JP4384359B2 - 半導体ウェーハ処理システムにおいてrf戻り電流経路制御を行う装置 - Google Patents
半導体ウェーハ処理システムにおいてrf戻り電流経路制御を行う装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4384359B2 JP4384359B2 JP2000583065A JP2000583065A JP4384359B2 JP 4384359 B2 JP4384359 B2 JP 4384359B2 JP 2000583065 A JP2000583065 A JP 2000583065A JP 2000583065 A JP2000583065 A JP 2000583065A JP 4384359 B2 JP4384359 B2 JP 4384359B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- shield member
- assembly
- semiconductor wafer
- wafer processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 19
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 64
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 10
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 13
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32577—Electrical connecting means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32568—Relative arrangement or disposition of electrodes; moving means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
(開示の背景)
1.発明の分野
本発明は、半導体ウェーハ処理設備に関する。一層詳しくは、本発明は、このような設備内にRF電流の戻り経路に関する。
【0002】
2.背景技術の説明
薄膜蒸着を精密に制御するためのプラズマ強化反応およびプロセスは、半導体業界にとってますます重要になっている。
【0003】
図1は、従来技術の普通の物理的蒸着式(PVD)ウェーハ処理チャンバ100の簡略断面図を示す。チャンバ100は、内部に普通のペデスタル組立体102を設置したボリュームを構成する一組の壁を包含する。このペデスタル組立体102は、ペデスタル106とサセプタ107とを包含する。サセプタ107は、ウェーハ104を支える表面114を有する。チャンバ100のトップにあるチャンバ蓋110は、蒸着ターゲット材料(たとえば、チタン)を含有しており、陰極を形成すべく直流電源119によって負バイアスをかけられている。あるいは、個別のターゲットが、チャンバ蓋110から懸架されている。チャンバ蓋110は、チャンバ100の残りの部分から電気的に絶縁されている。具体的には、絶縁体リング112が、チャンバ蓋110を、陽極を形成する環状の接地シールド部材134から電気的に隔離している。ペデスタル組立体102は、ウェーハ移送を容易にすべくチャンバ100内に上下運動範囲を有する。ペデスタル組立体は、図1において上昇位置(ウェーハ処理位置)にある。チャンバは、リング組立体118を包含し、このリング組立体118が、蒸着が望ましくない部位、たとえば、サセプタの側部、ペデスタル下方などで生じるのを防ぐ。具体的には、ウェイスト・リング120およびカバー・リング122が、スパッタされた材料が基板以外の表面に蒸着するのを防止する。
【0004】
直流電源119がオンになったとき、電界が、陰極のチャンバ蓋110と陽極のシールド部材134との間の反応帯域108に生じる。アルゴンのようなプロセス・ガスが、作動プロセス・ガス供給源(図示せず)を経て反応帯域108に与えられる。ハイパワーの直流電源119によって生じた電界は、プロセス・ガスをイオン化し、均一で高密度の低電子温度プラズマ116を生じさせる。接地シールド部材134は、反応帯域108を取り囲んでおり、プラズマ116を閉じ込めて蒸着を強化する。
【0005】
イオン・メタライゼーション・システムにおいて蒸着をさらに強化するために、或る特殊なタイプのPVDシステム、基板104およびサセプタ107に、プラズマ116に関して負バイアスをかける。これは、ペデスタル組立体102内の電極130にRFパワーを与えることによって達成される。通常、400KHzの交流電源136を使用して基板104にバイアスをかけるが、13.56MHzの周波数源のような他の周波数源も使用し得る。負直流電位(すなわち、バイアス電圧)が、プラズマ116における正イオンと比べてより高い速度の電子の結果として基板104上に蓄積する。或る種のPVDプロセスにおいては、中立ターゲット材料がターゲットからスパッタリングされ、プラズマ116に入ると、ターゲット材料が正にイオン化される。基板のところに負のDCオフセットがあるので、正にイオン化されたターゲット材料が、高度の垂直度で基板に引きつけられ、そこに堆積する。すなわち、正イオンの加速および/または速度の水平成分が減少すると共に、垂直成分が強化される。このようにして、「段差被覆」として知られる蒸着特性が向上する。
【0006】
理想的には、ターゲット材料が基板104上へ堆積するにつれて、基板104(すなわち、半導体ウェーハ)にかかるバイアス電圧が安定状態に留まることである。基板104での安定した電圧レベルは、イオン化蒸着材料を基板104に均一に引き寄せる。均一な蒸着フィルム層が、半導体ウェーハ製造業界では非常に望ましい特徴である。シールド部材134からアースに通じる戻り経路を流れる電流による電圧低下がそれほどないときには、電圧安定性が最適化される。
【0007】
従来技術において、RF電流のアース経路はむしろ遠回りである。たとえば、基板104は、シールド部材134と電気接触しているプラズマ116と電気接触している。シールド部材134は、チャンバ壁103に接続している。次いで、チャンバ壁103は、可撓性ベローズ138を通してペデスタル106に接続している。ペデスタルは、チューブ140を通してアースに接続しており、このチューブはベローズ136内を走行している。代表的には、ベローズ138は、相互に溶接した薄いステンレス鋼ディスクで作られている。こえらのディスクは、非常に薄く、ステンレス鋼は、導電率が比較的低い。このことは、戻り経路にわたる電圧低下が小さいので、DC電流にとって問題ではない。しかしながら、RF用途の場合、ほぼ20〜30アンペアの電流が普通である。ステンレス鋼ベローズ138は、高いRFインピーダンスを有する。こうしたわけで、大きい電圧低下が処理中にベローズを横切って発生するので、RF電流の戻り経路としてベローズは不適当である。戻り電流経路の大きいインピーダンスによって生じるこのような大きい電圧低下は、ペデスタル106の表面に高電圧が生じさせるる。プラズマは、かなり異なった電圧の2点間に衝突し、チャンバ内に漂遊プラズマを生じさせる可能性がある。たとえば、このような望ましくないプラズマは、高電位のペデスタル106と、他の任意のアースに近い部位、たとえば、シールド部材134、チャンバ壁101または焼出しランプ(図示せず)との間に衝突する可能性がある。漂遊プラズマは広がって、反応帯域109外側のスペースのすべて(すなわち、ペデスタル106、ベローズ138、シールド部材134およびチャンバ壁103間の領域)を満たす。漂遊プラズマは、ベローズ138、ペデスタル106からの材料をスパッタリングし、チャンバ環境に汚染物を導入すると共に、ペデスタル組立体の寿命を短縮させる可能性がある。
【0008】
300mmウェーハ処理システムにおいては、アースに通じる経路は、特に長く、誘導される電圧は、非常に高い(たとえば、ピーク間電圧がほぼ700ボルト)。この場合、ウェーハ104にかかる電圧が、不安定となり、非再現性となる。長い戻り経路は、また、再位置決め毎に変化する可変インピーダンスを生じさせる。アース経路を、シールド部材134とペデスタル106との間でウェイスト・リング120、カバー・リング122を経て設けてもよいが、この経路は、ウェーハ移送中にペデスタル組立体102が昇降する毎に壊れることになり、信頼性がない。
【0009】
したがって、ウェーハ電圧安定性および蒸着の均一性を確保するためにRF電流のための信頼できる低インピーダンス戻り経路についての必要性がこの技術分野に存在する。
【0010】
(発明の概要)
従来技術に伴う欠点は、半導体ウェーハ処理チャンバのシールド部材、接地ペデスタル間の低インピーダンス電気接続を有するRF戻り経路を提供する本発明の装置によって解消する。本発明の装置は、シールド部材とペデスタルとの間に直接電気接続部を形成する低インピーダンス戻り経路組立体を包含する。この戻り経路組立体は、ペデスタルに接続した導電性ストラップと、このストラップに接続した導電バーとを包含する。このバーは、ドーナツ型ばねを経てシールド部材と電気接触する。支持組立体が、戻り経路組立体の一部を機械的に支持している。具体的には、垂直バー、水平バーからなる支持組立体が、導電性バーを支持する。支持組立体は、チャンバ底壁に固着したカラーに取り付けられている。
【0011】
したがって、戻り経路は、シールド部材からアースまで流れるRF電流のための近道となる。この近道は、従来技術に存在した遠回り経路を避け、それによって、シールド部材とアース間のRF電圧低下を低減する。アース経路は、ウェーハ・サイクリングを通じてそのままに留まり、シールド部材を取り外したときにのみ切断される。
【0012】
本発明の教示は、添付図面に関連した以下の詳細な説明を考察することによって容易に理解することができる。
【0013】
なお、理解し易くするために、可能な限り、図に共通の同じ構成要素を示すのに同じ参照符号を使用した。
【0014】
(詳細な説明)
図2は、本発明のRF戻り電流経路装置201を利用する半導体ウェーハ処理チャンバ200の一部を示す横断面図である。チャンバ200は、ボリュームを構成する一組の垂直壁203および底壁211を包含する。たとえば、チャンバ200は、普通のペデスタル組立体202、リング組立体218および環状のシールド部材234を含有するPVDウェーハ処理チャンバである。チャンバ200の1例としては、カリフォルニア州、サンタクララのApplied Materials, Inc.の製造する300mmPVDチャンバがある。本発明のRF戻り電流経路装置201は、戻り経路組立体250および支持組立体260を包含する。チャンバ200のトップにあるチャンバ蓋210は、蒸着ターゲット材料(たとえば、チタン)を含有しており、直流電源219によって負バイアスをかけられて陰極を形成している。環状のシールド部材234は、陽極を形成している。環状のシールド部材234は、垂直チャンバ壁から懸架されており、反応帯域208の側方境界を構成している。絶縁体リング212が、シールド部材234からチャンバ蓋210を電気的に絶縁している。
【0015】
ペデスタル組立体202は、チャンバ200内にウェーハ204を支持、保持する。ペデスタル組立体202は、ペデスタル206(時に「ドッグ・ディッシュ」と呼ばれる)、サセプタ207、ウェイスト・リング220、ベローズ238、チューブ240およびカラー248を包含する。サセプタ207は、代表的には、誘電材料(たとえば、ポリマーまたはセラミック)で作られている。サセプタ207は、ウェーハ204を支える表面214を有する。ペデスタルは、1つまたはそれ以上の電気抵抗型ヒータ213を包含する。サセプタ207内の電極230は、ウェーハ処理中に電力を導く付加的な陰極として作用する。さらに、サセプタ207は、オプションとして、ウェーハ204をサセプタ表面214に静電気的に引きつける(チャック把持する)電極(図示せず)を包含していてもよい。ウェイスト・リング220およびカバー・リング222からなるリング組立体218は、スパッタリングされた原子がペデスタル上またはその下方に偶発的に付着するのを防止する。ウェイスト・リング220は、ペデスタル206と当接し、ペデスタル206上に付着することになる漂遊ターゲット材料を捕獲する。ペデスタル組立体202は、チャンバ200内の上下運動範囲を有する。ペデスタル組立体202は、図2では、下降位置において示されている。処理中、ペデスタル組立体202は、上昇位置(プロセス位置)に置かれる。この位置において、カバー・リング222は、僅かにウェイスト・リング220およびシールド部材234と重なり、ペデスタル下方の望ましくない蒸着を防いでいる。
【0016】
可撓性のあるベローズ238は、ペデスタル206下方の雰囲気とその上方の真空との間に可撓性シールを与える。ベローズ238は、上端244のところで、ペデスタル206に取り付けてある。ベローズ238の下端246は、カラー248に取り付けてある。支持組立体260は、カラー248に取り付けてある。次に、カラー248は、チャンバ底壁211に取り付けてある。接地チューブ240は、ペデスタル206からベローズ232およびチャンバ壁211を貫いて延びている。チューブ240は、ペデスタル組立体202を機械的に支持しており、液体管路、ガス管路、電力リード線(たとえば、ヒータ213用)のための導管(すなわち、これらを囲むスペース用の導管)となる。たとえば、冷却チューブ245がチューブ240内を延び、ペデスタル106に冷却剤を与える。さらに、電極230は、チューブ240内部を延びる伝送線232を経てRFパワー源236に電気的に接続されている。
【0017】
本発明の戻り経路組立体250は、シールド部材234とペデスタル206とを直接的に低インピーダンス接続する。戻り経路組立体は、導電性接地ストラップ252および導電バー254を包含する。ストラップ252は、普通の手段、たとえば、1つまたはそれ以上のネジ253によってペデスタル206に取り付けてある。ストラップ252は、ベリリウム銅のような非常に導電性が高く、耐久性のある材料で作る。ストラップ252は、ほぼ矩形であり、充分に長くて可撓性があるので、ペデスタル・アセンブリ202の上下移動を許す。ストラップ252の長さは、このストラップが、ペデスタルの昇降時に、チャンバの任意他の部品、たとえば、ペデスタル206または支持組立体260をこすって粒子を放出したり、しかも膠着したり、伸びたりしないようにするという設計目標で決まる。一般的に、ストラップ252の幅は、導電バー254の直径と合致している。たとえば、ストラップは、約5インチの長さ、約0.5インチの幅、約0.003〜0.004インチの厚さである。ストラップ252は、導電バー254を経てシールド部材234に電気的に接続されている。導電バーは、代表的には、無酸素銅から作られる。軸部256および頭部257を有するボルト255が、ストラップ252を導電バー254に固定している。
【0018】
戻り経路組立体250の詳細が、図3に示す展開図に示してある。ストラップ252は、ボルト255の軸部256を受け入れる穴259を有する。ボルト255は、導電バー254にあるねじ孔258に螺合する。導電バー254の環状溝253内に配置したドーナツ型ばね251が、導電バー254とシールド部材234との電気接触を強化している。ドーナツ型ばね251は、図4に斜視図で示してある。ドーナツ型ばね251は、任意の弾力的な導電性材料(たとえば、ステンレス鋼(InconelTM))または他の適切な材料から作ってもよい。InconelTMは、ウエスト・バージニア州、ハンティングトンのInco Alloys International, Inc.の登録商標である。ドーナツ型ばね251は、オプションとして、腐食(たとえば、酸化)を防ぐように金メッキし、良好な電気接触を確保できるようにしてもよい。ドーナツ型ばね251は、導電バー254とシールド部材234との間に多数の並列電気接続部を作る。戻り経路組立体250のこの設計は、組み立て・分解を簡単にする。
【0019】
導電バー254は、構造的に支持組立体260で支えられている。絶縁体270が、戻り経路組立体を支持組立体260から電気的に隔離している。支持組立体260は、カラー248に取り付けた水平バー262を包含する。垂直バー264が、水平バー262の末端263に取り付けてある。垂直バー264の上端265は、突出部分266および環状の棚267とを有する。コイル状ばね272が、突出部分266上に嵌合している。コイル状ばね272は、環状の棚267に当接する第1の端271を有する。ばね272は、突出部分266の外径にぴったりと合致する内径を有する。
【0020】
絶縁体270は、ほぼ円筒形であり、ボルト255の軸部256を受け入れる寸法の中央孔274を備えている。絶縁体は、2つのカウンターボア276、278を有する。カウンターボア276は、ボルト255の頭部257を受け入れる寸法となっている。カウンターボア218は、垂直バー264およびコイル状ばね272を受け入れる寸法となっている。第1のリップ275が、カウンターボア276、278の交点のところに形成されている。ばね272の第2端273が、第1リップ275と係合している。第2のリップ277が、中央孔274とカウンターボア216の交点のところに形成されている。ボルト255の軸部256は、ボア274およびストラップ252の穴259内に受け入れられている。ボルト255をねじ孔258内に固着したとき、絶縁体272は、ストラップ252を導電バー254に固着する。ボルト255の頭部257は、第2リップ277と係合し、それによって、絶縁体270を導電バー254に固着している。ばね272は、垂直バー264にある環状の棚267と絶縁体270の第1リップ275との間に捕獲されている。ばね272は、シールド部材234に対して導電バー254を押圧する機械的な片寄せ力を提供する。カウンターボア278は、垂直バー264の直径と比較して大きい長さを有し、戻り経路組立体250の良好な整合を確保しなければならない。
【0021】
図2に目を転じて、直流電源219がオンになると、電界が、チャンバ蓋210とシールド部材234との間の反応帯域208に発生し、プロセス・ガスをイオン化し、均一で高密度の低電子温度プラズマを生じさせる。イオン金属プラズマ(IMP)として知られるコイル237が反応帯域208を取り囲んでいる。コイルRF電源239(コイル237に接続)が、反応帯域208に付加的なRFパワーを与える。RF電源236が、ウェーハにバイアスをかけるのに必要な電力を与え、フィルム蒸着を向上させる。すなわち、先に説明したように、ウェーハに負直流バイアスが生ずる。ウェーハに印加されたRF電力電圧は、RF電界を生じさせ、これが、RF電流を基板204からシールド部材234およびアースに通じるプラズマまで流れさせる。この電流は、次に、ドーナツ型ばね252を経てシールド部材234から導電バー254までの最低抵抗経路をたどり、次いで、ストラップ252を経てペデスタル206に流れる。電流は、ペデスタル106からチューブ240を経てアースに流れる。
【0022】
本発明の戻り電流経路制御装置201は、経路の長さが短く、ストラップ252および導電バー254の導電率が高いことにより、従来技術よりも低いインピーダンスを有する。
【0023】
したがって、ペデスタル206は、処理中、低い電圧にある。さらに、ウェーハが循環しているとき、アース経路組立体はそのままである。シールド部材234を取り出したときにのみ、この接続が壊れる。
【0024】
したがって、戻り電流経路制御装置201のインピーダンスは、多数の基板がチャンバ200を通して循環しているとき安定状態に留まる。その結果、蒸着は、基板が変わっても均一である。したがって、生産性が増大すると共に、欠陥基板の数および基板あたりのコストが低減する。
【0025】
本発明の教示を取り入れた種々の実施例を詳細に図示し、説明してきたが、当業者であれば、これらの教示をなお取り入れた多くの他の変形実施例をように案出することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、ウェーハ処理チャンバにおける従来技術による基板支持体の横断面図である。
【図2】は、本発明のRF戻り経路装置を使用する半導体ウェーハ処理チャンバの一部についての詳細横断面図である。
【図3】は、本発明の戻り経路組立体の一部の展開図である。
【図4】は、本発明の戻り経路組立体において使用するドーナツ型ばねの斜視図である。
Claims (15)
- シールド部材とペデスタル組立体との間にRF電流用の戻り電流経路を設ける装置であって、
前記シールド部材及び前記ペデスタル組立体は、半導体ウェーハ処理チャンバ内に配置され、
前記ペデスタル組立体は、内部に配置されたRF電極を有し、
前記装置は、前記ペデスタル組立体に前記シールド部材を電気的に接続する低インピーダンス戻り経路組立体を備え、
前記低インピーダンス戻り経路組立体は、前記ペデスタル組立体に接続されかつ前記シールド部材に電気的に接続されたストラップを有し、前記RF電極及び前記シールド部材から前記ペデスタル組立体及び接地への経路を有するRF電流を提供することを特徴とする装置。 - 請求項1の装置において、前記低インピーダンス戻り経路組立体は、前記ストラップと前記シールド部材とに接続された導電バーをさらに包含し、前記導電バーが、前記ストラップと前記シールド部材とを電気的に接続することを特徴とする装置。
- 請求項2の装置において、さらに、前記導電バーとシールド部材との間で配置したドーナツ型ばねを包含することを特徴とする装置。
- 請求項2の装置において、さらに、前記導電バーを支持する支持組立体包含し、前記支持組立体が、さらに、水平バーに取り付けられる垂直バーを包含し、前記水平バーが、ペデスタル組立体に取り付けてあることを特徴とする装置。
- シールド部材とペデスタルとの間にRF電流用の戻り電流経路を提供する装置であって、
前記シールド部材およびペデスタルが半導体ウェーハ処理チャンバ内に配置され、
前記ペデスタルは、前記ペデスタル上に配置された基板にRFバイアスパワーを供給するための内部に配置されたRF電極を有し、
前記装置は、
前記ペデスタルに接続したストラップと、
前記ストラップに接続してあり、前記シールド部材と前記ストラップとを電気接続する導電バーと、
前記導電バーの下方に配置してあり、前記導電バーを機械的に支持する支持組立体とを包含することを特徴とする装置。 - 請求項5の装置において、前記ストラップが、前記ペデスタルが前記シールド部材とかみ合っている上昇位置と、前記ペデスタルが前記シールド部材とかみ合っていない下降位置との間における前記ペデスタルの上下運動を許すように充分に長いことを特徴とする装置。
- 請求項5の装置において、さらに、前記導電バーと前記シールド部材との間に配置したドーナツ型ばねを包含することを特徴とする装置。
- 請求項5の装置において、前記支持組立体が、水平バーに取り付けた垂直バーを包含し、前記水平バーが前記ペデスタルに取り付けてあることを特徴とする装置。
- 請求項8の装置において、さらに、前記導電バーと前記垂直バーとの間で配置した絶縁体を包含することを特徴とする装置。
- 請求項9の装置において、さらに、前記垂直バーと前記絶縁体との間に配置したばねを包含することを特徴とする装置。
- 半導体ウェーハ処理チャンバであって、
一組の側壁、底壁および蓋を有するチャンバと、
前記側壁から懸架された環状のシールド部材と、
ペデスタル、RF電極およびウェーハ支持体を有するペデスタル組立体と、
前記RF電極に接続されたRFパワー源と、
前記シールド部材を前記ペデスタルに電気的に接続する低インピーダンス戻り経路組立体とを包含し、
前記低インピーダンス戻り経路組立体は、前記ペデスタルに接続されかつ前記シールド部材に電気的に接続されたストラップを有し、前記RF電極によって生成されたRF電流が、前記シールド部材から前記ペデスタルを通って接地へ流れる経路を提供することを特徴とする半導体ウェーハ処理チャンバ。 - 請求項11の半導体ウェーハ処理チャンバにおいて、さらに、前記戻り経路組立体の一部を機械的に支持する支持組立体を包含することを特徴とする半導体ウェーハ処理チャンバ。
- 請求項11の半導体ウェーハ処理チャンバにおいて、前記戻り経路組立体が、前記ストラップと前記シールド部材とに接続された導電バーをさらに包含し、前記導電バーが、前記ストラップと前記シールド部材とを電気的に接続することを特徴とする半導体ウェーハ処理チャンバ。
- 請求項13の半導体ウェーハ処理チャンバにおいて、さらに、前記導電バーと前記シールド部材との間に配置したドーナツ型ばねを包含することを特徴とする半導体ウェーハ処理チャンバ。
- 請求項12の半導体ウェーハ処理チャンバにおいて、さらに、前記底壁に取り付けたカラーを包含し、前記支持組立体が、前記カラーに取り付けた水平バーと、前記水平バーに取り付けた垂直バーとを包含することを特徴とする半導体ウェーハ処理チャンバ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/192,872 | 1998-11-16 | ||
US09/192,872 US6221221B1 (en) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | Apparatus for providing RF return current path control in a semiconductor wafer processing system |
PCT/US1999/027157 WO2000030149A1 (en) | 1998-11-16 | 1999-11-16 | Apparatus for providing rf return current path control in a semiconductor wafer processing system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002530857A JP2002530857A (ja) | 2002-09-17 |
JP4384359B2 true JP4384359B2 (ja) | 2009-12-16 |
Family
ID=22711370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000583065A Expired - Lifetime JP4384359B2 (ja) | 1998-11-16 | 1999-11-16 | 半導体ウェーハ処理システムにおいてrf戻り電流経路制御を行う装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6221221B1 (ja) |
JP (1) | JP4384359B2 (ja) |
KR (1) | KR100702876B1 (ja) |
WO (1) | WO2000030149A1 (ja) |
Families Citing this family (72)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6242360B1 (en) | 1999-06-29 | 2001-06-05 | Lam Research Corporation | Plasma processing system apparatus, and method for delivering RF power to a plasma processing |
JP2001057359A (ja) * | 1999-08-17 | 2001-02-27 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
US6502530B1 (en) * | 2000-04-26 | 2003-01-07 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Design of gas injection for the electrode in a capacitively coupled RF plasma reactor |
US6779481B2 (en) * | 2000-04-27 | 2004-08-24 | Tokyo Electron Limited | Electrical coupling between chamber parts in electronic device processing equipment |
JP4504511B2 (ja) * | 2000-05-26 | 2010-07-14 | 忠弘 大見 | プラズマ処理装置 |
ATE280437T1 (de) * | 2001-05-31 | 2004-11-15 | Cit Alcatel | Abnehmbare schirmvorrichtung für plasmareaktoren |
US6770166B1 (en) * | 2001-06-29 | 2004-08-03 | Lam Research Corp. | Apparatus and method for radio frequency de-coupling and bias voltage control in a plasma reactor |
US6652713B2 (en) * | 2001-08-09 | 2003-11-25 | Applied Materials, Inc. | Pedestal with integral shield |
US20040027781A1 (en) * | 2002-08-12 | 2004-02-12 | Hiroji Hanawa | Low loss RF bias electrode for a plasma reactor with enhanced wafer edge RF coupling and highly efficient wafer cooling |
US20040060812A1 (en) * | 2002-09-27 | 2004-04-01 | Applied Materials, Inc. | Method for modulating stress in films deposited using a physical vapor deposition (PVD) process |
KR100890493B1 (ko) | 2003-04-18 | 2009-03-26 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 반도체 제조 장치 |
US7083702B2 (en) * | 2003-06-12 | 2006-08-01 | Applied Materials, Inc. | RF current return path for a large area substrate plasma reactor |
US7107125B2 (en) * | 2003-10-29 | 2006-09-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for monitoring the position of a semiconductor processing robot |
US7279049B2 (en) * | 2004-02-05 | 2007-10-09 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for reducing entrapment of foreign matter along a moveable shaft of a substrate support |
US7951262B2 (en) * | 2004-06-21 | 2011-05-31 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and method |
US7988816B2 (en) | 2004-06-21 | 2011-08-02 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and method |
US7375946B2 (en) * | 2004-08-16 | 2008-05-20 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for dechucking a substrate |
CN101023028A (zh) * | 2004-09-10 | 2007-08-22 | 华盛顿卡内基研究所 | 超硬cvd单晶金刚石及其三维生长 |
US7534301B2 (en) * | 2004-09-21 | 2009-05-19 | Applied Materials, Inc. | RF grounding of cathode in process chamber |
US7393432B2 (en) * | 2004-09-29 | 2008-07-01 | Lam Research Corporation | RF ground switch for plasma processing system |
US7268076B2 (en) * | 2004-10-05 | 2007-09-11 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for metal plasma vapor deposition and re-sputter with source and bias power frequencies applied through the workpiece |
US7399943B2 (en) * | 2004-10-05 | 2008-07-15 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for metal plasma vapor deposition and re-sputter with source and bias power frequencies applied through the workpiece |
US7214619B2 (en) * | 2004-10-05 | 2007-05-08 | Applied Materials, Inc. | Method for forming a barrier layer in an integrated circuit in a plasma with source and bias power frequencies applied through the workpiece |
KR101239776B1 (ko) * | 2005-02-03 | 2013-03-06 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 타깃에 인가되는 rf 소스 파워에 의한 물리 기상 증착플라즈마 반응기 |
US7244344B2 (en) * | 2005-02-03 | 2007-07-17 | Applied Materials, Inc. | Physical vapor deposition plasma reactor with VHF source power applied through the workpiece |
US7362942B2 (en) * | 2005-03-02 | 2008-04-22 | Adc Telecommunications, Inc. | System and method of grounding fiber storage trays |
US7550055B2 (en) * | 2005-05-31 | 2009-06-23 | Applied Materials, Inc. | Elastomer bonding of large area sputtering target |
US20070012558A1 (en) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Applied Materials, Inc. | Magnetron sputtering system for large-area substrates |
US20070084720A1 (en) * | 2005-07-13 | 2007-04-19 | Akihiro Hosokawa | Magnetron sputtering system for large-area substrates having removable anodes |
US20070012663A1 (en) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Akihiro Hosokawa | Magnetron sputtering system for large-area substrates having removable anodes |
TWM292147U (en) * | 2005-11-23 | 2006-06-11 | Celetech Semiconductor Inc | Radio frequency grounding apparatus |
US8141514B2 (en) * | 2006-03-23 | 2012-03-27 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus, plasma processing method, and storage medium |
JP4935149B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2012-05-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理用の電極板及びプラズマ処理装置 |
US20080006523A1 (en) | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Akihiro Hosokawa | Cooled pvd shield |
US7722778B2 (en) * | 2006-06-28 | 2010-05-25 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for sensing unconfinement in a plasma processing chamber |
US7454113B2 (en) * | 2006-07-20 | 2008-11-18 | Adc Telecommunications, Inc. | Grounding device for fiber storage trays |
US8004293B2 (en) * | 2006-11-20 | 2011-08-23 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing chamber with ground member integrity indicator and method for using the same |
US8381677B2 (en) * | 2006-12-20 | 2013-02-26 | Applied Materials, Inc. | Prevention of film deposition on PECVD process chamber wall |
US8647438B2 (en) * | 2007-04-27 | 2014-02-11 | Applied Materials, Inc. | Annular baffle |
US7977959B2 (en) * | 2007-09-27 | 2011-07-12 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for testing devices using serially controlled intelligent switches |
JP5214743B2 (ja) * | 2008-02-08 | 2013-06-19 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ処理チャンバのパーツのための保護被覆およびその使用方法 |
US20090242383A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-01 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for rf grounding of ipvd table |
JP5683469B2 (ja) * | 2008-10-09 | 2015-03-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 大型プラズマ処理チャンバのrf復路 |
US8540844B2 (en) * | 2008-12-19 | 2013-09-24 | Lam Research Corporation | Plasma confinement structures in plasma processing systems |
JP5883652B2 (ja) * | 2009-02-04 | 2016-03-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | プラズマ処理チャンバのための高周波リターンデバイスおよびプラズマ処理システム |
US8466697B2 (en) * | 2009-04-28 | 2013-06-18 | Lam Research Corporation | Arrangements for detecting discontinuity of flexible connections for current flow and methods thereof |
US8360003B2 (en) * | 2009-07-13 | 2013-01-29 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor with uniform process rate distribution by improved RF ground return path |
KR101039524B1 (ko) | 2010-02-19 | 2011-06-09 | 주성엔지니어링(주) | 플라즈마 처리 장치 |
JP5782226B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2015-09-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP6351262B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2018-07-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | Rf pvdチャンバ用の均一性調整可能esc接地キット |
US8618446B2 (en) * | 2011-06-30 | 2013-12-31 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with substrate heater and symmetric RF return |
KR102011535B1 (ko) * | 2011-11-24 | 2019-08-16 | 램 리써치 코포레이션 | 가요성 있는 대칭적 rf 복귀 스트랩을 갖는 플라즈마 프로세싱 챔버 |
US9230779B2 (en) * | 2012-03-19 | 2016-01-05 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for correcting for non-uniformity in a plasma processing system |
US9340866B2 (en) * | 2012-03-30 | 2016-05-17 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with radio frequency (RF) return path |
US9404176B2 (en) * | 2012-06-05 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with radio frequency (RF) return path |
US9778083B2 (en) | 2013-05-16 | 2017-10-03 | Lam Research Corporation | Metrology method for transient gas flow |
KR20170002316U (ko) | 2015-12-18 | 2017-06-29 | 한전케이피에스 주식회사 | 전기집진기 방전극 와이어 절단장치 |
EP3465727B1 (en) * | 2016-06-03 | 2021-10-06 | Evatec AG | Plasma etch chamber and method of plasma etching |
JP6683575B2 (ja) * | 2016-09-01 | 2020-04-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
KR102399343B1 (ko) * | 2017-05-29 | 2022-05-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 화학기상 증착장치 |
US11289355B2 (en) | 2017-06-02 | 2022-03-29 | Lam Research Corporation | Electrostatic chuck for use in semiconductor processing |
US11469084B2 (en) * | 2017-09-05 | 2022-10-11 | Lam Research Corporation | High temperature RF connection with integral thermal choke |
CN109473331B (zh) * | 2017-09-08 | 2022-11-25 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 腔室屏蔽装置和半导体处理腔 |
US20190115246A1 (en) * | 2017-10-16 | 2019-04-18 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for shielding substrate supports |
KR20240050466A (ko) | 2018-01-31 | 2024-04-18 | 램 리써치 코포레이션 | 정전 척 (electrostatic chuck, ESC) 페데스탈 전압 분리 |
US11086233B2 (en) | 2018-03-20 | 2021-08-10 | Lam Research Corporation | Protective coating for electrostatic chucks |
CN111326387B (zh) * | 2018-12-17 | 2023-04-21 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种电容耦合等离子体刻蚀设备 |
CN111326389B (zh) * | 2018-12-17 | 2023-06-16 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种电容耦合等离子体刻蚀设备 |
WO2021025913A1 (en) * | 2019-08-02 | 2021-02-11 | Applied Materials, Inc. | Radio frequency power return path |
CN112447475B (zh) * | 2019-09-05 | 2023-09-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种具有柔性电介质薄片的等离子体处理装置 |
CN112838040B (zh) * | 2019-11-25 | 2023-10-20 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种晶圆夹持装置和等离子体处理设备 |
US11335543B2 (en) * | 2020-03-25 | 2022-05-17 | Applied Materials, Inc. | RF return path for reduction of parasitic plasma |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3661758A (en) * | 1970-06-26 | 1972-05-09 | Hewlett Packard Co | Rf sputtering system with the anode enclosing the target |
US4131533A (en) * | 1977-12-30 | 1978-12-26 | International Business Machines Corporation | RF sputtering apparatus having floating anode shield |
US4170541A (en) * | 1978-08-14 | 1979-10-09 | Varian Associates, Inc. | Rotating resonator for large substrate tables in sputtering systems |
US5234529A (en) * | 1991-10-10 | 1993-08-10 | Johnson Wayne L | Plasma generating apparatus employing capacitive shielding and process for using such apparatus |
US5275683A (en) | 1991-10-24 | 1994-01-04 | Tokyo Electron Limited | Mount for supporting substrates and plasma processing apparatus using the same |
FR2683395A1 (fr) | 1991-11-06 | 1993-05-07 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'amende de tension sur une piece conductrice. |
US5688358A (en) | 1995-03-08 | 1997-11-18 | Applied Materials, Inc. | R.F. plasma reactor with larger-than-wafer pedestal conductor |
TW324831B (en) | 1996-05-09 | 1998-01-11 | Applied Materials Inc | Plasma generating device |
US5790365A (en) | 1996-07-31 | 1998-08-04 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for releasing a workpiece from and electrostatic chuck |
-
1998
- 1998-11-16 US US09/192,872 patent/US6221221B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-11-16 WO PCT/US1999/027157 patent/WO2000030149A1/en active IP Right Grant
- 1999-11-16 KR KR1020017006202A patent/KR100702876B1/ko active IP Right Grant
- 1999-11-16 JP JP2000583065A patent/JP4384359B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100702876B1 (ko) | 2007-04-04 |
KR20010080470A (ko) | 2001-08-22 |
JP2002530857A (ja) | 2002-09-17 |
WO2000030149A1 (en) | 2000-05-25 |
US6221221B1 (en) | 2001-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4384359B2 (ja) | 半導体ウェーハ処理システムにおいてrf戻り電流経路制御を行う装置 | |
JP4334621B2 (ja) | ウエハ支持装置 | |
US6081414A (en) | Apparatus for improved biasing and retaining of a workpiece in a workpiece processing system | |
US6723214B2 (en) | Apparatus for improved power coupling through a workpiece in a semiconductor wafer processing system | |
CN1123052C (zh) | 用于离子化物理气相淀积的方法和装置 | |
US6219219B1 (en) | Cathode assembly containing an electrostatic chuck for retaining a wafer in a semiconductor wafer processing system | |
US4606806A (en) | Magnetron sputter device having planar and curved targets | |
EP0070982B1 (en) | Sputtering system | |
US20080236492A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP2000331993A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR890004171B1 (ko) | 진공 스퍼터링 장치 | |
WO1998059088A1 (en) | Sputter coating system and method using substrate electrode | |
KR20010015243A (ko) | 향상된 냉각 imp 코일 지지부 | |
US20050022736A1 (en) | Method for balancing return currents in plasma processing apparatus | |
US5080772A (en) | Method of improving ion flux distribution uniformity on a substrate | |
TW202117913A (zh) | 載置台及電漿處理裝置 | |
JP4118208B2 (ja) | シールド装置 | |
JP2797111B2 (ja) | スパッタ装置 | |
JPH11209874A (ja) | スパッタリング装置及びターゲット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090827 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090925 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4384359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |