JP4385406B2 - リニアヘッドモジュール - Google Patents

リニアヘッドモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP4385406B2
JP4385406B2 JP2006133993A JP2006133993A JP4385406B2 JP 4385406 B2 JP4385406 B2 JP 4385406B2 JP 2006133993 A JP2006133993 A JP 2006133993A JP 2006133993 A JP2006133993 A JP 2006133993A JP 4385406 B2 JP4385406 B2 JP 4385406B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
linear
head module
cover
pipes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006133993A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007142359A (ja
Inventor
勇人 福間
健生 鈴木
前村  明彦
洋介 川副
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2006133993A priority Critical patent/JP4385406B2/ja
Publication of JP2007142359A publication Critical patent/JP2007142359A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4385406B2 publication Critical patent/JP4385406B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0406Drive mechanisms for pick-and-place heads, e.g. details relating to power transmission, motors or vibration damping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Description

本発明は、チップマウンタなどの表面実装装置などに適用されるリニアヘッドモジュールに関するものである。
複数の直動動作を行うヘッドを備えた表面実装装置などのリニアヘッドモジュールにおいては、駆動源にリニアモータを用いるものが知られている(例えば、特許文献1)。
従来のリニアヘッドモジュールの一例を、図を用いて説明する。
図14および図15は、従来のリニアヘッドモジュールの構成を示す図で、図14は平面図、図15は図14におけるE−E線による側断面図である。
図14および図15において、Lはリニアヘッドモジュール、1はハウジング、2は出力軸、3はモータ、3aはマグネット、3bはコイル、4、5はガイド部、4a、5aは直動ガイド、4b、5bはガイドホルダ、6、7は固定用タップ穴である。
従来のリニアヘッドモジュールLは、複数のリニアモータを組み合わせて構成している。リニアモータは、ハウジング1と、出力軸2と、出力軸2に取り付けたマグネット3aとハウジング1に取り付けたコイル3bからなるモータ3と、出力軸2のスラスト方向を支持し、ガイドホルダ4b、5bに直動ガイド4a、5aを固定してハウジング1へ取り付けたガイド部4、5で構成されている。なお、リニアモータは出力軸2が直動ガイド4a、5aにより支持された状態で、モータ3によって直接駆動される。また、リニアモータには、装置への取り付け用として、固定用タップ穴6、7が備えられている。
特開2001−105270号公報
しかしながら、このような従来のリニアヘッドモジュールにおいては、次のような問題があった。
(1)複数のリニアモータを組み合わせて構成しているため、各リニアモータごとに位置決め、固定が必要になり、装置への設置が複雑で、組立作業に長時間かかる。
(2)フレーム下面に対して、リニアモータを並べた列の段数を増やす場合、装置への設置がさらに複雑で長時間になり、部品数も多くなる。
(3)リニアモータの温度上昇を抑えるためにファンなどで空冷を行う場合、内側に囲まれたリニアモータにはファンの風が当たらないため、空冷を行うことができず、各リニアモータに温度差が生じる。同様に、各リニアモータが互いに接触していないため、各リニアモータの動作時の温度が異なる。つまり、各出力軸の熱変形量が異なるため、1つのリニアヘッドモジュール内で軸毎に温度変化に対する位置補正を行わなければならず、作業性が悪い。
(4)軸数を増やす場合、単純にリニアモータの数を増やすため、部品の一体化によるコストダウンや質量低減ができない。
(5)さらに、直動ガイドとして樹脂製スリーブを使用する場合、熱変形や弾性変形を起こすため、寿命が短く、制御性も悪く、さらに、リニアモータの外部に別に出力軸の回転止め機構を設けなければならない。
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、装置への設置を容易に短時間で行うことができ、各出力軸の温度を均一にすることにより、温度変化に対する位置補正も容易に行うことができ、さらに、温度上昇を抑制するためにファンなどで空冷を行う場合にも、全てのリニアモータにファンの風を当てることができ、また、軸数を増やした場合のコストダウンや質量低減もでき、長寿命で、制御性も良好で、出力軸の回転止め機構を有し、加えて、組立も容易で、がたを抑制したリニアヘッドモジュールを提供することを目的とするものである。
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項1に記載のリニアヘッドモジュールの発明は、複数の直動動作を行うヘッドを備えた表面実装装置などのリニアヘッドモジュールにおいて、前記各ヘッドをリニアモータで構成し、前記リニアモータが、フレームとカバーで挟んで一体化した複数のパイプと、前記複数のパイプの内面に固定したコイルと、前記パイプ内を軸方向に摺動可能に配置された出力軸に、前記コイルと径方向の空隙を介して対向するように取付られたマグネットと、前記出力軸のスラスト方向を支持する直動ガイドと、前記フレームまたはカバーに取り付けられるとともに、前記直動ガイドを出力側と反出力側に固定するガイドホルダと、を有することを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明は、前記複数のパイプを並列させて下段列とするとともに、その上面に中間座を置き、さらにその上に複数のパイプを同様に並列させて上段列とし、前記下段列と上段列をフレームとカバーで挟んで一体化したことを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、前記フレームと前記カバーと前記中間座を、アルミなどの熱伝導性の良好な材料で構成したことを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、前記パイプを磁性材料で構成したことを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、前記中間座を出力側と反出力側に2分割し、前記2つの中間座の間に空間を設け、前記空間に通じる抜き部を前記フレームの両側面に設けたことを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明は、前記直動ガイドの一方をボールスプラインで構成し、他方をリニアブシュで構成したことを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明は、前記フレームの出力側と反出力側に配置した前記ガイドホルダの少なくとも一方のガイドホルダどおしを一体化したことを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明は、前記複数のパイプを、前記フレームまたは前記カバーに直接固定し、フレームとカバーを締結することにより一体化したことを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明は、前記複数のパイプを、前記フレームまたは前記カバーに直接固定することにより生じるパイプとカバーまたはフレームとの隙間に熱伝導性グリースを塗布したことを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明は、前記複数のパイプを、前記フレームに並列させて直接固定して下段列とし、同様に複数のパイプを、前記カバーに並列させて直接固定して上段列とし、フレームとカバーを締結することにより一体化したことを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明は、前記複数のパイプの下段列と上段列の間に、前記フレームに固定した中間座を設置し、中間座とパイプとの隙間に熱伝導性グリースを塗布したことを特徴とするものである。
本発明によれば、次のような効果がある。
請求項1、2、4、7に記載の発明によると、リニアヘッドモジュールの装置への取り付けは、フレームの位置決め、固定を行うのみのため、容易に短時間で行うことができる。また、主な熱源であるコイルを固定したパイプが共通のフレーム、カバーおよび中間座を介して取り付けられているため、各出力軸の温度はほぼ均一になる。そのため、各軸に対する位置補正は容易に行うことができる。さらに、軸数を増やした場合、フレーム、カバーおよび中間座の軸が増えた部分のみを増やせばよいため、従来に比べてコストも抑えられ、質量低減もできる。
請求項3に記載の発明によると、フレーム、カバーおよび中間座が熱伝導性の良好な材料で製作するため、各出力軸の温度を均一にする効果を大きくすることができる。
請求項5に記載の発明によると、ファンなどでフレーム側面から風を送ると、抜き部を通って、全てのパイプに風を当てることができる。主な熱源であるコイルを固定したパイプを直接空冷できるため、全てのリニアモータの均一な温度低減が可能である。
請求項6に記載の発明によると、直動ガイドは2つとも金属製の球による支持のため、長寿命で制御性も良好となる。さらに、ボールスプラインを使用するため、出力軸の回転止めができるため、リニアモータ外部に別に回転止め機構を設ける必要もなくなる。
請求項8、10に記載の発明によると、リニアヘッドモジュールの装置への取り付けは、フレームの位置決め、固定を行うのみのため、容易に短時間で行うことができる。また、主な熱源であるコイルを固定したパイプが共通のフレームまたはカバーを介して取り付けられているため、各出力軸の温度はほぼ均一になる。そのため、各軸に対する位置補正は容易に行うことができる。さらに、各パイプが個々直接にフレームまたはカバーに固定されているため、がたを抑制することができる。ここで、請求項1、2に記載の発明の場合、フレームとカバーの締結部に隙間があるため、締結用ボルトを締めすぎてパイプを潰さないように精密なトルク管理が必要であることに対し、請求項8、10に記載の発明の場合、フレームとカバーの締結部が接触しているため、通常のトルク管理でよく、組立が容易になる。
請求項9、11に記載の発明によると、各パイプが熱伝導性グリースにより共通部品を介して接触するため、各出力軸の温度を均一にする効果を大きくすることができる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1ないし図3は、本発明の第1の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールの構成を示す図であり、図1は平面図、図2は図1におけるA−A線による正断面図、図3は図1におけるB−B線による側断面図である。
図において、Sは表面実装装置、Lはリニアヘッドモジュール、2は出力軸、3はモータ、3aはマグネット、3bはコイル、4、5はガイド部、4a、5aは直動ガイド、4b、5bはガイドホルダ、8はフレーム、9、10はカバー、11はパイプである。
本発明の第1の実施例によるリニアヘッドモジュールLの構成が従来のリニアヘッドモジュールと異なる点は、コイル3bをパイプ11の内面に固定し、各パイプ11をフレーム8とカバー9、10で挟んで一体化したことである。
次に、本発明の第1の実施例によるリニアヘッドモジュールLの構成を説明する。モールドや接着などでパイプ11の内面に固定されたコイル3aと、接着などで出力軸2に固定されたマグネット3bとでモータ3を構成している。この時、パイプ11はマグネット3bによる磁路となるため、鉄などの磁性材料で製作する。また、直動ガイド4a、5aをガイドホルダ4b、5bにトメネジや接着などで固定してガイド部4、5を構成しているが、ガイドホルダ4b、5bは、軸の数だけ1個ずつ製作するのではなく、一体化して1つの部品としても良い。この時、直動ガイド4a、5aの一方をボールスプラインとし、もう一方をリニアブシュとすることが望ましい。フレーム8とカバー9、10はパイプ11を挟み込むため、パイプ11との接触面はパイプ11の外周に沿った円周形状とし、フレーム8には装置への取り付け用にボルト用穴が備えられている。この時、フレーム8とカバー9、10は、アルミなど熱伝導性の良好な材料で製作する。
本発明の第1の実施例によるリニアヘッドモジュールLの組立手順を説明する。フレーム8にコイル3aを固定したパイプ11を並べ、パイプ11の上面にカバー9、10を置き、ボルトなどでフレーム8とカバー9、10を締結することにより、パイプ11を挟み込んで固定する。次に、マグネット3bを固定した出力軸2をパイプ11の中に挿入し、最後に、出力側および反出力側のガイド部4、5を取り付ける。
このように、第1の実施例で示したリニアヘッドモジュールLでは、装置へ取り付けは、フレーム8の位置決め、固定を行うのみのため、容易に短時間で行うことができる。また、主な熱源であるコイル3aを固定したパイプ11が共通のフレーム8およびカバー9、10を介して取り付けられているため、各出力軸2の温度は均一になる。そのため、各軸に対する位置補正は容易に行うことができる。さらに、軸数を増やした場合、フレーム8およびカバー9、10の軸が増えた部分のみを増やせばよいため、従来に比べてコストも抑えられ、質量低減もできる。また、直動ガイド4a、5aの一方をボールスプラインとし、もう一方をリニアブシュとした場合、直動ガイド4a、5aとも金属製の球による支持のため、長寿命で制御性も良好となる。さらに、ボールスプラインを使用するため、出力軸2の回転止めができるため、リニアモータ外部に別に回転止め機構を設ける必要もなくなる。
図4ないし図7は、本発明の第2の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールの構成を示す図であり、図4は平面図、図5は側面図、図6は図4におけるC−C線による正断面図、図7は図4におけるD−D線による側断面図である。なお、第2の実施例の構成要素で第1の実施例と同じものについてはその説明を省略し、異なる点について説明する。
図において、8aは抜き部、12、13は中間座である。
本発明の第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、フレーム8に並べたパイプ11の上面に中間座12、13を置き、その上にもう1列パイプ11を並べ、カバー9、10で挟んで固定し、さらに、出力側と反出力側に2分割した中間座12、13の間に空間を設け、フレーム8の両側面に中間座12、13の間の空間に通じる抜き部8aを設けたことである。なお、図5の反対面の対称位置にも抜き部があるが、省略している。
次に、本発明の第2の実施例によるリニアヘッドモジュールLの構成で第1の実施例と異なる点を説明する。中間座12、13は2段に並べられたパイプ11の間に挟まれるため、パイプ11との接触面はパイプ11の外周に沿った円周形状とする。この時、中間座12、13は、アルミなど熱伝導性の良好な材料で製作する。また、中間座12、13とパイプ11の積み重ねの段数を増やすことにより、フレーム8下面に対してのパイプ11すなわち軸の段数を増やすことが可能である。なお、ファンなどによる空冷を行わない場合は、中間座12、13を1部品としても良い。
本発明の第2の実施例によるリニアヘッドモジュールLの組立手順を説明する。フレーム8にコイル3aを固定したパイプ11を並べ、パイプ11の上面に中間座12、13を置き、その上にもう1列パイプ11を並べ、カバー9、10を置き、ボルトなどでフレーム8とカバー9、10を締結することにより、2列のパイプ11と中間座12、13を挟み込んで固定する。以降の組立手順は、第1の実施例と同じである。
このように、第2の実施例で示したリニアヘッドモジュールLでは第1の実施例で示した効果に加えて、ファンなどでフレーム8側面から風を送ると、抜き部8aを通って、全てのパイプ11に風を当てることができる。つまり、主な熱源であるコイル3aを固定したパイプ11を直接空冷できるため、全てのリニアモータの均一な温度低減が可能である。
図8ないし図10は、本発明の第3の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールの構成を示す図であり、図8は平面図、図9は図8におけるE−E線による正断面図、図10は図8におけるF−F線による側断面図である。なお、第3の実施例の構成要素で第1の実施例と同じものについてはその説明を省略し、異なる点について説明する。
図において、14は固定ねじ、15はナット、16は熱伝導性グリースである。
本発明の第3の実施例が第1の実施例と異なる点は、パイプ11を固定ネジ14とナット15でカバー9、10に個々直接固定し、フレーム8とカバー9、10を締結したことである。さらに、パイプ11とフレーム8との隙間に、熱伝導性グリース16を塗布したことである。なお、パイプ11をフレーム8に直接固定し、パイプ11とカバー9、10との隙間に熱伝導性グリース16を塗布しても良い。
次に、本発明の第3の実施例によるリニアヘッドモジュールLの構成で第1の実施例と異なる点を説明する。固定ねじ14の頭部は、パイプ11の内側から固定ねじ14用穴を通した際に穴に引っ掛かり、かつ出力軸に接触しないような形状とする。さらに、フレーム8のパイプ11との隙間になる面はパイプ11の外周より若干大きくなるような円周形状とし、熱伝導性グリース16を塗布でき、かつ極力隙間が狭くなることが望ましい。なお、熱伝導性グリース16を熱伝導性シートなど熱伝導性が良好な材料としても良い。また、第1の実施例の場合は、パイプ11とフレーム8およびカバー9、10が接触し、フレーム8とカバー9、10の締結部に隙間ができるが、第3の実施例の場合は、フレーム8とカバー9、10の締結部が接触し、パイプ11とフレーム8の間に隙間ができる。
本発明の第3の実施例によるリニアヘッドモジュールLの組立手順を説明する。カバー9、10にコイル3aを固定したパイプ11を並べ、パイプ11の内側から固定ねじ14を通してナット15で固定する。次に、フレーム8のパイプ11との隙間になる面に熱伝導性グリース16を塗布し、ボルトなどでフレーム8とカバー9、10を締結する。以降の組立手順は、第1の実施例と同じである。
このように、第3の実施例で示したリニアヘッドモジュールLでは第1の実施例で示した効果に加えて、各パイプ11が個々直接にカバー9、10に固定されているため、がたを抑制することができる。また、第1の実施例の場合、フレーム8とカバー9、10の締結部に隙間があるため、締結用ボルトを締めすぎてパイプ11を潰さないように精密なトルク管理が必要であることに対し、第3の実施例の場合、フレーム8とカバー9、10の締結部が接触しているため、通常のトルク管理でよく、組立が容易になる。
図11ないし図13は、本発明の第4の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールの構成を示す図であり、図11は平面図、図12は図11におけるG−G線による正断面図、図13は図11におけるH−H線による側断面図である。なお、第4の実施例の構成要素で第2、第3の実施例と同じものについてはその説明を省略し、異なる点について説明する。
図12において、17はボルトである。
本発明の第4の実施例が第2、第3の実施例と異なる点は、パイプ11を固定ネジ14とナット15でフレーム8およびカバー9、10に直接固定し、フレーム8に固定したパイプ11の上側にボルト17で固定した中間座12、13を配置し、中間座12、13の上側にカバー9、10に固定したパイプ11を配置して、フレーム8とカバー9、10を締結したことである。さらに、パイプ11とフレーム8およびカバー9、10との隙間に、熱伝導性グリース16を塗布したことである。
次に、本発明の第4の実施例によるリニアヘッドモジュールLの構成で第2、第3の実施例と異なる点を説明する。中間座12、13は2段に並べられたパイプ11の間に固定されるため、パイプ11との隙間になる面はパイプ11の外周より若干大きくなるような円周形状とし、熱伝導性グリース16を塗布でき、かつ極力隙間が狭くなることが望ましい。なお、熱伝導性グリース16を熱伝導性シートなど熱伝導性が良好な材料としても良い。また、第2の実施例の場合は、パイプ11とフレーム8およびカバー9、10が接触し、フレーム8とカバー9、10の締結部に隙間ができるが、第4の実施例の場合は、フレーム8とカバー9、10の締結部が接触し、パイプ11とフレーム8の間に隙間ができる。
本発明の第4の実施例によるリニアヘッドモジュールLの組立手順を説明する。フレーム8およびカバー9、10にコイル3aを固定したパイプ11を並べ、パイプ11の内側から固定ねじ14を通してナット15で固定する。次に、フレーム8およびカバー9、10のパイプ11との隙間になる面に熱伝導性グリース16を塗布し、フレーム8に固定したパイプ11の上側に中間座12、13をボルト17でフレーム8に固定し、その上にカバー9、10に固定したパイプ11を置き、ボルトなどでフレーム8とカバー9、10を締結する。以降の組立手順は、第1の実施例と同じである。
このように、第4の実施例で示したリニアヘッドモジュールLでは第2、第3の実施例で示した効果と同様の効果がある。
なお、第3の実施例および第4の実施例では、固定ネジ14とナット15を用いてパイプ11をフレーム8やカバー9,10に固定しているが、接着剤を用いて固定するようにしてもよい
本発明の第1の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールを示す平面図である。 図1におけるリニアヘッドモジュールの正断面図である。 図1におけるリニアヘッドモジュールの側断面図である。 本発明の第2の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールを示す平面図である。 図4におけるリニアヘッドモジュールの側面図である。 図4におけるリニアヘッドモジュールの正断面図である。 図4におけるリニアヘッドモジュールの側断面図である。 本発明の第3の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールを示す平面図である。 図8におけるリニアヘッドモジュールの正断面図である。 図8におけるリニアヘッドモジュールの側断面図である。 本発明の第4の実施例における表面実装装置に備えられたリニアヘッドモジュールを示す平面図である。 図11におけるリニアヘッドモジュールの正断面図である。 図11におけるリニアヘッドモジュールの側断面図である。 従来技術におけるリニアヘッドモジュールを示す平面図である。 図14におけるリニアヘッドモジュールの側断面図である。
符号の説明
S 表面実装装置
L リニアヘッドモジュール
1 ハウジング
2 出力軸
3 モータ
3a マグネット
3b コイル
4、5 ガイド部
4a、5a 直動ガイド
4b、5b ガイドホルダ
6、7 固定用タップ穴
8 フレーム
8a 抜き部
9、10 カバー
11 パイプ
12、13 中間座
14 固定ねじ
15 ナット
16 熱伝導性グリース
17 ボルト

Claims (11)

  1. 複数の直動動作を行うヘッドを備えた表面実装装置などのリニアヘッドモジュールにおいて、
    前記各ヘッドをリニアモータで構成し、
    前記リニアモータが、
    フレームとカバーで挟んで一体化した複数のパイプと、
    前記複数のパイプの内面に固定したコイルと、
    前記パイプ内を軸方向に摺動可能に配置された出力軸に、前記コイルと径方向の空隙を介して対向するように取り付けられたマグネットと、
    前記出力軸のスラスト方向を支持する直動ガイドと、
    前記フレームまたはカバーに取り付けられるとともに、前記直動ガイドを出力側と反出力側に固定するガイドホルダと、
    を有することを特徴とするリニアヘッドモジュール。
  2. 前記複数のパイプを並列させて下段列とするとともに、その上面に中間座を置き、さらにその上に複数のパイプを同様に並列させて上段列とし、前記下段列と上段列をフレームとカバーで挟んで一体化したことを特徴とする請求項1に記載のリニアヘッドモジュール。
  3. 前記フレームと前記カバーと前記中間座を、アルミなどの熱伝導性の良好な材料で構成したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアヘッドモジュール。
  4. 前記パイプを磁性材料で構成したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアヘッドモジュール。
  5. 前記中間座を出力側と反出力側に2分割し、前記2つの中間座の間に空間を設け、前記空間に通じる抜き部を前記フレームの両側面に設けたことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアヘッドモジュール。
  6. 前記直動ガイドの一方をボールスプラインで構成し、他方をリニアブシュで構成したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアヘッドモジュール。
  7. 前記フレームの出力側と反出力側に配置した前記ガイドホルダの少なくとも一方のガイドホルダどおしを一体化したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアヘッドモジュール。
  8. 前記複数のパイプを、前記フレームまたは前記カバーに直接固定し、フレームとカバーを締結することにより一体化したことを特徴とする請求項1に記載のリニアヘッドモジュール。
  9. 前記複数のパイプを、前記フレームまたは前記カバーに直接固定することにより生じるパイプとカバーまたはフレームとの隙間に熱伝導性グリースを塗布したことを特徴とする請求項8に記載のリニアヘッドモジュール。
  10. 前記複数のパイプを、前記フレームに並列させて直接固定して下段列とし、同様に複数のパイプを、前記カバーに並列させて直接固定して上段列とし、フレームとカバーを締結することにより一体化したことを特徴とする請求項8に記載のリニアヘッドモジュール。
  11. 前記複数のパイプの下段列と上段列の間に、前記フレームに固定した中間座を設置し、中間座とパイプとの隙間に熱伝導性グリースを塗布したことを特徴とする請求項10に記載のリニアヘッドモジュール。
JP2006133993A 2005-10-21 2006-05-12 リニアヘッドモジュール Active JP4385406B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006133993A JP4385406B2 (ja) 2005-10-21 2006-05-12 リニアヘッドモジュール

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005307608 2005-10-21
JP2006133993A JP4385406B2 (ja) 2005-10-21 2006-05-12 リニアヘッドモジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007142359A JP2007142359A (ja) 2007-06-07
JP4385406B2 true JP4385406B2 (ja) 2009-12-16

Family

ID=38204819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006133993A Active JP4385406B2 (ja) 2005-10-21 2006-05-12 リニアヘッドモジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4385406B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2541745A2 (en) 2011-06-27 2013-01-02 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear Motor With Back Yoke
EP2541744A2 (en) 2011-06-27 2013-01-02 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear motor with back yoke
JP2013143894A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Yamaha Motor Co Ltd リニアモータユニット、ヘッドユニットおよび部品実装機
EP2784920A2 (en) 2013-03-26 2014-10-01 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear motor
EP4102693A1 (en) 2021-06-11 2022-12-14 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear head module
EP4102697A1 (en) 2021-06-11 2022-12-14 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear head module

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5345047B2 (ja) * 2009-12-04 2013-11-20 三菱電機株式会社 リニアモータ
JP5435005B2 (ja) * 2011-10-20 2014-03-05 株式会社安川電機 アクチュエータおよびアクチュエータの冷却方法
KR20140036992A (ko) * 2012-09-18 2014-03-26 한국생산기술연구원 가동자에 회전 가능하게 설치된 코어를 포함하는 전동기
JP6082646B2 (ja) 2013-04-25 2017-02-15 山洋電気株式会社 軸回転型リニアモータ、および軸回転型リニアモータユニット

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2541745A2 (en) 2011-06-27 2013-01-02 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear Motor With Back Yoke
EP2541744A2 (en) 2011-06-27 2013-01-02 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear motor with back yoke
JP2013009563A (ja) * 2011-06-27 2013-01-10 Sanyo Denki Co Ltd リニアモータ
TWI552491B (zh) * 2011-06-27 2016-10-01 山洋電氣股份有限公司 線性馬達
US9281734B2 (en) 2011-06-27 2016-03-08 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear motor with back yoke
JP2013143894A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Yamaha Motor Co Ltd リニアモータユニット、ヘッドユニットおよび部品実装機
KR20140117307A (ko) 2013-03-26 2014-10-07 산요 덴키 가부시키가이샤 직선형 모터
JP2014192959A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Sanyo Denki Co Ltd リニアモータ
EP2784920A2 (en) 2013-03-26 2014-10-01 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear motor
EP4102693A1 (en) 2021-06-11 2022-12-14 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear head module
EP4102697A1 (en) 2021-06-11 2022-12-14 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear head module
US11764660B2 (en) 2021-06-11 2023-09-19 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear head module
US11804766B2 (en) 2021-06-11 2023-10-31 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear head module

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007142359A (ja) 2007-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4385406B2 (ja) リニアヘッドモジュール
US8375820B2 (en) Hollow actuator with built-in reduction gear
US7157819B2 (en) Axial fan motor with a laminated casing
US9893588B2 (en) Motor housing with cooling channel and resin injected winding ends for improved heat transfer
JP5186291B2 (ja) モータ
EP1955939A2 (en) Engine with attached axial gap type rotating electric machine
US8519585B2 (en) Engine cooling system and fan module with dust screen
JP5804191B2 (ja) ボールねじ装置
JP7022265B2 (ja) 真空ポンプ
US10954946B2 (en) Thin fan
JP2002039091A (ja) 送風機
JP5885896B2 (ja) 電動機および軸受構造
US20080219845A1 (en) Fan
JP2012082792A (ja) 電動圧縮機
JP2013090405A (ja) 回転電機
JP4857924B2 (ja) ブラシレスモータ
JP5217619B2 (ja) アウターロータ型永久磁石式電動機
JP5047224B2 (ja) 電動機
US20060292975A1 (en) Heat dissipating module and casing thereof
US20090246043A1 (en) Fan motor
JP5824019B2 (ja) 回転電機
JP2007154944A (ja) アクチュエータ構造
JP6007084B2 (ja) 電動モータ及びファンモータ
JP2017147857A (ja) コントローラ付モータおよび減速機付モータ
JP2011193648A (ja) 回転電機

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090209

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090401

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090907

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090920

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4385406

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141009

Year of fee payment: 5