JP4388286B2

JP4388286B2 - Micro object inspection system

Info

Publication number: JP4388286B2
Application number: JP2003024842A
Authority: JP
Inventors: 喜彦蒲田; 泰雄井澤
Original assignee: 喜彦蒲田
Priority date: 2003-01-31
Filing date: 2003-01-31
Publication date: 2009-12-24
Anticipated expiration: 2023-01-31
Also published as: JP2004233295A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばコンデンサチップのような微小な物体の外観や寸法等を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、例えばコンデンサチップのような微小物体の外観を検査し、良品と不良品とに分別する微小物体検査装置において、それまでの気流輸送中にある微小物体をカメラで撮像して分別する手法に代えて、過去に以下の出願を行っている。
【０００３】
特開２０００−２１３９２２号公報おいて提案した微小物体検査装置は、周端面に微小物体を収納するポケットが複数等角度で形成され、垂直状に立設した１枚の回転ディスクと、この回転ディスクの複数のポケットのうちの１つのポケットの開口と所定間隔を存して対向して設けた微小物体の搬送フィーダと、微小物体を撮像するカメラと、良品の微小物体を収納する良品貯蔵部と、不良品の微小物体を収納する不良品貯蔵部とを備えている。
【０００４】
特開２００１−１６５６２３号公報において提案した微小物体検査装置は、設置面に対して傾斜させて立設配置され、その一方面の周縁部に等角度で複数のポケットが形成された１枚の回転ディスクと、この回転ディスクの他方面に設けた固定ディスクと、設置面に対して先端を下方に傾斜させて立設配置し、回転ディスクの複数のポケットのうちの１つのポケットの開口と所定間隔を存して対向して設けた微小物体の搬送フィーダと、微小物体を撮像するカメラと、良品の微小物体を収納する良品貯蔵部と、不良品の微小物体を収納する不良品貯蔵部とを備えている。
【０００５】
特開２００２−１１３４２７号公報において提案した微小物体検査装置は、垂直状に立設配置し、その一方面の周縁部に等角度で複数のポケットが形成された第１及び第２回転ディスクと、これら第１及び第２回転ディスクの各々の他方面に設けた第１及び第２固定ディスクと、第１回転ディスクの複数のポケットのうちの１つのポケットの開口の近接した状態で設けた第１搬送フィーダ、及び第１回転ディスクの他方面側から第２回転ディスクの一方面に亘って設けた第２搬送フィーダと、微小物体を撮像するカメラと、良品の微小物体を収納する良品貯蔵部と、不良品の微小物体を収納する不良品貯蔵部とを備えている。
【０００６】
特開２００２−３２６０５９号公報において提案した微小物体検査装置は、周端面に微小物体を収納するポケットを複数等角度で形成すると共に垂直状に立設した１枚の回転ディスクと、この回転ディスクの他方面に設けた固定ディスクと、回転ディスクの複数のポケットのうちの１つのポケットの開口に近接させて設けた微小物体の搬送フィーダと、微小物体を撮像するカメラと、良品の微小物体を収納する良品貯蔵部と、不良品の微小物体を収納する不良品貯蔵部とを備えている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人が上記で提案した微小物体検査装置は、実際の使用には何ら差し支えなく、また、微小物体の寸法が現状のままならば有効であるが、将来的にさらに微小物体の寸法が小さくなったり、高速に処理しようとすると、次の不具合が生じる可能性がある。
【０００８】
すなわち、これまでに提案した微小物体検査装置は、いずれも微小物体を単列で回転ディスクへと送るようにしていたが、さらに処理効率を向上させようとすると、単列方式では限界があった。
【０００９】
そこで微小物体を複列で回転ディスクへ送るようにすればよいのであるが、その場合、次の問題が生じる。例えば特開２０００−２１３９２２号公報、特開２００１−１６５６２３号公報、において提案した微小物体検査装置は、微小物体を浮揚させて回転ディスクのポケットに乗り移るようにしている。
【００１０】
従って、微小物体を複列で浮揚させて回転ディスクに送る際に、微小物体が衝突したり、回転ディスクのポケットに正しく収納されない場合が頻繁に生じ、結果として、カメラで正しい面を撮像することができないといった問題が生じる。
【００１１】
また、特開２００２−１１３４２７号公報において提案した微小物体検査装置は、設置面に対して垂直状に立設配置した２枚の回転ディスクを用いている。この場合、第１回転ディスクまでで複列状で搬送される微小物体同士の隣り合う面を除く３面を撮像しておけば、第２回転ディスクまでの第２搬送フィーダにおいて第１搬送フィーダで撮像できなかった面を撮像できる。
【００１２】
しかし、第１回転ディスクと第２回転ディスクのまでの間が非常に短いので、カメラや照明装置を配置するのが困難である。また、カメラや照明装置を多く設置するために第１回転ディスクと第２回転ディスクのまでの間を長くすることは、複列状にすることによって全体の処理効率が向上する反面、微小物体１個あたりの処理時間に時間がかかることとなり、さほどの処理効率の向上効果は見られない。
【００１３】
また、特開２００２−３２６０５９号公報において提案した微小物体検査装置は、設置面に対して垂直状に立設配置した１枚の回転ディスクを用い、１枚の回転ディスクのポケットにおいて搬送フィーダ上で撮像していない残りの側面を撮像するようにしている。
【００１４】
しかし、複列状で微小物体を送るようにした場合は、１枚の回転ディスクのポケットに複列で送られた微小物体を収納することにより当然にポケットの間隔も短くなるから、カメラや照明装置は、限られた周面上で接近させて設ける必要があり、１枚の回転ディスクにおいて多くのカメラや照明装置を配置することが困難である。
【００１５】
本発明は、本出願人が提案したものにおいて将来的に予測される不具合を予め解消し、簡単な構造で、高速かつ効率良く良品と不良品の分別を行うことができる微小物体検査装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の微小物体検査装置は、収納部が所定間隔で周面に複数形成され、設置面に対して立設配置されると共に一時停止しつつ回転する第１回転ディスクと、この第１回転ディスクの収納部に微小物体を吸引するための第１吸引部と、微小物体を複数列にて第１回転ディスクに搬送する搬送フィーダと、第１回転ディスクの下端位置で前記収納部からの複数の微小物体を一旦配置する配置台と、この配置台の上面と同高さ位置で設置面に対して水平配置されると共に一時停止しつつ回転する第２回転ディスクと、前記配置台から複数の微小物体を前記第２回転ディスクへと同時に送り出す送出機構と、この第２回転ディスクの表面に形成した吸引孔を介して吸気を行って微小物体を位置決めする第２吸引部と、搬送フィーダから第２回転ディスクの回転途中位置に至るまでの所定位置に設けられた複数のカメラ及び照明装置と、を備えたものである。
【００１７】
このようにすることで、搬送フィーダによる微小物体の搬送速度、回転ディスクの回転速度、検査速度が、従来通りである場合は、いままでより倍の微小物体について外観検査を行うことができる。また、水平配置した第２回転ディスクを採用することにより、配置スペースをコンパクトにし、また、複数列の微小物体を一度に送りながらも、外観検査に必要となるカメラや照明装置を効率よく配置することができ、また、微小物体を姿勢よくかつ安定させた状態で検査することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明は、微小物体の６面を外観検査して良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であって、微小物体の収納部が周面に所定間隔で複数形成され、設置面に対して立設配置されると共に一時停止しつつ回転する第１回転ディスクと、前記収納部の各々に対応して該第１回転ディスクの中心部から接続された管を介して吸気を行って微小物体を該収納部に位置させる第１吸引部と、前記第１回転ディスクの一方面側で前記収納部に近接させて設けられ、微小物体を複数列にて搬送する搬送フィーダと、前記第１回転ディスクの周面下端の位置で前記収納部からの複数の微小物体を一旦配置する配置台と、この配置台の上面と同高さ位置で設置面に対して水平配置されると共に一時停止しつつ回転する第２回転ディスクと、前記配置台から複数の微小物体を前記第２回転ディスクへと同時に送り出す送出機構と、この第２回転ディスクの表面に形成した吸気孔を介して吸気を行って微小物体を位置決めする第２吸引部と、前記搬送フィーダから第２回転ディスクの回転途中位置に至るまでの所定位置に設けられた複数のカメラ及び照明装置と、を備えたものである。
【００１９】
上記によれば、微小物体は、その搬送経路を複列、例えば２分割した搬送フィーダにより第１回転ディスクに搬送される。このとき、搬送フィーダでは、例えば該搬送フィーダの両側方位置、及び２分割した搬送経路の各々の上方位置、の計４箇所に設けたカメラによって１個の微小物体にいて上面と１側面の２面を撮像する。
【００２０】
カメラによって撮像された後に、微小物体は、搬送フィーダから第１回転ディスクに搬送される。第１回転ディスクは、円形で、一時停止を繰り返しながら一定方向に回転し、かつ設置面に対してその回転軸が平行となった状態で立設されている。
【００２１】
また、第１回転ディスクは、周面を切り欠いた第１収納部が複数形成され、例えば一時停止したときに上端に位置する２個の収納部の底面が、搬送フィーダの搬送面に対して同高さでほぼ連続する状態となるように配置される。
【００２２】
搬送フィーダの先端部まで搬送された微小物体は、第１吸引部により第１回転ディスクの収納部へ吸引される。例えば微小物体は、上記で撮像済みの上面が第１回転ディスクの外周面となって収納される。第１回転ディスクの表裏面には例えば２台のカメラが設けられており、回転中の微小物体は、上記側面に対して前後面の２面が撮像される。なお、微小物体の前後面を撮像するカメラは、微小物体の各々につき２台ずつ計４台のカメラを設けておいてもよい。
【００２３】
その後、第１回転ディスクが１８０°回転すると微小物体は上面となっていた面が設置面方向へ面する、つまり下面となる。第１回転ディスクが１８０°回転したとき、この位置まで回転した２つの収納部の第１吸引部による吸引が停止して微小物体を第２回転ディスク上へ落下させる。第２回転ディスクは、第１回転ディスクに対してその回転軸が直交状とされ、設置面に対してその面が平行なるように配置される。
【００２４】
第２回転ディスクは、第１回転ディスクの回転と同期して一時停止しながら一方方向に回転する。また、第２回転ディスクは、例えば表面に形成した複数の吸気孔を介して常時は第２吸引部によって微小物体を吸引している。吸気孔は、第２回転ディスクの回転軸と平行で、内周位置で所定の間隔を存して（等角度で）配置され、この吸気孔の上面に微小物体が位置することとなる。つまり、微小物体は、第２回転ディスクではその上面に何のガイドもなく載置されることとなり、第２吸引部の吸気により吸気孔上に位置決めされる。
【００２５】
いま、第１回転ディスクの下端に位置する収納部における吸引が解除された微小物体は、第２吸引部により吸引されて、搬送フィーダから第１回転ディスクに移動したときに上面とされた面が下面となった姿勢で第２回転ディスクの吸気孔上に移動する。
【００２６】
その後、第２回転ディスク上に移動した微小物体は、第２回転ディスクの回転中に、上記で撮像していない上面（第１回転ディスクの回転中では外周面となっていた面）と、１側面（搬送フィーダ上では微小物体同士の隣り合っていた面）とを順次撮像する。
【００２７】
そして、以上の６面の撮像が完了した後、各々の微小物体について良品又は不良品の判別がなされる。判別された微小物体は、第２回転ディスクの回転下流において、良品は第２回転ディスクの外周位置に設けた良品収納部に、不良品は第２回転ディスクの外周位置で前記良品収納部のさらに回転下流位置に設けた不良品収納部に、分別される。
【００２８】
微小物体の分別は、第２回転ディスクの中心位置に設けた分別機構によって行われる。分別機構は、第２回転ディスクの回転と同期しないで固定状態とされており、第２回転ディスクの回転に伴って送られる微小物体を内周側から外周に押し出す。
【００２９】
なお、分別機構は、良品収納部及び不良品収納部を設けた位置まで微小物体が回転したときに良品又は不良品の微小物体が載置された吸気孔に接続した第２吸引部の吸気を停止し、良品収納部及び不良品収納部から微小物体を吸引するようにしてもよい。また分別機構は、第２吸引部の吸気はそのままで、この吸引力に抗して分別機構が微小物体を外周側に押し出すような構成としてもよい。
【００３０】
このように、搬送フィーダにより複列で微小物体を第１回転ディスクへ送ることで、微小物体の搬送速度、第１及び第２回転ディスクの回転速度、検査速度が従来通りである場合は２倍の微小物体について外観検査を行うことができ、これら速度を高速にすることでさらに単位時間あたりで多量の微小物体の外観検査を行うことが可能となる。
【００３１】
また、水平配置した第２回転ディスクを採用することにより、微小物体の姿勢を安定させることができると共に、外観検査に必要となるカメラや照明装置が効率よく配置できるから、高速でしかも複数の微小物体を送りながらも精度の高い外観検査を行うことができる。
【００３２】
さらに、本発明の微小物体検査装置は、上記した構成に加えて、第１回転ディスクの収納部を塞いで筒状とする蓋機構を第１回転ディスクの外周に対して進退可能に設けたものである。
【００３３】
微小物体は、搬送フィーダから順次送られる後続の微小物体に押し出されて第１回転ディスクの収納部に移動するが、このとき第１回転ディスクの収納部に不適切な姿勢で移動する可能性がある。その場合は、そのまま第２回転ディスクへ移動してさらに第２回転ディスクの回転中に不適切な姿勢でカメラで撮像され、結果として検査精度が低下する可能性がある。
【００３４】
また、不適切な姿勢で第１回転ディスクの収納部に収納された場合は、第１回転ディスクの回転中に、第１吸引部の吸引が及ばずに収納部から脱落したり、遠心力によって収納部より飛び出す可能性もある。
【００３５】
そこで、第１回転ディスクにおける搬送フィーダ先端部と対向する収納部を筒状とする蓋機構を設けることで、当該収納部に吸引される微小物体は、蓋機構と収納部の底面及び底面と連続する両側壁とに案内されて適切な状態で収納部に吸引されることとなる。従って例え搬送フィーダから不適切な姿勢で第１回転ディスクの収納部に移動しようとした場合であっても、この蓋機構によって微小物体を正しく第１回転ディスクの収納部に収納させることができ、より一層検査精度を向上させることができる。
【００３６】
また、本発明の微小物体検査装置は、上記した構成に加えて、微小物体が正しい姿勢で収納部に収納されているか否かを検知する姿勢検知手段を第１回転ディスクの周面位置に設けたものである。
【００３７】
このようにすることで、外観検査が正しく行えなかった微小物体を不良品としないで再度外観検査に供することが可能となり、姿勢不良で外観検査が行えなかった良品の微小物体を不良品として分別することが防止され、外観検査によって判別された微小物体のみを良品と不良品に正しく分別することができる。
【００３８】
また、本発明の微小物体検査装置は、上記構成に加えて、搬送フィーダにおける微小物体の搬送面に孔を形成し、該搬送フィーダの搬送面の下方に前記孔に連通して間欠的に微小物体を吸引する吸引機構を設けたものである。
【００３９】
上記において、間欠的に微小物体を吸引するとは、第１回転ディスクの回転中は吸引し、第１回転ディスクが一時停止する直前に吸引が解除されることを意味する。
【００４０】
すなわち、第１回転ディスクが一時停止する直前に吸引を停止することで、搬送フィーダ上における後続する微小物体により該搬送フィーダ先端の微小物体は移動が許容される。第１回転ディスクが一時停止したとき、搬送フィーダから第１回転ディスクの収納部に微小物体が移動する。第１回転ディスクが再度回転するときには、吸引機構は再度吸引する。
【００４１】
このようにすることで、搬送フィーダの先端にある微小物体のみを後続と分離して第１回転ディスクに送ることが可能となり、第１回転ディスクの収納部の１つに１つの微小物体を確実に送ることができるようになる。
【００４２】
【実施例】
以下に本発明の微小物体検査装置の実施例について図面を参照して説明する。図１は本発明の微小物体物体検査装置の全体構成を概略的を示す。図２及び図３は吸引機構を示す。図４は第１回転ディスクを示す。図５は蓋機構を示す。図６は姿勢検知手段を示す。図７は配置台及び送出機構を示す。図８は第２回転ディスクを示す。図９はカメラの配置状況を示す。なお、図では微小物体や構成等を拡大し、かつ誇張して示している。
【００４３】
図において、１は、例えばコンデンサチップのような微小物体Ｗ（以下、ワークＷという）の外観や寸法を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であり、以下のように構成されている。
【００４４】
２は、例えば高周波振動を推力とする搬送フィーダであり、この搬送フィーダ２は、配置面に対して若干先端部を下方に傾斜させている。このすることで、搬送フィーダ２による搬送効率が向上する。さらに、搬送フィーダ２は、ワークＷを送る搬送経路が複数列、例えば２列形成されている。また、搬送フィーダ２は、搬送路に高周波振動を与えつつワークＷを整列して搬送する。よって、搬送フィーダ２の先端部は、ワークＷの姿勢が崩れないように無振動な状態とされている。
【００４５】
さらに、搬送フィーダ２は先端部の各々の搬送経路毎の搬送面に孔２ａが形成されており、搬送フィーダ２の先端部の下面には、前記孔２ａに臨んで図２及び図３に示すような吸引機構２Ａが設けられている。
【００４６】
この吸引機構２Ａは、搬送フィーダ２におけるワークＷの搬送方向に回転する回転ドラム２ｂが回転装置２ｃによって回転し、回転ドラム２ｂ内が吸気装置２ｄによって真空状に吸引される。
【００４７】
回転ドラム２ｂの周面には対向させて吸気孔２ｅが形成されており、回転ドラム２ｂ内の吸引に伴って該吸気孔２ｅから吸気される。従って、吸引機構２Ａは、回転ドラム２ｂの回転に伴って吸気孔２ｅと孔２ａとが連通することとなる。
【００４８】
吸気孔２ｅと孔２ａとが連通したとき、図３（ａ）に示すように、ワークＷは搬送フィーダ２の先端部において吸引されて一時停止する。その後、回転ドラム２ｂの回転により、吸気孔２ｅがワークＷの搬送方向に移動することで該ワークＷが吸気孔２ｅで吸引され、後続するワークＷから１つだけ分離されて後述する第１回転ディスク３へと移動する。
【００４９】
３は、図４に示すように、搬送フィーダ２の先端部にその上端を位置させ、配置面に対して垂直状に立設され、一時停止しつつ回転可能とされた第１回転ディスクである。第１回転ディスク３は、その周面を切り欠いた収納部３ａが複数形成されている。
【００５０】
収納部３ａはワークＷが若干突出する程度の深さとされている。このようにすることで、後述する照明装置によってワークＷを十分に照明することができ、また、撮像しやすくなる。また、収納部３ａにおけるそれぞれの底面中央部には孔３ｂが各々形成されており、これら孔３ｂには第１回転ディスク３の中心からそれぞれ接続された管３ｃの一端が各々接続されている。
【００５１】
管３ｃのそれぞれには弁３ｄが設けられており、弁３ｄは不図示の制御部によってそれぞれの収納部３ａ毎に開閉制御される。管３ｃの他端は、第１吸引部３Ａに接続されている。収納部３ａは、第１吸引部３Ａによって常時吸引状態にあるが、弁３ｄが閉状態となったとき、すなわち後述する第１回転ディスク３の下端に位置したときに吸引が解除される。
【００５２】
４は、搬送フィーダ２から移動しようとするワークＷの姿勢を整え安定させるために、搬送フィーダ２と対向する位置に停止したときに第１回転ディスク３の収納部３ａの上方開放面を塞ぐように接近し、第１回転ディスク３が再度回転を開始するときに該第１回転ディスク３の外周から退避する蓋機構である。
【００５３】
蓋機構４は、例えば搬送フィーダ２によるワークＷの搬送方向と平行な両側壁を有した断面コ字状とされており、この断面コ字状の両側壁が第１回転ディスク３の外周に垂直状に当接する。
【００５４】
よって、蓋機構４の両側壁、この両側壁と連続した底面、収納部３ａの底面及び両側壁によって筒が形成され、ワークＷがこの筒にガイドされて収納部３ａに収納される。また、蓋機構４により収納部３ａが筒状となることで、第１吸引部３Ａによる吸引力が向上することとなる。
【００５５】
５は、搬送フィーダ２から第１回転ディスク３の収納部３ａ内に移動したワークＷが正しい姿勢で収納されているか否かを検知する姿勢検知手段としてのセンサである。このセンサ５は、例えば搬送フィーダ２から第１回転ディスク３へ移動した直後の回転下流位置に設けられている。
【００５６】
センサ５は、例えば赤外線の発光部５ａと、受光部５ｂを有する。これらは収納部３ａに収納された状態のワークＷが該収納部３ａから突出した位置より若干だけ外周方向に離間した位置で、赤外線の発光と受光を行う。
【００５７】
従って、図６（ａ）（ｂ）に示すようにワークＷが正しく収納部３ａに収納されている場合は、発光部５ａから発光した赤外線を受光部５ｂで受光できるため、エラーとはならない。一方、図６（ｃ）（ｄ）に示すようにワークＷが正しく収納されていない場合は、発光部５ａから発光した赤外線がワークＷで遮られて受光部５ｂで受光できないため、エラーとなる。エラーが生じたワークＷは、後述する再検査収納部８ａに収納されることとなる。
【００５８】
また、再検査収納部８ａを設けない場合は、センサ５でエラーを検知したときに、第１回転ディスク３の外周位置に設けた吸引ノズルによって該第１回転ディスク３の収納部３ａより強制的に排出するようにしてもよい。
【００５９】
６は、図７に示すように、第１回転ディスク３の下端位置に設けられ、かつ該第１回転ディスク３の面と直交するように設けた配置台である。この配置台６は、第１回転ディスク３の一時停止したときの収納部３ａに対応する位置に設けられ、収納部３ａから落下したワークＷを一旦配置する。
【００６０】
配置台６は、２つの収納部３ａに対応する位置において表裏面を貫通する孔６ａが形成されている。この孔６ａには吸引機構６Ａが接続されており、吸引機構６Ａは、常時吸引することにより収納部３ａから落下したワークＷを弾ませることなく配置台６上に載置させるようにしている。
【００６１】
また、配置台６において後述する第２回転ディスク７が位置する方向とは反対の方向には、該配置台６上のワークＷを該第２回転ディスク７へと送り出す送出機構６Ｂを設けている。この送出機構６Ｂは、配置台６上で吸引機構６Ａによって吸引されたワークＷを、この吸引力に抗して第２回転ディスク７へロッドを突出させて送り出すものである。
【００６２】
例えば第１回転ディスク３の下端位置まで回転した収納部３ａから排出されたワークＷは、そのまま第２回転ディスク７上に載置されてもよいが、第１回転ディスク３の収納部３ａ内での収納状況によって第２回転ディスク７上に正しく配置されない場合がある。第２回転ディスク７に正しくワークＷが配置されないと、第２回転ディスク７の回転中においてワークＷを正しく撮像できないこととなる。
【００６３】
従って、上記構成とすることで、仮に第１回転ディスク３から正しい姿勢で微小物体が排出されずに配置台６上に載置されたとしても、送出機構６Ｂによって正しい姿勢に整えて第２回転ディスク７に送ることができるから、第２回転ディスク７の回転中においてワークＷを正しく撮像することができるようになり、検査精度が向上することとなる。
【００６４】
７は、図７に示すように、本実施例では上記した配置台６の上面と同高さ位置で近接した状態とされると共に、第１回転ディスク３の面と直交状（つまり設置面と平行に）設けた第２回転ディスクである。第２回転ディスクは、第１回転ディスクの回転と同期して一時停止しつつ回転する。
【００６５】
また、第２回転ディスク７は、その上面に等間隔（等角度）で複数の吸気孔７ａが形成され、吸気孔７ａのそれぞれには第２回転ディスク７の中心からそれぞれ導設された管７ｂの一端が各々接続されている。管７ｂの他端は、第２吸引部７Ａに接続されている。収納部３ａは、第２吸引部７Ａによって常時吸引状態にある。
【００６６】
８は、図１に示すように、第２回転ディスク７の表面の上方に位置し、かつ該第２回転ディスク７の回転と共に回転しないで固定的に配置された分別機構である。この分別機構８は、第２回転ディスク７が回転して外観検査を終えたワークＷについて不図示の制御部の制御に基づいて、それぞれワークＷを後述する再検査収納部８ａ、良品収納部８ｂ、不良品収納部８ｃ、強制排出収納部８ｄへ分別する。
【００６７】
この分別機構８は、第２回転ディスク７の中心位置から、外周へ向けてロッドを突出させることで、ワークＷを上記した第２回転ディスク７上における第２吸引部７Ａの吸引力に抗して該第２回転ディスク７上から押し出す。
【００６８】
９Ａ〜９Ｊは、ワークＷを外観検査するために撮像するカメラであり、本実施例では照明装置（参照番号無）と一体化されたものを採用する。本実施例で採用したカメラ９Ａ〜９Ｊは、例えば図９の位置に各々配置する。
【００６９】
図９（ａ）にカメラ９Ａ〜９Ｄの配置状況を示す。カメラ９Ａ，９Ｂは、搬送フィーダ２の先端部上方に設けてワークＷの上面を撮像する。カメラ９Ｃは、搬送フィーダ２の２列の搬送経路のうち一方列の側方に設けてワークＷの一側面を撮像する。カメラ９Ｄは、搬送フィーダ２の２列の搬送経路のうち他方列の側方に設けてワークＷの一側面を撮像する。
【００７０】
図９（ｂ）にカメラ９Ｅ及び９Ｆの配置状況を示す。カメラ９Ｅは、第１回転ディスク３における搬送フィーダ２によるワークＷの搬送方向側に設けられてワークＷの前面を撮像する。カメラ９Ｆは、第１回転ディスク３における搬送フィーダ２によるワークＷの搬送方向とは反対側に設けられてワークＷの後面を撮像する。
【００７１】
図９（ｃ）にカメラ９Ｇ〜９Ｊの配置状況を示す。カメラ９Ｇ，９Ｈは、第２回転ディスク７上方に設けてワークＷにおけるカメラ９Ａ，９Ｂで撮像した面と対向する面を撮像する。カメラ９Ｉは、第２回転ディスク７の外周位置に設けてワークＷにおけるカメラ９Ｃで撮像した面と対向する面を撮像する。カメラ９Ｊは、第２回転ディスク７の外周位置に設けてワークＷにおけるカメラ９Ｄで撮像した面と対向する面を撮像する。
【００７２】
上記構成の微小物体検査装置１は、次のように動作する。ワークＷは、搬送フィーダ２の上流側で搬送フィーダ２における２つの搬送経路に分けられて、高周波振動によって先端部に搬送される。ワークＷが搬送フィーダ２の先端部に搬送されると、ここで吸引機構２Ａにより吸引されて一時停止する。このとき、カメラ９Ａ，９Ｂ及びカメラ９Ｃ，９Ｄによって２列のワークＷのそれぞれの上面及び一側面が撮像される。
【００７３】
そして、吸引機構２Ａにおける回転ドラム２ｂの連続した回転に伴って当該ワークＷは、後続するワークＷの搬送速度より速い速度で吸引機構２Ａに吸引されつつ第１回転ディスク３側へ移動する。従って、当該ワークＷは後続するワークＷから分離されて第１回転ディスク３へ移動することとなる。
【００７４】
このとき、第１回転ディスク３は２つの収納部３ａの底面と搬送フィーダ２の２列の搬送面とが同高さとなる位置で一時停止しており、ワークＷは収納部３ａにそれぞれ移動する。第１回転ディスク３は、下端位置を回転するとき以外は第１吸引部３Ａにより吸引状態とされている。
【００７５】
第１回転ディスク３側では、上端に位置する２つの収納部３ａについて蓋機構４が作動して収納部３ａを筒状とする。そして、ワークＷは、搬送フィーダ２から収納部３ａと蓋機構４によって形成された筒状内に案内されつつ、第１回転ディスク３の収納部３ａに吸引されて収納されることとなる。その直後、第１回転ディスク３は、再び回転を開始する。
【００７６】
ここで、ワークＷが蓋機構４と収納部３ａとで形成される筒状に案内されずに収納部３ａに収納できなかったワークＷは、少なくとも搬送フィーダ２と第１回転ディスク３の回転を停止して不図示の強制排出ノズルによって排出される。
【００７７】
蓋機構４の位置を通過すると、続いて第１回転ディスク３の次の回転及び一時停止の間に、２つのワークＷについて正しく収納部３ａに収納されているか否かが、センサ５によって検査される。本実施例では、ここで収納部３ａからワークＷが大きく突出して姿勢が正しくない場合は、そのワークＷはセンサ５によりその旨検知されて再検査収納部８ａに分別され、再度の検査に供される。
【００７８】
そして、蓋機構４及びセンサ５を設けた位置を通過した第１回転ディスク３がカメラ９Ｅ，９Ｆを設けた位置まで回転すると、カメラ９Ｅ，９ＦによってワークＷはその前後面が撮像される。その後、第１回転ディスク３が下端位置まで回転したとき、第１回転ディスク３は２つの収納部３ａに対応した弁３ｄを閉状態として吸引を停止する。これにより、２つのワークＷは、同時に配置台６上に落下することとなる。
【００７９】
そして、配置台６に落下した２つのワークＷは、配置台６の上面に接触すると同時に吸引機構６Ａによって吸引されて弾むことなく静止する。この直後に送出機構６Ｂが配置台６上に位置する２つのワークＷを同時に第２回転ディスク７へ向けて送り出す。
【００８０】
このとき、第２回転ディスク７は一時停止しており、配置台６から送り出された２つのワークＷは同時に第２回転ディスク７に移動する。第２回転ディスク７は、吸気孔７ａから常時吸気状態とされているから、配置台６から送り出された２つのワークＷは、第２回転ディスク７における吸気孔７ａの位置まで到達すると、それ以上は該第２回転ディスク７上で移動することがなく安定した姿勢とされる。
【００８１】
そして、第２回転ディスク７に移動した２つのワークＷは、その直後にカメラ９Ｇ，９Ｈによっていま上面となっている面が撮像される。なお、第２回転ディスク７上での上面とは、搬送フィーダ３の搬送経路においては下面となっていた面である。
【００８２】
その後、第２回転ディスク７が再び回転を開始して、再度一時停止したとき、当該ワークＷは、カメラ９Ｉ，９Ｊによって搬送フィーダ３上で撮像していない他方の側面が撮像される。ここで、カメラ９Ｉで撮像するワークＷはカメラ９Ｃで撮像したワークＷであり、カメラ９Ｊで撮像するワークＷはカメラ９Ｇで撮像したワークＷである。
【００８３】
こうして、２つのワークＷについての６面の撮像が完了し、第２回転ディスク７が回転している間に、各々のワークＷについて不図示の画像処理部や制御部によってそれぞれの判断がなされる。
【００８４】
そして、第２回転ディスク７が、所定の位置まで回転すると、まず、そのワークＷが、例えば次の理由によって外観検査に必要な６面の画像データが正しく揃っていない場合は、再検査収納部８ａに対応する分別機構８が作動してワークＷを再検査収納部８ａに送り出す。その理由とは、例えば蓋機構４が正しく作動できなかったり、センサ５で姿勢不良を検知したり、ワークＷが移動途中で姿勢不良となったり、あるいはカメラ９Ａ〜９Ｊ及び照明装置の故障やトラブルなどである。
【００８５】
また、そのワークＷが、外観検査に必要な６面の画像データが正しく揃っており、かつ外観異常がない場合、良品収納部８ｂに対応する分別機構８が作動してワークＷを良品収納部８ｂに送り出す。また、そのワークＷが、外観検査に必要な６面の画像データが正しく揃っており、かつ１面でも外観に異常があった場合、不良品収納部８ｃに対応する分別機構８が作動してワークＷを良品収納部８ｃに送り出す。
【００８６】
また、そのワークＷが何らかの障害で外観検査に必要な６面の画像データが正しく揃っているが、外観検査の判断がなされず、又は外観検査の判断がなされたが再検査収納部８ａ、良品収納部８ｂ、不良品収納部８ｃのいずれにも分別されなかった場合、強制排出収納部８ｄに対応する分別機構８が作動してワークＷを良品収納部８ｄに送り出す。
【００８７】
従って強制排出収納部８ｄに対応する分別機構８は、第２回転ディスク７の回転に同期して常に作動させておくか、あるいはセンサを設け、このセンサにより不良品収納部８ｃまでに収納されていないワークＷが送られてきたことを検知したときに作動させるようにしておく。
【００８８】
このように、微小物体検査装置１は、一度に複列、例えば２列のワークＷを同時に外観検査するようにしているので、単位時間あたりの処理個数は従来の倍以上となる。
【００８９】
また、ワークＷが将来的にさらに微小化したり、ワークＷの送り速度を高速化した場合であっても、例えば搬送フィーダ２から第１回転ディスク３の収納部３ａまでにおける吸引機構２Ａ及び第１吸引部３Ａ、例えば配置台６における吸引機構６Ａ、例えば第２回転ディスク７上における第２吸引部７Ａにより、ワークＷを安定したかつ正しい姿勢で、しかもその状態を強固に保持することができるから、今まで以上に検査精度が向上することとなる。
【００９０】
さらに、微小物体検査装置１は、第２回転ディスク７を採用することによって、第１回転ディスク３と第２回転ディスク７とが互いに邪魔とならず、カメラ９Ａ〜９Ｊやその他機構や装置を自由に配置することができる。
【００９１】
なお、本発明は、上記実施例に限定されず、その他の変形が可能である。例えば上記実施例において配置台６及び送出機構６を設けた例を示したが、これらを省略してもよい。その場合は、第１回転ディスク３の下端に位置した収納部３ａの直下に第２回転ディスク７の吸気孔７ａを位置させる。このようにすれば、さらに外観検査装置１の全体をさらにコンパクトにすることができる。
【００９２】
また、上記実施例では、第１回転ディスク３の下端位置に第２回転ディスク７を１枚水平配置した例を示したが、例えば第１回転ディスク３の下端位置において一時停止した２つの収納部３ａ，３ａに対向する２枚の第２回転ディスク７を同高さで設けてもよい。このようにすることで、装置構成の小型化は損なわれるものの、上記よりも効率よくワークＷの外観検査を行うことができる。
【００９３】
また、上記実施例では、搬送フィーダ２から送り出されるワークＷは、言及していなかったが、例えば２種類の大きさのワークＷを別々の搬送経路で送り出すようにすれば、異なる寸法のワークＷについても同時に外観検査を行うことができる。さらに、この場合、第１回転ディスク３の収納部３ａの寸法も交互に寸法を変更したものを採用すれば、安定した姿勢で外観検査を行うことができる。
【００９４】
また、上記実施例では、搬送フィーダ２の下面に吸引機構２Ａを設けた例を示したが、これを採用しない場合は、搬送フィーダ２上における後続のワークＷによって先端部のワークＷを押し出して、先端部のワークＷを第１回転ディスク３の収納部３ａに送るが、このときには、先端部のワークＷが移動する直前に（第１回転ディスク３の回転が一時停止する直前に）、搬送フィーダ２における高周波振動を一時停止すればよい。
【００９５】
さらに、上記実施例では、配置台６の上面について言及していなかったが、例えば衝撃を吸収する材質としたり、そのような材質のシートを表面に貼着してもよく、このようにすれば、ワークＷの配置台６上への落下衝撃による損傷を抑制することができる。なお、配置台６を採用していない場合は、第２回転ディスク７の上面について、衝撃を吸収する材質としたり、そのような材質を表面に貼着すればよい。
【００９６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の微小物体検査装置は、収納部が所定間隔で周面に複数形成され、設置面に対して立設配置されると共に一時停止しつつ回転する第１回転ディスク、収納部の各々に対応して吸気を行って微小物体を吸引する第１吸引部、収納部と近接する第１回転ディスクの一方面側に設けられ、微小物体を複数列にて搬送する搬送フィーダ、第１回転ディスクの下端位置で前記収納部からの複数の微小物体を一旦配置する配置台、この配置台の上面と同高さ位置で設置面に対して水平配置されると共に、一時停止しつつ回転する第２回転ディスク、前記配置台から複数の微小物体を前記第２回転ディスクへと同時に送り出す送出機構、第２回転ディスクの表面に形成した吸気孔を介して吸気を行って微小物体を位置させる第２吸引部、搬送フィーダから第２回転ディスクの回転途中位置に至るまでの所定位置に設けられた複数のカメラ及び照明装置を備えたので、微小物体の搬送速度、第１及び第２回転ディスクの回転速度、検査速度が従来通りである場合は単位時間あたりで倍の微小物体について外観検査を行うことができ、これら速度を高速にすることでさらに多量の微小物体の外観検査を行うことが可能となる。
【００９７】
また、水平配置した第２回転ディスクの採用により、微小物体の姿勢を安定させることができると共に、外観検査に必要となるカメラや照明装置を効率よく配置することができ、従って、高速でしかも複数の微小物体を送りながらも精度の高い外観検査を行うことができる。
【００９８】
さらに、本発明の微小物体検査装置は、上記した構成に加えて、第１回転ディスクの収納部を筒状にして微小物体をガイドしながら吸引するための蓋機構を設けたので、例え搬送フィーダから不適切な姿勢で第１回転ディスクの収納部に移動しようとした場合であっても、この蓋機構によって微小物体は正しく第１回転ディスクの収納部に収納させることができ、より一層検査精度を向上させることができる。
【００９９】
また、本発明の微小物体検査装置は、上記構成に加えて、微小物体が正しい姿勢で収納部に収納されているか否かを検知する姿勢検知手段を設けたので、外観検査が正しく行えなかった微小物体を不良品としないで再度外観検査に供することが可能となり、姿勢不良で外観検査が行えなかった良品の微小物体を不良品として分別することが防止され、外観検査によって判別された微小物体のみを良品と不良品に正しく分別することができる。
【０１００】
また、本発明の微小物体検査装置は、上記構成に加えて、搬送フィーダにおける微小物体の搬送面に孔を形成し、該搬送フィーダの搬送面の下方に前記孔を介して間欠的に微小物体を吸引する吸引機構を設けたので、搬送フィーダの先端にある微小物体のみを後続と分離して第１回転ディスクに送ることが可能となり、第１回転ディスクの収納部の１つに１つの微小物体を確実に送ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の微小物体検査装置における全体を概略的に示し、（ａ）は側面方向から見た図、（ｂ）は上方から見た図、である。
【図２】本発明の微小物体検査装置における吸引機構を示し、（ａ）は配置位置を示すための図、（ｂ）は吸引機構の構成を示す図、である。
【図３】本発明の微小物体検査装置における吸引機構を示し、（ａ）は吸引時、（ｂ）は微小物体を第１回転ディスクへ移動させる時、の状況を各々示す図である。
【図４】本発明の微小物体検査装置における第１回転ディスクを示し、（ａ）は正面方向から見た図、（ｂ）は収納部周辺を示す図、である。
【図５】本発明の微小物体検査装置における蓋機構を示し、（ａ）は作動している状態、（ｂ）は作動していない状態、を各々示す図である。
【図６】本発明の微小物体検査装置における姿勢検知手段としてのセンサを示し、（ａ）は微小物体が正しい姿勢のときの側面方向から見た図、（ｂ）は（ａ）の背面方向から見た図、（ｃ）は微小物体が不適切な姿勢のときの側面方向から見た図、（ｄ）は（ｃ）の背面方向から見た図、である。
【図７】本発明の微小物体検査装置における配置台と送出機構を示し、（ａ）は送出機構の作動前、（ｂ）は送出機構の作動時、を各々示す図である。
【図８】本発明の微小物体検査装置における第２回転ディスクを示し、（ａ）は上方から見た図、（ｂ）は斜視図、である。
【図９】本発明の微小物体検査装置において、（ａ）は搬送フィーダの先端部、（ｂ）は第１回転ディスク、（ｃ）は第２回転ディスク、においてカメラ及び照明装置を配置した状況を各々示す図である。
【符号の説明】
１微小物体検査装置
２搬送フィーダ
２Ａ吸引機構
３第１回転ディスク
３ａ収納部
３ｂ孔
３Ａ第１吸引部
４蓋機構
５センサ（姿勢検知手段）
６配置台
６Ａ吸引機構
６Ｂ送出機構
７第２回転ディスク
７ａ吸引機構
７Ａ第２吸引部
８分別機構
９Ａ〜９Ｊ（照明装置を備える）カメラ
Ｗワーク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a micro object inspection apparatus that inspects the appearance, dimensions, and the like of a micro object such as a capacitor chip and classifies the micro object into a non-defective product and a defective product based on an inspection result.
[0002]
[Prior art]
The present applicant, for example, inspects the appearance of a minute object such as a capacitor chip and separates it into a non-defective product and a defective product. The following applications have been filed in the past in place of the technique.
[0003]
A micro object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-213992 has a rotating disk that is vertically provided with a plurality of pockets for storing a micro object at a peripheral end surface formed at an equal angle, and the rotating disk. A small object carrying feeder provided opposite to the opening of one of the plurality of pockets at a predetermined interval, a camera for imaging the minute object, and a non-defective storage unit for storing the non-defective minute object; And a defective product storage section for storing defective defective micro objects.
[0004]
The micro object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-165623 is a single rotation in which a plurality of pockets are formed at equal angles on the peripheral edge of one surface of the micro object inspection device that is inclined with respect to the installation surface. A disk, a fixed disk provided on the other surface of the rotating disk, and an upright arrangement with a tip inclined downward with respect to the installation surface, and a predetermined interval from an opening of one of the plurality of pockets of the rotating disk A small object transport feeder, a camera for imaging the minute object, a non-defective product storage unit for storing the non-defective micro object, and a defective product storage unit for storing the defective micro object. I have.
[0005]
The minute object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-113427 is vertically arranged, and first and second rotating disks having a plurality of pockets formed at equal angles on the peripheral edge of one surface thereof, The first and second fixed disks provided on the other surface of each of the first and second rotating disks, and the first provided with the opening of one of the plurality of pockets of the first rotating disk being in proximity to each other. A transport feeder, a second transport feeder provided from the other surface of the first rotating disk to one surface of the second rotating disk, a camera that captures an image of a minute object, and a non-defective storage unit that stores a non-defective minute object. And a defective product storage section for storing defective defective micro objects.
[0006]
A micro object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-326059 has a rotary disk in which a pocket for storing a micro object is formed at a peripheral end surface at a plurality of equal angles, and is vertically erected, A fixed disk provided on the other surface, a small object transport feeder provided close to the opening of one of the plurality of pockets of the rotating disk, a camera for imaging the minute object, and a non-defective minute object stored. A non-defective product storage unit, and a defective product storage unit for storing defective micro objects.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The micro object inspection apparatus proposed above by the applicant of the present invention does not interfere with actual use, and is effective if the dimensions of the micro object remain the same, but the size of the micro object will be further reduced in the future. When trying to process at high speed, the following problems may occur.
[0008]
In other words, all of the micro object inspection devices proposed so far were designed to send micro objects to a rotating disk in a single row, but there was a limit to the single row method if further improvement in processing efficiency was attempted. .
[0009]
Therefore, it is only necessary to send minute objects to the rotating disk in a double row. In this case, the following problem occurs. For example, in the micro object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2000-213992 and 2001-165623, a minute object is levitated and transferred to the pocket of the rotating disk.
[0010]
Therefore, when a small object is levitated in a double row and sent to the rotating disk, the minute object often collides or is not correctly stored in the pocket of the rotating disk, and as a result, the correct surface is imaged by the camera. The problem of not being able to occur.
[0011]
In addition, the micro object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-113427 uses two rotating disks that are vertically arranged with respect to the installation surface. In this case, if the three surfaces excluding the adjacent surfaces of the minute objects conveyed in a double row up to the first rotating disk are imaged, the first conveying feeder in the second conveying feeder to the second rotating disk. The surface that could not be imaged can be imaged.
[0012]
However, since the distance between the first rotating disk and the second rotating disk is very short, it is difficult to arrange the camera and the lighting device. Further, in order to install a large number of cameras and illumination devices, increasing the distance between the first rotating disk and the second rotating disk improves the overall processing efficiency by forming a double row, but the minute object 1 Processing time per unit takes time, and the improvement effect of the processing efficiency is not seen so much.
[0013]
Further, the micro object inspection apparatus proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-326059 uses a single rotating disk that is erected vertically with respect to the installation surface, and on the transport feeder in the pocket of one rotating disk. The remaining side surface that has not been imaged is imaged.
[0014]
However, when sending minute objects in a double row, the interval between the pockets is naturally shortened by storing the minute objects sent in a double row in the pocket of one rotating disk. The devices need to be provided close to each other on a limited peripheral surface, and it is difficult to arrange many cameras and illumination devices on one rotating disk.
[0015]
The present invention provides a micro object inspection apparatus that can eliminate problems predicted in the future in the proposal proposed by the applicant in advance and can quickly and efficiently separate non-defective products from defective products with a simple structure. The purpose is to do.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, in the micro object inspection device of the present invention, a plurality of storage portions are formed on the peripheral surface at predetermined intervals, are arranged upright with respect to the installation surface, and rotate while temporarily stopping. A rotating disk, a first suction section for sucking a minute object into the storage section of the first rotating disk, a transport feeder for conveying the minute objects to the first rotating disk in a plurality of rows, and a lower end of the first rotating disk position And a placement table on which a plurality of minute objects from the storage unit are temporarily arranged, and the installation surface at the same height as the top surface of the placement table. A second rotating disk that is horizontally disposed and rotates while being paused; A delivery mechanism for simultaneously delivering a plurality of minute objects from the arrangement table to the second rotating disk; A second suction unit that positions a minute object by sucking air through a suction hole formed on the surface of the second rotating disk, and a predetermined position from the conveying feeder to the mid-rotation position of the second rotating disk. A plurality of cameras and a lighting device.
[0017]
By doing in this way, when the conveyance speed of the minute object by the conveyance feeder, the rotation speed of the rotating disk, and the inspection speed are the same as before, the appearance inspection can be performed on the minute object that is twice as much as before. In addition, by adopting the horizontally arranged second rotating disk, the arrangement space can be made compact, and the cameras and lighting devices required for visual inspection can be efficiently arranged while sending a plurality of rows of minute objects at once. In addition, it is possible to inspect a minute object with a good posture and in a stable state.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention is a micro object 6 sides Is a micro object inspection device that inspects the appearance and sorts it into non-defective products and defective products. A plurality of micro object storage units are formed at predetermined intervals on the peripheral surface, and are placed upright on the installation surface and temporarily stopped. The first rotating disk that rotates while rotating and a first object that causes a minute object to be positioned in the storage unit by performing suction through a pipe connected to the storage unit from the center of the first rotary disk. At the position of the suction part, the conveyance feeder that is provided close to the storage part on one surface side of the first rotating disk, and conveys minute objects in a plurality of rows, and the lower end of the peripheral surface of the first rotating disk An arrangement table for temporarily arranging a plurality of minute objects from the storage unit, and at the same height as the upper surface of the arrangement table A second rotating disk which is disposed horizontally with respect to the installation surface and rotates while being temporarily stopped; A delivery mechanism for simultaneously delivering a plurality of minute objects from the arrangement table to the second rotating disk; A second suction part for positioning a minute object by sucking air through a suction hole formed on the surface of the second rotating disk, and provided at a predetermined position from the transport feeder to the mid-rotation position of the second rotating disk. A plurality of cameras and a lighting device.
[0019]
According to the above, the minute object is transported to the first rotating disk by the transport feeder in which the transport path is double-rowed, for example, divided into two. At this time, in the transport feeder, for example, a camera is provided at a total of four locations, i.e., the positions on both sides of the transport feeder and the positions above each of the transport paths divided into two. Image the surface.
[0020]
After being imaged by the camera, the minute object is transported from the transport feeder to the first rotating disk. The first rotating disk is circular and is erected in a state where it rotates in a certain direction while repeating a temporary stop, and its rotation axis is parallel to the installation surface.
[0021]
In addition, the first rotary disk has a plurality of first storage portions that are notched in the circumferential surface. For example, the bottom surfaces of the two storage portions that are positioned at the upper ends of the first rotation disk with respect to the transport surface of the transport feeder are temporarily stopped. It arrange | positions so that it may be in a substantially continuous state at the same height.
[0022]
The minute object transported to the tip of the transport feeder is sucked by the first suction portion into the storage portion of the first rotating disk. For example, the minute object is stored with the upper surface of the imaged image as the outer peripheral surface of the first rotating disk. For example, two cameras are provided on the front and back surfaces of the first rotating disk, and two images of the rotating minute object are imaged on the front and rear surfaces with respect to the side surface. Note that a total of four cameras for imaging the front and rear surfaces of a minute object may be provided, two for each minute object.
[0023]
Thereafter, when the first rotating disk is rotated by 180 °, the surface of the minute object that is the upper surface faces toward the installation surface, that is, the lower surface. When the first rotating disk rotates 180 °, suction by the first suction part of the two storage parts rotated to this position is stopped, and the minute object is dropped onto the second rotating disk. The second rotating disk is arranged so that the rotation axis thereof is orthogonal to the first rotating disk and the surface is parallel to the installation surface.
[0024]
The second rotating disk rotates in one direction while being temporarily stopped in synchronization with the rotation of the first rotating disk. In addition, the second rotating disk normally sucks a minute object by the second suction part through a plurality of suction holes formed on the surface, for example. The intake holes are arranged parallel to the rotation axis of the second rotary disk and at a predetermined interval (equal angle) at the inner peripheral position, and a minute object is positioned on the upper surface of the intake hole. That is, the minute object is placed on the upper surface of the second rotating disk without any guide, and is positioned on the intake hole by the intake of the second suction part.
[0025]
Now, the minute object released from the suction in the storage unit located at the lower end of the first rotating disk is sucked by the second sucking part, and the surface that is the upper surface when moving from the transport feeder to the first rotating disk is formed. It moves onto the suction hole of the second rotating disk in a posture that is the lower surface.
[0026]
Thereafter, the minute object that has moved onto the second rotating disk has an upper surface (the surface that was the outer peripheral surface during the rotation of the first rotating disk) and 1 The side surfaces (the surfaces on which the minute objects are adjacent to each other on the transport feeder) are sequentially imaged.
[0027]
Then, after the imaging of the above six surfaces is completed, a non-defective product or a defective product is determined for each minute object. The identified minute object is a non-defective product provided in the outer peripheral position of the second rotating disk, and a defective product is further provided in the outer peripheral position of the second rotating disk. The product is sorted into a defective product storage section provided at the rotational downstream position.
[0028]
The separation of the minute object is performed by a separation mechanism provided at the center position of the second rotating disk. The sorting mechanism is in a fixed state without being synchronized with the rotation of the second rotating disk, and pushes out a minute object sent along with the rotation of the second rotating disk from the inner periphery side to the outer periphery.
[0029]
The separation mechanism is configured to suck the intake air from the second suction unit connected to the intake hole where the non-defective product or the defective micro-object is placed when the micro object rotates to the position where the non-defective product storage unit and the defective product storage unit are provided. It may be stopped and a minute object may be sucked from the good product storage unit and the defective product storage unit. Further, the separation mechanism may be configured such that the separation mechanism pushes out the minute object to the outer peripheral side against the suction force while the intake air of the second suction part remains unchanged.
[0030]
As described above, when the minute objects are sent to the first rotating disk in a double row by the conveying feeder, the conveying speed of the minute objects, the rotating speed of the first and second rotating disks, and the inspection speed are doubled as usual. The appearance inspection can be performed on the minute objects, and by increasing these speeds, it is possible to perform the appearance inspection of a large number of minute objects per unit time.
[0031]
In addition, by adopting the horizontally arranged second rotating disk, it is possible to stabilize the posture of the minute object and to efficiently arrange the camera and the illumination device necessary for the appearance inspection. A highly accurate appearance inspection can be performed while an object is being sent.
[0032]
Furthermore, in addition to the above-described configuration, the micro object inspection device of the present invention is provided with a lid mechanism that closes the storage portion of the first rotating disk and forms a cylinder so as to advance and retreat with respect to the outer periphery of the first rotating disk. It is.
[0033]
The minute object is pushed out by the succeeding minute objects sequentially sent from the transport feeder and moves to the storage portion of the first rotary disk. At this time, there is a possibility that the minute object moves to the storage portion of the first rotation disk in an inappropriate posture. is there. In that case, it moves to the second rotating disk as it is, and is further imaged by the camera in an inappropriate posture during the rotation of the second rotating disk. As a result, the inspection accuracy may be lowered.
[0034]
Further, when the first rotary disk is stored in an inappropriate posture in the first rotary disk, the first rotary disk may fall out of the storage section without being attracted by the first rotary disk, or may be caused by centrifugal force. There is also a possibility of jumping out of the storage unit.
[0035]
Therefore, by providing a lid mechanism that has a cylindrical storage portion facing the front end of the transport feeder in the first rotating disk, the minute object sucked into the storage portion is continuous with the bottom surface and the bottom surface of the storage mechanism. It is guided to the both side walls to be sucked into the storage portion in an appropriate state. Therefore, even if an attempt is made to move from the transport feeder to the first rotating disk storage unit in an inappropriate posture, a minute object can be correctly stored in the first rotating disk storage unit by the lid mechanism. Inspection accuracy can be further improved.
[0036]
In addition to the above-described configuration, the minute object inspection apparatus of the present invention is provided with posture detecting means for detecting whether or not the minute object is stored in the storage unit in the correct posture at the circumferential surface position of the first rotating disk. It is a thing.
[0037]
In this way, it is possible to re-submit the fine objects that could not be correctly inspected for visual inspection without making them defective, and classify non-defective micro objects that could not be inspected due to poor posture as defective. Therefore, it is possible to correctly classify only minute objects determined by appearance inspection into good products and defective products.
[0038]
In addition to the above-described configuration, the micro object inspection apparatus of the present invention forms a hole in the transport surface of the micro object in the transport feeder and communicates with the hole below the transport surface of the transport feeder to intermittently micro A suction mechanism for sucking an object is provided.
[0039]
In the above, intermittently sucking a minute object means sucking while the first rotating disk is rotating, and releasing the suction just before the first rotating disk is temporarily stopped.
[0040]
That is, by stopping the suction immediately before the first rotating disk is temporarily stopped, the minute object at the tip of the conveyance feeder is allowed to move by the subsequent minute object on the conveyance feeder. When the first rotating disk is temporarily stopped, the minute object moves from the transport feeder to the storage section of the first rotating disk. When the first rotating disk rotates again, the suction mechanism sucks again.
[0041]
In this way, only the minute object at the tip of the transport feeder can be separated from the following and sent to the first rotating disk, and one minute object can be reliably received in one of the storage parts of the first rotating disk. Can be sent to.
[0042]
【Example】
Embodiments of a minute object inspection apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows the overall configuration of a minute object inspection apparatus according to the present invention. 2 and 3 show the suction mechanism. FIG. 4 shows the first rotating disk. FIG. 5 shows the lid mechanism. FIG. 6 shows the posture detection means. FIG. 7 shows an arrangement table and a delivery mechanism. FIG. 8 shows the second rotating disk. FIG. 9 shows a camera arrangement state. In the figure, a minute object, a configuration, and the like are enlarged and exaggerated.
[0043]
In the figure, 1 is a micro object inspection apparatus that inspects the appearance and dimensions of a micro object W (hereinafter referred to as a work W) such as a capacitor chip, and classifies it into a non-defective product and a defective product based on the inspection result. It is configured as follows.
[0044]
Reference numeral 2 denotes a transport feeder that uses, for example, high-frequency vibration as a thrust, and the transport feeder 2 has a tip portion slightly inclined downward with respect to the arrangement surface. By doing this, the conveyance efficiency by the conveyance feeder 2 is improved. Further, the transport feeder 2 is formed with a plurality of, for example, two, transport paths for feeding the workpieces W. Moreover, the conveyance feeder 2 arranges and conveys the workpiece | work W, giving a high frequency vibration to a conveyance path. Therefore, the front end portion of the transport feeder 2 is in a non-vibrating state so that the posture of the workpiece W does not collapse.
[0045]
Further, the transport feeder 2 has a hole 2a formed on the transport surface for each transport path at the front end, and the bottom surface of the front end of the transport feeder 2 faces the hole 2a as shown in FIGS. Such a suction mechanism 2A is provided.
[0046]
In the suction mechanism 2A, the rotating drum 2b that rotates in the transport direction of the workpiece W in the transport feeder 2 is rotated by the rotating device 2c, and the inside of the rotating drum 2b is sucked in vacuum by the intake device 2d.
[0047]
An air intake hole 2e is formed on the peripheral surface of the rotary drum 2b so as to face each other, and air is sucked from the air intake hole 2e as the suction in the rotary drum 2b occurs. Therefore, in the suction mechanism 2A, the intake hole 2e and the hole 2a are communicated with the rotation of the rotary drum 2b.
[0048]
When the suction hole 2e and the hole 2a communicate with each other, the workpiece W is sucked at the front end portion of the transport feeder 2 and temporarily stops as shown in FIG. Thereafter, the rotation of the rotary drum 2b causes the suction hole 2e to move in the conveyance direction of the workpiece W, whereby the workpiece W is sucked by the suction hole 2e, and only one is separated from the subsequent workpiece W. Move to disk 3.
[0049]
As shown in FIG. 4, reference numeral 3 denotes a first rotating disk that is positioned upright at the front end of the transport feeder 2, is erected vertically with respect to the arrangement surface, and is rotatable while being temporarily stopped. . The first rotating disk 3 is formed with a plurality of storage portions 3a in which the peripheral surface is notched.
[0050]
The storage portion 3a has a depth such that the workpiece W protrudes slightly. By doing in this way, the workpiece | work W can fully be illuminated with the illuminating device mentioned later, and it becomes easy to image. Further, holes 3b are respectively formed in the center portions of the bottom surfaces of the storage portions 3a, and one ends of pipes 3c respectively connected from the center of the first rotating disk 3 are connected to the holes 3b.
[0051]
Each of the pipes 3c is provided with a valve 3d, and the valve 3d is controlled to be opened and closed for each storage unit 3a by a control unit (not shown). The other end of the tube 3c is connected to the first suction part 3A. The storage portion 3a is always in the suction state by the first suction portion 3A, but the suction is released when the valve 3d is in a closed state, that is, when it is positioned at the lower end of the first rotating disk 3 described later.
[0052]
4, in order to adjust and stabilize the posture of the workpiece W to be moved from the transport feeder 2, the upper open surface of the storage portion 3 a of the first rotary disk 3 is closed when the work W stops at a position facing the transport feeder 2. This is a lid mechanism that retracts from the outer periphery of the first rotating disk 3 when the first rotating disk 3 starts rotating again.
[0053]
The lid mechanism 4 has, for example, a U-shaped cross section having both side walls parallel to the conveying direction of the workpiece W by the conveying feeder 2, and the both side walls having the U-shaped cross section are perpendicular to the outer periphery of the first rotating disk 3. Abut.
[0054]
Therefore, a cylinder is formed by the both side walls of the lid mechanism 4, the bottom surface continuous with the both side walls, the bottom surface and both side walls of the storage portion 3a, and the workpiece W is guided by the cylinder and stored in the storage portion 3a. Moreover, the suction | attraction force by 3 A of 1st suction | inhalation parts will improve because the accommodating part 3a becomes a cylinder shape with the cover mechanism 4. FIG.
[0055]
Reference numeral 5 denotes a sensor serving as a posture detection unit that detects whether or not the workpiece W moved from the transport feeder 2 into the storage portion 3a of the first rotary disk 3 is stored in a correct posture. The sensor 5 is provided at a rotational downstream position immediately after moving from the transport feeder 2 to the first rotary disk 3, for example.
[0056]
The sensor 5 includes, for example, an infrared light emitting unit 5a and a light receiving unit 5b. These emit and receive infrared rays at a position where the workpiece W stored in the storage portion 3a is slightly separated in the outer circumferential direction from the position where the workpiece W protrudes from the storage portion 3a.
[0057]
Therefore, as shown in FIGS. 6A and 6B, when the workpiece W is correctly stored in the storage portion 3a, the infrared light emitted from the light emitting portion 5a can be received by the light receiving portion 5b, so that no error occurs. On the other hand, as shown in FIGS. 6C and 6D, when the workpiece W is not correctly stored, an error occurs because the infrared light emitted from the light emitting portion 5a is blocked by the workpiece W and cannot be received by the light receiving portion 5b. . The workpiece W in which an error has occurred is stored in the re-examination storage unit 8a described later.
[0058]
Further, when the re-inspection storage unit 8a is not provided, when an error is detected by the sensor 5, the suction nozzle provided at the outer peripheral position of the first rotary disk 3 is forced from the storage unit 3a of the first rotary disk 3. You may make it discharge | emit to.
[0059]
As shown in FIG. 7, reference numeral 6 denotes an arrangement table provided at the lower end position of the first rotary disk 3 and orthogonal to the surface of the first rotary disk 3. The placement table 6 is provided at a position corresponding to the storage portion 3a when the first rotary disk 3 is temporarily stopped, and temporarily places the workpiece W dropped from the storage portion 3a.
[0060]
The arrangement table 6 has holes 6a penetrating the front and back surfaces at positions corresponding to the two storage portions 3a. A suction mechanism 6A is connected to the hole 6a, and the suction mechanism 6A always places the work W dropped from the storage portion 3a on the arrangement table 6 without causing it to bounce.
[0061]
Further, in the direction opposite to the direction in which the later-described second rotary disk 7 is positioned on the arrangement table 6, a delivery mechanism 6 B for sending the workpiece W on the arrangement table 6 to the second rotation disk 7 is provided. . The delivery mechanism 6B sends out the workpiece W sucked by the suction mechanism 6A on the arrangement table 6 with the rod protruding to the second rotating disk 7 against this suction force.
[0062]
For example, the workpiece W discharged from the storage unit 3 a rotated to the lower end position of the first rotary disk 3 may be placed on the second rotary disk 7 as it is, but in the storage unit 3 a of the first rotary disk 3. Depending on the storage status, there are cases where the second rotating disk 7 is not correctly placed. If the work W is not correctly arranged on the second rotating disk 7, the work W cannot be imaged correctly while the second rotating disk 7 is rotating.
[0063]
Therefore, with the above-described configuration, even if a minute object is not ejected from the first rotating disk 3 in the correct posture and is placed on the arrangement table 6, it is adjusted to the correct posture by the sending mechanism 6 B for the second rotation. Since it can be sent to the disk 7, the workpiece W can be correctly imaged while the second rotating disk 7 is rotating, and the inspection accuracy is improved.
[0064]
As shown in FIG. 7, in this embodiment, 7 is close to the upper surface of the arrangement table 6 at the same height and is orthogonal to the surface of the first rotating disk 3 (that is, the installation surface). A second rotating disk provided in parallel. The second rotating disk rotates while being paused in synchronization with the rotation of the first rotating disk.
[0065]
The second rotating disk 7 has a plurality of intake holes 7a formed at equal intervals (equal angles) on the upper surface thereof, and pipes 7b respectively led from the center of the second rotating disk 7 to the intake holes 7a. One end of each is connected. The other end of the tube 7b is connected to the second suction part 7A. The storage part 3a is always in the suction state by the second suction part 7A.
[0066]
As shown in FIG. 1, 8 is a separation mechanism that is positioned above the surface of the second rotary disk 7 and is fixedly arranged without rotating with the rotation of the second rotary disk 7. The sorting mechanism 8 is configured to re-inspect the work W, which will be described later, based on the control of a control unit (not shown) with respect to the work W whose appearance inspection has been completed by the rotation of the second rotary disk 7, respectively. The product is sorted into a defective product storage unit 8c and a forced discharge storage unit 8d.
[0067]
The separation mechanism 8 resists the suction force of the second suction part 7A on the second rotary disk 7 by projecting the rod from the center position of the second rotary disk 7 toward the outer periphery. And pushed out from the second rotating disk 7.
[0068]
Reference numerals 9A to 9J denote cameras that take an image for inspecting the appearance of the workpiece W, and in this embodiment, those integrated with an illumination device (no reference number) are adopted. The cameras 9A to 9J employed in the present embodiment are disposed, for example, at the positions shown in FIG.
[0069]
FIG. 9A shows the arrangement status of the cameras 9A to 9D. The cameras 9 A and 9 B are provided above the front end portion of the transport feeder 2 to image the upper surface of the workpiece W. The camera 9 C is provided on the side of one of the two transport paths of the transport feeder 2 and images one side of the workpiece W. The camera 9 D is provided on the side of the other row of the two rows of conveyance paths of the conveyance feeder 2 and images one side of the workpiece W.
[0070]
FIG. 9B shows the arrangement status of the cameras 9E and 9F. The camera 9E is provided on the conveyance direction side of the workpiece W by the conveyance feeder 2 in the first rotating disk 3, and images the front surface of the workpiece W. The camera 9F is provided on the opposite side of the first rotating disk 3 from the conveyance direction of the workpiece W by the conveyance feeder 2 and images the rear surface of the workpiece W.
[0071]
FIG. 9C shows the arrangement status of the cameras 9G to 9J. The cameras 9G and 9H are provided above the second rotary disk 7 and capture an image of the surface of the workpiece W that faces the surface captured by the cameras 9A and 9B. The camera 9I is provided at the outer peripheral position of the second rotating disk 7 and images a surface of the workpiece W that faces the surface imaged by the camera 9C. The camera 9J is provided at the outer peripheral position of the second rotating disk 7, and images a surface of the workpiece W that faces the surface imaged by the camera 9D.
[0072]
The minute object inspection apparatus 1 configured as described above operates as follows. The workpiece W is divided into two conveyance paths in the conveyance feeder 2 on the upstream side of the conveyance feeder 2, and is conveyed to the tip portion by high-frequency vibration. When the workpiece W is transported to the tip of the transport feeder 2, it is sucked by the suction mechanism 2A and temporarily stopped. At this time, the upper surfaces and one side surfaces of the two rows of workpieces W are imaged by the cameras 9A and 9B and the cameras 9C and 9D.
[0073]
Then, the workpiece W moves to the first rotating disk 3 side while being sucked by the suction mechanism 2A at a speed faster than the conveyance speed of the subsequent workpiece W along with the continuous rotation of the rotary drum 2b in the suction mechanism 2A. Accordingly, the workpiece W is separated from the subsequent workpiece W and moves to the first rotating disk 3.
[0074]
At this time, the first rotating disk 3 is temporarily stopped at a position where the bottom surfaces of the two storage units 3a and the two rows of transfer surfaces of the transfer feeder 2 are at the same height, and the workpiece W moves to the storage unit 3a. . The first rotating disk 3 is brought into a suction state by the first suction part 3A except when the lower end position is rotated.
[0075]
On the first rotating disk 3 side, the lid mechanism 4 operates for the two storage portions 3a located at the upper ends to make the storage portion 3a cylindrical. The workpiece W is sucked and stored in the storage portion 3a of the first rotary disk 3 while being guided from the transport feeder 2 into the cylinder formed by the storage portion 3a and the lid mechanism 4. Immediately thereafter, the first rotating disk 3 starts to rotate again.
[0076]
Here, the work W, which is not guided in the cylindrical shape formed by the lid mechanism 4 and the storage portion 3a and cannot be stored in the storage portion 3a, rotates at least the transport feeder 2 and the first rotary disk 3. It stops and is discharged by a forced discharge nozzle (not shown).
[0077]
After passing through the position of the lid mechanism 4, the sensor 5 inspects whether or not the two workpieces W are correctly stored in the storage portion 3a during the next rotation and temporary stop of the first rotary disk 3. The In this embodiment, when the workpiece W protrudes greatly from the storage portion 3a and the posture is not correct, the workpiece W is detected by the sensor 5 and separated into the re-inspection storage portion 8a, which is used for the second inspection. Is done.
[0078]
When the first rotating disk 3 that has passed through the position where the lid mechanism 4 and the sensor 5 are provided rotates to the position where the cameras 9E and 9F are provided, the front and rear surfaces of the workpiece W are imaged by the cameras 9E and 9F. Thereafter, when the first rotating disk 3 rotates to the lower end position, the first rotating disk 3 stops suction by closing the valves 3d corresponding to the two storage portions 3a. As a result, the two workpieces W fall on the placement table 6 at the same time.
[0079]
Then, the two workpieces W that have fallen on the arrangement table 6 come into contact with the upper surface of the arrangement table 6 and at the same time are sucked by the suction mechanism 6A and remain stationary without being bounced. Immediately after this, the sending mechanism 6B sends two workpieces W positioned on the arrangement table 6 toward the second rotating disk 7 simultaneously.
[0080]
At this time, the second rotating disk 7 is temporarily stopped, and the two workpieces W sent out from the arrangement table 6 simultaneously move to the second rotating disk 7. Since the second rotating disk 7 is always in the intake state from the intake hole 7a, when the two workpieces W sent out from the arrangement table 6 reach the position of the intake hole 7a in the second rotating disk 7, it is more than that. Is in a stable posture without moving on the second rotating disk 7.
[0081]
Then, the two workpieces W moved to the second rotating disk 7 are immediately imaged by the cameras 9G and 9H. Note that the upper surface on the second rotating disk 7 is the surface that is the lower surface in the transport path of the transport feeder 3.
[0082]
Thereafter, when the second rotating disk 7 starts to rotate again and is temporarily stopped again, the other side surface of the workpiece W not imaged on the transport feeder 3 is imaged by the cameras 9I and 9J. Here, the workpiece W imaged by the camera 9I is the workpiece W imaged by the camera 9C, and the workpiece W imaged by the camera 9J is the workpiece W imaged by the camera 9G.
[0083]
In this way, the imaging of the six surfaces of the two workpieces W is completed, and while the second rotating disk 7 is rotating, each workpiece W is determined by an image processing unit and a control unit (not shown). .
[0084]
When the second rotating disk 7 is rotated to a predetermined position, first, when the work W is not correctly aligned with the image data of the six surfaces necessary for the appearance inspection for the following reasons, for example, the re-inspection storage unit The sorting mechanism 8 corresponding to 8a is operated to send the workpiece W to the reinspection storage unit 8a. This is because, for example, the lid mechanism 4 cannot be operated correctly, a posture failure is detected by the sensor 5, the posture of the workpiece W becomes defective while moving, or the cameras 9A to 9J and the lighting device are broken or troubled. Etc.
[0085]
Further, when the work W has the correct image data for the six surfaces necessary for the appearance inspection and there is no abnormality in the appearance, the sorting mechanism 8 corresponding to the non-defective storage portion 8b is activated to transfer the work W to the non-defective storage portion. Send to 8b. Further, when the image data of the six surfaces necessary for the appearance inspection of the workpiece W is correctly aligned and there is an abnormality in the appearance of even one surface, the sorting mechanism 8 corresponding to the defective product storage portion 8c is activated. The workpiece W is sent out to the non-defective product storage portion 8c.
[0086]
In addition, the image data of the six surfaces necessary for the appearance inspection is correctly prepared due to some failure of the workpiece W, but the judgment of the appearance inspection is not made or the judgment of the appearance inspection is made, but the re-inspection storage unit 8a, the non-defective product If it is not sorted into either the storage unit 8b or the defective product storage unit 8c, the separation mechanism 8 corresponding to the forced discharge storage unit 8d operates to send the workpiece W to the non-defective product storage unit 8d.
[0087]
Accordingly, the separation mechanism 8 corresponding to the forced discharge storage portion 8d is always operated in synchronization with the rotation of the second rotary disk 7, or a sensor is provided, and this sensor stores the defective product storage portion 8c. It is made to operate when it is detected that no workpiece W has been sent.
[0088]
As described above, since the minute object inspection apparatus 1 simultaneously inspects the appearance of multiple rows, for example, two rows of works W at a time, the number of processes per unit time is more than double the conventional one.
[0089]
Further, even if the workpiece W is further miniaturized in the future or the workpiece W is fed at a higher speed, for example, the suction mechanism 2A and the first mechanism 1A from the transport feeder 2 to the storage portion 3a of the first rotating disk 3 are used. Since the suction unit 3A, for example, the suction mechanism 6A in the arrangement table 6, for example, the second suction unit 7A on the second rotating disk 7, the workpiece W can be stably and correctly held and the state can be firmly held. The inspection accuracy will be improved more than ever.
[0090]
Furthermore, the minute object inspection apparatus 1 employs the second rotating disk 7 so that the first rotating disk 3 and the second rotating disk 7 do not interfere with each other, and the cameras 9A to 9J and other mechanisms and devices are free. Can be arranged.
[0091]
In addition, this invention is not limited to the said Example, Other deformation | transformation is possible. For example, although the example which provided the arrangement | positioning stand 6 and the sending mechanism 6 in the said Example was shown, you may abbreviate | omit these. In that case, the intake hole 7a of the second rotary disk 7 is positioned directly below the storage portion 3a located at the lower end of the first rotary disk 3. In this way, the entire appearance inspection apparatus 1 can be further compacted.
[0092]
In the above embodiment, an example in which one second rotating disk 7 is horizontally arranged at the lower end position of the first rotating disk 3 is shown. However, for example, two storage units temporarily stopped at the lower end position of the first rotating disk 3. The two second rotating disks 7 facing 3a and 3a may be provided at the same height. By doing so, although the downsizing of the apparatus configuration is impaired, the appearance inspection of the workpiece W can be performed more efficiently than the above.
[0093]
Moreover, in the said Example, although the workpiece | work W sent out from the conveyance feeder 2 was not mentioned, if the workpiece | work W of 2 types of magnitude | sizes is sent out on a separate conveyance path | route, for example, the workpiece | work W of a different dimension will be shown. At the same time, visual inspection can be performed. Furthermore, in this case, if the dimensions of the storage portions 3a of the first rotating disk 3 are changed alternately, the appearance inspection can be performed with a stable posture.
[0094]
In the above-described embodiment, an example in which the suction mechanism 2A is provided on the lower surface of the transport feeder 2 is shown. However, when this is not adopted, the workpiece W at the leading end is pushed out by the subsequent work W on the transport feeder 2. The workpiece W at the front end is sent to the storage portion 3a of the first rotating disk 3. At this time, the workpiece W is conveyed immediately before the workpiece W at the front end moves (just before the rotation of the first rotating disk 3 is temporarily stopped). What is necessary is just to suspend the high frequency vibration in the feeder 2 temporarily.
[0095]
Furthermore, in the said Example, although it did not mention about the upper surface of the arrangement | positioning stand 6, you may make it the material which absorbs an impact, for example, or may affix the sheet | seat of such a material on the surface. In addition, it is possible to suppress damage due to a drop impact on the placement table 6 of the workpiece W. If the arrangement table 6 is not employed, the upper surface of the second rotating disk 7 may be made of a material that absorbs impact, or such material may be attached to the surface.
[0096]
【The invention's effect】
As described above, in the micro object inspection device of the present invention, a plurality of storage units are formed on the peripheral surface at predetermined intervals, and the first rotating disk that is erected with respect to the installation surface and rotates while temporarily stopping is stored. A first suction unit that sucks and sucks micro objects corresponding to each of the units, a transport feeder that is provided on one surface side of the first rotating disk adjacent to the storage unit and transports the micro objects in a plurality of rows, Lower end position of the first rotating disk In the arrangement table for temporarily arranging a plurality of minute objects from the storage unit, with respect to the installation surface at the same height as the upper surface of the arrangement table A second rotating disk that is horizontally disposed and rotates while being paused; A delivery mechanism for simultaneously delivering a plurality of minute objects from the arrangement table to the second rotating disk; A plurality of second suction units that perform suction through a suction hole formed on the surface of the second rotating disk and position a minute object; and a plurality of positions provided at predetermined positions from the transport feeder to the mid-rotation position of the second rotating disk. Cameras and lighting equipment Place Since the conveyance speed of the minute object, the rotation speed of the first and second rotating disks, and the inspection speed are the same as before, the appearance inspection can be performed on the minute object doubled per unit time. By increasing the speed, it is possible to inspect a larger amount of minute objects.
[0097]
In addition, by adopting the horizontally arranged second rotating disk, it is possible to stabilize the posture of a minute object, and to efficiently arrange a camera and a lighting device necessary for appearance inspection, and therefore, at a high speed and a plurality of them. High-precision appearance inspection can be performed while feeding a minute object.
[0098]
Further, in addition to the above-described configuration, the minute object inspection apparatus of the present invention is provided with a lid mechanism for sucking while guiding the minute object with the accommodating portion of the first rotating disk being cylindrical. Even if an attempt is made to move to the first rotating disk storage unit from an inappropriate position, the lid mechanism can correctly store the minute object in the first rotating disk storage unit, and further increase the inspection accuracy. Can be improved.
[0099]
Further, in addition to the above configuration, the micro object inspection apparatus of the present invention is provided with posture detection means for detecting whether or not the micro object is stored in the storage unit in the correct posture. It is possible to use the minute object again for appearance inspection without making it a defective product, and it is possible to prevent the separation of non-defective minute objects that could not be visually inspected due to poor posture as defective products. Can be correctly sorted into good and defective products.
[0100]
In addition to the above-described configuration, the minute object inspection apparatus of the present invention forms a hole on the conveyance surface of the minute object in the conveyance feeder, and intermittently forms the minute object below the conveyance surface of the conveyance feeder via the hole. Is provided, so that only a minute object at the tip of the transport feeder can be separated from the following and sent to the first rotating disk, and one minute is stored in one of the storage parts of the first rotating disk. The object can be sent reliably.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 schematically shows an entire micro object inspection apparatus according to the present invention, where (a) is a view seen from a side surface direction, and (b) is a view seen from above.
FIGS. 2A and 2B show a suction mechanism in a minute object inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2A is a diagram for showing an arrangement position, and FIG. 2B is a diagram showing a configuration of the suction mechanism.
FIGS. 3A and 3B show a suction mechanism in the minute object inspection apparatus of the present invention, wherein FIG. 3A shows a state when sucking, and FIG. 3B shows a state when moving a minute object to the first rotating disk.
FIGS. 4A and 4B show a first rotating disk in the minute object inspection apparatus of the present invention, where FIG. 4A is a view seen from the front direction, and FIG.
FIGS. 5A and 5B show a lid mechanism in the micro object inspection apparatus of the present invention, wherein FIG. 5A shows an operating state and FIG. 5B shows a non-operating state.
6A and 6B show a sensor as posture detection means in the minute object inspection apparatus of the present invention, in which FIG. 6A is a diagram viewed from the side when the minute object is in the correct posture, and FIG. 6B is a rear direction of FIG. (C) is a diagram viewed from the side surface direction when the minute object is in an inappropriate posture, and (d) is a diagram viewed from the back direction of (c).
7A and 7B show an arrangement table and a delivery mechanism in the minute object inspection apparatus of the present invention, wherein FIG. 7A is a diagram showing before the delivery mechanism is activated, and FIG. 7B is a diagram showing when the delivery mechanism is activated.
8A and 8B show a second rotating disk in the micro object inspection device of the present invention, where FIG. 8A is a view seen from above, and FIG. 8B is a perspective view.
9A and 9B show a state where the camera and the illumination device are arranged on the tip of the transport feeder, FIG. 9B is the first rotating disk, and FIG. 9C is the second rotating disk. FIG.
[Explanation of symbols]
1 Micro object inspection device
2 Transport feeder
2A suction mechanism
3 First rotating disc
3a storage section
3b hole
3A 1st suction part
4 Lid mechanism
5 Sensor (Attitude detection means)
6 Placement stand
6A Suction mechanism
6B delivery mechanism
7 Second rotating disk
7a Suction mechanism
7A 2nd suction part
8 Sorting mechanism
9A-9J (equipped with lighting device) camera
W Work

Claims

A micro object inspection device that inspects six surfaces of a micro object and classifies them into non-defective products and defective products. A plurality of micro object storage units are formed on the circumferential surface at predetermined intervals, and are arranged upright on the installation surface. And a first rotating disk that rotates while being paused and a pipe connected from the central part of the first rotating disk corresponding to each of the storage parts to suck a minute object into the storage part A first suction section positioned on the first rotation disk, a conveyance feeder that is provided close to the storage section on one side of the first rotating disk, and conveys minute objects in a plurality of rows, and a peripheral surface of the first rotating disk A placement table for temporarily arranging a plurality of minute objects from the storage portion at the lower end position, and a second position that is horizontally disposed with respect to the installation surface at the same height as the top surface of the placement table and rotates while being temporarily stopped. a rotating disk, a plurality of fine material from the placing stand A delivery mechanism for feeding simultaneously into the second rotary disc, and a second suction portion for positioning the minute object performs intake through an intake hole formed in a surface of the second rotary disc, the second from the transport feeder A micro object inspection apparatus comprising: a plurality of cameras and an illumination device provided at predetermined positions up to a mid-rotation position of a rotating disk.

2. The micro object inspection apparatus according to claim 1, wherein a lid mechanism that closes the storage portion of the first rotating disk and has a cylindrical shape is provided so as to be able to advance and retreat with respect to the outer periphery of the first rotating disk.

3. The minute object inspection apparatus according to claim 1, wherein posture detecting means for detecting whether or not the minute object is housed in the housing portion in a correct posture is provided at the circumferential surface position of the first rotating disk.

2. A suction mechanism for forming a hole in a conveyance surface of a minute object in a conveyance feeder and communicating with the hole below the conveyance surface of the conveyance feeder to intermittently suck the minute object. 4. The minute object inspection apparatus according to any one of 1 to 3.