒状の内外周面に電極を一体に設けることで形成できる。
図24ないし図26においては、板状基材を環状に形成して軸封体を設けた場合の概略図を示している。
また、軸封体160Aは、ホルダー170Aの連通孔171A、172Aに対して貫通穴164A、165Aを固着して基部166Aを設け、この基部166Aの他端側の自由端部167A側をホルダー170Aに対して略真円状に拡縮変形自在に設けている。
また、電位差を除くと、図24(b)に示すように、ホルダー170Aに沿うように自由端部A側が縮径変形するように旧位に復帰する。
また、軸封体160Bは、ホルダー170Bの連通孔171B、172Bに対して貫通穴164B、165Bを固着して基部166Bを設け、この基部166Bの他端側の自由端部167B側をホルダー170Bに対して略真円状に拡縮変形自在に設けている。
また、軸封体160Cは、ホルダー170Cの連通孔171C、172Cに対して貫通穴164C、165Cを固着して基部166Cを設け、この基部166Cの他端側の自由端部167C側をホルダー170Cに対して略真円状に拡縮変形自在に設けている。
図28ないし図30においては、軸封装置を用いた弁構造の一例を示している。
軸封体160は、図30(b)、(c)に示すように、イオン伝導高分子製の板状の基材161の表裏面161a、161bに電極162、163を有し、この基材161を図30(a)のように環状に成形したものである。図30(b)は、図30(a)におけるab−a´b´線を切断線として軸封体160を展開した展開図であり、図におけるハッチング部分は、電極162を表している。また、図30(c)は、図30(a)の裏面側の展開図であり、図におけるクロスハッチング部分は、電極163を表している。
また、帯状電極162a、163aの他端部側には、貫通穴164、165を互いに対向して設けている。この貫通穴164、165は、帯状電極162a、163aから引出すように設けた引出し電極162b、163bによって帯状電極162a、163aと結ばれ、貫通穴164、165よりこの引出し電極162b、163bを介して電極全体に電圧を印加可能に設けている。このように、貫通穴164、165を介して表裏面の各電極162、163に電圧を印加する構成としているので、電極162と163が短絡することがなく、電圧の印加時には、軸封体160の表裏面161a、161bに対して、異なる極性の電圧を印加することができるようになっている。
また、ホルダー170において、軸封体160の貫通穴164、165が対応する位置にはそれぞれ連通孔171、172を形成しており、この連通孔171、172を介して電源回路60からの配線を電極162、163まで結線可能にしている。
この弁構造は、軸封体160に電気的外部刺激を加えることにより自由端部167を略真円状に膨縮又は変形させ、この自由端部167を軸封部として座面153に接離させて軸封又は漏れの何れかの状態にし、流路155、156を切り換え可能に設けたものである。
図33に示すように、軸封体190は、基材191の軸方向の両端部側の表裏面191a、191bに帯状電極192a1、192a2、193a1、193a2をそれぞれ設け、この帯状電極192a1、192a2、193a1、193a2から軸方向における中央付近まで引出し電極192b1、192b2、193b1、193b2を延設して電極192、193を構成している。このとき、同極の電極を、1つの貫通穴を介して軸封体190の表裏面191a、191bの異なる端部側に配設して、1つの貫通穴から一端側の表面191a、他端側の裏面191bの電極に同じ極性の電圧を印加できるようにしている。
また、この実施例では、図示しない電源回路の極性を切り換え可能に設けており、これにより、各電極192、193に対して異極の電圧を印加できるようにしている。
この動作により、流路185と流路186の間は自由端部197の周方向シールによって軸封され、一方、流路186と流路187の間は隙間が生じて連通し、図のように、流路186から流路187側に流体を流すことができる。
この動作により、流路185と流路186の間には隙間が生じると共に、流路186と流路187の間は軸封され、流路186から流路185側に流体を流すことができる。
この弁構造により、円筒状の本体180の内円筒環状部183、184を封止して、流路186からの流体を流路185又は流路187に切り換えることができるため、簡略化した構造によってコンパクト化を図り、安価に製作できる開閉弁を設けることができる。
電気刺激性高分子材料や導電性高分子材料で両端側を自由端部とする場合には、これらの高分子材料は、極性に関わらず電圧の印加又は停止時の変形・膨縮方向が決まっているため、1つの基材によって両側の自由端部を異なる方向に変形(膨縮)させることはできない。
従って、これらの高分子材料を用いて両端側に自由端部を設ける場合には、同じ材料で2つの基材を高分子材料の内周又は外周面に接着し一体に設け、各基材に電極を配した状態でこれらをホルダーに取付けるようにすればよい。
また、上記の各実施例においては、軸封体の基部をホルダーに対して取付けているが、軸封体を本体側に固定することもでき、この場合にも上記と同様に軸封や漏れ状態にすることができる。
CAE解析の解析方法として、ワークの内外周に温度差を生じさせたときに、この温度差による熱膨張時の変形状態を確認するものとした。
このワークAは、図28において、軸封体160としてイオン伝導高分子材料を用いた場合の動きをシミュレートしようとするために用いるものであり、軸封体160の基部166付近を高さH1部、自由端部167付近を高さH2部に置き換えて解析しようとするものである。
ワークBは、図28の軸封体160を電気刺激高分子材料、又は、導電性高分子材料とし、セパレータ169を設けた場合の動きをシミュレートしようとするものであり、軸封体160を部材Y、セパレータ169を部材Xとし、また、基部166付近を高さH3部、自由端部167付近を高さH4部に置き換えて解析しようとするものである。
また、ワークBにおいては、設定温度No.7における自由端部の最大変形量は、0.008mmとなり、より温度差の大きい設定温度No.8における自由端部の最大変形量は、0.013mmとなる。
また、ワークBにおいては、設定温度No.9における自由端部の最大変形量は、0.008mmとなり、また、より温度差の大きい設定温度No.10における自由端部の最大変形量は、0.013mmとなった。
この解析結果を上記実施例の軸封体に置き換えると、軸封体の表裏面に極性の異なる電圧を加えた際には、真円状の断面形状を維持しながら膨縮又は変形によって形状が変わると言える。
このように、CAE解析により電気的外部刺激を加えた場合の軸封体の変化の状態をシミュレーションすることで、この軸封体は、本発明の軸封構造並びに弁構造に適した材料であることが実証できた。
この場合、被測定体241は、電圧印加時にマイナス電極側に屈曲しているが、極性を反転した場合、屈曲方向が反対(プラス電極側)となることが確認された。これにより、実際の使用に際しては、その条件等により所望の屈曲方向に屈曲させることができる。
また、上記の場合、被測定体241が電圧印加時に屈曲変形し、変位量εによる隙間を形成することで、この電気刺激性高分子材料を利用してNCタイプのシール装置を構成できる。更に、この電気刺激性高分子材料を初期状態において屈曲した形状に成形し、一方、電圧を印加したときには平面形状に変形するように予め設けることにより、NOタイプのシール装置を構成することも可能である。
Claims (16)
- 本体内部に設けた軸封部に、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の軸封体を配設すると共に、前記軸封部には、電気的外部刺激を与えて前記軸封体を膨縮又は変形させ漏れ流体を流す流路を設けたことを特徴とする軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激により充電したときに印加方向と垂直方向に拡大変形して軸封力を高め、一方、放電したときに印加方向と垂直方向に縮小変形しながら旧位に復帰して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生するか、又は、放電したときに印加方向と垂直方向に拡大変形しながら旧位に復帰して軸封力を高め、一方、電気的外部刺激により充電したときに印加方向と垂直方向に縮小変形しながら軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生する電気刺激性高分子材料である請求項1に記載の軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激を停止したときに旧位に膨張しながら復帰して軸封力を高め、一方、電気的外部刺激を加えたときに収縮して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生するか、又は、電気的外部刺激を加えたときに膨張しながら軸封力を高め、一方、電気的外部刺激を停止したときに旧位に収縮して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生する導電性高分子材料である請求項1に記載の軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激を停止したときに旧位に変形しながら復帰して軸封力を高め、一方、電気的外部刺激を加えたときに変形して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生するか、又は、電気的外部刺激を加えたときに変形しながら軸封力を高め、一方、電気的外部刺激を停止したときに旧位に変形して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生するイオン伝導高分子材料である請求項1に記載の軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激を停止したときに旧位に変形しながら復帰して軸封力を高め、一方、電気的外部刺激を加えたときに当該部位以外の部位が変形して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生する電気刺激性高分子材料である請求項1に記載の軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激を加えたときに当該部位以外の部位が変形して軸封力を高め、一方、電気的外部刺激を停止したときに旧位に変形しながら復帰して軸封力の低下により適宜の漏れ現象を発生する電気刺激性高分子材料である請求項1に記載の軸封装置。
- 前記軸封体を円板状に形成し、この軸封体の上下面を前記本体の軸方向に沿った上下方向からホルダーで保持させ、このホルダーの軸封体の保持面に、本体外部まで電気的に繋がった電極を設けた請求項1乃至4の何れか1項に記載の軸封装置。
- 前記軸封体は、前記本体の軸方向に沿って軸封体の上下面の一部を挟んだ状態で本体外部まで電気的に繋がった電極を設けた請求項1又は5或は6に記載の軸封装置。
- 前記軸封体を前記本体内に少なくとも2つ以上設け、この軸封体の上下面をそれぞれ前記本体の軸方向に沿った上下方向から保持可能なホルダーを設け、このホルダーの軸封体の保持面側に、本体外部まで電気的に繋がった電極を設けて、前記電極からの電気的外部刺激の印加又は停止により前記軸封体を膨縮又は変形させて前記本体に形成した少なくとも3つ以上の漏れ流体の流路を切換え可能に設けた請求項1乃至6の何れか1項に記載の軸封装置。
- 前記漏れ現象は、微少漏れ現象を包含する請求項2乃至6の何れか1項に記載の軸封装置。
- 本体にホルダーを介して環状の軸封体を装入し、この軸封体は、基部を前記ホルダー又は本体に固定して前記基部の他端側を自由端部とし、前記軸封体に電気的外部刺激を加えたときに前記自由端部を軸封部として略真円状に拡縮させて軸封と漏れの何れかの状態にしたことを特徴とする軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の板状基材の表裏面に電極を形成し、この基材を環状に成形した請求項11に記載の軸封装置。
- 前記軸封体は、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の中空円筒状の内外周面に電極を一体に設けた請求項11に記載の軸封装置。
- 前記本体に外部と連通する複数の流路を形成し、この流路の間に前記軸封体の自由端部である軸封部を軸封と漏れの何れかの状態にすることにより、前記流路を切り換え可能に設けた請求項11乃至13の何れか1項に記載の軸封装置を用いた弁構造。
- 前記軸封体の略中央付近を基部として両端側に自由端部を設け、この自由端部を軸封部として少なくとも2つ以上の内円筒環状部に接離させて前記流路を切り換え可能に設けた請求項14に記載の軸封装置を用いた弁構造。
- 前記本体内に前記軸封体を2つ以上配設し、各軸封体の自由端部を軸封部とし、この軸封部を軸封と漏れの何れかの状態にした請求項14に記載の軸封装置を用いた弁構造。
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